JP4839284B2 - 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法 - Google Patents

半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法 Download PDF

Info

Publication number
JP4839284B2
JP4839284B2 JP2007228084A JP2007228084A JP4839284B2 JP 4839284 B2 JP4839284 B2 JP 4839284B2 JP 2007228084 A JP2007228084 A JP 2007228084A JP 2007228084 A JP2007228084 A JP 2007228084A JP 4839284 B2 JP4839284 B2 JP 4839284B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
plate
adhesive tape
protective sheet
sheet
dicing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2007228084A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009060039A (ja
Inventor
昇 仙波
稔 相原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Setsubi Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Setsubi Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Setsubi Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Setsubi Engineering Co Ltd
Priority to JP2007228084A priority Critical patent/JP4839284B2/ja
Publication of JP2009060039A publication Critical patent/JP2009060039A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4839284B2 publication Critical patent/JP4839284B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Dicing (AREA)

Description

本発明は、半導体ウエハ、液晶表示用ガラスパネル等の板状部材のダイシング前工程において、板状部材に貼付した保護シートを接着テープを用いて板状部材表面から剥がす保護シート剥離方法、及びその接着テープを前記保護シートに取り付ける方法に関する。
半導体ウエハの製造工程では、例えばシリコンウエハに露光−拡散−エッチングなどの前工程処理を施した後に、シリコンウエハをチップサイズにダイシングする。
このダイシング工程に際しては、予め半導体ウエハの一面(加工面)に貼付した保護シートをウエハ表面から剥がし、このウエハの一面からダイシングされる。ダイシングの間、ウエハのもう一面側にはダイシングテープが貼付されているので、チップが散らばることはない。
保護シートの剥離技術については、従来より、多数の技術が提案されており、原理的には、接着テープを利用して保護テープをウエハ表面から剥がす手法が採用されている。
例えば、特許文献1では、半導体ウエハに損傷を与えないように保護シートを剥離するために、感熱性接着性テープの一部を保護シートの端部に熱圧着した後、この接着テープの切断し、切断した接着テープを剥がしヘッドで把持して、剥がしヘッドを移動させて保護シートを引っ張って剥離している。
また、特許文献2〜6などに、半導体ウエハの表面に貼付したシートの種々の剥離方法が開示されているが、これらの従来技術には、接着テープの保護シートへの取り付け方法やその取り付けにおいて留意すべき技術事項については開示されていない。
特開平11−16862号公報 特開平11−45934号公報 特開平11−163105号公報 特開2002−353168号公報 特開2003−59862号公報 特開2003−163177号公報
保護シートに保護シート剥離用の接着テープを取り付ける場合には、ダイシングに際してダイシング後に接着テープを保護シートに押し付けて接着する手法が一般的に採用されている。ところで、現在、シリコンウエハなどの半導体ウエハは、今後益々薄くなる傾向にある。それに伴い、接着テープに局部的な加圧力を加えて保護シートに接着する手法は、半導体ウエハにダメージを与えることが予想される。
本発明の目的は、シリコンウエハのような半導体ウエハ、液晶表示用ガラスパネル、その他種々の板状部材の薄型化に対応でき、しかも作業効率の良い新方式の半導体ウエハなど板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シートの剥離方法を提供することにある。
本発明は、基本的には、次のような保護シート剥離用の接着テープ取り付け方法を提案する。すなわち、ダイシング対象となる半導体ウエハ等の板状部材のダイシングの前工程にて、板状部材の一面に貼付した板状部材保護用の保護シートの表面にこの保護シートを剥がすための接着テープを取り付ける方法において、
保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、を有することを特徴する。
ここで、短冊状の前記接着テープは、例えば、短冊状に切断する装置から前記真空チャックに、接着テープの粘着面に部分接触するキャリアに保持されて移され、前記真空チャックに前記接着テープを載置する工程で前記真空チャックの真空吸着力を利用して該接着テープを前記キャリアから離すようにしてある。
さらに、本願発明は、上記のような方法で保護シートを板状部材の保護シートに取り付け、さらに、前記保護シートに貼り付けた前記接着テープの折り返し部を摘まんで前記接着テープと共に前記保護シートを板状部材表面から剥がす工程、を有する板状部材の保護シート剥離方法を提案する。
上記構成によれば、ダイシングの前工程において、保護シート剥離用の接着テープは、単にダイシング装置に組み込むだけで、半導体ウエハなどの板状部材をセットする時の板状部材からのほとんど均一な無理のない荷重により、薄型化する半導体ウエハなどの板状部材にダメージを与えることなく接着テープを保護シートに貼り付けることができる。また、短冊状にカットされた接着テープの折り返し部を把持して、板状部材に負荷をかけることなく保護シートを板状部材表面から剥がすことができる。
以下、本発明の実施例を、図面を用いて説明する。
図1Aから図1Hには、半導体ウエハに対するパターン形成からダイシングまでの工程を示し、このうち図1D、図1E((E)または(E´))、図1F、および図1Gが保護シート剥離用接着テープの取り付け工程から保護シートの剥離工程の一連の工程を示すものである。
通常、半導体ウエハとして用いられるシリコンウエハ1は、投入時の厚みが700〜200μmであり、回路形成工程の終了まで、その厚みで処理される(図1A)。これは、前工程処理が酸化膜形成−露光−熱拡散−エッチングなどの回路形成工程を何回も繰り返すため、温度履歴や表面処理履歴の影響でシリコンウエハに変形を発生させない厚みを保つ必要があるためである。
次いで、前工程が終了したシリコンウエハ1を、回路形成面を保護シート4で覆う(図1B)。保護シート4は、ウエハの薄型化に伴って製造過程で生じる反りを防止するために使用される。通常のICチップの厚みは、350μm程度であり、投入時の厚みをそのまま使用して、ダイシングを行っていたが、近年、ICチップはフラッシュメモリ用などに対応するため、例えば50μmの厚みにするなど、その薄型化が図られている。このような薄型にする場合には、グラインダでシリコンウエハ1の裏面から図1Bの所定の肉厚部分1'を図1Cのように削っている。
この薄くした後のシリコンウエハ1の一面(回路形成面と反対側)に、ダイシングシート2を貼り付けるが(図1(E)または(E´))、本実施例では、ダイシングシート貼付装置にダイシングシート2をセットする前に、短冊状に切断された保護シート剥離用の接着テープ40が、ダイシングシート貼付装置に用いる半導体ウエハ支持用の真空チャック11aに載置される(図1D)。接着テープ40は、片面接着テープであり、その一端に粘着側に折り返した折り返し部40Aを有する。折り返し部40Aは、真空チャック11の外に出した状態にする。
その後にシリコンウエハ1をダイシングシート貼付装置にセットすることにより、真空チャック11aとシリコンウエハ1の保護シート4の表面との間に短冊状の接着テープ40がその粘着面を保護シート側に向けて介在する。このようにして、接着テープ40は、保護シート4に貼り付け且つ折り返し部40aは保護シート外に出た状態になる。
次いでダイシングシート2がシリコンウエハ1のもう一面に貼付される(図1(E)または(E´))。ここでは、ダイシングシート2の取り付けとして、2通りの方法を示している。一つは、図1(E)に示すような真空装置内での取り付け方法である。もう一つは、図1(E´)に示すようなローラ加圧方式である。前者の方式は、最新の方式であり、後者は従来から一般的に知られた方式である。
まず、図1(E)の方式について説明する。
この方式は、シリコンウエハ1のダイシングシート被接着面とダイシングシート2の接着面とを対面させて、真空中で、移動機構を介してシリコンウエハ1をダイシングシート2の接着面に向けて相対的に移動させて、シリコンウエハ1をダイシングシート2に押し付けることでダイシングシート2の貼付を行う。この真空方式のダイシングシート貼付装置については、後述してある。
図1(E´)の方式は、ローラ加圧方式機構5によりダイシングシート2をシリコンウエハ1の表面に貼り付ける。
この後に図1F、図1Gに示すような保護シート剥離工程が行われる。この工程では、保護シート4に貼り付けた接着テープ40の折り返し部40aを、保護シート剥離装置42のチャック42bが摘まんで接着テープ40と共に保護シート4をウエハ表面から剥がす。保護シート剥離装置42は、種々のタイプが考えられるが、ここでは、一例として、次のようなものを提案する。
すなわち、保護シート剥離装置42は、所定の範囲で支点を中心に回動可能なロッド42aとそのロッド42aの一端に設けられたチャック42bとで構成される。また、保護シート剥離装置42は、図1Fに示すように、シリコンウエハ1のセット位置の一端からシリコンウエハセット位置の他端側に向けて斜め上方に直線移動する機構を備えている。
そして、図1Fに示すように、シリコンウエハ1のセット位置の一端側でチャック42bにより接着テープ40の折り返し部40aを摘まんでチャック42bを所定位置まで回動させると保護シート4の一部がめくれ上がり、さらにこの状態からシート剥離装置42がシリコンウエハ1上を斜め上方に一点鎖線Lに示すように移動していくと、保護シート4がシリコンウエハ1から引き剥がされることになる。上記のように、シート剥離装置42をシリコンウエハ1上で斜め上方に移動させる場合には、シート剥離装置42をシリコンウエハ1上で水平移動するよりも、水平方向の移動距離を少なくして保護シート4を剥がすことができる。
図4は、図1Fの工程に付される直前のシリコンウエハ1の状態を示す斜視図である。
保護シート剥離後に、ダイシングカッター(レジンに砥石を混ぜたブレード)6を用いてダイシング工程が行われる(図1H)。
ダイシングシート2は、ダイシング作業で半導体チップが散乱するのを防止し、現状の位置に保持する機能を有する。そのためにダイシングカッターは半導体ウエハのダイシングの際にダイシングシートの肉厚の途中までしか及ばないようにして、ダイシングシートは切断されないようにしてある。
次に、短冊状の上記接着テープ40の形成について図3を参照して説明する。
図3において、43は接着テープ40´の供給ロール、44はテープ40´のガイドロール、45はテープ40´の引き出しチャック、46はテープ載置テーブルである。
図3(A)において、切断前の接着テープ40´の先端は、ガイドロール44から引き出され、その位置で図示されないテープ折り返し機構により接着テープ40´の一端が符号40aに示すように折り返されている。折り返し部40aの外側の面は、非粘着面側である。チャック45は、この折り返し部40aを摘まんで図3(B)に示す位置まで水平移動し接着テープ40´を所定の長さだけ引き出す。この後、下方後退位置にあった載置テーブル46がテープ引き出し位置まで上昇し、接着テープ引き出し部を非粘着面側からあてがう。この状態で接着テープ引き出し部はテンションのかかった状態にあり、カッター47で接着テープ引き出し部を切断することにより、図3(C)に示すように、折り返し部40a付きの短冊状の接着テープ40が形成される。
この短冊状の接着テープ40の粘着面にテープ搬送用のキャリア41が接触する。キャリア41に付いた接着テープ40は、キャリア移動機構(図示省略)を介してキャリア41と共に搬送され、図2(A)に示すダイシングシート貼付装置のシリコンウエハ支持台(真空チャック)11a上に載置される。真空チャック11aに接着テープ40を載置する工程では、真空チャック40の真空吸着力を利用して接着テープをキャリア41から離す。キャリア41は、例えば長方体形状のブロックであり、接着テープと接触する側の面は、できるだけ接着テープとの接触面積を少なくするために、断面Vの字形の凹凸を連続して繰り返す溝付き表面にしてある。また、その表面をテフロン(米国デュポン社の登録商標)加工などすると接着テープから離れやすくなる。キャリア41は、図示されない移動機構により支持されている。
キャリア41が離れた後の真空チャック上の接着テープの位置が図1Dに対応するものである。
図2(A)のダイシングテープ貼付装置では、キャリア41を介して接着テープ40を真空チャック11a上に設置するために、真空室12の蓋13は外されている。
ダイシングテープ貼付装置では、接着テープ40をセットした後に保護シート4付きシリコンウエハ1がセットされ、その後に支持フレーム3に支持されたダイシングテープ2がセットされ、蓋13が被せられる(図2(B))。
図2の装置は、基本的には、シリコンウエハ1を真空チャック11aにより保持して直線的に往復移動可能な移動機構11と、移動機構11上のシリコンウエハ1に対面する位置でダイシングシート2を保持するダイシングシートホルダ(ダイシングシート保持部)20と、移動機構11がシリコンウエハ1をダイシングシート2の対向面に押し付けた時のウエハからの押し付け力を受けるウエハ受け部21と、真空チャック11aの移動空間及びそれに対向するダイシングシートの接着面の周囲を真空状態にする真空室12とを備える。
ダイシングシートホルダ20は、真空室12のハウジング本体(固定壁)となるべきものであり、環状体により形成される。ダイシングシートホルダ20の上面部にホルダ20の内周に沿ってダイシングフレーム3を着脱自在に嵌め込める環状溝22が形成されている。この環状溝22にダイシングフレーム3をセットすることで、ダイシングシート2が真空チャック11a上の半導体ウエハ1に対面するようにセット可能にしてある。
ウエハ受け部20は、真空室12の蓋13の内面に固定され、蓋13の内面とダイシングシート2の間に介在する。本実施例では、ウエハ受け部20は、蓋13に内面に取り付けられているが、着脱自在方式とすることも可能である。ウエハ受け20として、例えばゴム板、鏡面SUS板などが用いられる。
蓋13は、ダイシングシートホルダ20の上面にシールリング(例えばOリング)23を介して着脱可能に取り付けられる。
ウエハのための移動機構11は、真空チャック11a、それを支持する可動ベース11b、一端が可動ベースに接続され他端が図示されないウォームギアに噛み合うボールスクリュウ機構11c、可動ベース11bの直線的往復移動(図2では上下移動)を案内するリニアガイドロッド11dよりなる。
ダイシングシートホルダ20は、支柱24を介して固定ベース25に支持されている。ボールスクリュウ11c、リニアガイドロッド11dは、固定ベース25に貫通状態で保持されている。
真空チャック11aのために真空引きをする真空パイプ26は、可動ベース11bを貫通して真空チャック室と外部真空駆動源(図示せず)とに連結している。真空チャック11aは、ポーラスな部材により形成されている。
真空室12は、蓋13、ダイシングシートホルダ20、ベローズ(例えば金属ベローズ)27により囲まれる空間により形成され、その内部にダイシングシート2と真空チャック11a,可動ベース11bとが配置される。
ベローズ27の一端は、移動機構11の可動部である可動ベース11bの外壁面にパッキン28を介して接続され、他端が真空室の一部となる固定壁(例えばダイシングシートホルダ20)の外壁にパッキン29を介して接続されている。ダイヤフラムを使用した場合には、移動機構11の可動部を気密性を高めて囲む真空室を形成することができる。
真空室12は、ダイシングシートホルダ20に設けた真空パイプ30を介して外部真空源(図示せず)と接続される。
真空室12と真空チャック11aの真空系統は、互いに独立しており、真空チャックの機能を維持するために、真空室12を真空チャック11aの真空度よりも低真空に設定してある。なお、真空室12の真空度は、真空チャック11aの真空度よりも低真空であれば特に条件を限定されない。
上記構成の装置において、シリコンウエハ1とダイシングシート2と保護シート剥離用接着テープ40とは、蓋13を開けてそれぞれの所定位置にセットされる。セット後、蓋13が閉まって真空室12が気密状態になる。このとき、移動機構は初期状態として、ダイシングシート2から離れた位置にある。ダイシングシート2の接着面となる一面は、シリコンウエハ1と対面するようにセットされる。
シリコンウエハ1に対するダイシングシートの貼り付けは、真空室12と真空チャック11aとを真空引きした後、可動ベース11bが上方向(ダイシングシートの向けた方向)に所定量だけ移動するようにボールスクリュー11cを駆動させる。これにより、シリコンウエハ1は、ダイシングシート2の対向面に押し付けられ、その時のウエハからの押し付け力をウエハ受け部21が受ける。
それにより、ダイシングシート2を張った状態で且つ真空中で、ダイシングシートの一面(接着面)をシリコンウエハ1の一面に貼り付けることができる。ダイシング工程と同時に接着テープ40も保護シート4の一面に接着できる。
以上のように本実施例によれば、ダイシングの前工程において、保護シート剥離用の接着テープ40は、単にダイシング装置に組み込むだけで、半導体ウエハをセットする時の半導体ウエハからのほとんど均一な無理のない荷重により、薄型化する半導体ウエハにダメージを与えることなく接着テープ40を保護シート4に貼り付けることができる。また、短冊状にカットされた接着テープの折り返し部を把持して、半導体ウエハに負荷をかけることなく保護シートをウエハ表面から剥がすことができる。
なお、本実施例では、ダイシング対象として半導体ウエハを一例に説明したが、本発明の適用対象は、これに限定されるものではなく、ダイシング対象で尚且つ保護シートを必要とするものであれば液晶表示パネルその他種々の板状部材に適用可能である。
半導体ウエハに対するパターン形成を示す説明図。 半導体ウエハに対する保護シート貼付工程を示す説明図。 半導体ウエハに対する一部切削工程を示す説明図。 半導体ウエハに対する保護テープ剥離用接着テープのセット工程を示す説明図。 半導体ウエハに対するダイシングシートの貼付工程を示す説明図。 半導体ウエハに対する保護テープ剥離用接着テープの掴み工程を示す説明図。 半導体ウエハに対する保護テープの剥離工程を示す説明図。 半導体ウエハに対するダイシング工程を示す説明図。 本発明の一実施例に用いるダイシングシート貼付装置の縦断面図。 短冊状保護テープの製造工程を示す説明図。 図1Fの工程に付される直前のシリコンウエハ1の状態を示す斜視図。
符号の説明
1…シリコンウエハ、2…ダイシングシート、4…保護シート、40…接着テープ、40a…テープ折り返し部。

Claims (5)

  1. ダイシング対象となる板状部材のダイシングの前工程にて、板状部材の一面に貼付した板状部材保護用の保護シートの表面にこの保護シートを剥がすための接着テープを取り付ける方法において、
    保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
    ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に前記板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
    その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、を有することを特徴する板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。
  2. 請求項1において、
    短冊状の前記接着テープは、短冊状に切断する装置から前記真空チャックに、接着テープの粘着面に部分接触するキャリアに保持されて移され、前記真空チャックに前記接着テープを載置する工程で前記真空チャックの真空吸着力を利用して該接着テープを前記キャリアから離すようにしてある板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。
  3. 請求項1において、
    前記ダイシングシート貼付装置は、前記板状部材のダイシングシート被接着面と前記ダイシングシートの接着面とを対面させて、真空中で、移動機構を介して前記板状部材をダイシングシートの接着面に向けて相対的に移動させて前記板状部材を前記ダイシングシートに押し付けることでダイシングシートの貼付を行う装置である板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。
  4. 板状部材の一面に貼付した保護シートを接着テープの接着力を利用して板状部材表面から剥す板状部材の保護シート剥離方法において、
    保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
    ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に前記板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
    その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、
    前記保護シートに貼り付けた前記接着テープの折り返し部を摘まんで前記接着テープと共に前記保護シートを板状部材表面から剥がす工程と、を有することを特徴とする板状部材の保護シート剥離方法。
  5. 請求項4において、
    前記保護シートを剥がす工程において前記接着テープの折り返し部を摘まむ機構は、前記保護シートを引き剥がすのに必要な回動動作と直線移動を行う機構により構成されている板状部材の保護シート剥離方法。
JP2007228084A 2007-09-03 2007-09-03 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法 Expired - Fee Related JP4839284B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007228084A JP4839284B2 (ja) 2007-09-03 2007-09-03 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007228084A JP4839284B2 (ja) 2007-09-03 2007-09-03 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009060039A JP2009060039A (ja) 2009-03-19
JP4839284B2 true JP4839284B2 (ja) 2011-12-21

Family

ID=40555478

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007228084A Expired - Fee Related JP4839284B2 (ja) 2007-09-03 2007-09-03 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4839284B2 (ja)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4740297B2 (ja) * 2008-09-04 2011-08-03 リンテック株式会社 マウント装置及びマウント方法
WO2011032947A1 (de) * 2009-09-15 2011-03-24 Ers Electronic Gmbh Abziehrolle, vorrichtung und verfahren zum ablösen einer folie von einem scheibenförmigen werkstück
JP6258080B2 (ja) * 2014-03-07 2018-01-10 株式会社ディスコ 保護テープ剥離装置
TWI797154B (zh) * 2018-01-31 2023-04-01 日商三星鑽石工業股份有限公司 膜剝離機構及基板裂斷系統

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4166920B2 (ja) * 2000-02-24 2008-10-15 リンテック株式会社 シート剥離装置および方法
JP2006012971A (ja) * 2004-06-23 2006-01-12 Harmotec Corp 保護テープ剥離装置
JP2007110014A (ja) * 2005-10-17 2007-04-26 Lintec Corp シート剥離装置及び剥離方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP2009060039A (ja) 2009-03-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI398916B (zh) 用以剝離電子組件的方法及設備
JP5273791B2 (ja) 基板への接着テープ貼り付け装置
JP5117934B2 (ja) マウント装置及びマウント方法
JP2004153159A (ja) 半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置
EP2631938A1 (en) Sheet adhesion device and adhesion method
CN110802509B (zh) 保护部件形成装置
JP4839284B2 (ja) 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法
KR101744371B1 (ko) 시트 부착 장치 및 부착 방법
KR101747485B1 (ko) 시트 부착 장치 및 부착 방법
KR20200000547A (ko) 기판 박리장치
JP2008153597A (ja) 半導体ウエハのダイシングテープ貼り付け方法及び装置
JP5261308B2 (ja) 押圧装置
KR102558075B1 (ko) 시트 박리 장치 및 박리 방법
EP1458014A1 (en) Daf tape adhering apparatus and method
JP2009071145A (ja) 半導体ウエハ等の板状部材のダイシングテープ貼付け方法及び装置
JP2011109006A (ja) シート貼付装置およびシート貼付方法
JP2002353296A (ja) ウェハの保護テープ剥離装置およびウェハのマウント装置
TWI750250B (zh) 黏著帶貼附方法及黏著帶貼附裝置
JP5973203B2 (ja) シート貼付装置および貼付方法
JP5869245B2 (ja) シート貼付装置及びシート貼付方法並びに転写装置
CN108933094B (zh) 分离装置及分离方法
JP2012038880A (ja) シート貼付装置及び貼付方法
TW201533784A (zh) 密封片貼附方法
JP5570271B2 (ja) マウント装置およびマウント方法
KR102501353B1 (ko) 지지 장치 및 지지 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20090717

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20100723

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20110913

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20111003

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20141007

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent (=grant) or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees