JP5368204B2 - シート貼付装置 - Google Patents
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本発明は、凹部を備えた板状部材に接着シートを貼付するときに、未貼付領域を生ずることなく凹部内面の全域に接着シートを貼付することのできるシート貼付装置を提供することにある。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
この変形例は、押圧手段16の両側に位置するシート供給手段としてのシート供給部50と巻取部51とを設けたものである。シート供給部50は、ロール状に巻回された接着シートSを繰出可能に支持する支持ローラ55と、モータM1によって回転する駆動ローラ56と、当該駆動ローラ56との間に接着シートSを挟み込むピンチローラ57とにより構成されている。巻取部51は、巻取ローラ60と、モータM2の駆動によって回転する駆動ローラ62と、当該駆動ローラ62との間にシートSを挟み込むピンチローラ64とにより構成されている。そして、シート供給部50と巻取部51との間に繰り出された接着シート部分を押圧手段16で押圧することにより、接着シートSを凹部12に貼付した後に、ウエハWの外縁に沿って図示しないカッターで接着シートSを切り抜き、これによって生ずる外側部分を不要シートS1として巻取ローラ60で巻き取るようになっている。
また、1次動力、2次動力は、圧縮エアに限定されることはなく、液体であってもよい。更に、例えば、底面貼付部材と側面貼付部材とが適宜な支持体にそれぞれ支持されて当該支持体が第1、第2モータによって駆動される構成の場合、動力供給手段は電源供給装置であって、1次動力は支持体を移動させる第1モータに供給する電源であり、2次動力は支持体を移動させる第2モータに供給する電源となる。また、底面貼付部材と側面貼付部材とがそれぞれ支持体を介して第1、第2エアシリンダによって駆動される構成の場合、動力供給手段はエア供給装置であって、1次動力は第1エアシリンダに供給する圧縮エアであり、2次動力は第2エアシリンダに供給する圧縮エアとなる。
11 凸部
12 凹部
12A 底面
12B 側面
13 シート供給手段
16 押圧手段
17 コンプレッサ(動力供給手段)
18 マスキング手段
20 開口部
21 上蓋部材
23 弾性シート
23A 底蓋部(底面貼付部材)
23B 筒状部(側面貼付部材)
24 弾性リング(側面貼付部材)
C 加圧室
S 接着シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (1)
- 一方の面の外周側に環状の凸部を設けて当該凸部の内側が凹部とされた板状部材の前記凹部に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
前記板状部材の凹部が形成された面に対向するように前記接着シートを供給可能なシート供給手段と、
前記接着シートを凹部に押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段の段階的な動作を可能とする動力供給手段とを含み、
前記押圧手段は、前記動力供給手段による1次動力の供給によって前記凹部の底面に前記接着シートを貼付する底面貼付部材と、前記動力供給手段による2次動力の供給によって前記底面に連なる側面に前記接着シートを貼付する側面貼付部材とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。
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JP2009172821A JP5368204B2 (ja) | 2009-07-24 | 2009-07-24 | シート貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2011029359A JP2011029359A (ja) | 2011-02-10 |
JP5368204B2 true JP5368204B2 (ja) | 2013-12-18 |
Family
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Family Applications (1)
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2009
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