JP2014152287A - 粘着シートの貼着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい粘着シートの貼着方法を提供することである。
【解決手段】 基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図4
【解決手段】 基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
本発明は、ウエーハ等の板状物に粘着シートを貼着する粘着シートの貼着方法に関する。
例えば、ウエーハの裏面研削に際して表面に形成されたデバイスを保護する目的で、ウエーハの表面に特開平5−198542号公報に開示されるような表面保護シートを貼着してから、ウエーハの裏面研削を実施している。
また、ウエーハのダイシングに際して、ダイシングによって形成された個々のデバイスチップのハンドリングを容易にするためにも、ウエーハは粘着シートであるダイシングテープに貼着されてダイシングされる。
ところで、ウエーハに貼着された粘着シートにウエーハとの間に空気が残存すると、次のような様々な問題が生じる。即ち、ウエーハの研削に際してその表面に表面保護シートを貼着した場合には、表面保護シートとウエーハとの間に空気が残存すると、ウエーハの高さが局所的にばらつくため、研削仕上げ厚みが一様にならない。
また、ウエーハの裏面をダイシングテープに貼着してウエーハをダイシングする場合には、ダイシングテープとウエーハとの間に空気が残存すると、ダイシング時の切り込み深さがばらつくとともに、残存した空気によって局所的にダイシングテープがウエーハに貼着されていない部分において、ダイシング時にチップ飛びが発生する等の問題が生じる。
従来は、ウエーハのような板状物に粘着シートを貼着するには、特開平6−177243号公報に開示されるように、板状物の一端から他端に向かって粘着シートを貼着する方法が広く採用されている。
しかし、特開平6−177243号公報に開示されたような板状物の一端から他端に向かって粘着シートを貼着する貼着方法では、貼着開始時に粘着シートと板状物の間に形成された気泡の空気が抜けるためには、ウエーハの一端から他端まで気泡が移動しなければならず、空気が抜けにくい。従って、板状物と粘着シートとの間に空気が残存し易いという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい粘着シートの貼着方法を提供することである。
本発明によると、基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、を備えたことを特徴とする粘着シートの貼着方法が提供される。
好ましくは、粘着シートの貼着方法は、板状物貼着ステップを実施した後、粘着シートを枠体から剥離する剥離ステップを更に備えている。
本発明の粘着シートの貼着方法では、板状物の上方に粘着シートを枠体で支持した状態から板状物の中央部から外周側に向かって粘着シートが貼着される。従って、貼着開始時に粘着シートと板状物との間に気泡が形成されたとしても、板状物の略半分の距離を気泡が移動すれば空気が抜けるため、板状物と粘着シートとの間に空気が残存しにくい。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1を参照すると、枠体配設ステップを示す斜視図が示されている。図2は図1のII−II線断面図である。
作業テーブル12上に枠体10を載置し、枠体10の中に板状物であるウエーハ11を載置する。枠体10は略正方形状をしており、図2を参照すると明らかなように、枠体10はウエーハ11の厚みより厚い厚みを有している。
枠体10の少なくとも上面(被貼着面)は、微細凹凸構造を有しているか或いはテフロン(登録商標)コーティング等がされていて、粘着シートSの剥離性がよい状態に構成されていることが好ましい。
ウエーハ11は、その表面11aに複数の分割予定ライン(ストリート)13が格子状に形成されており、分割予定ライン13で区画された各領域にデバイス15が形成されている。
枠体配設ステップ実施後、図3に示すように、枠体10の上面に粘着シートSを貼着する粘着シート貼着ステップを実施する。粘着シートSは、ポリオレフィン(PO)又はポリエチレン塩化ビニル(PVC)等によって形成された基材14上に糊層16が一様に塗付されて構成されている。
枠体配設ステップ及び粘着シート貼着ステップの変形例として、枠体配設ステップを実施する前に、枠体10の上面に粘着シートSを貼着する粘着シート貼着ステップを実施した後、枠体配設ステップを実施しても良い。
粘着シート貼着ステップ実施後、図4に示すように、枠体10に貼着された粘着シートSの糊層16とウエーハ11が対面した状態で、ウエーハ11の中央部にローラー18を押し当て、ウエーハ11の中央部から外周側に向かって矢印R方向(放射方向)にローラー18を転動することにより、粘着シートSをウエーハ11の表面11aに貼着する。
図5に示すように、放射方向を変えて、即ち周方向において複数回放射状にローラー18を転動して粘着シートSの貼着を繰り返すことにより、粘着シートSの全面をウエーハ11に貼着する。
ウエーハ11を粘着シートSに貼着するウエーハ貼着ステップ実施後、図6に示すように、枠体10を矢印A方向に移動して枠体10を粘着シートSから取り外し、粘着シートSをウエーハ11の外周に沿ってカットする。
ウエーハ11の表面11aに粘着シートSが貼着されているため、粘着シートSは表面保護テープとして機能する。よって、この状態で研削装置に投入して、ウエーハ11の裏面11bを研削してウエーハ11を所望の厚みに薄化することができる。
図7を参照すると、他の枠体10Aの斜視図が示されている。このように枠体104は連続した部材でなくてもよく、複数個所で切断されていてもよい。
図8に示すように、枠体としてウエーハのダイシング時に使用する環状フレームFを使用するようにしてもよい。この場合には、環状フレームFに粘着シート(ダイシングテープ)Sの外周部を貼着して、ウエーハ11の裏面11bを粘着シートSに貼着する。
ウエーハ貼着後に、表裏を反転すると図9に示すような状態となり、この状態でダイシング装置に投入して、ダイシング装置の切削ブレードによりウエーハ11の分割予定ライン13を切削して、ウエーハ11を個々のデバイスチップ15に分割することができる。
本発明の粘着シートの貼着方法によると、図3に示すようにウエーハ11の上方に粘着シートSを枠体10で支持した状態から、図4及び図5に示すように、粘着シートSはウエーハ11の中央部から外周側に向かって貼着される。
従って、貼着開始時に粘着シートSとウエーハ11との間に気泡が形成されたとしても、ウエーハ11の略半分の距離を気泡が移動すれば空気が抜けるため、ウエーハ11と粘着シートSとの間に空気が残存しにくく、研削仕上げ厚みを一様にできるとともに、ダイシング時の切り込み深さを一定に維持することができる。
上述した実施形態では、板状物としてウエーハ11を採用し、ウエーハ11に粘着シートSを貼着する例について説明したが、板状物はウエーハ11に限定されるものではなく、セラミックス基板、ガラス基板等の他の板状物にも本発明の貼着方法を適用することができる。
10 枠体
11 ウエーハ
12 作業テーブル
S 粘着シート
14 基材
16 糊層
18 ローラー
F 環状フレーム
11 ウエーハ
12 作業テーブル
S 粘着シート
14 基材
16 糊層
18 ローラー
F 環状フレーム
Claims (3)
- 基材と該基材上に形成された糊層とからなる粘着シートを板状物に貼着する粘着シートの貼着方法であって、
板状物の外周側に該板状物より厚い厚みを有する枠体を配設する枠体配設ステップと、
該枠体の上面に該粘着シートを貼着する粘着シート貼着ステップと、
該枠体に貼着された該粘着シートの該糊層と該板状物とが対面した状態で、該板状物の中央部から外周側に向かって放射状に該粘着シートを貼着することを放射方向を変えて複数回実施して、該板状物に該粘着シートを貼着する板状物貼着ステップと、
を備えたことを特徴とする粘着シートの貼着方法。 - 前記板状物貼着ステップを実施した後、前記粘着シートを前記枠体から剥離する剥離ステップを更に備えた請求項1記載の粘着シートの貼着方法。
- 前記枠体は、中央に板状物を収容する開口を備えた環状フレームから構成される請求項1記載の粘着シートの貼着方法。
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