JP2009294551A - ワーク貼合装置 - Google Patents
ワーク貼合装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009294551A JP2009294551A JP2008149945A JP2008149945A JP2009294551A JP 2009294551 A JP2009294551 A JP 2009294551A JP 2008149945 A JP2008149945 A JP 2008149945A JP 2008149945 A JP2008149945 A JP 2008149945A JP 2009294551 A JP2009294551 A JP 2009294551A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- work
- workpiece
- bonding
- diaphragm
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】真空チャンバー2の内部に、ワークホルダー8を支持するテーブル4と、貼合ダイヤフラム5を設ける。ワークホルダー8は、貼合台22と、第1・第2の両ワークW1・W2を所定の対向隙間をあけた状態で支持するワーク保持構造23を備えている。貼合ダイヤフラム5は、貼合台22の側へ向かって突弧状に膨張変形できる金属製のダイヤフラム膜14と、圧力室15を備えている。真空チャンバー2内の空気を真空源3で排気し、圧力室15に作動流体を供給してダイヤフラム膜14を膨張変形させた状態でテーブル4を駆動して、第2ワークW2を第1ワークW1に対して中央部分から周辺部へ向かって貼合する。
【選択図】図1
Description
3 真空源
4 テーブル
5 貼合ダイヤフラム
6 テーブル駆動構造
14 ダイヤフラム膜
15 圧力室
16 圧力供給源
22 貼合台
23 ワーク保持構造
W1 第1ワーク
W2 第2ワーク
Claims (5)
- 真空チャンバー(2)と、真空チャンバー(2)内の空気を排気する真空源(3)とを備えており、
真空チャンバー(2)の内部に、ワークホルダー(8)を支持するテーブル(4)と、貼合ダイヤフラム(5)と、テーブル(4)を貼合ダイヤフラム(5)に向かって押し付け操作するテーブル駆動構造(6)の出力部(7)とが設けられており、
ワークホルダー(8)は、第1ワーク(W1)が載置される貼合台(22)と、第2ワーク(W2)を第1ワーク(W1)に対して所定の対向隙間をあけた状態で支持する複数個のワーク保持構造(23)とを備えており、
貼合ダイヤフラム(5)は、貼合台(22)の側へ向かって突弧状に膨張変形できる金属製のダイヤフラム膜(14)を備えていて、ダイヤフラム膜(14)の内部に設けた圧力室(15)が圧力供給源(16)に連通されており、
真空チャンバー(2)内の空気を真空源(3)で排気し、前記圧力室(15)に作動流体を供給してダイヤフラム膜(14)を膨張変形させた状態で、テーブル(4)をテーブル駆動構造(6)で押し付け操作して、第2ワーク(W2)を第1ワーク(W1)に対して中央部分から周辺部へ向かって貼合することを特徴とするワーク貼合装置。 - 真空チャンバー(2)が、固定チャンバー体(10)と、固定チャンバー体(10)に対して開閉可能に設けられる可動チャンバー体(11)とで構成されており、
可動チャンバー体(11)の内部に貼合ダイヤフラム(5)が固定してある請求項1に記載のワーク貼合装置。 - 第1ワーク(W1)および第2ワーク(W2)の4周辺部に臨んでワーク保持構造(23)が配置されており、
ワーク保持構造(23)が、保持枠(24)と、保持枠(24)で進出ないし退入自在に支持される金属製のボール(25)と、ボール(25)を進出付勢するばね(26)を含んで構成されており、
前記ボール(25)は、第1ワーク(W1)および第2ワーク(W2)の周縁に同時に接当して、両ワーク(W1・W2)を位置決めしており、
保持枠(24)が、テーブル(4)に固定した保持ベース(21)で上下スライド自在に支持されて、ばね(30)で押し上げ付勢してある請求項1または2に記載のワーク貼合装置。 - 圧力供給源(16)が、加圧された作動油を圧力室(15)に供給する油圧シリンダー(33)と、油圧シリンダー(33)のピストンロッド(34)を往復スライド操作するピストン操作機構(35)と、ピストン操作機構(35)のスライド体(43)を動作変換機構を介してスライド駆動するステッピングモーター(36)と、ステッピングモーター(36)の作動状態を制御する制御回路(37)と、圧力室(15)の油圧圧力を検知する圧力センサー(38)とで構成されており、
圧力センサー(38)から出力される検知信号を制御回路(37)にフィードバックして、ステッピングモーター(36)の作動状態を制御する請求項1から3のいずれかに記載のワーク貼合装置。 - 圧力供給源(16)が、加圧された作動油を圧力室(15)に供給する油圧シリンダー(33)と、油圧シリンダー(33)のピストンロッド(34)を往復操作するエアーシリンダー(47)と、エアーシリンダー(47)に供給される圧縮空気の圧力を制御する電空レギュレータ(48)と、電空レギュレータ(48)の作動状態を制御する制御回路(37)と、圧力室(15)の油圧圧力を検知する圧力センサー(38)とで構成されており、
圧力センサー(38)から出力される検知信号を制御回路(37)にフィードバックして、電空レギュレータ(48)の作動状態を制御する請求項1から3のいずれかに記載のワーク貼合装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008149945A JP5062897B2 (ja) | 2008-06-06 | 2008-06-06 | ワーク貼合装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008149945A JP5062897B2 (ja) | 2008-06-06 | 2008-06-06 | ワーク貼合装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009294551A true JP2009294551A (ja) | 2009-12-17 |
JP5062897B2 JP5062897B2 (ja) | 2012-10-31 |
Family
ID=41542765
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008149945A Active JP5062897B2 (ja) | 2008-06-06 | 2008-06-06 | ワーク貼合装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5062897B2 (ja) |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011158737A (ja) * | 2010-02-02 | 2011-08-18 | Climb Products Co Ltd | ワーク貼合装置 |
KR101337549B1 (ko) * | 2011-11-23 | 2013-12-06 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 합착장치 |
CN103778857A (zh) * | 2012-10-25 | 2014-05-07 | 三星显示有限公司 | 用于制造柔性显示装置的设备和方法 |
DE102012222056A1 (de) | 2012-12-03 | 2014-06-05 | Tesa Se | Lamination starrer Substrate mit dünnen Klebebändern |
JP2014129189A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス積層体の製造方法 |
JP2014520065A (ja) * | 2011-07-05 | 2014-08-21 | ルオヤン ランドグラス テクノロジー カンパニー リミテッド | 真空ガラス封着方法及び装置 |
KR101610754B1 (ko) | 2015-05-14 | 2016-04-11 | 이득영 | 곡면유리 성형용 금형 |
KR101610755B1 (ko) | 2015-05-14 | 2016-04-11 | 이득영 | 곡면유리 성형용 금형 |
KR20160043685A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
KR20160043686A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
JP2016151646A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | クライムプロダクツ株式会社 | 表示パネルの貼合装置、および貼合方法 |
KR101820015B1 (ko) | 2017-08-07 | 2018-01-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 |
TWI625240B (zh) * | 2012-02-01 | 2018-06-01 | Asahi Glass Co Ltd | 積層體之製造方法及製造裝置 |
CN109633945A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-04-16 | 信利半导体有限公司 | 一种显示模组的全贴合方法 |
CN110265692A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-20 | 十堰隆深机器人有限公司 | 一种真空贴合防移位装置 |
JP2020179628A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 新光エンジニアリング株式会社 | ワーク貼合装置 |
CN114566095A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-31 | 深圳市八零联合装备有限公司 | 一种贴合装置 |
US20220285176A1 (en) * | 2021-03-04 | 2022-09-08 | Kioxia Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method |
US11458716B2 (en) | 2019-03-22 | 2022-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Lamination apparatus and method of manufacturing display device using the same |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10186335A (ja) * | 1996-10-23 | 1998-07-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法及びその製造装置 |
JPH10275852A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体基板の接着方法および接着装置 |
JPH11245163A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハの接着方法及び接着装置 |
JP2001166272A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 基板の組立方法とその装置 |
JP2001282124A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Minolta Co Ltd | 表示パネルの製造方法及び装置 |
JP2002313688A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Toshiba Corp | ウェーハ接着装置 |
JP2003145712A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-21 | Hitachi Industries Co Ltd | スクリーン印刷機 |
JP2004153159A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | 半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置 |
JP2005202431A (ja) * | 2000-11-30 | 2005-07-28 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造システム |
JP2008027930A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 陽極接合装置 |
JP2008119898A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Nichigo Morton Co Ltd | フィルム状樹脂積層装置およびそれを用いたフィルム状樹脂積層方法 |
-
2008
- 2008-06-06 JP JP2008149945A patent/JP5062897B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10186335A (ja) * | 1996-10-23 | 1998-07-14 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 液晶パネルの製造方法及びその製造装置 |
JPH10275852A (ja) * | 1997-03-31 | 1998-10-13 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体基板の接着方法および接着装置 |
JPH11245163A (ja) * | 1998-03-03 | 1999-09-14 | Fujikoshi Mach Corp | ウェーハの接着方法及び接着装置 |
JP2001166272A (ja) * | 1999-12-09 | 2001-06-22 | Hitachi Techno Eng Co Ltd | 基板の組立方法とその装置 |
JP2001282124A (ja) * | 2000-03-31 | 2001-10-12 | Minolta Co Ltd | 表示パネルの製造方法及び装置 |
JP2005202431A (ja) * | 2000-11-30 | 2005-07-28 | Fujitsu Ltd | 貼合せ基板製造システム |
JP2002313688A (ja) * | 2001-04-16 | 2002-10-25 | Toshiba Corp | ウェーハ接着装置 |
JP2003145712A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-05-21 | Hitachi Industries Co Ltd | スクリーン印刷機 |
JP2004153159A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Enzan Seisakusho:Kk | 半導体ウェハの保護部材貼着方法及びその装置 |
JP2008027930A (ja) * | 2006-07-18 | 2008-02-07 | Shinko Electric Ind Co Ltd | 陽極接合装置 |
JP2008119898A (ja) * | 2006-11-09 | 2008-05-29 | Nichigo Morton Co Ltd | フィルム状樹脂積層装置およびそれを用いたフィルム状樹脂積層方法 |
Cited By (26)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011158737A (ja) * | 2010-02-02 | 2011-08-18 | Climb Products Co Ltd | ワーク貼合装置 |
KR101612803B1 (ko) * | 2011-07-05 | 2016-04-15 | 루오양 랜드글라스 테크놀로지 컴퍼니 리미티드 | 진공 유리 밀봉 방법 및 장치 |
JP2014520065A (ja) * | 2011-07-05 | 2014-08-21 | ルオヤン ランドグラス テクノロジー カンパニー リミテッド | 真空ガラス封着方法及び装置 |
KR101337549B1 (ko) * | 2011-11-23 | 2013-12-06 | 엘아이지에이디피 주식회사 | 합착장치 |
TWI625240B (zh) * | 2012-02-01 | 2018-06-01 | Asahi Glass Co Ltd | 積層體之製造方法及製造裝置 |
CN103778857A (zh) * | 2012-10-25 | 2014-05-07 | 三星显示有限公司 | 用于制造柔性显示装置的设备和方法 |
KR101767565B1 (ko) * | 2012-10-25 | 2017-08-14 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 |
DE102012222056A1 (de) | 2012-12-03 | 2014-06-05 | Tesa Se | Lamination starrer Substrate mit dünnen Klebebändern |
JP2014129189A (ja) * | 2012-12-28 | 2014-07-10 | Nippon Electric Glass Co Ltd | ガラス積層体の製造方法 |
KR20160043685A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
KR20160043686A (ko) * | 2014-10-14 | 2016-04-22 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
KR101676474B1 (ko) | 2014-10-14 | 2016-11-14 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
KR101697488B1 (ko) | 2014-10-14 | 2017-02-01 | 안성룡 | 곡면형상 기판에 플렉서블 소재를 합착하는 장치 |
JP2016151646A (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-22 | クライムプロダクツ株式会社 | 表示パネルの貼合装置、および貼合方法 |
WO2016132582A1 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | クライムプロダクツ株式会社 | 表示パネルの貼合装置、および貼合方法 |
KR101610754B1 (ko) | 2015-05-14 | 2016-04-11 | 이득영 | 곡면유리 성형용 금형 |
KR101610755B1 (ko) | 2015-05-14 | 2016-04-11 | 이득영 | 곡면유리 성형용 금형 |
KR101820015B1 (ko) | 2017-08-07 | 2018-01-19 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉서블 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 플렉서블 표시 장치의 제조 방법 |
CN109633945A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-04-16 | 信利半导体有限公司 | 一种显示模组的全贴合方法 |
US11458716B2 (en) | 2019-03-22 | 2022-10-04 | Samsung Display Co., Ltd. | Lamination apparatus and method of manufacturing display device using the same |
JP2020179628A (ja) * | 2019-04-26 | 2020-11-05 | 新光エンジニアリング株式会社 | ワーク貼合装置 |
JP7272639B2 (ja) | 2019-04-26 | 2023-05-12 | 新光エンジニアリング株式会社 | ワーク貼合装置 |
CN110265692A (zh) * | 2019-06-19 | 2019-09-20 | 十堰隆深机器人有限公司 | 一种真空贴合防移位装置 |
CN110265692B (zh) * | 2019-06-19 | 2023-10-13 | 湖南隆深氢能科技有限公司 | 一种真空贴合防移位装置 |
US20220285176A1 (en) * | 2021-03-04 | 2022-09-08 | Kioxia Corporation | Semiconductor manufacturing apparatus and semiconductor manufacturing method |
CN114566095A (zh) * | 2021-12-30 | 2022-05-31 | 深圳市八零联合装备有限公司 | 一种贴合装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5062897B2 (ja) | 2012-10-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5062897B2 (ja) | ワーク貼合装置 | |
JP4870046B2 (ja) | 板ガラスの貼合方法およびその装置 | |
KR101849656B1 (ko) | 디스플레이 장치의 제조방법, 디스플레이 장치의 제조장치 | |
JP5344870B2 (ja) | ワーク貼合装置 | |
CN102209621B (zh) | 贴合装置以及贴合方法 | |
JP6022425B2 (ja) | ワークを湾曲状に貼合する貼合装置、および貼合方法 | |
CN112248607A (zh) | 一种贴合装置及贴合方法 | |
JP3542956B2 (ja) | 液晶パネル用基板の貼り合わせ装置 | |
JP5177909B2 (ja) | 基板貼合装置 | |
CN106002053A (zh) | 一种手机天线焊接辅助定位机 | |
JP2003311842A (ja) | タッチパネル、フィルム貼付け装置及びその方法 | |
CN108582957B (zh) | 贴合装置及贴合方法 | |
CN111725088A (zh) | 贴膜机 | |
JP2005165159A (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
CN213423635U (zh) | 一种显示器双工位膜片贴合机 | |
JP5451432B2 (ja) | ワーク貼合装置 | |
KR102396892B1 (ko) | 이간 장치 및 이간 방법 | |
KR102064727B1 (ko) | 시트 부착 장치 및 장치의 대형화 방지 방법 | |
JP5973203B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP3848942B2 (ja) | 基板の組立方法およびその装置 | |
JP2013140261A (ja) | 貼合方法及び装置 | |
CN112103372B (zh) | 柔性板压式太阳电池组件层压机及层压方法 | |
CN213861218U (zh) | 一种膜料贴合装置 | |
KR20130057363A (ko) | 합착장치 | |
CN217381185U (zh) | 一种产品保压装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100803 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120419 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120509 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120705 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120801 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120806 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5062897 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150817 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |