JP4839284B2 - 半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法 - Google Patents
半導体ウエハ等の板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法及び保護シート剥離方法 Download PDFInfo
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保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、を有することを特徴する。
Claims (5)
- ダイシング対象となる板状部材のダイシングの前工程にて、板状部材の一面に貼付した板状部材保護用の保護シートの表面にこの保護シートを剥がすための接着テープを取り付ける方法において、
保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に前記板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、を有することを特徴する板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。 - 請求項1において、
短冊状の前記接着テープは、短冊状に切断する装置から前記真空チャックに、接着テープの粘着面に部分接触するキャリアに保持されて移され、前記真空チャックに前記接着テープを載置する工程で前記真空チャックの真空吸着力を利用して該接着テープを前記キャリアから離すようにしてある板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。 - 請求項1において、
前記ダイシングシート貼付装置は、前記板状部材のダイシングシート被接着面と前記ダイシングシートの接着面とを対面させて、真空中で、移動機構を介して前記板状部材をダイシングシートの接着面に向けて相対的に移動させて前記板状部材を前記ダイシングシートに押し付けることでダイシングシートの貼付を行う装置である板状部材の保護シート剥離用接着テープの取り付け方法。 - 板状部材の一面に貼付した保護シートを接着テープの接着力を利用して板状部材表面から剥す板状部材の保護シート剥離方法において、
保護シート剥離用の接着テープを短冊状に切断し、その短冊状の接着テープの一端に折り返し部を形成する工程と、
ダイシングシートを前記板状部材のもう一方の面に貼付する工程に際して、ダイシングシート貼付装置に前記板状部材をセットする前に、短冊状に切断された前記接着テープを、前記ダイシングシート貼付装置に用いる板状部材支持用の真空チャックに載置し且つ前記折り返し部は前記真空チャックの外に出した状態にする工程と、
その後に前記板状部材を前記ダイシングシート貼付装置にセットすることにより、前記真空チャックと前記板状部材の前記保護シートの表面との間に短冊状の前記接着テープをその粘着面を保護シート側に向けて介在させて、該接着テープを前記保護シートに貼り付け且つ前記折り返し部は保護シート外に出した状態にする工程と、
前記保護シートに貼り付けた前記接着テープの折り返し部を摘まんで前記接着テープと共に前記保護シートを板状部材表面から剥がす工程と、を有することを特徴とする板状部材の保護シート剥離方法。 - 請求項4において、
前記保護シートを剥がす工程において前記接着テープの折り返し部を摘まむ機構は、前記保護シートを引き剥がすのに必要な回動動作と直線移動を行う機構により構成されている板状部材の保護シート剥離方法。
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