JP5451432B2 - ワーク貼合装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、貼合面にプリント配線などの突起や凹部があるような場合でも、2次貼合を行なって一対のワークを確実に貼合できる貼合装置を提供することにある。
本発明の目的は、定盤を定盤駆動構造で昇降操作する貼合装置において、真空チャンバーの減圧に要する時間を大幅に短縮でき、さらに2次貼合時に定盤駆動構造に過大な負荷が掛かるのを解消してその構造を簡素化し、全体コストを削減できる貼合装置を提供することにある。
第1ワークW1を第1定盤4に吸着固定し、第2定盤5のプレス体6に第2ワークW2を吸着固定する工程と、
真空チャンバー2を閉鎖し、定盤駆動構造14で第1定盤4を移動操作して第1ワークW1と第2ワークW2を所定の接合隙間を介して対向させ、第1チャンバー21および第2チャンバー22内を減圧する工程と、
第2定盤5のプレス体6に加圧空気を作用させて、第2ワークW2を第1ワークW1に押し付けて1次貼合する工程と、
プレス体6への加圧空気の作用を停止して、第2ワークW2をプレス体6から分離し、第1チャンバー21と第2チャンバー22に加圧空気を供給して、第2ワークW2を加圧空気で第1ワークW1に押し付けて2次貼合する工程とを経て両ワークW1・W2を貼合する。
2A チャンバー本体
2B チャンバー蓋体
3 真空源(真空ポンプ)
4 第1定盤
5 第2定盤
6 プレス体
7 圧力源(コンプレッサー)
11 吸着室
14 定盤駆動構造
15 出力部
17 作動室
Claims (4)
- 真空チャンバー(2)の内部に、第1ワーク(W1)を吸着保持する第1定盤(4)と、第2ワーク(W2)を吸着保持し、かつ、第1定盤(4)へ向かって押圧するプレス体(6)を備えた第2定盤(5)とが配置されており、
真空チャンバー(2)の内部を減圧した状態で、第2ワーク(W2)をプレス体(6)で第1ワーク(W1)に押し付けて1次貼合し、さらに、真空チャンバー(2)の内部に加圧空気を供給して2次貼合を行なうワーク貼合装置であって、
真空チャンバー(2)の内部が、真空チャンバー(2)といずれか一方の定盤(4)との間に設けたシール体(20)で、第1チャンバー(21)と第2チャンバー(22)とに区分されており、
1次貼合を行なう際に、第1チャンバー(21)と第2チャンバー(22)のそれぞれに真空源(3)の真空圧を作用させて減圧することを特徴とするワーク貼合装置。 - 第1定盤(4)と第2定盤(5)のいずれか一方を移動操作して、第1ワーク(W1)と第2ワーク(W2)の接合隙間を調整する定盤駆動構造(14)が真空チャンバー(2)に設けられており、
2次貼合時に、第1チャンバー(21)と第2チャンバー(22)に加圧空気を作用させて、定盤駆動構造(14)に作用する加圧負荷を軽減する請求項1に記載のワーク貼合装置。 - 真空チャンバー(2)の内部に、第1定盤(4)と第2定盤(5)とが上下に対向する状態で配置されており、
第1定盤(4)は、真空チャンバー(2)を構成するチャンバー本体(2A)に対して、両者(2A・4)の間に確保されるスライド隙間(E1)を介して近接配置されており、
チャンバー本体(2A)と第1定盤(4)との間のスライド隙間(E1)に配置したシール体(20)で、第1チャンバー(21)と第2チャンバー(22)とが上下に区分してある請求項2に記載のワーク貼合装置。 - 真空チャンバー(2)が、チャンバー本体(2A)と、チャンバー本体(2A)の出し入れ口(8)を開閉するチャンバー蓋体(2B)とで構成されており、
チャンバー蓋体(2B)をチャンバー本体(2A)に接合して出し入れ口(8)を閉止した状態における第1定盤(4)と第2定盤(5)との対向隙間(E2)が、
第1ワーク(W1)と第2ワーク(W2)の合計厚みと、定盤駆動構造(14)で設定される両ワーク(W1・W2)間の貼合隙間と、余裕隙間とを加えた値に設定してある請求項2または3に記載の貼合装置。
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