JP2011022403A - ワーク貼合方法、およびワーク貼合装置 - Google Patents

Abstract

【課題】貼合面にプリント配線などの突起がある場合でも、一対のワークを確実に貼合して貼合不良を解消し、貼合体製品の歩留まりを向上できるワーク貼合方法を提供する。
【解決手段】貼合面にプリント配線Ｓが形成してある第１ワークＷ１と、機能性シートからなる第２ワークＷ２を貼合対象とする。真空チャンバー２の内部には、第１貼合台４と、プレス膜６を備えた第２貼合台５とを対向配置する。第１貼合台４に第１ワークＷ１を装着し、第２ワークＷ２をプレス膜６で吸着固定する。真空チャンバー２を閉鎖し、両ワークＷ１・Ｗ２を所定の接合隙間を介して対向させ、真空チャンバー２内の空気を排気する。作動室１４に加圧空気を供給し、第２ワークＷ２を膨張するプレス膜６で第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合する。プレス膜６による加圧を停止した後、真空チャンバー２に加圧空気を送給して、第２ワークＷ２を加圧空気で第１ワークＷ１に押し付けて２次貼合する。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば液晶基板やプラズマディスプレイ基板などの基板に、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルムなどの機能性シートを貼合するのに好適なワーク貼合方法とワーク貼合装置に関する。

本発明の貼合方法においては、プレス膜で片方のワークを他方のワークに押し付けて貼合を行なうが、この種の貼合形態は特許文献１に公知である。そこでは、上側の貼合テーブルにゴム製のエアーバッグを設けておき、予め下側のテーブルに載置した一対のワークに膨張したエアーバッグを押し付けて貼合を行なう。

本発明の貼合方法においては、真空チャンバー内で一対のワークを貼合するが、この種の貼合形態は特許文献２に公知である。そこでは、真空チャンバーの内部に貼合対象となるワークを支持する上下一対のステージを対向配置し、真空チャンバー内を減圧した状態で一対のワークを貼合する。貼合されるワークは、各ステージに設けた静電チャックで吸着保持されており、可動側のステージを固定側のステージに押し付けて貼合を行なう。

特開２００１−２５５５４０号公報（段落番号００１５、図３） 特許第４１６６６０７号公報（段落番号００３１、図１）

特許文献１の貼合装置によれば、エアーバッグをワークの中央部から周縁へ向かって押し付けて、両ワークの間の空気を外縁側へ向かって押し出すことができる。しかし、大気中で貼合を行なうので両ワークの間に空気をかみ込むのを避けられず、さらに、空気をかみ込んだ貼合製品は、電気炉内で加熱した状態で数気圧の気圧をかけて抜気する必要があり、貼合製品の歩留まりを向上するうえで障害になっている。

その点、特許文献２の貼合装置では、減圧された真空チャンバー内で一対のワークを貼合するので、空気のかみ込みを解消できる。しかし、一対のワークの貼合面の全体を同時に押し付けて貼合するので、基板の表面に接続端子や信号線などのプリント配線が形成してある場合などに、確実に貼合できないことがある。貼合面にプリント配線などの突起がある場合には、突起の周縁に臨むシート面が貼合面から浮き離れるからである。また、各ワークをコストの高い静電チャックで吸着保持するので、貼合装置の全体コストが嵩むのを避けられない不利もある。

本発明の目的は、貼合面にプリント配線などの突起があるような場合でも、一対のワークを確実に貼合して、貼合体製品の歩留まりを向上できるワーク貼合方法とワーク貼合装置を提供することにある。本発明の目的は、より簡単な構造でワークを吸着保持して正確に貼合でき、従来装置に比べて貼合設備の導入に要するコストを削減し、貼合製品を低コスト化できるワーク貼合装置を提供することにある。

本発明のワーク貼合方法においては、貼合面の一部に突起Ｓを有する第１ワークＷ１と、機能性シートからなる第２ワークＷ２を、以下の各工程を経て貼合する。第１ワークＷ１を第１貼合台４に装着し、第２貼合台５の作動室１４に真空圧を供給して第２ワークＷ２をプレス膜６で吸着固定する工程。真空チャンバー２を閉鎖し、第１貼合台４と第２貼合台５を所定の接合隙間を介して対向させ、真空チャンバー２内を排気する工程。第２貼合台５の作動室１４に加圧空気を供給してプレス膜６を膨張させ、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合する工程。作動室１４への加圧空気の供給を停止して、第２ワークＷ２をプレス膜６から分離し、真空チャンバー２の内部に供給した加圧空気で第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて２次貼合する工程。

本発明のワーク貼合装置においては、第１ワークＷ１が、貼合面に突起Ｓ（図８参照）を有する基板で形成されており、第２ワークＷ２が機能性シートで形成されている。真空チャンバー２と、真空源３と、圧力源７とを備えている。真空チャンバー２の内部に、第１ワークＷ１を支持する第１貼合台４と、第２ワークＷ２を吸着固定するプレス膜６を備えた第２貼合台５とを配置する。真空チャンバー２に、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の接合隙間を調整する駆動構造１１を設ける。プレス膜６は、作動室１４の開口面を覆う状態で第２貼合台５に固定されて、膜面に一群の通気口１８が開口してある。真空チャンバー２の内部と、前記作動室１４とは、それぞれ真空源３、および圧力源７に対して、通路２１・２２・２３・３３および切換弁２４・２８・３２・３４を介して接続する。真空チャンバー２内を減圧した状態で、加圧空気を作動室１４に供給して、プレス膜６で第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付ける１次貼合動作と、真空チャンバー２内に加圧空気を供給して、第２ワークＷ２を加圧空気で第１ワークＷ１に押し付ける２次貼合動作とを行なうことを特徴とする。

真空チャンバー２は、チャンバー本体２Ａと、チャンバー本体２Ａに揺動開閉可能に連結されるチャンバー蓋体２Ｂとで構成する。チャンバー本体２Ａの内部に、第１貼合台４と、駆動構造１１の出力部１２を設ける。チャンバー蓋体２Ｂの内部に、プレス膜６を備えた第２貼合台５を配置する。

本発明においては、真空チャンバー２内の真空環境下で、第２ワークＷ２をプレス膜６で第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合するようにした。さらに、プレス膜６による加圧を停止した後、真空チャンバー２に加圧空気を送給して、第２ワークＷ２を加圧空気で第１ワークＷ１に押し付けて２次貼合するようにした。このように、両ワークＷ１・Ｗ２を真空環境下で１次貼合すると、両者の貼合面どうしを密着して封止し、以後の貼合過程において貼合面に空気が侵入するのを確実に防止できる。さらに、加圧空気を第２ワークＷ２の表面に直接作用させて２次貼合することにより、第２ワークＷ２の表面の全体を加圧空気で均等に押圧して、プレス膜６では押圧できなかった部分を押圧できる。つまり、貼合面に存在する突起Ｓの周りに臨むシート面を加圧空気で押し付けて、突起Ｓの表面に密着させることができる。

したがって、本発明の貼合方法によれば、貼合面にプリント配線などの突起Ｓがある場合でも、一対のワークＷ１・Ｗ２を確実に貼合して、貼合体製品の歩留まりを向上できる。また、作動室１４に供給した加圧空気でプレス膜６を膨張させて、第２ワークＷ２を中央部から周縁部へ向かって第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合するので、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合面に空気をかみ込む余地がなく、電気炉内で抜気処理する必要がない分だけ、貼合製品のコストを削減できる。さらに、第２ワークＷ２をプレス膜６の外面に真空吸着するので、ワークを静電チャックで吸着保持する貼合形態に比べて、貼合設備の導入に要するコストや、ランニングコストを大幅に削減できる。

本発明の貼合装置によれば、作動室１４に供給した加圧空気でプレス膜６を膨張させて、第２ワークＷ２を中央部から周縁部へ向かって第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合するので、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合面に空気をかみ込む余地がない。また、加圧空気を第２ワークＷ２の表面に直接作用させて２次貼合するので、第２ワークＷ２の表面の全体を加圧空気で均等に押圧して、プレス膜６では押圧できなかった部分を押圧できる。結果、貼合面に存在する突起Ｓの周りに臨むシート面を加圧空気で押し付けて、突起Ｓの表面に密着でき、貼合面にプリント配線などの突起Ｓがある場合でも、一対のワークＷ１・Ｗ２を確実に貼合して、貼合体製品の歩留まりを向上できる。電気炉内で抜気処理する必要がない分だけ、貼合製品のコストを削減できる利点もある。第２ワークＷ２をプレス膜６の外面に真空吸着するので、ワークを静電チャックで吸着保持する貼合形態に比べて、貼合設備の導入に要するコストや、ランニングコストを大幅に削減できる。加えて、両ワークＷ１・Ｗ２の１次貼合動作と２次貼合動作とを真空チャンバー２内で連続して行なうので、空気のかみ込みを排除できるのはもちろん、それ以外の異物が貼合面に挟み込まれるのを防止して、高品質の貼合製品を提供できる。

チャンバー本体２Ａおよびチャンバー蓋体２Ｂの内部に、第１貼合台４と出力部１２、およびプレス膜６を備えた第２貼合台５を配置すると、両ワークＷ１・Ｗ２の装着から、プレス膜６による１次貼合、加圧空気による２次貼合を円滑に行なって、貼合処理を能率よく行なえる。また、チャンバー蓋体２Ｂをチャンバー本体２Ａに対して揺動開閉することにより真空チャンバー２を開放し、あるいは閉鎖できるので、各ワークＷ１・Ｗ２の各貼合台４・５に対する装着や、貼合体の取り出しを簡便に行なえる。

ワーク貼合装置の縦断側面図である。 チャンバー蓋体を開放した状態の縦断側面図である。 チャンバー蓋体の貼合面を示す平面図である。 図３におけるＡ−Ａ線断面図である。 真空チャンバーを閉鎖した状態の縦断側面図である。 第１貼合台を貼合位置まで上昇させた状態の縦断側面図である。 プレス膜を膨張させた１次貼合状態の縦断側面図である。 ワークの貼合状態を概念的に示す断面図である。 ２次貼合状態を示す縦断側面図である。 ２次貼合時のワークの貼合状態を概念的に示す断面図である。

図１ないし図１０は本発明に係るワーク貼合装置の実施例を示す。図１においてワーク貼合装置は、基台１の上部に設けられる真空チャンバー２と、真空チャンバー２内の空気を排気する真空ポンプ（真空源）３と、真空チャンバー２の内部に配置される第１貼合台４および第２貼合台５と、加圧ポンプ（圧力源）７などで構成する。第１貼合台４の側に第１ワークＷ１が固定され、第２貼合台５に設けたプレス膜６に第２ワークＷ２が吸着固定される。

第１ワークＷ１は、液晶基板、あるいはプラズマディスプレイ基板などのガラス基板からなり、その貼合面にはプリント配線（突起）Ｓ（図８参照）が形成してある。第２ワークＷ２は、偏光シート、反射防止フィルム、電磁波シールドフィルム、紫外線シールドフィルム、保護シートなどの、プラスチックシート、あるいはプラスチックフィルムを基材とする機能性シートからなる。機能性シートの貼合面には、透明な接着剤層が全面にわたって形成してある。第１ワークＷ１はプラスチック基板、あるいはフィルム基板で形成してあってもよい。

真空チャンバー２は、上向きに開口する箱構造のチャンバー本体２Ａと、チャンバー本体２Ａに対して揺動軸９で揺動開閉可能に連結したチャンバー蓋体２Ｂとで構成する。チャンバー蓋体２Ｂは図示していないエアーシリンダーで開閉操作されて、チャンバー本体２Ａの開口を閉じる状態と、閉じ位置から１８０度反転する開放状態とに開閉できる。両者２Ａ・２Ｂの接合面には、真空チャンバー２のチャンバー内部空間を封止するシール体１０が周回状に設けてある。

チャンバー本体２Ａは基台１に固定してあり、その内部に第１貼合台４と、駆動構造１１の出力部１２とが設けてある。駆動構造１１は、ステップモーター（またはサーボモーター）とボールねじなどで構成されて、先の出力部１２を介して第１貼合台４を第２貼合台５へ向かって精密に昇降変位し、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の接合隙間を調整する。左右一対の出力部１２は、チャンバー本体２Ａに設けたスライドブッシュ１３で案内支持してある。

チャンバー蓋体２Ｂの内面の凹部には第２貼合台５が固定してある。第２貼合台５の第１貼合台４との対向面には、作動室１４が下向きに開口する状態で凹み形成してあり、その開口面の全体を覆う状態でプレス膜６が第２貼合台５に固定してある。作動室１４は真空ポンプ３および加圧ポンプ７に対して接続するが、その詳細は後述する。作動室１４は、第２ワークＷ２の各辺部に沿って徐々に中央部へ近づく四角渦巻状の溝で構成してあり、その中央部の溝端に後述する第２通路２２が連通してある。

プレス膜６は、膜面の全面にわたって通気口１８が開口してあるふっ素樹脂製のシートからなり、その周縁が四角形の押え枠１９で第２貼合台５に固定してある。通気口１８は、直径寸法が数ｍｍの丸穴からなり、プレス膜６の全面にわたって一定間隔おきに形成してある。自由状態におけるプレス膜６は、図４に示すように作動室１４の溝開口の周縁壁で受け止められて平坦になっており、この状態において大半の通気口１８が作動室１４に臨んでいる。

真空チャンバー２の内部は、チャンバー本体２Ａの周壁から導出される第１通路（通路）２１を介して真空ポンプ３と接続してある。また、作動室１４は、チャンバー蓋体２Ｂの上壁から導出される第２通路（通路）２２を介して加圧ポンプ７に接続され、さらに、第２通路２２から分岐される第３通路（通路）２３と、第１通路２１を介して真空ポンプ３と接続されている。

第１通路２１の中途部には、第１切換弁（切換弁）２４と、負圧センサー２５と、大気開放弁２６とが設けてある。第２通路２２の中途部には、第２切換弁（切換弁）２８と、負圧センサー２９と、大気開放弁３０とが設けてある。第３通路２３は、第２切換弁２８と負圧センサー２９との間の第２通路２２と、真空ポンプ３と第１切換弁２４との間の第１通路２１とを連通しており、その中途部に第３切換弁（切換弁）３２が設けてある。真空チャンバー２の内部は，第１通路２１から分岐した第４通路３３を介して、加圧ポンプ７と第２切換弁２８との間の第２通路２２に接続されており、その中途部に第４切換弁（切換弁）３４が設けてある。

第１〜第４の各切換弁２４・２８・３２・３４は、第１〜第４の各通路２１・２２・２３・３３を遮断する状態と、通気可能な状態とに切り換える電磁弁からなる。これらの切換弁２４・２８・３２・３４を切り換えることにより、真空チャンバー２の内部に真空圧、あるいは加圧空気を作用させることができ、同様に作動室１４に真空圧、あるいは加圧空気を作用させることができる。大気開放弁２６・３０は電磁弁からなり、開状態と閉状態に切り換えることができる。

以上のように構成した貼合装置は、１次貼合過程と２次貼合過程とを経て、第１ワークＷ１と第２ワークＷ２を貼合する。まず、チャンバー蓋体２Ｂを開放した状態で、第１貼合台４の上面に第１ワークＷ１を載置し、その周縁を図示していない位置決め具で位置決めし固定する。次に、チャンバー蓋体２Ｂのプレス膜６の吸着面に第２ワークＷ２を載置して、位置決め治具で位置決めする。この状態で、図２に示すように、第３切換弁３２を通気可能な状態にして、真空ポンプ３の真空圧を作動室１４に供給し、第２ワークＷ２をプレス膜６で吸着固定する。このとき、第１切換弁２４と第２切換弁２８とは通路２１・２２を遮断する状態に切り換えておく。位置決め治具は、第２ワークＷ２がプレス膜６で吸着されたのちに第２貼合台５から取り外す。

貼合準備が終了したのち、図５に示すように、チャンバー蓋体２Ｂをチャンバー本体２Ａの開口面に被せ付けて真空チャンバー２を閉鎖し、図示していないロック構造でチャンバー蓋体２Ｂをチャンバー本体２Ａにロック固定する。この状態の第１ワークＷ１と第２ワークＷ２とは、充分に大きな隙間を介して上下に対向している。次に、図６に示すように駆動構造１１を起動して第１貼合台４を第２貼合台５へ向かって接近上昇させ、両ワークＷ１・Ｗ２の対向隙間を貼合に適した隙間（貼合隙間）に設定する。両ワークＷ１・Ｗ２の貼合隙間は、０．１〜１ｍｍの範囲で設定することが好ましい。

上記の状態で、第１通路２１の切換弁２４を通気可能な状態に切り換えて、真空ポンプ３で真空チャンバー２内の空気を排気する。真空チャンバー２内の排気が終了したことを負圧センサー２５・２９からの出力信号で確認したのち、図７に示すように、第３通路２３の第３切換弁３２を遮断状態に切り換えて、作動室１４に対する真空圧の供給を停止する。この時点で、第２ワークＷ２は吸着力から開放される。

第３切換弁３２が遮断状態に切り換わるのと同時に、第２通路２２の第２切換弁２８を通気状態に切り換えて、加圧空気を作動室１４に供給する。これに伴ないプレス膜６は図７に示すように下向きに膨張して、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて両者を１次貼合する。作動室１４に加圧空気を供給した直後のプレス膜６は、その中央部分が他に先行して下向きに膨張し、膨張する領域が周縁部分へと拡大する。そのため、第２ワークＷ２は第１ワークＷ１に対して中央部から周縁部へと貼合される。したがって、何らかの理由で両ワークＷ１・Ｗ２の間にごく低圧の空気が残っていたとしても、空気を強制的にワーク周縁部から押し出して貼合できる。このときの加圧空気の圧力は約５気圧であり、数秒間加圧状態を維持する。１次貼合時には、加圧空気の一部が通気口１８から真空チャンバー２内に吹き出されるので、これを排気するために、第１通路２１の第１切換弁２４は、１次貼合する間はもちろん、１次貼合が終了したのちも数秒間だけ通気可能な状態にして、真空チャンバー２内の空気を排気し続ける。

１次貼合が終了した時点、すなわち、第２ワークＷ２の周縁部分を第１ワークＷ１に貼合し終わってから数秒間が経過したのち、第１切換弁２４および第２切換弁２８を遮断状態に切り換え（図９参照）、同時に第２通路２２の大気開放弁３０を開放状態にする。これにより、加圧空気が大気開放弁３０から放出されて作動室１４内が大気圧となり、プレス膜６が平坦な状態に復帰して第２ワークＷ２から分離する。次に、第４切換弁３４を通気状態に切り換えて、加圧空気を真空チャンバー２内に供給する。このとき、真空チャンバー２内に供給される加圧空気の圧力は、１次貼合時に作動室１４に供給する圧力と同じ５気圧である。

図８に示すように、１次貼合が終了した時点では、第２ワークＷ２はプリント配線Ｓの断面両側において第１ワークＷ１の貼合面から浮き離れている。しかし、１次貼合を減圧環境下で行なうので、両ワークＷ１・Ｗ２の間の隙間には空気は存在しない。したがって、上記のように、加圧空気を真空チャンバー２内に供給すると、第２ワークＷ２が加圧空気で直接的に第１ワークＷ１の表面に押し付けられ、真空チャンバー２の内部で２次貼合が行なわれる。このように、加圧空気を第２ワークＷ２の表面に直接作用させると、プレス膜６で第２ワークＷ２を押圧する場合とは異なり、第２ワークＷ２の表面の全体を加圧空気で均等に押圧することができる。その結果、先の隙間に臨む第２ワークＷ２のシート面は、隙間を埋めるように押し付けられ、図１０に示すようにプリント配線Ｓの表面に密着する。

最後に、第４切換弁３４を遮断状態に切り換えたのち、第１通路２１の大気開放弁２６を開放状態にして、真空チャンバー２の内部を大気圧状態にし、チャンバー蓋体２Ｂを開放して、貼合体を第１貼合台４から取り出す。以後、上記の手順を繰り返し行なうことにより、一対のワークＷ１・Ｗ２を確実に貼合して、貼合体製品の歩留まりを向上することができる。また、第１貼合台４で第１ワークＷ１を支持し、プレス膜６の押圧面で第２ワークＷ２を吸着保持して貼合を行なうので、静電チャックで両ワークを吸着する必要があった従来の貼合装置に比べて、貼合設備の導入に要するコストを削減し、貼合製品を低コスト化できる。さらに、減圧環境下でプレス膜６を膨張させて、第２ワークＷ２を中央部分から周縁部分へと第１ワークＷ１に貼合するので、空気をかみ込む余地のない状態で的確に貼合を行なえる。なお、プレス膜６をふっ素樹脂で形成するのは、両ワークＷ１・Ｗ２を加熱環境下で貼合する際に、１次貼合後の第２ワークＷ２をプレス膜６から容易に分離させるためである。

以上の説明から明らかな通り、本発明のワーク貼合方法においては、貼合面の一部に突起Ｓを有する第１ワークＷ１と、機能性シートからなる第２ワークＷ２を、以下の過程を経て貼合する。
第１ワークＷ１を第１貼合台４に装着し、第２貼合台５の作動室１４に真空圧を作用させて、第２ワークＷ２をプレス膜６で吸着固定する工程と、
真空チャンバー２を閉鎖し、第１貼合台４と第２貼合台５を所定の接合隙間を介して対向させ、真空チャンバー２内を排気する工程と、
第２貼合台５の作動室１４に加圧空気を供給してプレス膜６を膨張させ、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合する工程と、
作動室１４への加圧空気の供給を停止して、第２ワークＷ２をプレス膜６から分離し、真空チャンバー２の内部に供給した加圧空気で第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて２次貼合する工程とを経て両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する。

本発明のワーク貼合方法によれば、第１ワークＷ１の貼合面にプリント配線Ｓなどの突起が形成してある場合に、とくに好適な貼合結果が得られるが、貼合面が平坦なワークどうしを貼合する場合にも、同様に好適な貼合結果を得ることができる。

ワーク貼合体は、貼合面の一部に突起Ｓを有する基板からなる第１ワークＷ１と、機能性シートからなる第２ワークＷ２との貼合体であって、減圧環境下において、第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付けて１次貼合したのち、加圧環境下において、加圧空気で第２ワークＷ２を第１ワークＷ１に押し付ける２次貼合を経て得られる。

上記の実施例では第１ワークＷ１と第２ワークＷ２の貼合隙間を所定量に調整したのち、真空チャンバー２内の空気を真空ポンプ３で排気したが、その必要はなく、真空チャンバー２内の空気を真空ポンプ３で排気したのちに、両ワークＷ１・Ｗ２の貼合隙間を調整することができる。また、チャンバー蓋体２Ｂの側に設けた駆動構造１１で第２貼合台５を操作して、貼合隙間を調整することができる。チャンバー本体２Ａの内部に設けたアライメント台で第１貼合台４を支持し、両者の間にアライメント装置を設けて、プレス膜６に吸着した第２ワークＷ２を基準にして、両ワークＷ１・Ｗ２の位置決めを自動的に行なうことができる。第２貼合台５と同様に、第１貼合台４に作動室を設けておいて、第１ワークＷ１を真空圧で吸着固定することができる。

作動室１４は、渦巻き状の溝で形成する必要はなく、格子状の溝や、直線列状の溝群などで構成することができる。要は、真空圧や加圧空気をプレス膜６に対して同時に作用できる構造であればよい。チャンバー蓋体２Ｂは、垂直軸回りに揺動開閉するように構成することができる。必要があれば、チャンバー本体２Ａに対して連結されていないチャンバー蓋体２Ｂを、蓋合わせ状に接合して真空チャンバー２を閉鎖することができる。常温環境で両ワークＷ１・Ｗ２を貼合する場合のプレス膜６は、ふっ素樹脂で形成する必要はなく、ゴムで形成することができる。

２ 真空チャンバー
２Ａ チャンバー本体
２Ｂ チャンバー蓋体
３ 真空源（真空ポンプ）
４ 第１貼合台
５ 第２貼合台
６ プレス膜
７ 圧力源（加圧ポンプ）
１１ 駆動構造
１２ 出力部
１４ 作動室
２１・２２・２３・３３ 通路
２４・２８・３２・３４ 切換弁

Claims (3)

1. 貼合面の一部に突起（Ｓ）を有する第１ワーク（Ｗ１）と、機能性シートからなる第２ワーク（Ｗ２）を貼合する貼合方法であって、
   第１ワーク（Ｗ１）を第１貼合台（４）に装着し、第２貼合台（５）の作動室（１４）に真空圧を供給して第２ワーク（Ｗ２）をプレス膜（６）で吸着固定する工程と、
   真空チャンバー（２）を閉鎖し、第１貼合台（４）と第２貼合台（５）を所定の接合隙間を介して対向させ、真空チャンバー（２）内を排気する工程と、
   第２貼合台（５）の作動室（１４）に加圧空気を供給してプレス膜（６）を膨張させ、第２ワーク（Ｗ２）を第１ワーク（Ｗ１）に押し付けて１次貼合する工程と、
   作動室（１４）への加圧空気の供給を停止して、第２ワーク（Ｗ２）をプレス膜（６）から分離し、真空チャンバー（２）の内部に供給した加圧空気で第２ワーク（Ｗ２）を第１ワーク（Ｗ１）に押し付けて２次貼合する工程とを含むことを特徴とするワーク貼合方法。
2. 第１ワーク（Ｗ１）が、貼合面に突起（Ｓ）を有する基板で形成されており、第２ワーク（Ｗ２）が機能性シートで形成されており、
   真空チャンバー（２）と、真空源（３）と、圧力源（７）とを備えており、
   真空チャンバー（２）の内部に、第１ワーク（Ｗ１）を支持する第１貼合台（４）と、第２ワーク（Ｗ２）を吸着固定するプレス膜（６）を備えた第２貼合台（５）とが配置されており、
   真空チャンバー（２）に、第１ワーク（Ｗ１）と第２ワーク（Ｗ２）の接合隙間を調整する駆動構造（１１）が設けられており、
   プレス膜（６）は、作動室（１４）の開口面を覆う状態で第２貼合台（５）に固定されて、膜面に一群の通気口（１８）が開口されており、
   真空チャンバー（２）の内部と、前記作動室（１４）とは、それぞれ真空源（３）、および圧力源（７）に対して、通路（２１・２２・２３・３３）および切換弁（２４・２８・３２・３４）を介して接続されており、
   真空チャンバー（２）内を減圧した状態で、加圧空気を作動室（１４）に供給して、プレス膜（６）で第２ワーク（Ｗ２）を第１ワーク（Ｗ１）に押し付ける１次貼合動作と、
   真空チャンバー（２）内に加圧空気を供給して、第２ワーク（Ｗ２）を加圧空気で第１ワーク（Ｗ１）に押し付ける２次貼合動作とを行なうワーク貼合装置。
3. 真空チャンバー（２）が、チャンバー本体（２Ａ）と、チャンバー本体（２Ａ）に揺動開閉可能に連結されるチャンバー蓋体（２Ｂ）とで構成されており、
   チャンバー本体（２Ａ）の内部に、第１貼合台（４）と、駆動構造（１１）の出力部（１２）が設けられており、
   チャンバー蓋体（２Ｂ）の内部に、プレス膜（６）を備えた第２貼合台（５）が配置されている請求項２に記載のワーク貼合装置。

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