JP4152295B2 - テープ貼付装置 - Google Patents
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- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 claims description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 claims description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 2
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 claims description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 claims description 2
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
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- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
上記テープ貼付装置において、前記第1乃至第3の気圧切換手段によって、前記第1の気密空間、前記第2の気密空間、前記第3の気密空間をそれぞれ真空にした後、前記第1の気密空間を大気圧に切り換え、前記第1の弾性シートを前記第2の気密空間側に変形させ、前記板状物に前記テープを当接させて貼り付け、前記第3の気密空間を大気圧に切り換え、前記第2の弾性シートを前記第2の気密空間側に変形させ、前記第2の弾性シートを前記テープに当接させることができる。
また、前記容器は、外部から前記弾性シートに前記板状物を載置できるように、前記第2の気密空間を分離可能とすることができる。
ここで、前記第1の弾性シート及び前記第2の弾性シートの材料として、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴムを用いることができる。
2 第1の真空開口
3 第1の真空弁
4 ウェハー
5 ダイシング用テープ
6 第1のゴムシート
7 上蓋
8 第2の気密空間
9 第3の気密空間
10 第2の真空開口
11 第2の真空弁
12 リング
13 第4の気密空間
14 第3の真空開口
15 第3の真空弁
16 ダイシングフレーム
17 フレーム台
18 第2のゴムシート
19 ウェハーガード
20 基台
21 溝
22 凸凹の電極部分
Claims (5)
- 内部に気密空間を有する容器を備え、
前記気密空間は、第1の気密空間と、該第1の気密空間の上方に位置する第2の気密空間と、該第2の気密空間の上方に位置する第3の気密空間とを備えるテープ貼付装置において、
前記第1の気密空間と前記第2の気密空間とに仕切り、板状物を前記第2の気密空間側に載置する第1の弾性シートと、
前記第2の気密空間と前記第3の気密空間とに仕切る第2の弾性シートと、
前記第2の気密空間に取り付けられ、前記第1の弾性シートに載置された前記板状物から所定距離隔てるようにテープを支持するテープ支持部材と、
前記第1乃至第3の気密空間をそれぞれ真空乃至大気圧に切り換える第1乃至第3の気圧切換手段とを備え、
前記第1乃至第3の気圧切換手段によって、前記第1の気密空間、前記第2の気密空間、前記第3の気密空間をそれぞれ真空にした後、前記第1の気密空間、前記第2の気密空間、前記第3の気密空間相互に気圧差を与えることにより、前記第1の弾性シートと前記第2の弾性シートとを変形させ、前記板状物に前記テープを貼り付けることを特徴とするテープ貼付装置。 - 前記第1乃至第3の気圧切換手段によって、前記第1の気密空間、前記第2の気密空間、前記第3の気密空間をそれぞれ真空にした後、前記第1の気密空間を大気圧に切り換え、前記第1の弾性シートを前記第2の気密空間側に変形させ、前記板状物に前記テープを当接させて貼り付け、前記第3の気密空間を大気圧に切り換え、前記第2の弾性シートを前記第2の気密空間側に変形させ、前記第2の弾性シートを前記テープに当接させることを特徴とする請求項1記載のテープ貼付装置。
- 前記第1の弾性シートには、その中央部に前記板状物を位置決めするための位置決め部材が設けられていることを特徴とする請求項1または2記載のテープ貼付装置。
- 前記容器は、外部から前記弾性シートに前記板状物を載置できるように、前記第2の気密空間を分離可能とすることを特徴とする請求項1、2または3記載のテープ貼付装置。
- 前記第1の弾性シート及び前記第2の弾性シートは、エチレンプロピレンゴム、ブチルゴム、フッ素ゴム、シリコンゴム、ネオプレンゴムから選択される材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のテープ貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003362967A JP4152295B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | テープ貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003362967A JP4152295B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | テープ貼付装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005129678A JP2005129678A (ja) | 2005-05-19 |
JP2005129678A5 JP2005129678A5 (ja) | 2008-04-10 |
JP4152295B2 true JP4152295B2 (ja) | 2008-09-17 |
Family
ID=34642421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003362967A Expired - Fee Related JP4152295B2 (ja) | 2003-10-23 | 2003-10-23 | テープ貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4152295B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4559122B2 (ja) * | 2004-05-25 | 2010-10-06 | 有限会社都波岐精工 | テープ接着装置およびテープ接着方法 |
JP4848153B2 (ja) * | 2005-08-10 | 2011-12-28 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP2008153597A (ja) * | 2006-12-20 | 2008-07-03 | Hitachi Setsubi Eng Co Ltd | 半導体ウエハのダイシングテープ貼り付け方法及び装置 |
JP4733069B2 (ja) * | 2007-05-22 | 2011-07-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP2009071145A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Hitachi Setsubi Eng Co Ltd | 半導体ウエハ等の板状部材のダイシングテープ貼付け方法及び装置 |
JP4812131B2 (ja) * | 2008-04-18 | 2011-11-09 | Necエンジニアリング株式会社 | 基板貼り合わせ装置 |
JP5261308B2 (ja) * | 2009-07-24 | 2013-08-14 | リンテック株式会社 | 押圧装置 |
JP5660821B2 (ja) * | 2010-08-06 | 2015-01-28 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP5649125B2 (ja) * | 2011-07-01 | 2015-01-07 | Necエンジニアリング株式会社 | テープ貼付装置 |
JP6130264B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-05-17 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及びシート貼付方法 |
JP6388331B2 (ja) * | 2014-07-14 | 2018-09-12 | Necプラットフォームズ株式会社 | テープ貼付装置及びテープ貼付治具 |
JP7109844B1 (ja) * | 2022-04-18 | 2022-08-01 | 大宮工業株式会社 | 転写装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4022306B2 (ja) * | 1998-03-03 | 2007-12-19 | 不二越機械工業株式会社 | ウェーハの接着方法及び接着装置 |
JP2003007808A (ja) * | 2001-06-20 | 2003-01-10 | Mighty Engineering:Kk | 真空に依る、ウエハーテープ貼り機 |
-
2003
- 2003-10-23 JP JP2003362967A patent/JP4152295B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2005129678A (ja) | 2005-05-19 |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110711 Year of fee payment: 3 |
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