JP4221271B2 - テープ貼付装置 - Google Patents
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Description
さらに、前記テープ保持部材は、前記真空室内の所定箇所に前記天井部に向けて移動可能に載置され、前記押圧手段は、前記テープ及び板状物を前記天井部に向けて移動させるのに伴って、前記テープ保持部材を、前記真空室内の所定箇所に載置されている状態から上昇させ、前記テープの前記板状物との貼り付け面と反対側の面を前記真空室の天井部へ押圧することができる。
また、前記押圧手段は、前記保持面に第1の弾性体を備え、前記真空室は、前記天井部に第2の弾性体を備えるように構成することができる。これによれば、弾性体を介して板状物を押圧するため、板状物の表面を損傷することもない。
2 第2の気密空間
3 第1の真空開口
4 第1の電磁弁
5 第1のゴムシート
6 上蓋
7 第1のリング
8 第3の気密空間
9 第2の真空開口
10 第2の電磁弁
11 ダイシング用テープ
12 テープフレーム
13 半導体基板
14 ピストン
15 第2のリング
16 基台
16a 段部
16b 溝
17 第2のゴムシート
18 配管
19 配管
Claims (6)
- テープ貼り付け面に凹凸を有する板状物にテープを貼り付けるためのテープ貼付装置であって、
前記板状物と前記テープとを収容する真空室と、
該真空室内で前記テープを保持するテープ保持部材と、
前記真空室内で前記板状物を保持するとともに、前記板状物の前記テープ貼り付け面を前記テープに押圧し、さらに、前記板状物を保持する保持面を前記真空室の天井部に向けて移動自在に構成された押圧手段と、
前記真空室を加圧雰囲気に移行させる圧力調整手段とを備え、
前記真空室内を真空状態に保持しつつ、前記押圧手段によって前記板状物の前記テープ貼り付け面を前記テープに押圧することにより、前記板状物に前記テープを貼り付けるとともに、該テープによって前記板状物の凹部を閉口した後、
前記テープ及び板状物を前記天井部に向けて移動させ、前記テープの前記板状物との貼り付け面と反対側の面を前記真空室の天井部へ押圧し、
その後、前記圧力調整手段によって前記真空室内を加圧雰囲気に移行させることにより、該真空室内と前記板状物の凹部との間に差圧を生じさせて前記テープを前記板状物の凹部に向けて押圧し、該板状物の凹部に空間が生じないように前記テープを貼り付けることを特徴とするテープ貼付装置。 - 前記テープ保持部材は、前記真空室内の所定箇所に前記天井部に向けて移動可能に載置され、
前記押圧手段は、前記テープ及び板状物を前記天井部に向けて移動させるのに伴って、前記テープ保持部材を、前記真空室内の所定箇所に載置されている状態から上昇させ、前記テープの前記板状物との貼り付け面と反対側の面を前記真空室の天井部へ押圧することを特徴とする請求項1記載のテープ貼付装置。 - 前記押圧手段は、前記保持面に第1の弾性体を備え、
前記真空室は、前記天井部に第2の弾性体を備えることを特徴とする請求項1又は2記載のテープ貼付装置。 - 前記第1の弾性体及び前記第2の弾性体は、シート状に形成されることを特徴とする請求項3記載のテープ貼付装置。
- 前記押圧手段は、前記板状物を保持する保持面と反対側の部分が気密空間内に露出し、該気密空間の圧力と前記真空室の圧力差によって該押圧手段を前記テープ保持部材に向けて移動させることにより、前記板状物の前記テープ貼り付け面を前記テープに押圧することを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のテープ貼付装置。
- 前記圧力調整手段は、前記真空室に連通する管路と、該管路を真空ポンプまたは大気と連通させる切換弁を備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載のテープ貼付装置。
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