JP2001282124A - 表示パネルの製造方法及び装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 パネル素子を積層して表示パネルを製造する
際に、隣り合うパネル素子を該両パネル素子間から脱気
して密着させ、皺よりの抑制された状態で精度よく貼り
合わせでき、それだけ良好な画像表示を行える表示パネ
ルの製造方法及び装置を提供する。 【解決手段】 パネル素子ｃ１とｃ２を各々保持するた
めのステージ１００と２００と、ステージ１００、２０
０を接近離反させるためのステージ駆動装置３００と、
ステージ１００、２００間から排気減圧するステージ間
排気装置５００とを備えており、ステージ２００は中央
吸気孔２０１ａ及び外側吸気孔２０１ｂを有し、それら
吸気孔から吸気することでパネル素子ｃ２を吸着保持す
るステージであり、吸気孔２０１ａには排気装置６００
が、吸気孔２０１ｂには排気装置７００が連接されてお
り、各排気装置６００、７００には吸気孔２０１ａ、２
０１ｂへ外気を導入する開閉電磁弁６４０、７４０が含
まれている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は画像を表示する表示
パネルの製造方法及び装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】画像表示パネルには、液晶表示パネル、
エレクトロルミネッセンス表示パネル、これらを組み合
わせた表示パネル等種々のものがある。

【０００３】かかる画像表示パネルには一層のパネル素
子からなるものもあるが、複数層のパネル素子を積層し
たものもある。

【０００４】例えば、カラー画像を表示する表示パネル
では、異なる色の画像表示を行う複数のパネル素子を積
層して形成されるものがある。

【０００５】フルカラー画像表示を行う液晶表示パネル
では、例えば青色（ブルー）表示を行うパネル素子、緑
色（グリーン）表示を行うパネル素子及び赤色（レッ
ド）表示を行うパネル素子を積層してフルカラー画像表
示が可能な表示パネルを形成することがある。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】いずれにしても、この
ように複数のパネル素子を積層して画像表示パネルを形
成する場合、所望の画像表示を行えるように各隣り合う
パネル素子を相互に貼り合わせることが要求される。す
なわち、所望の画像表示を行えるように、例えば各隣り
合うパネル素子を相互に位置合わせして貼り合わせるこ
と、密着させて貼り合わせること、皺等が生じないよう
に貼り合わせること等のうち少なくとも一つが要求され
る。

【０００７】本発明は画像を表示する表示パネルを形成
するためのパネル素子を積層して表示パネルを製造する
方法及び装置であって、隣り合うパネル素子が精度良く
位置合わせされた状態で貼り合わされ、それだけ良好な
画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネルの製
造方法及び装置を提供することを課題とする。

【０００８】また本発明は、画像を表示する表示パネル
を形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製
造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素子を該
両パネル素子間から脱気して密着させ、皺よりの無い状
態で貼り合わせることができ、それだけ良好な画像表示
を行える表示パネルが得られる表示パネルの製造方法及
び装置を提供することを課題とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は次の画像表示パ
ネルの製造方法を提供する。すなわち、画像を表示する
表示パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示
パネルを製造する方法であり、第１ステージに第１パネ
ル素子を保持させる工程と、第２ステージに第２パネル
素子を保持させる工程と、第１及び第２のステージに保
持された第１及び第２のパネル素子を互いに貼り合わす
べき面が対向するように配置する工程と、第１及び第２
のパネル素子を相互に位置合わせする工程と、互いに貼
り合わすべき第１及び第２のパネル素子の面の少なくと
も一方に接着剤を設ける工程と、相互に位置合わせされ
て第１及び第２のステージに保持され互いに貼り合わす
べき面が対向するように配置された第１及び第２のパネ
ル素子を前記接着剤にて相互に貼り合わせる貼り合わせ
工程とを含み、第２ステージはパネル素子の中央領域を
吸着する中央吸気孔及びパネル素子の前記中央領域より
外側の領域を吸着する外側吸気孔を有し、それら吸気孔
から吸気することでパネル素子を吸着保持するステージ
とされ、前記貼り合わせ工程は、相互に位置合わせされ
て第１及び第２のステージに保持され互いに貼り合わす
べき面が対向するように配置された第１及び第２のパネ
ル素子を両ステージを相対的に接近させることで所定距
離まで相互接近させる接近工程と、接近工程後に第２ス
テージとそれに保持されているパネル素子の中央領域と
の間の気圧を第１及び第２のパネル素子間気圧より相対
的に高圧に設定することで、第２ステージ上のパネル素
子中央領域両面間の気圧差に基づいて第２ステージ上の
パネル素子の中央領域を接着剤を介在させた状態で第１
ステージに保持されているパネル素子に接触させる中央
接触工程と、中央接触工程後に両ステージをさらに相対
的に接近させることで両パネル素子を接着剤を介在させ
た状態で相互に全面的に圧接貼り合わせする圧接工程と
を含んでいる表示パネルの製造方法である。

【００１０】本発明に係る表示パネルの製造方法におけ
る第１及び第２のパネル素子の互いに貼り合わすべき面
のうち少なくとも一方の面に接着剤を設ける工程として
は、予めパネル素子面に接着され、且つ、未だ表面が保
護シートで覆われた両面接着シート（シートはテープ状
のものでもよい）から該保護シートを除去して接着剤を
露出させる工程や、パネル素子面に接着剤を手作業で或
いは接着剤塗布装置により塗布する工程を例示できる。
接着剤の設け方は支障がない限り任意である。

【００１１】接着剤を設ける工程は貼り合わせ工程前に
実施する。貼り合わせ工程前であれば支障のない限り、
いずれの段階で実施してもよい。

【００１２】貼り合わせ工程は接着剤が設けられ、両パ
ネル素子が相互に位置合わせされ、互いに貼り合わすべ
き面が対向するように向かい合わされた後に実施する。

【００１３】また第１及び第２のパネル素子の相互位置
合わせは各種手法で行える。例えばそれ自体すでに知ら
れている基板やパネルの位置合わせ手法を用いて行え
る。

【００１４】位置合わせの方法として次の方法を例示で
きる。 （１）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、
いずれか一方のステージに一方のパネル素子を保持さ
せ、そのパネル素子上に他方のパネル素子を重ね配置
し、両パネル素子の合わせマークを目視観察又はカメラ
観察しながら該他方のパネル素子を手作業で動かして両
パネル素子の合わせマークを合致させ、その後該他方の
パネル素子を他方のステージに保持させる。 （２）各パネル素子に予め合わせマークを設けておき、
いずれか一方のステージに一方のパネル素子を保持さ
せ、そのパネル素子上又は上方に他方のパネル素子を配
置し、両パネル素子の合わせマークをカメラで観察しな
がら該他方のパネル素子をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かし
て両パネル素子の合わせマークを合致させる。

【００１５】この場合、該他方のパネル素子を保持する
ためのステージがＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいてもよ
い。このときは該他方のパネル素子をそのステージに保
持させてから該パネル素子を位置合わせすべくＸ−Ｙ−
θ駆動すればよい。該他方のパネル素子を保持するため
のステージがＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいないとき
は、位置合わせした該他方のパネル素子を前記一方のパ
ネル素子上に載置したのち、その載置されたパネル素子
を対応するステージに保持させてもよい。

【００１６】なお位置合わせマークは、液晶マーク、エ
レクトロルミネッセンスマーク等として通電により発光
するマークとしてもよい。

【００１７】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置による位置合わせは、
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を手動操作して行ってもよいが、カ
メラで検出されるマーク情報（例えば位置情報等）に基
づいてＸ−Ｙ−θ駆動装置を自動制御することで行って
もよい。後者の場合には基板、パネル等の位置合わせの
ための画像処理法を利用できる。

【００１８】なおＸ−Ｙ−θ駆動装置は、言うまでもな
く、物体を方向Ｘ、これに垂直な方向Ｙに動かすととも
にＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周りに回動させることができ
る装置である。

【００１９】第１ステージによるパネル素子の保持は、
それには限定されないが、代表例として、第１ステージ
に設けた吸気孔から吸気することでパネル素子を吸着保
持する場合を挙げることができる。

【００２０】第２ステージによるパネル素子の保持は、
第２ステージに設けた前記の中央吸気孔及び外側吸気孔
からそれぞれ吸気することでパネル素子を吸着保持す
る。

【００２１】前記貼り合わせ工程では、先ず、両パネル
素子の接近工程を実施し、第１及び第２のパネル素子を
両ステージを相対的に接近させることで所定距離まで相
互接近させる。

【００２２】次いで中央接触工程を実施する。この工程
では、第２ステージとこれに保持された第２パネル素子
の中央領域との間の気圧を第１、第２パネル素子間気圧
より相対的に高圧に設定し、第２パネル素子中央領域両
面間に気圧差を生じさせる。かかる気圧差は種々の方法
で生じさせ得る。

【００２３】例えば、両パネル素子間気圧を大気圧より
低い所定の気圧に設定するとともに、第２ステージの中
央吸気孔からの吸気を絶つとともに該中央吸気孔に外気
を導入して第２ステージとそれに保持されているパネル
素子の中央領域との間の気圧を両パネル素子間気圧より
相対的に高圧に設定する。これにより第２ステージ上の
パネル素子中央領域両面間に気圧差を生じさせる。

【００２４】いずれにしてもパネル素子中央領域両面間
のかかる気圧差に基づいて第２ステージ上パネル素子の
中央領域を撓ませ、接着剤を介在させた状態で第１ステ
ージに保持されているパネル素子に接触させる。かかる
中央領域の撓みにはパネル素子の自重を寄与させてもよ
い。すなわち、気圧差とパネル素子の中央領域を含む部
分の自重とで撓ませてもよい。

【００２５】次いで両パネル素子を全面的に貼り合わせ
る圧接工程が実施される。

【００２６】貼り合わせ工程では両パネル素子を全面的
に貼り合わせるに先立ってこのように両パネル素子の中
央領域が相互に接触せしめられる。これにより両パネル
素子は一挙に強い貼り合わせ衝撃を受けることなく、先
ず貼り合わせ開始状態が穏やかに得られ、両パネル素子
の位置ずれが抑制される。

【００２７】次いで両パネル素子が全面的に圧接貼り合
わせされる。このとき既に中央領域が接触せしめられた
両パネル素子は該中央領域から周囲へ接触領域が次第に
広がるように貼り合わされていき、これにより両パネル
素子間から脱気され、両パネル素子は密着状態で、皺よ
り等が抑制された状態で、精度よく位置合わせされた状
態で貼り合わされる。

【００２８】なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上
あるときは、圧接工程により得られる貼り合わされたパ
ネル素子を前記第１パネル素子とみなすとともに次に貼
り合わすべき１枚のパネル素子を前記第２パネル素子と
みなして実質的に前記各工程を繰り返すことで既に貼り
合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り
合わせていく。

【００２９】前記貼り合わせ工程における両パネル素子
の中央接触工程後の圧接工程では、両パネル素子を円滑
に全面的に圧接貼り合わせするうえで第２ステージの外
側吸気孔からの吸気による吸着を絶つとともに該外側吸
気孔にも外気を導入して第２ステージによるパネル素子
の保持を解放することができる。その場合、圧接工程の
当初から第２ステージの外側吸気孔からの吸気を絶つと
ともに該外側吸気孔にも外気を導入するようにしてもよ
いが、両パネル素子からより確実に脱気するために、両
パネル素子を相互に全面的に圧接貼り合わせしていくと
ともに両パネル素子が接着剤を介して全面的に又は略全
面的に接触したのちに第２ステージの外側吸気孔による
吸着を絶つとともに該外側吸気孔にも外気を導入するよ
うにしてもよい。

【００３０】また、中央接触工程後の圧接工程では当初
から両パネル素子周囲雰囲気圧を周囲の外気圧に戻して
もよいが、両パネル素子間からの脱気をより確実にする
上で、両パネル素子が接着剤を介して全面的に又は略全
面的に接触したのちに外気圧へ戻すようにしてもよい。
勿論、圧接工程完了までのあいだ、両パネル素子周囲雰
囲気圧を前記所定の低圧に維持しておいてもよい。

【００３１】いずれにしても前記両パネル素子の中央接
触工程においては両パネル素子間の気圧を大気圧より低
い所定の気圧に設定する場合、第１及び第２のパネル素
子を保持した第１及び第２のステージ等を含む領域の雰
囲気全体を大気圧より低圧に減圧してもよいが、簡易な
方法として、気密シール用の弾性変形可能のリング部材
で第１及び第２のパネル素子を囲繞するとともに該リン
グ部材を第１及び第２のステージ間に挟着させることで
該両パネル素子周囲に気密室を形成し、該気密室から排
気することで前記両パネル素子間気圧を減じるようにし
てもよい。

【００３２】前記両パネル素子の接近工程による両パネ
ル素子の相互接近距離、並びに前記パネル素子中央領域
両面間の気圧差の程度（例えばこの気圧差を生じさせる
ための両パネル素子の中央接触工程における両パネル素
子間の減圧の程度及び第２ステージの中央吸気孔へ導入
する外気量（リーク量）の程度）は、第２ステージに保
持されるパネル素子の大きさ、弾性等も考慮して、中央
接触工程において前記両パネル素子の中央接触状態が円
滑に得られるように設定すればよい。

【００３３】それには限定されないが、前記接近工程に
おける相互接近距離として概ね１ｍｍ〜２ｍｍ程度を、
第２ステージ上のパネル素子の両側の気圧差として１０
Ｐａ〜３０Ｐａ（略０．０８Ｔｏｒｒ〜０．２３Ｔｏｒ
ｒ）程度を例示できる。

【００３４】また前記中央接触工程における両パネル素
子間の減圧気圧として２０Ｐａ〜３０Ｐａ（略０．１５
Ｔｏｒｒ〜０．２３Ｔｏｒｒ）程度を、第２ステージの
中央吸気孔への外気導入量として、第２ステージ上のパ
ネル素子の両側の気圧差を１０Ｐａ〜３０Ｐａ（略０．
０８Ｔｏｒｒ〜０．２３Ｔｏｒｒ）程度とする量を例示
できる。

【００３５】本発明は前記本発明に係る画像表示パネル
の製造方法を実施するための次の画像表示パネルの製造
装置も提供する。すなわち、画像を表示する表示パネル
を形成するためのパネル素子を積層して表示パネルを製
造する装置であり、一つのパネル素子を保持するための
第１ステージと、もう一つのパネル素子を保持するため
の第２ステージと、第１及び第２のステージをそれらの
パネル素子保持面を対向させて相対的に接近離反させる
ためのステージ駆動装置と、第１及び第２ステージ間か
ら排気減圧するステージ間排気装置とを備えており、第
２ステージはパネル素子の中央領域を吸着する中央吸気
孔及びパネル素子の前記中央領域より外側の領域を吸着
する外側吸気孔を有し、それら吸気孔から吸気すること
でパネル素子を吸着保持するステージであり、該中央吸
気孔には中央吸気孔用の排気装置が、外側吸気孔には外
側吸気孔用の排気装置が連接されており、中央吸気孔用
及び外側吸気孔用の各排気装置には吸気孔へ外気を導入
する装置が含まれている表示パネルの製造装置である。

【００３６】この表示パネルの製造装置によると、互い
に貼り合わすべきパネル素子のうち一方は第１ステージ
に保持させ、他方は第２ステージに保持させる。

【００３７】第１及び第２のステージはパネル素子保持
のための装置を含んでいる。第１ステージについてのか
かる保持装置としては、それには限定されないが、例え
ばステージに設けられ、排気装置に接続されるパネル素
子吸着のための吸気孔を挙げることができる。

【００３８】第２ステージによるパネル素子の保持は、
第２ステージに設けた前記の中央吸気孔及び外側吸気孔
からそれに連接された排気装置でそれぞれ吸気すること
でパネル素子を吸着保持する。

【００３９】そして、第１、第２ステージに第１、第２
パネル素子を保持させて、ステージ駆動装置により第１
及び第２のステージをそれらのパネル素子保持面を対向
させて、換言すればそれらステージに保持されたパネル
素子の互いに貼り合わすべき面を対向させて相対的に接
近させ両パネル素子を所定の距離に接近させる。

【００４０】遅くともこのときにはステージ間排気装置
により第１及び第２ステージ間領域を（従って両パネル
素子間領域を）所定気圧まで排気減圧開始する。また第
２ステージの中央吸気孔に連接された排気装置による排
気を絶つとともに該排気装置中の外気導入装置にて該中
央吸気孔へ外気を導入して第２ステージとそれに保持さ
れているパネル素子の中央領域との間の気圧を両パネル
素子間気圧より相対的に高圧にする。かくして第２ステ
ージ上パネル素子の中央領域の両面間に気圧差を生じさ
せ、該気圧差に基づいて第２ステージ上パネル素子の中
央領域を接着剤を介在させた状態で第１ステージに保持
されているパネル素子に接触させる。

【００４１】その後両ステージをさらに相対的に接近さ
せることで両パネル素子を接着剤を介在させた状態で相
互に全面的に圧接貼り合わせする。

【００４２】パネル素子貼り合わせは上記のように接着
剤を用いて行う。該接着剤は貼り合わせに先立って両パ
ネル素子の互いに貼り合わすべき面のうち少なくとも一
方に、表示パネル製造方法で説明したように設ける。本
発明装置は接着剤の塗布装置を備えていてもよい。

【００４３】また両パネル素子の貼り合わせに先立って
両パネル素子を相互位置合わせする。この位置合わせは
前記表示パネルの製造方法で述べたと同様にして行えば
よい。

【００４４】本発明装置はパネル素子の相互位置合わせ
装置、例えば互いに貼り合わすべき二つのパネル素子を
第１又は第２のステージ上で相互に位置合わせする装置
を備えていてもよい。次の装置を例示できる。 （１）各パネル素子に予め形成された合わせマークを観
察するカメラと、第１及び第２のステージのうちいずれ
か一方のステージに保持させた一方のパネル素子上又は
その上方で他方のパネル素子を両パネル素子の合わせマ
ークを合致させて位置合わせすべく動かすＸ−Ｙ−θ駆
動装置を含む位置合わせ装置、（２）各パネル素子に予
め形成された合わせマークを観察するカメラと、第１及
び第２のステージのうちいずれか一方のステージに保持
させた一方のパネル素子上又はその上方で他方のパネル
素子を動かすＸ−Ｙ−θ駆動装置と、前記カメラからの
合わせマーク情報（例えばその位置情報等）に基づいて
両パネル素子を合わせマークを合致させて位置合わせす
べく該他方のパネル素子を動かすようにＸ−Ｙ−θ駆動
装置の動作を制御する制御部とを備えた位置合わせ装
置。かかる制御部としては、基板やパネル等の位置合わ
せのための画像処理による位置合わせ法を利用したもの
を例示できる。

【００４５】前記ステージ間排気装置はパネル素子を保
持した第１及び第２のステージ等を含む領域の雰囲気全
体を大気圧より低圧に減圧するものでもよいが、簡易な
装置として、第１及び第２のステージの相対的接近によ
り両ステージ間に挟着されて該両ステージとともに両ス
テージ間のパネル素子を囲繞する、前記排気減圧を行う
ための気密室を形成する気密シール用の弾性変形可能の
リング部材を含んでいる排気装置を例示できる。

【００４６】本発明に係る表示パネル製造装置による
と、両パネル素子の貼り合わせにあたっては、両パネル
素子を全面的に貼り合わせるに先立って両パネル素子の
中央領域が相互に接触せしめられる。これにより両パネ
ル素子は一挙に強い貼り合わせ衝撃を受けることなく、
先ず貼り合わせ開始状態が穏やかに得られ、両パネル素
子の位置ずれが抑制される。

【００４７】次いで両パネル素子が全面的に圧接貼り合
わせされる。このとき既に中央領域が接触せしめられた
両パネル素子は該中央領域から周囲へ接触領域が次第に
広がるように貼り合わされていき、これにより両パネル
素子間から脱気され、両パネル素子は密着状態で、皺よ
り等が抑制された状態で、精度よく位置合わせされた状
態で貼り合わされる。

【００４８】なお、貼り合わすべきパネル素子が３以上
あるときは、既に貼り合わされたパネル素子を前記第１
パネル素子とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚の
パネル素子を前記第２パネル素子とみなして実質的に前
記各工程を繰り返すことで既に貼り合わされたパネル素
子に１枚ずつ次のパネル素子を貼り合わせていけばよ
い。

【００４９】両パネル素子の中央領域を接触させた後の
引き続く両パネル素子の圧接貼り合わせでは、両パネル
素子を円滑に全面的に圧接貼り合わせするうえで第２ス
テージの外側吸気孔に連接された排気装置による排気を
絶つとともに該排気装置中の外気導入装置にて該外側吸
気孔へ外気を導入して第２ステージによるパネル素子の
保持を全面的に解放することができる。その場合、両パ
ネル素子の中央領域接触の直後から第２ステージの外側
吸気孔による吸着を絶つとともに該外側吸気孔にも外気
を導入するようにしてもよいが、両パネル素子からより
確実に脱気するために、両パネル素子を相互に全面的に
圧接貼り合わせしていくとともに両パネル素子が接着剤
を介して全面的に又は略全面的に接触したのちに第２ス
テージの外側吸気孔による吸着を絶つとともに該外側吸
気孔にも外気を導入するようにしてもよい。

【００５０】また、両パネル素子の中央領域の接触直後
からステージ間排気装置による減圧操作を止めて両パネ
ル素子間気圧を外気圧に戻してもよいが、両パネル素子
間からの脱気をより確実にする上で、両パネル素子が接
着剤を介して全面的に又は略全面的に接触したのちに外
気圧へ戻すようにしてもよい。勿論、両パネル素子の貼
り合わせ完了までのあいだ、両パネル素子周囲雰囲気圧
を所定の低圧に維持しておいてもよい。

【００５１】前記両パネル素子を中央領域接触に先立っ
て相互接近させるときの両パネル素子の相互接近距離、
並びに前記パネル素子中央領域両面間の気圧差の程度
（例えばこの気圧差を生じさせるための両パネル素子の
中央接触工程における両パネル素子間の減圧の程度及び
第２ステージの中央吸気孔へ導入する外気量（リーク
量）の程度）は、表示パネルの製造方法に関連して既述
したと同様である。

【００５２】本発明に係る装置は、前記ステージ駆動装
置により第１及び第２のステージをそれらのパネル素子
保持面を対向させて相対的に接近させることで両ステー
ジを、換言すればそれらに保持された両パネル素子を予
め定めた距離まで相互接近させたとき該両ステージの相
互接近を一旦停止させるようにステージ駆動装置動作を
制御する一旦停止制御装置と、前記一旦停止制御装置に
より相互接近が一旦停止される第１及び第２のステージ
のうち第２ステージに保持されるパネル素子の中央領域
両面間の気圧差を検出する気圧差検出センサと、前記気
圧差検出センサに検出される気圧差が予め定めた気圧差
に到達すると再び第１及び第２のステージを相互接近さ
せるようにステージ駆動装置動作を制御する一旦停止解
除制御装置とを備えていてもよい。

【００５３】該気圧差検出センサにより検出する第２ス
テージに保持されるパネル素子の中央領域両面間の気圧
差とは、第２ステージとそれに保持されるパネル素子の
中央領域との間の気圧と、第１及び第２ステージ間気圧
（従ってそれらに保持される両パネル素子間領域の気
圧）との差である。

【００５４】気圧差検出センサにより検出されるべき予
め定めた気圧差は、その気圧差に基づいて、第２ステー
ジ上のパネル素子の中央領域が接着剤を介して第１ステ
ージに保持されているパネル素子に接触する気圧差であ
る。換言すれば、かかる予め定めた気圧差が検出される
ことで、第２ステージ上のパネル素子の中央領域が接着
剤を介して第１ステージに保持されているパネル素子に
接触したことを検出できる。

【００５５】気圧差検出センサは、気圧差を直接検出す
るものの他、例えば、第１及び第２ステージ間気圧（従
ってそれらに保持される両パネル素子間領域の気圧）が
予めわかっている場合において、予め定めた気圧差をも
たらす、第２ステージとそれに保持されるパネル素子の
中央領域との間の気圧を検出するセンサや、第２ステー
ジの中央吸気孔への外気導入開始からの時間の計測によ
って、予め定めた気圧差をもたらす、第２ステージとそ
れに保持されるパネル素子の中央領域との間の気圧を検
出するセンサ等でもよい。

【００５６】

【発明の実施の形態】本発明は各種表示パネルの製造に
適用できるが、以下に液晶表示パネルの製造方法及び製
造装置の例について説明する。

【００５７】図１は製造しようとする反射型液晶表示パ
ネルの１例の概略側面図である。

【００５８】この液晶表示パネルＡは、青色（ブルー）
表示を行うパネル素子（以下「Ｂパネル素子」とい
う。）Ｂ、緑色（グリーン）表示を行うパネル素子（以
下「Ｇパネル素子」という。）Ｇ及び赤色（レッド）表
示を行うパネル素子（以下「Ｒパネル素子」という。）
Ｒを積層してフルカラー画像表示を可能としたパネルで
あり、各隣り合うＢパネル素子とＧパネル素子、Ｇパネ
ル素子とＲパネル素子をそれぞれ接着剤Ｎで相互に貼り
合わせたものである。Ｒパネル素子の外面には黒色の光
吸収層ＢＫを設けてある。

【００５９】Ｂ、Ｇ、Ｒパネル素子のそれぞれは対向す
る一対の透明基板Ｓ１、Ｓ２間に定められた色で画像表
示するための液晶含有層ＬＣを挟着したものである。各
基板Ｓ１、Ｓ２には液晶含有層ＬＣに対向する面にそれ
ぞれ図示を省略した電極が形成されている。

【００６０】図２はかかる液晶表示パネルＡを製造する
ための製造装置例の概略構成図である。

【００６１】図示のパネル製造装置は、一つのパネル素
子ｃ１を保持するための第１ステージ１００、もう一つ
のパネル素子ｃ２を保持するための第２ステージ２０
０、第１及び第２ステージ１００、２００をそれらのパ
ネル素子保持面を対向させて相対的に接近離反させるた
めのステージ駆動装置３００、第１及び第２ステージ１
００、２００間から排気減圧するステージ間排気装置５
００を備えている。

【００６２】第２ステージ２００はパネル素子ｃ２の中
央領域を吸着する中央吸気孔２０１ａ及びパネル素子ｃ
２の中央領域より外側の領域を吸着する外側吸気孔２０
１ｂを有し、それら吸気孔２０１ａ、２０１ｂから吸気
することでパネル素子ｃ２を吸着保持するステージであ
る。

【００６３】中央吸気孔２０１ａには中央吸気孔用の排
気装置６００が、外側吸気孔２０１ｂには外側吸気孔用
の排気装置７００が連接されており、中央吸気孔用及び
外側吸気孔用の各排気装置６００、７００には吸気孔２
０１ａ、２０１ｂへ外気を導入する外気導入装置の１例
である開閉電磁弁６４０、７４０が含まれている。

【００６４】ステージ駆動装置３００は第１ステージ１
００、第２ステージ２００を駆動するために設けられて
おり、第１ステージ１００を駆動する第１ステージ駆動
部３１０と、第２ステージ２００を駆動する第２ステー
ジ駆動部３２０を含んでいる。

【００６５】第１ステージ駆動部３１０は、それには限
定されないが、ガイドレール３１１に沿って設けたラッ
クギア３１１ａに第１ステージ１００に設けたピニオン
ギア３１３をかみ合わさせ、このピニオンギア３１３を
第１ステージ１００に搭載したモータ３１２で往復回転
させるものである。第１ステージ１００は第１ステージ
駆動部３１０によりガイドレール３１１に沿って移動
し、パネル素子保持位置Ｑ１又はパネル素子貼り合わせ
位置Ｑ２に配置される。この移動にあたっては、第１ス
テージ１００に設けたスライダ１０２がガイドレール３
１１に沿って摺動する。

【００６６】第２ステージ駆動部３２０は、それには限
定されないが、ピストンシリンダ装置３２１とこれを駆
動する空気回路３２２からなる。ピストンシリンダ装置
３２１は、複動型のもので、そのシリンダ部３２１ａが
定位置に配置され、ピストンロッド３２１ｂが第２ステ
ージ２００に連結されている。空気回路３２２は、所定
の圧力の圧縮空気をピストンシリンダ装置３２１へ供給
できる。

【００６７】図示の状態は、空気回路３２２からピスト
ンシリンダ装置３２１のピストンロッド側に圧縮空気が
供給されており、ピストンロッド３２１ｂがシリンダ部
３２１ａ内へ後退し、第２ステージ２００が上昇してい
る状態を示している。

【００６８】ピストンシリンダ装置３２１のシリンダヘ
ッドカバー側から圧縮空気が供給されると、ピストンロ
ッド３２１ｂが突出し、第２ステージ２００が下降す
る。また、ピストンシリンダ装置３２１のピストンロッ
ドカバー側に圧縮空気が供給されると、ピストンロッド
３２１ｂ及び第２ステージ２００は上昇し、図示の状態
に戻る。

【００６９】空気圧回路３２２はピストンロッド３２１
ｂを所望の突出量で一旦停止させることができる回路で
ある。

【００７０】第２ステージ２００は第２吸着テーブル２
０１及びこれの上面に固定された、ピストンロッドへの
連結部２０２を含んでいる。

【００７１】図３にパネル素子ｃ２（図中鎖線）を吸着
保持している状態での第２ステージ２００を上から見た
図を示す。なお、第２ステージ駆動部３２０等は図示を
省略してある。

【００７２】図３に示すように第２吸着テーブル２０１
はパネル素子ｃ２の中央領域を吸着する領域及びパネル
素子ｃ２の中央領域より外側の領域を吸着する領域に、
既述の中央吸気孔２０１ａ及び外側吸気孔２０１ｂがそ
れぞれ所定の間隔をおいて複数設けられている。

【００７３】連結部２０２は平面から見て十字形状をし
ており、その中心部２０２ａから四方に延びるととも
に、途中の部分で下方に屈曲していて各先端部が吸着テ
ーブル２０１の中央吸気孔２０１ａが設けられている領
域と外側吸気孔２０１ｂが設けられている領域との間に
接続されている。また、中心部２０２ａが第２ステージ
駆動部３２０のピストンロッド３２１ｂに連結されてい
る。

【００７４】中央吸気孔用排気装置６００は、既述の通
り中央吸気孔２０１ａに連接されており、既述の開閉電
磁弁６４０の他に排気部６１０、フレキシブルチューブ
６２０、中央吸気孔用排気室６３０、圧力センサ（気圧
センサ）６５０を含んでいる。

【００７５】チューブ６２０は、一端部で排気部６１０
に、他端部で排気室６３０に接続されており、排気室６
３０は、吸着テーブル２０１の中央吸気孔２０１ａに連
通している。また、チューブ６２０の途中には開閉弁６
４０が設けられている。これにより、弁６４０を閉じた
状態では中央吸気孔２０１ａから排気部６１０にて吸引
される空気が排気室６３０、チューブ６２０を通って排
気され、吸着テーブル２０１でパネル素子ｃ２の中央領
域を吸着保持できる。

【００７６】また、排気部６１０を停止させるとともに
弁６４０を開いた状態で吸気孔２０１ａへ外気を導入で
きる。また、圧力センサ６５０は排気室６３０に接続さ
れており、排気室６３０内の空気圧を検出できる。

【００７７】外側吸気孔用排気装置７００は、既述の通
り外側吸気孔２０１ｂに連接されており、既述の開閉電
磁弁７４０の他に排気部７１０、フレキシブルチューブ
７２０、外側吸気孔用排気室７３０を含んでいる。

【００７８】チューブ７２０は、一端部で排気部７１０
に、他端部で排気室７３０に接続されており、排気室７
３０は、吸着テーブル２０１の外側吸気孔２０１ｂに連
通している。また、チューブ７２０の途中には開閉弁７
４０が設けられている。これにより、弁７４０を閉じた
状態では外側吸気孔２０１ｂから排気部７１０にて吸引
される空気が排気室７３０、チューブ７２０を通って排
気され、吸着テーブル２０１でパネル素子ｃ２の外側領
域を吸着保持できる。

【００７９】また、排気部７１０を停止させるとともに
弁７４０を開いた状態では弁７４０からチューブ７２０
を通じて吸気孔２０１ｂへ外気を導入できる。

【００８０】図２に示すように第１ステージ１００は第
１吸着テーブル１０１、パネル素子保持のためのパネル
素子保持装置１１０を含んでいる。

【００８１】第１吸着テーブル１０１はパネル素子ｃ１
を保持する領域にパネル素子吸着のための吸気孔１０１
ａが所定の間隔をおいて複数設けられている。

【００８２】パネル素子保持装置１１０はかかる吸気孔
１０１ａの他、排気室１１１、フレキシブルチューブ１
１２、排気装置１１３を含んでいる。チューブ１１２
は、一端部で排気装置１１３に、他端部で排気室１１１
に接続されており、排気室１１１は、吸着テーブル１０
１の吸気孔１０１ａに連通している。これにより、吸気
孔１０１ａから排気装置１１３にて吸引される空気が排
気室１１１、チューブ１１２を通って排気され、吸着テ
ーブル１０１でパネル素子ｃ１を吸着保持できる。

【００８３】ステージ間排気装置５００は、リング部材
５１０、空気吸い込み用の管５２０、フレキシブルチュ
ーブ５３０、真空ポンプ５４０を含んでいる。

【００８４】リング部材５１０は、第１及び第２ステー
ジ１００、２００の相互接近により両ステージ間に挟着
されて該両ステージとともに両ステージ間のパネル素子
ｃ１、ｃ２を囲繞する、排気減圧を行うための気密室を
形成する気密シール用の弾性変形可能のリング部材であ
る。このリング部材５１０は、ここではゴム製のもので
あり、第１ステージ１００の吸着テーブル１０１に設け
られている。

【００８５】空気吸い込み用の管５２０は、第１ステー
ジ１００のリング部材５１０とパネル素子ｃ１保持領域
の間に設けられた貫通孔に嵌合されており、フレキシブ
ルチューブ５３０の一端部に接続されている。チューブ
５３０の他端部は真空ポンプ５４０に接続されている。
これにより第１、第２ステージ１００、２００及びリン
グ部材５１０で形成される気密室内を予め定めた気圧、
ここでは２０Ｐａ（略０．１５Ｔｏｒｒ）程度に排気減
圧できる。

【００８６】また、第２ステージ２００を下降途中の所
定位置で一旦停止させるために第２ステージの昇降路に
臨んで該第２ステージを検出するステージ検出センサ１
０００が設けられている。

【００８７】前記の空気圧回路３２２、排気部６１０及
び７１０、電磁開閉弁６４０、７４０は制御部ＣＯＮＴ
の指示に基づいて動作する。また、圧力センサ６５０に
て検出される排気室６３０の気圧情報、従って第２ステ
ージの中央吸気孔２０１ａにおける気圧情報が制御部Ｃ
ＯＮＴに入力されるとともに、ステージ検出センサ１０
００による第２ステージ２００の検出情報も制御部ＣＯ
ＮＴに入力されるようになっている。

【００８８】このパネル製造装置は、両パネル素子ｃ
１、ｃ２の貼り合わせに先立って両パネル素子ｃ１、ｃ
２を相互位置合わせするパネル素子の相互位置合わせ装
置４００を備えている。

【００８９】位置合わせ装置４００は、２台のカメラ４
１０（ここではＣＣＤカメラ）、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４
２０、制御部４３０を備えている。

【００９０】図４に各パネル素子ｃ１、ｃ２が第１ステ
ージ１００上で相互に位置合わせされる状態を上から見
た図を示す。なお、第１ステージ１００、位置合わせ装
置４００等は図示を省略してある。

【００９１】図４に示すように各パネル素子ｃ１、ｃ２
には予め位置合わせのためのマークｍ１、ｍ２がパネル
素子の表示領域外にそれぞれ形成されている。なお、合
わせマークは、ここでは十字形のパターンがパネル素子
の対角線両端域に形成されているが、それに限定される
ものではなく、各パネル素子を相互に位置合わせできる
ものであれば、いずれのパターンでもよいし、また表示
領域外であれば、いずれの位置に形成されていてもよ
い。また、この合わせマークは印刷等により形成されて
いてもよいし、パネル素子の電極形成の際に表示領域外
にマーカ用電極を設けておき、該マーカ用電極への電圧
印加により点灯するものでもよい。ここではパネル素子
ｃ１、ｃ２上に合わせマークｍ１、ｍ２がそれぞれ印刷
されている。

【００９２】図２に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４
３０に接続されており、各パネル素子ｃ１、ｃ２の予め
形成された合わせマークｍ１、ｍ２を観察し、そのマー
ク情報を制御部４３０に送ることができる。

【００９３】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０はパネル素子保
持アーム４２１及びＸ−Ｙ−θ駆動部４２２を含んでい
る。パネル素子保持アーム４２１は駆動部４２２のＸ−
Ｙ−θ方向可動部に接続されており、その先端部４２１
ａでパネル素子ｃ２を吸着保持することができる。Ｘ−
Ｙ−θ駆動部４２２は制御部４３０に接続されており、
パネル素子保持アーム４２１及びそれに保持されるパネ
ル素子ｃ２をパネル素子ｃ１の表面に沿って所定方向
（図中Ｘ方向）、これに垂直な方向（図中Ｙ方向）に動
かすとともにＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周り（図中θ方
向）に回動させることができる。これにより、制御部４
３０の指示のもと、第１ステージ１００に保持させたパ
ネル素子ｃ１上でパネル素子ｃ２を動かすことができ
る。

【００９４】制御部４３０は、既述の通りＣＣＤカメラ
４１０、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０に接続されており、
カメラ４１０からの合わせマークｍ１、ｍ２のマーク情
報を位置情報として処理し、その位置情報に基づいて両
パネル素子ｃ１、ｃ２を合わせマークｍ１、ｍ２を合致
させて位置合わせすべくパネル素子ｃ２を動かすように
Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０の動作を制御する。なお、制
御部４３０は基板やパネル等の位置合わせのための画像
処理による位置合わせ法を利用する手段を含んでいる。

【００９５】また、このパネル製造装置は、図２中２点
鎖線で示す、図示を省略した排気装置にて排気減圧可能
の気密性を有する気密室８００を備えていて気密室８０
０が第１、第２ステージ１００、２００等を囲んでいて
もよいが、ここでのパネル製造装置は気密室８００を備
えていない。この気密室８００については後述する。

【００９６】次にかかる装置による図１に示すタイプの
反射型液晶表示パネル製造の一例を図５及び図６を参照
しながら説明する。

【００９７】図５は図２に示すパネル製造装置の液晶表
示パネル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明
するための図であり、図６は図５に示す工程の続きの工
程（５）から（８）を説明するための図である。なお、
図５及び図６では、簡略化のため一部の部品については
図示を省略してある。

【００９８】図１に示す液晶表示パネルＡを製造するに
あたり、赤色表示、緑色表示、青色表示を行うＲ、Ｇ、
Ｂパネル素子をそれぞれ１パネル素子ずつ作製してお
く。

【００９９】先ず、Ｒ、Ｇ、Ｂパネル素子のうちいずれ
か（ここではＲパネル素子）を一つのパネル素子（以
下、第１パネル素子という。）ｃ１とし、そのパネル素
子に貼り合わされるパネル素子（ここではＧパネル素
子）をもう一つのパネル素子（以下、第２パネル素子と
いう。）ｃ２として取り扱い、図５に示す工程（１）〜
（４）及び図６に示す工程（５）〜（８）にて両パネル
素子を貼り合わせる。すなわち、 （１）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り
合わすべき面のうち少なくとも一方、ここでは第１パネ
ル素子ｃ１（Ｒパネル素子）の前記光吸収層ＢＫが設け
られている面とは反対側の面に、片方の表面が未だ保護
離型シートＮＮ１で覆われた両面接着テープＮＮを予め
貼っておく。なお、ここでは両面接着テープを用いる
が、それに限定されるものではない。いずれにしてもパ
ネル素子面に接着剤を手作業で塗布してもよいし或いは
接着剤塗布装置を設け、該塗布装置により塗布してもよ
い。接着剤の設け方は支障がない限り任意である。ま
た、この接着剤を設ける工程は貼り合わせ工程前に実施
する。貼り合わせ工程前であれば支障のない限り、いず
れの段階で実施してもよい。

【０１００】この両面接着テープＮＮが設けられた第１
パネル素子ｃ１を光吸収層ＢＫを下にして第１ステージ
１００にセットし、パネル素子保持装置１１０によりパ
ネル素子ｃ１をステージ１００の吸着テーブル１０１に
吸着保持させる。 （２）第２パネル素子ｃ２（Ｇパネル素子）を第１パネ
ル素子ｃ１の上に載せ、両パネル素子ｃ１、ｃ２の相互
位置合わせをする。

【０１０１】この位置合わせは次のようにして行う。す
なわち、パネル素子ｃ１上に載せたパネル素子ｃ２を一
旦位置合わせ装置４００の先端部４２１ａに保持させ、
その状態で両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ
１、ｍ２をＣＣＤカメラ４１０で観察しながら第２パネ
ル素子ｃ２をＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０で動かして両パ
ネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、ｍ２を合致さ
せる。この位置合わせ動作はカメラ４１０で検出される
マーク情報が位置情報として画像処理され、その位置情
報に基づいてＸ−Ｙ−θ駆動装置４２０を自動制御する
ことで行う。位置合わせ処理が終了すると、再びパネル
素子ｃ２をパネル素子ｃ１上に載せる。

【０１０２】Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０による位置合わ
せは、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置４２０を手動操作して行って
もよい。また、第２パネル素子ｃ２を保持するための第
２ステージ２００がＸ−Ｙ−θ駆動装置を含んでいても
よい。このときはパネル素子ｃ２をそのステージ２００
に保持させてからパネル素子ｃ２を位置合わせすべくＸ
−Ｙ−θ駆動すればよい。また、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を
用いずに両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わせマークｍ１、
ｍ２を目視観察又はカメラ観察しながら第２パネル素子
ｃ２を手作業で動かして両パネル素子ｃ１、ｃ２の合わ
せマークｍ１、ｍ２を合致させてもよい。 （３）第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２の位置合わせ
が終わると、第２パネル素子ｃ２を保持しているＸ−Ｙ
−θ駆動装置４２０のパネル素子保持アーム４２１から
パネル素子ｃ２を放してパネル素子ｃ１上へ載置し、し
かるのち制御部ＣＯＮＴの指示のもとステージ駆動装置
３００の第１ステージ駆動部３１０により第１ステージ
１００を第２ステージ２００の下方（図２中Ｑ２の位
置）に移動させ、第１及び第２パネル素子ｃ１、ｃ２保
持面を対向させる。

【０１０３】次いでステージ駆動装置３００の第２ステ
ージ駆動部３２０により第２ステージ２００を降下さ
せ、ステージ２００が第２パネル素子ｃ２に接触したと
ころで中央吸気孔用排気装置６００及び外側吸気孔用排
気装置７００により第２ステージ２００に設けた中央吸
気孔２０１ａ及び外側吸気孔２０１ｂからそれぞれ吸気
することで第２パネル素子ｃ２を吸着テーブル２０１に
吸着保持させ、さらに第２パネル素子ｃ２を吸着した第
２ステージ２００を第２ステージ駆動部３２０により上
昇させて待機させる。 （４）第１ステージ１００の第１パネル素子ｃ１に貼ら
れた両面接着テープＮＮから保護離型シートＮＮ１を除
去して接着剤Ｎを露出させる。 （５）次いで制御部ＣＯＮＴの指示のもと再びステージ
駆動装置３００の第２ステージ駆動部３２０により第２
ステージ２００を降下させる。 （６）この第２ステージ駆動部３２０による第２ステー
ジ２００の降下により、第１及び第２ステージ１００、
２００をそれらのパネル素子ｃ１、ｃ２保持面を対向さ
せて、換言すればそれらステージ１００、２００に保持
されたパネル素子ｃ１、ｃ２の互いに貼り合わすべき面
を対向させて相対的に接近させる。そして第２ステージ
２００がステージ検出センサ１０００に検出されるとと
もにゴム製のリング部材５１０に接触し、両パネル素子
ｃ１、ｃ２が所定の距離（図中ｄ）、ここでは２ｍｍに
接近したところで制御部ＣＯＮＴの指示のもとに駆動部
３２０による第２ステージ２００の降下を一旦停止させ
る。

【０１０４】このとき第１、第２ステージ１００、２０
０及びリング部材５１０で気密室Ｄが形成されるので、
該気密室Ｄからステージ間排気装置５００により第１及
び第２ステージ１００、２００間領域を（従って両パネ
ル素子ｃ１、ｃ２間領域を）予め定めた気圧（ここでは
２０Ｐａ）まで排気減圧する。 （７）また第２ステージ２００の中央吸気孔２０１ａに
連接された排気装置６００による排気を絶つとともに排
気装置６００中の電磁開閉弁６４０を制御部ＣＯＮＴの
指示のもとに開いて中央吸気孔２０１ａへ外気を導入す
る。かくして第２ステージ２００とそれに保持されてい
るパネル素子ｃ２の中央領域との間の気圧を両パネル素
子ｃ１、ｃ２間気圧より相対的に高圧にする。これによ
り第２ステージ２００上パネル素子ｃ２の中央領域の両
面間に予め定めた気圧差を生じさせ、該気圧差に基づい
て（ここでは該気圧差とパネル素子ｃ２の中央領域を含
む部分の自重とで）第２ステージ２００上パネル素子ｃ
２の中央領域を接着剤Ｎを介在させた状態で第１ステー
ジ１００に保持されているパネル素子ｃ１に接触させ
る。このときの第２ステージ２００上パネル素子ｃ２の
中央領域の両面間の気圧差は、ここでは２０Ｐａ〜３０
Ｐａ（略０．１５Ｔｏｒｒ〜０．２３Ｔｏｒｒ）程度で
ある。この気圧差は圧力センサ６５０が排気室６２０内
の気圧が予め定めた気圧（予め定めた気圧差をもたらす
気圧）に到達したことを検出することで間接的に知るこ
とができる。 （８）圧力センサ６５０が予め定めた気圧を検出する
と、制御部ＣＯＮＴは第２ステージ駆動部３２０により
第２ステージ２００を再び降下させ、両ステージ１０
０、２００をさらに相対的に接近させることで両パネル
素子ｃ１、ｃ２を接着剤Ｎを介在させた状態で相互に全
面的に圧接貼り合わせする。

【０１０５】なお、この第２ステージ駆動部３２０によ
る第２ステージ２００の降下タイミングは、既述したよ
うに圧力センサ６５０が予め定めた気圧を検出するタイ
ミングでもよいし、第２ステージ２００の中央吸気孔２
０１ａへ外気を導入開始してから所定時間（例えば５
秒）経過後としてもよい。また、第２ステージ２００上
パネル素子ｃ２の中央領域が第１ステージ１００に保持
されているパネル素子ｃ１に接触したことを電気的又は
光学的センサを用いて検出することで第２ステージ２０
０の降下タイミングを決定してもよい。

【０１０６】この表示パネル製造装置によると、両パネ
ル素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせにあたっては、両パネル
素子ｃ１、ｃ２を全面的に貼り合わせるに先立って両パ
ネル素子ｃ１、ｃ２の中央領域が相互に接触せしめられ
る。これにより両パネル素子ｃ１、ｃ２は一挙に強い貼
り合わせ衝撃を受けることなく、先ず貼り合わせ開始状
態が穏やかに得られ、両パネル素子ｃ１、ｃ２の位置ず
れが抑制される。

【０１０７】次いで両パネル素子ｃ１、ｃ２が全面的に
圧接貼り合わせされる。このとき既に中央領域が接触せ
しめられた両パネル素子ｃ１、ｃ２は該中央領域から周
囲へ接触領域が次第に広がるように貼り合わされてい
き、これにより両パネル素子ｃ１、ｃ２間から脱気さ
れ、両パネル素子ｃ１、ｃ２は密着状態で、皺より等が
抑制された状態で、且つ、精度よく位置合わせされた状
態で貼り合わされる。かくしてＲパネル素子及びＧパネ
ル素子が貼り合わされる。このときには中央排気室６３
０内は大気圧になっているとみてよい。

【０１０８】また、両パネル素子ｃ１、ｃ２を相互に全
面的に圧接貼り合わせしていくことで両パネル素子ｃ
１、ｃ２が接着剤Ｎを介して全面的に又は略全面的に接
触したのちに、制御部ＣＯＮＴの指示に基づき第２ステ
ージ２００の外側吸気孔２０１ｂに連接された排気装置
７００による排気を絶つとともに排気装置７００中の弁
７４０を開いて外側吸気孔２０１ｂへ外気を導入して第
２ステージ２００によるパネル素子の保持を全面的に解
放し、第２ステージ駆動部３２０による両パネル素子ｃ
１、ｃ２の圧接を停止する。なお、両パネル素子ｃ１、
ｃ２の中央領域接触の直後から第２ステージ２００の外
側吸気孔２０１ｂによる吸着を絶つとともに外側吸気孔
２０１ｂにも外気を導入するようにしてもよい。

【０１０９】また、両パネル素子ｃ１、ｃ２が接着剤Ｎ
を介して全面的に又は略全面的に接触したのちにステー
ジ間排気装置５００による減圧操作を止めて両パネル素
子ｃ１、ｃ２周囲気圧を外気圧に戻す。これにより、両
パネル素子ｃ１、ｃ２間からの脱気をより確実にでき
る。なお、両パネル素子ｃ１、ｃ２の中央領域の接触直
後から外気圧へ戻すようにしてもよい。勿論、両パネル
素子ｃ１、ｃ２の貼り合わせ完了までのあいだ、両パネ
ル素子ｃ１、ｃ２周囲雰囲気圧を所定の低圧に維持して
おいてもよい。

【０１１０】次に、こうして得られたＲパネル素子及び
Ｇパネル素子が貼り合わされたパネル素子を第１パネル
素子ｃ１とみなすとともに次に貼り合わすべき１枚のＢ
パネル素子を第２パネル素子ｃ２とみなして実質的に前
記各工程（１）から（８）を繰り返して、既に貼り合わ
されたパネル素子に次のＢパネル素子を貼り合わせる。
かくしてＲパネル素子、Ｇパネル素子及びＢパネル素子
が積層された表示パネルＡが得られる。

【０１１１】ここではリング部材５１０、空気吸い込み
用の管５２０、フレキシブルチューブ５３０、真空ポン
プ５４０を含むステージ間排気装置５００を用いて第
１、第２ステージ１００、２００及びリング部材５１０
で形成される気密室Ｄ内を排気減圧するが、前記の気密
性を有する気密室８００及び該室内を排気減圧する排気
装置を設け、該排気装置により該室内を排気減圧してパ
ネル素子ｃ１、ｃ２を保持した第１及び第２ステージ１
００、２００等を含む領域の雰囲気全体を大気圧より低
圧に減圧できるようにしてもよい。なお、図２に示すパ
ネル製造装置において、気密室８００を設ける場合、図
では排気部６１０、７１０、排気装置１１３、空気回路
３２２、電磁弁６４０、７４０及び真空ポンプ５４０等
は気密室８００内に示されているが、実際にはこれらは
気密室８００の外側に設けられる。

【０１１２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によると、画
像を表示する表示パネルを形成するためのパネル素子を
積層して表示パネルを製造する方法及び装置であって、
隣り合うパネル素子が精度良く位置合わせされた状態で
貼り合わされ、それだけ良好な画像表示を行える表示パ
ネルが得られる表示パネルの製造方法及び装置を提供す
ることができる。

【０１１３】また本発明によると、画像を表示する表示
パネルを形成するためのパネル素子を積層して表示パネ
ルを製造する方法及び装置であって、隣り合うパネル素
子を該両パネル素子間から脱気して密着させ、皺よりの
抑制された状態で貼り合わせることができ、それだけ良
好な画像表示を行える表示パネルが得られる表示パネル
の製造方法及び装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】製造しようとする液晶表示パネルの１例の概略
側面図である。

【図２】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製
造装置例の概略構成を示す図である。

【図３】もう一つのパネル素子を吸着保持している状態
での第２ステージを上から見た図である。

【図４】各パネル素子が第１ステージ上で相互に位置合
わせされる状態を上から見た図である。

【図５】図２に示すパネル製造装置による液晶表示パネ
ル製造工程の一例の一部（１）から（４）を説明するた
めの図である。

【図６】図５に示す工程の続きの工程（５）から（８）
を説明するための図である。

【符号の説明】

１００ 第１ステージ １０１ 第１吸着テーブル １０１ａ 吸気孔 １０２ スライダ １１０ パネル素子保持装置 １１１ 排気室 １１２ フレキシブルチューブ １１３ 排気装置 ２００ 第２ステージ ２０１ 第２吸着テーブル ２０１ａ 中央吸気孔 ２０１ｂ 外側吸気孔 ２０２ 連結部 ３００ ステージ駆動装置 ３１０ 第１ステージ駆動部 ３１１ ガイドレール ３１１ａ ラックギア ３１２ モータ ３１３ ピニオンギア ３２０ 第２ステージ駆動部 ３２１ ピストンシリンダ装置 ３２１ａ シリンダ部 ３２１ｂ ピストンロッド ３２２ 空気回路 ４００ パネル素子の相互位置合わせ装置 ４１０ カメラ ４２０ Ｘ−Ｙ−θ駆動装置 ４２１ パネル素子保持アーム ４２２ Ｘ−Ｙ−θ駆動部 ４３０ 制御部 ５００ ステージ間排気装置 ５１０ リング部材 ５２０ 空気吸い込み用の管 ５３０ フレキシブルチューブ ５４０ 真空ポンプ ６００ 中央吸気孔用排気装置 ６１０ 排気部 ６２０ フレキシブルチューブ ６３０ 中央吸気孔用排気室 ６４０ 開閉電磁弁 ６５０ 圧力センサ ７００ 外側吸気孔用排気装置 ７１０ 排気部 ７２０ フレキシブルチューブ ７３０ 外側吸気孔用排気室 ７４０ 開閉電磁弁 ８００ 気密室 １０００ ステージ検出センサ Ａ 液晶表示パネル Ｂ 青色（ブルー）表示を行うパネル素子 Ｇ 緑色（グリーン）表示を行うパネル素子 Ｒ 赤色（レッド）表示を行うパネル素子 ＢＫ 光吸収層 ｃ１ 一つのパネル素子 ｃ２ もう一つのパネル素子 ＣＯＮＴ 制御部 Ｄ 気密室 ＬＣ 液晶含有層 ｍ１、ｍ２ 位置合わせのためのマーク Ｎ 接着剤 ＮＮ 両面接着テープ ＮＮ１ 保護離型シート Ｑ１ パネル素子保持位置 Ｑ２ パネル素子貼り合わせ位置 Ｓ１、Ｓ２ 透明基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 根来 正典 大阪府大阪市中央区安土町二丁目３番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 (72)発明者 保富 英雄 大阪府大阪市中央区安土町二丁目３番13号 大阪国際ビル ミノルタ株式会社内 Ｆターム(参考） 2H089 HA21 NA38 NA48 NA53 NA60 QA14 5G435 AA00 AA04 AA17 BB05 BB12 KK05 KK10 LL00

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】画像を表示する表示パネルを形成するため
   のパネル素子を積層して表示パネルを製造する方法であ
   り、 第１ステージに第１パネル素子を保持させる工程と、 第２ステージに第２パネル素子を保持させる工程と、 第１及び第２のステージに保持された第１及び第２のパ
   ネル素子を互いに貼り合わすべき面が対向するように配
   置する工程と、 第１及び第２のパネル素子を相互に位置合わせする工程
   と、 互いに貼り合わすべき第１及び第２のパネル素子の面の
   少なくとも一方に接着剤を設ける工程と、 相互に位置合わせされて第１及び第２のステージに保持
   され互いに貼り合わすべき面が対向するように配置され
   た第１及び第２のパネル素子を前記接着剤にて相互に貼
   り合わせる貼り合わせ工程とを含み、 第２ステージはパネル素子の中央領域を吸着する中央吸
   気孔及びパネル素子の前記中央領域より外側の領域を吸
   着する外側吸気孔を有し、それら吸気孔から吸気するこ
   とでパネル素子を吸着保持するステージとされ、 前記貼り合わせ工程は、 相互に位置合わせされて第１及び第２のステージに保持
   され互いに貼り合わすべき面が対向するように配置され
   た第１及び第２のパネル素子を両ステージを相対的に接
   近させることで所定距離まで相互接近させる接近工程
   と、 接近工程後に第２ステージとそれに保持されているパネ
   ル素子の中央領域との間の気圧を第１及び第２のパネル
   素子間の気圧より相対的に高圧に設定することで、第２
   ステージ上のパネル素子中央領域両面間の気圧差に基づ
   いて第２ステージ上のパネル素子の中央領域を接着剤を
   介在させた状態で第１ステージに保持されているパネル
   素子に接触させる中央接触工程と、 中央接触工程後に両ステージをさらに相対的に接近させ
   ることで両パネル素子を接着剤を介在させた状態で相互
   に全面的に圧接貼り合わせする圧接工程とを含んでいる
   ことを特徴とする表示パネルの製造方法。
2. 【請求項２】前記中央接触工程では、両パネル素子間気
   圧を大気圧より低い所定の気圧に設定することと、第２
   ステージの中央吸気孔からの吸気を絶つとともに該中央
   吸気孔に外気を導入して第２ステージとそれに保持され
   ているパネル素子の中央領域との間の気圧を両パネル素
   子間気圧より相対的に高圧に設定することとで、第２ス
   テージ上のパネル素子中央領域両面間の気圧差に基づい
   て第２ステージ上のパネル素子の中央領域を接着剤を介
   在させた状態で第１ステージに保持されているパネル素
   子に接触させる請求項１記載の表示パネルの製造方法。
3. 【請求項３】前記圧接工程では、両パネル素子を相互に
   全面的に圧接貼り合わせしていくとともに両パネル素子
   が接着剤を介して全面的に又は略全面的に接触したのち
   に第２ステージの外側吸気孔からの吸気を絶つとともに
   該外側吸気孔に外気を導入する請求項２記載の表示パネ
   ルの製造方法。
4. 【請求項４】前記中央接触工程では、気密シール用の弾
   性変形可能のリング部材で第１及び第２のパネル素子を
   囲繞するとともに該リング部材を第１及び第２のステー
   ジ間に挟着させることで該両パネル素子周囲に気密室を
   形成し、該気密室から排気することで前記両パネル素子
   間気圧を大気圧より低圧に減じる請求項１、２又は３記
   載の表示パネルの製造方法。
5. 【請求項５】請求項１から４のいずれかに記載の表示パ
   ネルの製造方法において、貼り合わすべきパネル素子が
   ３以上あるときは、前記貼り合わせ工程により得られる
   貼り合わされたパネル素子を前記第１パネル素子とみな
   すとともに次に貼り合わすべき１枚のパネル素子を前記
   第２パネル素子とみなして前記各工程を繰り返すことで
   既に貼り合わされたパネル素子に１枚ずつ次のパネル素
   子を貼り合わせていく表示パネルの製造方法。
6. 【請求項６】画像を表示する表示パネルを形成するため
   のパネル素子を積層して表示パネルを製造する装置であ
   り、 一つのパネル素子を保持するための第１ステージと、 もう一つのパネル素子を保持するための第２ステージ
   と、 第１及び第２のステージをそれらのパネル素子保持面を
   対向させて相対的に接近離反させるためのステージ駆動
   装置と、 第１及び第２ステージ間から排気減圧するステージ間排
   気装置とを備えており、 第２ステージはパネル素子の中央領域を吸着する中央吸
   気孔及びパネル素子の前記中央領域より外側の領域を吸
   着する外側吸気孔を有し、それら吸気孔から吸気するこ
   とでパネル素子を吸着保持するステージであり、該中央
   吸気孔には中央吸気孔用の排気装置が、外側吸気孔には
   外側吸気孔用の排気装置が連接されており、中央吸気孔
   用及び外側吸気孔用の各排気装置には吸気孔へ外気を導
   入する装置が含まれていることを特徴とする表示パネル
   の製造装置。
7. 【請求項７】前記ステージ間排気装置は、第１及び第２
   のステージの相対的接近により両ステージ間に挟着され
   て該両ステージとともに両ステージ間のパネル素子を囲
   繞する、前記排気減圧を行うための気密室を形成する気
   密シール用の弾性変形可能のリング部材を含んでいる請
   求項６記載の表示パネルの製造装置。
8. 【請求項８】互いに貼り合わすべき二つのパネル素子を
   貼り合わせに先立って相互に位置合わせする装置を備え
   ている請求項６又は７記載の表示パネルの製造装置。
9. 【請求項９】前記ステージ駆動装置により第１及び第２
   のステージをそれらのパネル素子保持面を対向させて相
   対的に接近させることで両ステージを予め定めた距離ま
   で相互接近させたとき該両ステージの相互接近を一旦停
   止させるようにステージ駆動装置動作を制御する一旦停
   止制御装置と、 前記一旦停止制御装置により相互接近が一旦停止される
   第１及び第２のステージのうち第２ステージに保持され
   るパネル素子の中央領域両面間の気圧差を検出する気圧
   差検出センサと、 前記気圧差検出センサに検出される気圧差が予め定めた
   気圧差に到達すると再び第１及び第２のステージを相互
   接近させるようにステージ駆動装置動作を制御する一旦
   停止解除制御装置とを備えている請求項６から８のいず
   れかに記載のパネル素子の製造装置。