JP5261308B2 - 押圧装置 - Google Patents
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- 238000003825 pressing Methods 0.000 title claims abstract description 30
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 91
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 91
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 6
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 28
- 235000019589 hardness Nutrition 0.000 description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 1
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Description
また、特許文献2の装置は、凹部の内周面に接着シートを貼付する場合、貼付ヘッドと被着体との間に接着シートを介在させ、これらが相互に当接した状態で相対回転することにより接着シートに押圧力を付与するものであり、相対回転を行うための機構が必要になり、装置の構成や制御を複雑化させるという欠点がある。
本発明は、一端若しくは両端が開放する形状を備えた被着体の内面に対し、簡単な構成で接着シートを貼付するシート貼付装置に利用可能な押圧装置を提供することにある。
また、弾性部材が筒状部と底蓋部とを備え、筒状部に弾性リングを装着した構成では、加圧室への圧縮エア供給により、凹部を有する被着体の底面と内周面とに接着シートを貼付することが可能となる。
更に、非弾性部材に誘導部を設けた構成では、弾性リングが変形する方向が一定方向に導かれるため、弾性リングが予期せぬ方向に変形し、接着シートの貼付不良が発生することを防止することができる。
また、弾性リングの外周面が上面側に向かうに従って縮径若しくは縮小する形状であることで、接着シートと被着体の内周面との間の空気を逃がしながら接着シートに押圧力を付与することができ、気泡混入を防止することができる。
更に、弾性リングの内周面に切欠部を設けた構成では、加圧室が圧力上昇したときに、筒状部が切欠部に受容されるようになり、筒状部の伸び代が確保され、当該筒状部が局所的に変形されて破損することを防止することができる。
図1及び図2において、シート貼付装置10は、被着体としてのウエハWに接着シートSを貼付する装置として構成されている。接着シートSは、ウエハWよりも大きい内径を備えたリングフレームRFに貼付されており、接着シートSをウエハWに接着することによってリングフレームRFとウエハWとが一体化されるようになっている。ここで、ウエハWは一端側が開放する形状に設けられている。すなわち、一方の面(図1中上面)の外周側に環状の凸部11が設けられ、その内側に底面12Aとこの底面12Aに連なる側面12Bとからなる凹部12が設けられ、これら底面12Aと側面12Bとが交差する位置がコーナー12Cとされている。なお、図において、ウエハWは、図面の錯綜を回避するために板厚を大きく示しているが、実際には、リングフレームRFの厚みよりも薄いものとなる。
図6は、本発明の第2実施形態を示す。この実施形態は、両端が開放するリング状部材を被着体W1とし、当該被着体W1の内側(内周面)に接着シートSを貼付する構成に特徴を有する。ここで、接着シートSは、被着体W1の内周面を保護するための平ループ状の保護用シートとされる。なお、接着シートSは、弾性リング23が拡径変形したときに、一定量延びることのできるフィルム素材が用いられている。
この実施形態の場合、中空体19は、弾性変形不能な非弾性部材としての板状部材100と、当該板状部材100の下面側に設けられた弾性部材23とからなり、この弾性部材23の筒状部23B上端を板状部材100に固定することで加圧室Cが形成されている。弾性リング24は、前記実施形態と同様に、筒状部23Bの外周に装着されている。また、板状部材100の下側の面が弾性リング24の弾性変形案内面として作用する誘導部100Aとされている。
そして、接着シートSが、図6に示されるように、テーブル15上に載置された被着体W1の内側(内周面側)に図示しない搬送装置で載置される。その後、被着体W1の上方から中空体19を矢印方向に下降させた後、第1実施形態と同様に加圧室Cに圧縮エアの供給を行うことにより、被着体W1の内周面に接着シートSを押圧して貼付することができる。
なお、図示しない搬送手段によって、接着シートSを弾性リング24の外周面24Bに支持させておき、上記のように中空体19を下降させた後、第1実施形態と同様に加圧室Cに圧縮エアの供給を行うようにしてもよい。
図7には、本発明の第3実施形態が示されている。この実施形態は、第1実施形態の変形的態様であり、押圧装置16の両側にシート供給部50と巻取部51とを設けたところに特徴を有する。
シート供給部50は、ロール状に巻回された接着シートSを繰出可能に支持する支持ローラ55と、モータM1によって回転する駆動ローラ56と、当該駆動ローラ56との間に接着シートSを挟み込むピンチローラ57とにより構成されている。巻取部51は、巻取ローラ60と、モータM2の駆動によって回転する駆動ローラ62と、当該駆動ローラ62との間にシートSを挟み込むピンチローラ64とにより構成されている。そして、シート供給部50と巻取部51との間に繰り出された接着シート部分を押圧装置16で押圧することにより、接着シートSを凹部12に貼付した後に、ウエハWの外縁に沿って図示しないカッターで接着シートSを切り抜き、これによって生ずる外側部分を不要シートS1として巻取ローラ60で巻き取るようになっている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 凸部
12 凹部
12A 底面
12B 側面
16 押圧装置
19 中空体
21 上蓋部材(非弾性部材)
21B 下面(誘導部)
23 弾性部材
23A 底蓋部
23B 筒状部
24 弾性リング
100 板状部材(非弾性部材)
100A 誘導部
C 加圧室
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
W1 被着体
Claims (5)
- 少なくとも一端側が開放する被着体の内側に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、
内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記弾性部材の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、
前記弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の内側に押圧することを特徴とする押圧装置。 - 外周側に環状の凸部が設けられて当該凸部の内側に凹部を有する被着体の当該凹部の底面及び側面に接着シートを押圧して貼付するシート貼付装置に用いられる押圧装置であって、
内部に加圧室を備えるとともに当該加圧室の圧力上昇によって弾性変形可能な筒状部と底蓋部とからなる弾性部材と弾性変形不能な非弾性部材とを備えた中空体と、前記筒状部の外周側に装着されて前記被着体の内側に対向配置可能な弾性リングとを含み、
前記弾性部材及び弾性リングと被着体との間に接着シートを配置した状態で前記加圧室を加圧することで、前記弾性部材及び弾性リングが変形して前記接着シートを前記被着体の凹部の底面及び側面に押圧することを特徴とする押圧装置。 - 前記非弾性部材は、前記弾性リングを前記被着体の内周面側に導く誘導部を有することを特徴とする請求項1又は2記載の押圧装置。
- 前記弾性リングは、相互に平行な上面及び下面と、前記弾性部材の外周側に接触する内周面と、上面側に向かうに従って縮径若しくは縮小する外周面とを備えていることを特徴とする請求項1、2又は3記載の押圧装置。
- 前記弾性リングの内周面は、前記加圧室が加圧されたときに前記弾性部材の一部を受容する切欠部を備えていることを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載の押圧装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009172822A JP5261308B2 (ja) | 2009-07-24 | 2009-07-24 | 押圧装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009172822A JP5261308B2 (ja) | 2009-07-24 | 2009-07-24 | 押圧装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011029360A JP2011029360A (ja) | 2011-02-10 |
JP5261308B2 true JP5261308B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=43637775
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009172822A Expired - Fee Related JP5261308B2 (ja) | 2009-07-24 | 2009-07-24 | 押圧装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5261308B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5660821B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2015-01-28 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2014152287A (ja) * | 2013-02-12 | 2014-08-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | 粘着シートの貼着方法 |
JP6145287B2 (ja) * | 2013-03-15 | 2017-06-07 | リンテック株式会社 | シート貼付装置 |
JP6254795B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-12-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP6170787B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-07-26 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
JP6204765B2 (ja) * | 2013-09-06 | 2017-09-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10233430A (ja) * | 1997-02-19 | 1998-09-02 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ貼付け装置 |
JP2003007808A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Mighty Engineering:Kk | 真空に依る、ウエハーテープ貼り機 |
JP4152295B2 (ja) * | 2003-10-23 | 2008-09-17 | Necエンジニアリング株式会社 | テープ貼付装置 |
JP4637692B2 (ja) * | 2005-09-07 | 2011-02-23 | 株式会社ディスコ | 粘着フィルム貼着装置 |
JP2007281343A (ja) * | 2006-04-11 | 2007-10-25 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウェーハ支持方法及びウェーハ支持装置 |
JP4841355B2 (ja) * | 2006-08-08 | 2011-12-21 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保持方法 |
JP4666519B2 (ja) * | 2006-09-08 | 2011-04-06 | リンテック株式会社 | シート貼付装置 |
JP2009141276A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 半導体装置およびその製造方法 |
JP5317267B2 (ja) * | 2008-11-14 | 2013-10-16 | 株式会社タカトリ | ウエハのマウント装置 |
-
2009
- 2009-07-24 JP JP2009172822A patent/JP5261308B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011029360A (ja) | 2011-02-10 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120515 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A977 | Report on retrieval |
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