KR100503903B1 - 표시패널의 제조방법 및 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 화상을 표시하는 표시패널의 제조방법 및 장치를 제공한다.

이를 위해 본 발명은, 각각이 적어도 하나의 표시장치를 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를 각각 위치 일치시켜 대향시킨다. 다음에, 위치 일치시켜진 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시킨다. 한편, 상기 접착재료는 양쪽 패널소자중 적어도 한쪽에 설치되고, 그 후에 양쪽 패널소자가 접합된다. 또한, 접착재료는, 예컨대 경화전에는 액상인(광경화형인 것이어도 된다), 점착시트 등이다. 더욱이, 양쪽 패널소자는 한쪽의 패널소자가 억누름부재(예컨대, 롤러형 억누름부재나 탄성패드)로 기점부위에서 다른쪽의 패널소자에 대해 억눌려지고, 그 기점부위부터 순차 다른쪽의 패널소자에 접합된다. 기점부위는, 대표적으로는 패널소자의 중앙부나 단부이다. 양쪽 패널소자는 제1조건, 이와 다른 제2조건의 2단계 조건에 의해 접합시켜도 된다.

Description

표시패널의 제조방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR PRODUCING A DISPLAY PANEL}

본 발명은, 화상을 표시하는 표시패널(display panel)의 제조방법 및 장치에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 표시패널의 제조나 그 외에 적용가능한 점착시트(adhesive sheet) 접합방법 및 플레이트(plates) 접합방법에 관한 것이다.

화상표시패널(image display panel)에는, 액정표시패널(liquid crystal display panel), 전계발광표시패널(electroluminescence display panel), 이들을 조합시킨 표시패널 등 여러가지가 있다.

이와 같은 화상표시패널에는, 더 한층의 패널소자(panel element)로 이루어진 것도 있지만, 복수층의 패널소자를 적층한 것도 있다.

예컨대, 칼라 화상(color image)을 표시하는 표시패널에서는, 다른 색의 화상표시를 행하는 복수의 패널소자를 적층해서 형성되는 것이 있다.

풀칼라 화상표시를 행하는 액정표시패널에서는, 예컨대 청색(블루)표시를 행하는 패널소자, 녹색(그린)표시를 행하는 패널소자 및 적색(레드)표시를 행하는 패널소자를 적층해서 풀칼라 화상표시가 가능한 표시패널을 형성하는 것이 있다.

어느 것으로 해도, 이와 같은 복수의 패널소자를 적층해서 화상표시패널을 형성할 경우, 원하는 화상표시를 행하도록 각 인접한 패널소자를 상호 접합하는 것이 요구된다. 즉, 원하는 화상표시를 행하도록, 예컨대 각 인접한 패널소자를 상호 위치 일치시켜 접합시킬 것, 밀착시켜 접합시킬 것, 주름 등이 생기지 않도록 접합시킬 것 등중 적어도 어느 하나가 요구된다.

또한, 일반적으로, 2매의 플레이트를 접합시키는데에 점착시트(adhesive sheet)를 이용하는 일이 많다. 복수매의 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는데 있어서도, 인접한 패널소자를 점착시트를 매개로 접합시키는 것이 있다.

이와 같이, 패널소자 이외의 플레이트를 점착시트를 매개로 접합시키는 경우에 있어서, 양면에 세퍼레이터(separator)를 갖춘 점착시트를 이용할 경우에는, 우선 평판상에 배치한 제1플레이트에 대해, 한쪽면의 세퍼레이터를 제거한 점착시트를 부착한다. 그 후, 나머지 한쪽면의 세퍼레이터를 제거해서, 그 위에 제2플레이트를 부착한다.

그러나, 평판상에 배치한 제1플레이트에 점착시트를 부착할 경우에 기포가 들어가기 쉽고, 일단 기포가 들어가면 제거하는 것은 곤란하다. 기포의 혼입을 방지하기 위해, 부착공정을 감압한 챔버(chamber) 내에서 행하는 것이 고려되지만, 그만큼 비용(cost)이 높아진다.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 화상을 표시하는 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서, 인접한 패널소자를 요구되는 상태로 접합시킬 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어지는 표시패널의 제조방법 및 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

보다 구체적으로, 본 발명은 화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서, 인접한 패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합되어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어지는 표시패널의 제조방법 및 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서, 인접한 패널소자를 그들 패널소자 사이로부터 탈기(脫氣)하여 양자를 밀착시켜, 주름 등이 없는 상태로 접합시킬 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어지는 표시패널의 제조방법 및 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서, 인접한 패널소자를 강고하게 접합시킬 수 있어, 그만큼 장기간에 걸쳐 안정적으로 양호한 화상표시를 행하는 표시패널의 제조방법 및 장치를 제공하는 것에 그 목적이 있다.

또한, 본 발명은 표시패널의 제조나 그 외에 적용가능한 점착시트 접합방법 및 플레이트 접합방법에 있어서, 기포의 혼입을 억제해서 점착시트를 플레이트에 접합시킬 수 있는 방법 및 기포의 혼입을 억제해서 플레이트끼리를 점착시트를 매개로 접합시킬 수 있는 방법을 제공하는 것에 그 목적이 있다.

본 발명은, 기본적으로는 다음의 제1 내지 제4타입까지의 표시패널의 제조방법, 및 표시패널의 제조장치를 제공한다. 표시패널 제조장치에 대해서는 후에 더 설명하는 장치도 제공한다. 또한, 본 발명은 다음의 제1에서 제3타입의 점착시트 접합방법 및 제1에서 제3타입의 플레이트 접합방법을 제공한다.

(1) 표시패널의 제조방법

(1-1) 제1타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를, 각각 위치 일치시켜 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

위치 일치시켜진 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시키는 패널 접합공정을 갖추어 이루어지되,상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.

(1-2) 제2타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 미경화(未硬化)의 접착재료를 매개로 접합시키는 패널 접합공정,

상기 접합된 제1 및 제2패널소자를 상대적으로 이동시켜 양쪽 패널소자를 위치 일치시키는 패널 위치 일치시킴공정 및,

상기 패널 위치 일치시킴공정 후, 상기 접착재료를 경화시키는 접착재 경화공정을 갖추어 이루어지되,상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.

(1-3) 제3타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

제1 및 제2패널소자중 적어도 한쪽에 접착재료를 설치하는 공정과,

상기 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시켜 대향시키는 공정,

상호 위치 일치시켜진 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재(介在)시킨 상태에서 제1조건 하에 상호 눌러붙이는 제1압접(壓接)공정 및,

상기 제1압접공정 후, 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 제1조건과는 다른 제2조건 하에 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 갖추어 이루어지되, 상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.

(1-4) 제4타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

상기 제1 및 제2스테이지에 유지된 상기 제1 및 제2패널소자를 대향시키는 공정,

상기 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 공정,

상기 제1 및 제2패널소자중 적어도 한쪽에 접착재료를 설치하는 공정,

상호 위치 일치시켜져 상기 제1 및 제2스테이지에 유지된 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재시킨 상태에서, 또 제1조건 하에 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제1압접공정 및,

상기 제1압접공정 후, 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재시킨 상태에서, 또 상기 제1조건과는 다른 제2조건 하에 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 갖추어 이루어지되,상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.

(2) 표시패널의 제조장치

화상을 표시하는 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

하나의 패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

또 하나의 패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지 및,

상기 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반(接近離反) 시키기 위한 스테이지 구동장치를 구비하고 있으며,

상기 제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽은 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 구비하고 있음과 더불어 그 패널소자 유지면이 철곡면(凸曲面)형상의 면이고,

상기 스테이지 구동장치는, 상기 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴에 있어서, 상기 제1스테이지에 유지되는 상기 패널소자와 상기 제2스테이지에 유지되는 상기 패널소자를 제1가압력 하에서 상호 눌러붙이고, 더욱이 그 제1가압력보다 큰 일정한 제2가압력 하에서 눌러붙이며,상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.

(3) 점착시트의 접합방법

(3-1) 제1타입의 점착시트(adhesive sheet) 접합방법

플레이트를 소정의 위치에 배치하는 플레이트 배치공정과,

소정 방향에서의 상기 플레이트의 일단 및 관통구멍을 갖춘 점착시트의 일단을 상호 위치결정하는 위치결정공정 및,

상기 소정 방향에서의 상기 점착시트의 타단을 상기 플레이트로부터 떨어뜨려 유지하면서, 상기 점착시트를 그것의 상기 일단으로부터 상기 타단으로 향해 상기 플레이트에 접합시키는 접합공정을 포함한 플레이트에 점착시트를 접합시키는 방법을 제공한다.

(3-2) 제2타입의 점착시트 접합방법

플레이트를 소정의 위치에 배치하는 플레이트 배치공정과,

소정 방향에서의 상기 플레이트의 일단 및 관통구멍을 갖추어 롤러형상으로 감겨진 점착시트의 일단을 상호 위치결정하는 위치결정공정 및,

상기 롤러형상으로 감겨진 점착시트를, 상기 소정 방향에서의 상기 플레이트의 상기 일단으로부터 타단으로 향해, 그 플레이트 위에서 굴림으로써, 그 점착시트를 그 플레이트에 접합시키는 공정을 포함한 플레이트에 점착시트를 접합시키는 방법을 제공한다.

(3-3) 제3타입의 점착시트 접합방법

한쪽면에, 적어도 일단이 시트의 한변까지 형성된 홈을 갖춘 점착시트를 준비하는 공정과,

상기 점착시트를, 상기 홈이 형성된 상기 한쪽면을 플레이트에 대향시킨 상태로 그 플레이트에 부착하는 점착시트 부착공정 및,

상기 점착시트가 상기 플레이트에 부착된 상태로, 그 점착시트에 압력을 가하는 공정을 포함한 플레이트에 점착시트를 접합시키는 방법을 제공한다.

(4) 플레이트 접합방법

(4-1) 제1타입의 플레이트 접합방법

제1플레이트를 소정의 위치에 배치하는 제1플레이트 배치공정과,

소정 방향에서의 상기 제1플레이트의 일단 및 관통구멍을 갖춘 점착시트의 일단을 상호 위치결정하는 공정,

상기 소정 방향에서의 상기 점착시트의 타단을 상기 제1플레이트로부터 떨어뜨려 유지하면서, 그 점착시트를 상기 일단으로부터 상기 타단으로 향해 상기 제1플레이트에 부착하는 점착시트 부착공정 및,

상기 점착시트 상에 제2플레이트를 부착하는 제2플레이트 부착공정을 포함한 제1플레이트와 제2플레이트를 점착시트를 매개로 접합시키는 방법을 제공한다.

(4-2) 제2타입의 플레이트 접합방법

제1플레이트를 소정의 위치에 배치하는 제1플레이트 배치공정과,

소정 방향에서의 상기 제1플레이트의 일단 및 관통구멍을 갖추어 롤러형상으로 감겨진 점착시트의 일단을 위치결정하는 위치결정공정,

상기 롤러형상으로 감겨진 점착시트를, 상기 소정 방향에서의 상기 제1플레이트의 상기 일단으로부터 타단으로 향해, 그 제1플레이트 위에서 굴림으로써, 상기 점착시트를 상기 제1플레이트에 접합시키는 점착시트 접합공정 및,

상기 점착시트 상에 제2플레이트를 부착하는 제2플레이트 부착공정을 포함한 제1플레이트와 제2플레이트를 점착시트를 매개로 접합시키는 방법.

(4-3) 제3타입의 플레이트 접합방법

한쪽면에, 적어도 일단이 시트의 한변까지 형성된 홈을 갖춘 점착시트를 준비하는 공정과,

상기 홈이 형성된 상기 한쪽면을 플레이트에 대향시킨 상태로, 점착시트를 제1플레이트에 부착하는 공정,

상기 점착시트 상에 제2플레이트를 부착하는 공정 및,

적어도 상기 점착시트가 상기 제1플레이트에 부착된 상태로, 그 점착시트에 압력을 가하는 가압공정을 포함한 제1플레이트와 제2플레이트를 점착시트를 매개로 접합시키는 방법을 제공한다.

본 발명의 바람직한 실시형태중 하나인 표시패널의 제조방법은,

각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를 각각 위치 일치시켜 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

위치 일치시켜진 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시키는 패널 접합공정을 포함하고 있다.

상기의 패널 방향맞춤공정은,

제1스테이지에 상기 제1패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정을 포함할 수 있다.

또한, 상기 패널 방향맞춤공정은,

상기 제1스테이지 상에 유지된 상기 제1패널소자와 상기 제2스테이지 상에 유지된 상기 제2패널소자중 적어도 한쪽에 상기 접착재료를 설치하는 공정을 더 포함할 수 있다.

이 경우, 상기 패널 방향맞춤공정은,

상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 대향시키는 공정을 더 포함해도 된다.

상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은,

예컨대, 상기 제1 및 제2패널소자를 매개로 억누름부재를 상기 기점부위에서 상기 제1스테이지에 눌러붙이고, 그리고 그 억누름부재를 상기 제1스테이지에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 행할 수 있다.

이 경우, 상기 제1패널소자 및 제2패널소자의 접합에 있어서 상기 제1스테이지에 대해 상기 억누름부재를 상대적으로 이동시킬 경우, 상기 제2패널소자를 상기 제2스테이지로부터 분리시켜도 된다.

또한, 상기 패널 접합공정은,

상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 겹치는 패널 겹침공정과,

위치 일치시켜 겹쳐진 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 적어도 부분적으로 분리하는 패널 분리공정,

상기 분리된 제1 및 제2패널소자의 사이에 상기 접착재료를 설치하는 공정 및,

상기 분리된 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 상기 기점부위부터 순차 접합시키는 분리패널 접합공정을 포함해도 된다.

이 경우, 상기 패널 분리공정에 있어서는, 상기 제1 및 제2패널소자가 위치 일치시켜져 겹쳐지는 상태를 재현 가능하게 그 제1 및 제2패널소자를 적어도 부분적으로 분리하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 패널 분리공정에 있어서는, 예컨대 상기 기점부위 근방에서 상기 제1 및 제2패널소자를 겹쳐맞춘 상태로 유지해서 그 제1 및 제2패널소자를 분리할 수 있다.

이 경우, 상기 제1 및 제2패널소자의 겹쳐맞춘 상태의 유지는, 예컨대 그 제1 및 제2패널소자에 각각 형성된 관통구멍을 이용해서 행할 수 있다.

상기 패널 분리공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 적어도 부분적인 분리는, 예컨대 상기 제2패널소자를 철곡면형상의 패널 유지면을 갖춘 유지부재에 유지시킨 상태로 행하고, 상기 분리패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 예컨대 상기 유지부재에 유지된 상기 제2패널소자를 상기 유지부재에 의해 상기 제1패널소자에 눌러붙임으로써 행해도 된다.

어느 것으로 해도, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 그 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 다른쪽의 패널소자에 대해 상기 기점부위에서 억누름으로써 개시하고, 그리고 억누르는 영역을 상기 기점부위부터 서서히 확장하여 행하는 경우를 예시할 수 있다.

이 경우, 철곡면형상의 억누름면을 갖춘 탄성패드를 이용해서 상기 한쪽의 패널소자를 상기 다른쪽의 패널소자에 대해 억누르게 해도 된다.

이 경우, 상기 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것이 바람직하다. 또한, 상기 탄성패드의 상기 억누름면은 2000mm~5000mm의 곡률반지름을 갖는 것이 바람직하다.

어느 것으로 해도, 상기 기점부위는, 대표예로서, 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 단부, 또는 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 중앙부를 들 수 있다.

또한, 어느 것으로 해도, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은 감압분위기중에서 행하는 것이 요망된다.

그 감압분위기의 압력으로서 13Pa~14Pa를 예시할 수 있다.

본 발명의 바람직한 실시예중 또 하나인 표시패널의 제조방법은,

각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소를 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 미경화의 접착재료를 매개로 접합시키는 패널 접합공정,

상기 접합된 제1 및 제2패널소자를 상대적으로 이동시켜 양쪽 패널을 위치 일치시키는 패널 위치 일치시킴공정 및,

상기 패널 위치 일치시킴공정 후, 상기 접착재료를 경화시키는 접착재 경화공정을 포함하고 있다.

상기 패널 접합공정에 있어서는, 대표적으로, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시킬 수 있다.

이 경우, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 접합시킬 경우, 상기 접착재료를 눌러 확장하는 것이 요망된다.

또한, 상기 기점부위의 대표예로서, 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 단부를 들 수 있다.

상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 상기 제2패널소자를 철곡면형상의 패널 유지면을 갖춘 유지부재에 유지시키고, 상기 유지부재에 유지된 상기 제2패널소자를 상기 유지부재에 의해 상기 제1패널소자에 대해 눌러붙임으로써 행해도 된다.

어느 것으로 해도, 상기 패널 방향맞춤공정은,

제1스테이지에 상기 제1패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정 및,

상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 대향시키는 공정을 포함할 수 있다.

또한, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합의 경우, 상기 제2패널소자를 상기 제2스테이지로부터 분리해도 된다.

어느 것으로 해도, 상기 접착재료로서, 예컨대 광경화성의 접착재를 채용할 수 있고, 이 경우 상기 접착재 경화공정에서 그 접착재료에 광을 조사하면 된다.

어느 것으로 해도, 상기 패널 접합공정은 감압분위기중에서 행하는 것이 요망된다.

이하, 도면을 참조해서, 상술한 실시형태 및 본 발명에 따른 다른 실시형태 등에 대해 순차 설명해 간다.

더욱이, 이하의 설명 및 도면에 있어서는, 실질적으로 동일한 부품, 부분 등에 대해서 가능한 한 동일한 참조부호를 사용하고 있지만, 다른 부품, 부분끼리에 있어서 동일한 부호가 붙여지는 경우도 있을 수 있다. 따라서, 이하의 설명은 도면과 그와 관련한 설명부분에 의해 실질적으로 이해될 수 있다.

〔A〕 도 1부터 도 14d와 관련한 표시패널의 제조방법 및 장치

도 1부터 도 14d와 관련해서 설명하는 표시패널 제조방법 및 장치는, 다음의 (A-1)타입~(A-4)타입의 표시패널 제조방법 및 장치의 1 또는 2 이상에 기초한 것이다.

〔A-1〕

(A-1)타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정,

제1패널소자를 유지한 제1스테이지 및 제2패널소자를 유지한 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여 양쪽 패널소자를 대향시킴과 더불어 그 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추고, 그 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정 및,

양쪽 패널소자를 상기 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부부터 상기 접착재로 순차 전면적으로 접합해 가는 접합공정을 포함한 표시패널의 제조방법을 제공한다.

이 표시패널 제조방법에서의 양쪽 패널소자의 접합공정에서는, 예컨대 제1스테이지에 양쪽 패널소자를 억누르는 억누름부재를 이용해서, 그 억누름부재에 의한 양쪽 패널소자 억누름상태를 유지하면서 제1스테이지를 그 억누름부재에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 행해도 된다.

이 경우, 그 억누름부재는, 예컨대 겹쳐맞추어진 양쪽 패널소자의 단부를 제1스테이지에 억눌러 유지하는 수단을 겸해도 된다. 물론, 유지공정 실시를 위한 단부 유지수단은 그 억누름부재와는 별개로 설치해도 된다.

어느 것으로 해도, 이와 같은 억누름부재는 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 것으로 하고, 상기 접합공정에서는 그 패널소자 억누름면을 패널소자에 대해 상대적으로 전동(轉動)시켜도 된다. 이에 의해, 원활하게 접합공정을 실시할 수 있다.

철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다. 단면 원형의 억누름 롤러를 이용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운(逆crown)형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

억누름부재를 이용하는 표시패널의 제조방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다. 즉,

제1패널소자를 유지한 제1스테이지 및 제2패널소자를 유지한 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여 양쪽 패널소자를 대향시킴과 더불어 그 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추고, 그 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 유지공정에 있어서, 그 양쪽 패널소자의 겹쳐맞춘 부분의 유지를 억누름부재로 제1스테이지로 억눌러 그 겹쳐맞춘 상태로 유지한다.

그리고, 양쪽 패널소자를 그 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부부터 상기 접착재로 순차 전면적으로 접합해 가는 접합공정에 있어서는, 그 억누름부재로 양쪽 패널소자 단부가 억눌려진 제1스테이지를, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서 그 억누름부재 및 제2스테이지에 대해 상대적으로 이동시켜, 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출(引出)하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 상기 접착재로 순차 전면적으로 접합해 간다.

이 방법에 있어서, 억누름부재로서 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 것을 채용할 경우는, 접합공정에서는 그 패널소자 억누름면을 패널소자에 대해 상대적으로 전동시킬 수 있다. 이에 의해, 원활하게 양쪽 패널소자를 접합시킬 수 있다.

어느 것으로 해도, 제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정에서는, 그 후의 공정인 제1 및 제2패널소자의 겹쳐맞추어진 소정 단부를 그 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정을 실시하기 쉽도록, 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추어 그 겹쳐맞춘 상태로 유지할 경우의 제2패널소자 단부를 제2스테이지로부터 삐져 나오게 한 상태로 그 제2스테이지에 유지시켜도 된다.

상기의 어느 표시패널 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2스테이지에 의한 제1 및 제2패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치한 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지하는 경우를 들 수 있다.

또한, 상기의 어느 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그것 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

우선, 제1, 제2패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 후정도의 양쪽 패널소자 겹쳐맞춘 단부의 유지공정 및 접합공정이 실시되도록 위치결정된 일치시킴 마크를 제1, 제2의 각각의 스테이지에 미리 설치해 둔다. 또한, 제1패널소자에 제1스테이지의 일치시킴 마크에 합치(合致)시켜야 할 일치시킴 마크를, 제2패널소자에 제2스테이지의 일치시킴 마크에 합치시켜야 할 일치시킴 마크를 설치해 둔다. 그리고,

(a1) 각 스테이지 상에 대응하는 패널소자를 배치하고, 그 스테이지와 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 패널소자를 수작업으로 움직여 위치 일치시킨다. 또는,

(b1) 각 스테이지 위 또는 그 윗쪽에 대응하는 패널소자를 배치하고, 그 스테이지와 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라 관찰하면서 패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 위치 일치시킨다. 스테이지 윗쪽에 패널소자를 배치해서 위치 일치시킬 경우는, 위치 일치시킴 후에 그 패널소자를 스테이지에 옮겨 놓으면 된다.

또는, 다음의 방법도 예시할 수 있다. 즉, 스테이지에 X-Y-θ 구동이 가능한 패널소자 유지부를 설치해 두고, 그 유지부에 미리 위치일치시킴 마크를 설치한 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 유지부를 X-Y-θ 구동장치로 움직임으로써 패널소자의 위치 일치시킴을 행한다. 이 경우, 패널소자의 위치 일치시킴은, 제1, 제2패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 후정도의 양쪽 패널소자 겹쳐맞춘 단부의 유지공정 및 접합공정이 실시되도록 행한다.

어느 것으로 해도, X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치를 수동조작해서 행해도 되지만, 카메라로 검출되는 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 패널소자를 위치맞추도록 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어함으로써 행해도 된다. 후자의 경우에는 기판, 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용할 수 있다.

더욱이, X-Y-θ 구동장치는, 말할 것도 없이, 물체를 방향 X, 이에 수직인 방향 Y로 움직이게 함과 동시에 X-Y평면으로 수직인 축의 둘레로 회전이동시킬 수 있는 장치이다.

상기 위치일치시킴 마크는 액정마크(liquid crystal mark), 전계발광마크(electroluminescence mark) 등으로 통전에 의해 발광하는 것으로 해도 된다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정으로서는, 미리 패널소자 면에 접착되고, 또 아직 표면이 보호시트로 덮여진 양면접착시트 내지 점착시트(그 시트는 테이프형상이어도 된다)로부터 그 보호시트를 제거해서 접착면을 노출시키는 공정이나, 패널소자면에 접착재를 수작업으로 또는 접착재 도포장치에 의해 도포하는 공정을 예시할 수 있다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다. 도포에 의해 설치할 경우는, 양쪽 패널소자중 적어도 한쪽에 전면적으로 도포해도 되지만, 적어도 한쪽의 패널소자의 접합 개시단부나 다른 적당한 부분에 배치해서 이를 접합의 진행과 함께 양쪽 패널소자간에 눌러 확장해 가도록 해도 된다.

접착재를 설치하는 공정은 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추기 전에 실시한다. 이와 같은 단부 겹쳐맞춤 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 된다.

더욱이, 적층해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 제3번째 이후의 각 패널소자에 대해, 상기 접합공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 공정을 반복함으로써, 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 가면 된다.

(A-1)타입의 표시패널 제조장치

이상 설명한 (A-1)타입의 표시패널 제조방법을 실시할 수 있는 장치의 대표예로서 다음의 장치를 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

제1패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

제1패널소자를 제1스테이지 상에 위치맞추기 위한 수단과, 제1스테이지에 대해 소정의 위치관계로 배치되고, 제2패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지,

제2패널소자를 제2스테이지 상에 위치맞추기 위한 수단과, 제1 및 제2스테이지 상에 각각 위치 일치시켜져 유지되는 제1 및 제2패널소자를 대향시킴과 더불어 그 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추도록 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 이동시키는 제1구동장치,

제1 및 제2스테이지 상에 각각 유지되어 상기 소정 단부끼리가 겹쳐맞추어지는 양쪽 패널소자의 그 단부를 제1스테이지로 눌러 유지하는 억누름부재,

상기 억누름부재로 양쪽 패널소자 단부가 억눌려지는 제1스테이지를, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 순차 상기 억누름부재에 의한 억누름 하에 접합해 가도록, 억누름부재 및 제2스테이지에 대해 상대적으로 이동시키는 제2구동장치를 구비하고 있는 표시패널의 제조장치이다.

이 장치에 있어서도, 억누름부재로서, 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 것에 있어서, 그 억누름부재에 의한 제1스테이지 상에서의 양쪽 패널소자의 순차 접합에서 그 패널소자 억누름면이 패널소자에 대해 상대적으로 전동가능한 것을 채용할 수 있다.

철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다. 단면 원형의 억누름 롤러를 이용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

이 제조장치에 의하면, 제1패널소자를 제1스테이지에, 제2패널소자를 제2스테이지에 위치 일치시킴 수단에 의해 위치 일치시켜 유지시킨다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치한다.

그 후, 제1구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 이동시켜 양쪽 패널소자를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞춘다.

이 겹쳐맞춘 단부를 억누름부재로 제1스테이지에 유지한다.

이 후, 제2구동장치에 의해 제1스테이지와, 제2스테이지 및 억누름부재를 상대적으로 이동시킴으로써, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 억누름부재에 의한 억누름 하에 상기 접착재에 의해 순차 접합해 간다.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다.

접착재의 설치방향은 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치할 수 있다. 이 표시패널 제조장치는 접착재 도포장치를 포함해도 된다.

각 패널소자를 대응하는 스테이지에 위치 일치시키는 수단으로서는 다음의 것을 예시할 수 있다.

(a1')

제1, 제2패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 후정도의 양쪽 패널소자 겹쳐맞춤 단부의 유지 및 양쪽 패널소자의 접합이 이루어지도록 위치결정되어 설치된 제1, 제2의 각 스테이지상의 일치시킴 마크.

이와 같은 일치시킴 마크를 이용해서 상기 표시패널 제조방법의 위치 일치시킴 방법예 (a)에서 기술하는 바와 같이 각 스테이지에 패널소자를 위치 일치시킬 수 있다.

(b1')

(a1')에서 기술한 각 스테이지 상의 일치시킴 마크와, 스테이지 위 또는 그 윗쪽에서 그 스테이지에 유지되어야 할 패널소자를 상기 표시패널 제조방법의 위치 일치시킴 방법예 (b)에서 기술한 바와 같이 위치맞추기 위한 일치시킴 마크 검출 카메라 및 X-Y-θ 구동장치, 또는 더욱이 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 그 위치정보)에 기초해서 패널소자를 위치맞추도록 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 위치 일치시킴 장치.

또한, 다음의 위치 일치시킴 장치도 예시할 수 있다. 즉, 스테이지에 설치된 패널소자 유지부, 그 유지부를 구동하는 X-Y-θ 구동장치, 유지부에 유지된 패널소자의 일치시킴 마크를 검출하는 카메라, 및 그 카메라로부터의 일치시킴 마크정보에 기초해서 패널소자를 위치맞추도록 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어하는 제어부를 포함하는 위치 일치시킴 장치이다.

상기의 제1구동장치와 제2구동장치는 일부가 공통으로 구성되어 있어도 된다. 또한, 한쪽이 다른쪽의 일부여도 된다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

〔A-2〕

(A-2)타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제1스테이지에 유지된 제1패널소자 상에 제2패널소자를 겹쳐배치하는 공정,

제1패널소자에 대해 제2패널소자를 위치 일치시키는 공정,

제1스테이지 상의 제1패널소자에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자를 제2스테이지의 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 유지면에 유지시키는 공정,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정,

제2패널소자를 유지한 제2스테이지의 패널소자 유지면을 제1 및 제2패널소자 개재상태로 제1스테이지에 대해 상대적으로 압접전동(壓接轉動) 시킴으로써 그 제2패널소자를 그 일단으로부터 타단으로 상기 접착재로 순차 전면적으로 제1패널소자에 접합해 가는 접합공정을 포함한 표시패널의 제조방법.

이 표시패널 제조방법에 있어서도, 제1, 제2스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치된 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지하는 경우를 들 수 있다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

(a2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1스테이지의 소정 위치에 제1패널소자를 유지시킨 후, 그 패널소자 상에 제2패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 제2패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시킨다.

(b2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1스테이지의 소정 위치에 제1패널소자를 유지시킨 후, 그 패널소자 위 또는 윗쪽에 제2패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 제2패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시킨다. 제1패널소자 윗쪽에서 제2패널소자를 위치 일치시킬 경우는, 위치 일치시킴 후 제2패널소자를 제1패널소자 위에 겹쳐배치하면 된다.

(b2)의 방법을 채용할 경우, 제2패널소자를 유지하는 제3스테이지를 채용하고, 그 제3스테이지에 진공흡착 등의 방법으로 제2패널소자를 유지시킨 후, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 제3스테이지를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키도록 해도 된다. 제2패널소자의 위치 일치시킴 후, 그 패널소자를 제3스테이지로부터 놓아 제1패널소자 상에 겹쳐배치할 수 있다. 제3스테이지는 X-Y-θ 구동장치에 설치된 패널소자 척(chuck)부재여도 된다.

X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, 제1타입의 표시패널 제조방법과 관련해서 설명한 화상처리기술 등을 이용한 자동제어에 의한 방법에 의해서도 좋다.

또한, 위치 일치시킴을 위한 제2패널소자 유지용의 제3스테이지를 채용할 경우, 제1타입의 표시패널 제조방법과 관련해서 기술한 바와 같이, 제1스테이지에 제1패널소자를 위치 일치시킴과 동시에 제3스테이지에 제2패널소자를 위치 일치시키고, 그 후 제1패널소자를 위치 일치시켜진 상태로 유지하고 있는 제1스테이지와 제2패널소자를 위치 일치시켜진 상태로 유지하고 있는 스테이지를 상대적으로 이동시킴으로써 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시켜진 상태로 방향맞추고, 제2패널소자를 놓아 제1패널소자 상에 겹쳐배치해도 된다.

이렇게 해서, 제1스테이지 상에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 양쪽 패널소자중 제2패널소자를 제2스테이지의 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 유지면에 유지시킨다. 이 유지는, 예컨대 제1스테이지 상의 제1패널소자에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자에 제2스테이지의 패널소자 유지면을 상대적으로 접촉전동(接觸轉動)시킴으로써 용이하게 행한다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치한다. 접착재는 제1타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치할 수 있다.

접착재를 설치하는 공정은, 양쪽 패널소자의 상기 접합공정 전에 실시한다. 접합공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 접착재를 설치해도 된다.

이렇게 해서, 제2패널소자를 유지한 제2스테이지를 양쪽 패널소자 개재상태로 제1스테이지에 대해 상대적으로 압접전동 시킴으로써 그 제2패널소자를 그 일단으로부터 타단으로 상기 접착재로 순차 전면적으로 제1패널소자에 접합해 간다.

이와 같은 제2스테이지의 소정 곡률로 이루어진 철곡면은 원통이나 원주의 외주면이어도 좋고, 측면에서 보아 부채형을 나타내는 곡면 등이어도 좋다.

더욱이, 적층해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 제3번째 이후의 각 패널소자에 대해, 상기 접합공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 가면 된다.

(A-2)타입의 표시패널 제조장치

이상 설명한 (A-2)타입의 표시패널 제조방법을 실시할 수 있는 장치의 대표예로서, 다음의 장치를 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

제1패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

제1스테이지에 유지되는 제1패널소자 상에 제2패널소자를 그 제1패널소자에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치,

제1스테이지 상에서 제1패널소자 상에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자를 유지하는 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 유지표면을 갖춘 제2스테이지 및,

제1스테이지 상에서 제1패널소자 상에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자에 제2스테이지의 패널소자 유지면을 상대적으로 접촉전동 시켜 그 패널소자 유지면에 제2패널소자를 일단 유지시키고, 그 후 제2패널소자를 유지하는 제2스테이지와 제1패널소자를 유지하는 제1스테이지를, 그 제2패널소자를 그 일단으로부터 타단으로 순차 그 제1패널소자에 접합해 가도록 제1 및 제2패널소자 개재상태로 상대적으로 압접전동 시키는 스테이지 구동장치를 구비하고 있는 표시패널의 제조장치이다.

이 장치에 있어서도, 제2스테이지의 철곡면으로 이루어진 패널소자 유지면은 원통이나 원주의 외주면이어도 좋고, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 곡면 등이어도 좋다.

이 제조장치에 의하면, 제1패널소자를 제1스테이지에 유지시키고, 위치 일치시킴 장치에 의해 그 제1패널소자 상에 제2패널소자를 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치한다.

이어서, 스테이지 구동장치에 의해, 그 제2패널소자를 일단 제2스테이지에 유지시킨다. 이 제2스테이지에 의한 패널소자 유지는, 제2스테이지의 패널소자 유지면을 제2패널소자에 대해 상대적으로 접촉전동 시킴으로써 원활하게 이루어질 수 있다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치한다.

그 후, 상기 스테이지 구동장치에 의해, 제2패널소자를 유지하는 제2스테이지를 제1스테이지 상의 제1패널소자에 압접전동 시켜, 제2패널소자를 그 일단으로부터 타단으로 순차 제1패널소자에 접착재로 접합해 간다.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다.

접착재의 설치방향은, 상기 (A-1)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치할 수 있다. 이 표시패널 제조장치는 접착재 도포장치를 포함해도 된다.

위치 일치시킴 장치로서는, 예컨대 상기 (A-2)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 위치 일치시킴 방법을 실시할 수 있는, 일치시킴 마크 관찰카메라, 또는 일치시킴 마크 관찰 및 X-Y-θ 구동장치 또는 더욱이 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 마크 위치정보)에 기초해서 양쪽 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어하는 제어부 등을 포함하는 위치 일치시킴 장치를 채용할 수 있다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

〔A-3〕

(A-3)타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

그 스테이지에 유지된 제1패널소자 상에 제2패널소자를 겹쳐배치하는 공정,

제1패널소자에 대해 제2패널소자를 위치 일치시키는 공정,

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 일단부를 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정,

제1 및 제2패널소자간에 상기 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부를 남겨 틈을 형성하는 공정,

제1 및 제2패널소자의 서로 맞추어야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정 및,

제1 및 제2패널소자를 그 접착재로 상기 유지된 단부측부터 순차 전면적으로 접합해 가는 접합공정을 포함한 표시패널의 제조방법.

이 표시패널 제조방법의 보다 구체적인 것으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

그 스테이지에 유지된 제1패널소자 상에 제2패널소자를 겹쳐배치하는 공정,

제1패널소자에 대해 제2패널소자를 위치 일치시키는 공정,

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 일단부를 상기 스테이지에 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정,

제1 및 제2패널소자간에 상기 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부를 남겨 틈을 형성하는 공정,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정 및,

제1 및 제2패널소자를 그 접착재로 상기 유지된 단부측부터, 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동하는 억누름부재에 의해 순차 전면적으로 접합해 가는 접합공정을 포함한 표시패널의 제조방법이다.

이 억누름부재는, 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 것으로 하고, 접합공정에서는 그 패널소자 억누름면을 패널소자에 대해 상대적으로 전동시키도록 해도 된다.

철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다. 단면 원형의 억누름 롤러를 이용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

이 (A-3)타입에 속하는 표시패널 제조방법에 있어서도, 스테이지에 의한 제1패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치된 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지할 경우를 들 수 있다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은, (A-2)타입의 표시패널 제조방법과 관련해서 설명한 위치 일치시킴 방법을 채용할 수 있다.

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자는 그 일단부를 겹쳐맞춘 상태로 유지하지만, 이미 기술한 바와 같이 예컨대 상기 스테이지에 유지해도 된다. 그 경우, 예컨대 스테이지 등에 설치된 유지장치(예컨대, 유지클립)를 이용해서 행한다.

이 양쪽 패널소자 단부의 유지 후, 제1 및 제2패널소자간에 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부를 남겨 틈을 형성하는 것이지만, 그 틈 형성은, 예컨대 스테이지에 유지된 단부와는 반대측의 단부를 잡아 들어올림으로써 용이하게 행한다.

접착재는, 이와 같이 양쪽 패널소자간에 틈이 형성된 후에 설치한다.

접착재의 설치방향은, (A-1)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치할 수 있다.

접착재를 설치한 후에, 상기 접합공정을 실시한다.

더욱이, 적층해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우, 제3번째 이후의 각 패널소자에 대해, 상기 접합공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 가면 된다.

(A-3)타입의 표시패널 제조장치

이상 설명한 (A-3)타입의 표시패널 제조방법을 실시할 수 있는 장치의 대표예로서, 다음의 장치를 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

제1패널소자를 유지하기 위한 스테이지와,

그 스테이지에 유지되는 제1패널소자 상에 제2패널소자를 그 제1패널소자에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치,

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 일단부를 스테이지에 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 유지장치,

상기 유지장치로 겹쳐맞춘 상태로 유지되는 단부를 남겨 제1 및 제2패널소자간에 틈을 형성하는 틈 형성장치 및,

틈 형성장치에 의해 틈이 형성되는 제1 및 제2패널소자를 상기 유지장치에 의한 유지단부측부터 순차 전면적으로 접합해 가기 위한, 스테이지에 대해 상대적으로 이동가능한 억누름부재를 구비하고 있는 표시패널의 제조장치이다.

접합을 원활화 하기 위해, 억누름부재로서, 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖추고, 그 억누름부재에 의한 양쪽 패널소자의 순차 접합에 있어서 그 패널소자 억누름면이 패널소자에 대해 상대적으로 전동가능한 것을 채용해도 된다. 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다.

단면 원형의 억누름 롤러를 이용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

이 제조장치에 의하면, 제1패널소자를 스테이지에 유지시키고, 위치 일치시킴 장치에 의해 그 제1패널소자 상에 제2패널소자를 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치한다.

그 스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다.

위치 일치시킴 장치로서는, 예컨대 상기 (A-2)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 위치 일치시킴 방법을 실시할 수 있는, 일치시킴 마크 관찰카메라, 또는 일치시킴 마크 관찰카메라 및 X-Y-θ 구동장치 또는 더욱이 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 마크 위치정보)에 기초해서 양쪽 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어하는 제어부 등을 포함하는 위치 일치시킴 장치를 채용할 수 있다.

이어서, 겹쳐지고, 위치 일치시켜진 양쪽 패널소자의 일단부를 단부 유지장치로 스테이지에 겹쳐맞춘 상태로 유지한다.

더욱이, 유지장치에 의해 유지되는 단부를 남겨 틈 형성장치에 의해 제1 및 제2패널소자간에 틈을 형성한다.

이와 같은 틈 형성장치로서는, 예컨대 제2패널소자의 스테이지에 유지된 단부와는 반대측의 단부를 잡아 들어올리고, 잡은 제2패널소자 단부를 억누름부재에 의한 양쪽 패널소자 접합의 진행에 대해 제1패널소자에 가까운 것을 들 수 있다.

양쪽 패널소자간에 틈을 형성한 후, 양쪽 패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽에 접착재를 설치한다.

이 접착재는 상기 (A-1)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치할 수 있다. 이 표시패널 제조장치는 접착재 도포장치를 포함해도 된다.

접착재를 설치한 후, 억누름부재로 제1 및 제2패널소자를 상기 단부 유지장치에 의한 유지단부측부터 순차 전면적으로 접합해 간다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

〔A-4〕

(A-4)타입의 표시패널 제조방법

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

스테이지에 유지된 제1패널소자 상에 제2패널소자를 겹쳐배치하는 패널소자 겹침배치공정,

제1패널소자에 대해 제2패널소자를 위치 일치시키는 위치 일치시킴공정,

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 상호 위치관계를 유지해야 할 그들 패널소자를 스테이지에 가고정(假固定)하는 가고정공정,

가고정된 제1 및 제2패널소자에 그들 패널소자의 상호 위치관계를 결정하는 위치결정 구멍을 설치하는 구멍뚫기공정 및,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하고, 상기 위치결정 구멍을 이용해서 제1 및 제2패널소자를 상호 위치결정하면서 양패널소자를 상기 접착재에 의해 상호 접합하는 접합공정을 포함한 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.

이 (A-4)타입에 속하는 표시패널 제조방법에 있어서도, 스테이지에 의한 제1패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치된 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지하는 경우를 들 수 있다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은, 상기 (A-2)타입의 표시패널 제조방법과 관련해서 설명한 위치 일치시킴 방법을 채용할 수 있다.

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자는 상호 위치 일치시킴 관계를 유지해야 할 그들 패널소자를 스테이지에 가고정한다. 이와 같은 가고정은 양쪽 패널소자의 적어도 한쪽의 단부를, 예컨대 스테이지 등에 설치된 클립 등의 가고정 장치로 스테이지에 유지함으로써 행한다.

이 양쪽 패널소자의 가고정 후, 제1 및 제2패널소자에 그들 패널소자의 상호 위치관계를 결정하는 위치결정 구멍을 설치한다.

그 후, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하고, 상기 위치결정 구멍을 이용해서 제1 및 제2패널소자를 상호 위치결정하면서 양쪽 패널소자를 그 접착재에 의해 상호 접합한다.

예컨대, 상기 (A-3)타입의 표시패널 제조방법에 있어서의, 「겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 일단부를 스테이지에 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정」을 그 위치결정 구멍을 이용해서 실시하고, 이어서 이와 같이 하여 겹쳐맞춘 상태로 유지된 단부를 남겨 제1 및 제2패널소자간에 틈을 형성하는 공정, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정 및, 제1 및 제2패널소자를 그 접착재로 상기 유지된 단부측부터, 상기 스테이지에 대해 상대적으로 이동하는 억누름부재에 의해 순차 전면적으로 접합해 가는 접합공정을 실시하여 패널소자가 접합된 표시패널을 얻을 수 있다.

더욱이, 적층해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우, 제3번째 이후의 각 패널소자에 대해, 상기 가고정공정에 의해 상기 스테이지에 겹쳐지고, 위치 일치시켜진 상태로 가고정된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음의 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 상기 패널소자 겹침배치공정, 위치 일치시킴공정 및 가고정공정을 실질적으로 반복함으로써 먼저 겹쳐지고, 위치 일치시켜진 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 겹쳐맞춤과 더불어 위치 일치시켜 상기 스테이지에 가고정하고, 모든 패널소자에 대해 가고정이 종료한 후에, 상기 구멍뚫기공정 및 상기 인접한 패널소자끼리의 접착재에 의한 접합공정을 실시하면 된다.

(A-4)타입의 표시패널 제조장치

이상 설명한 (A-4)타입의 표시패널 제조방법을 실시할 수 있는 장치의 대표예로서 다음의 장치를 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

제1패널소자를 유지하기 위한 스테이지와,

그 스테이지에 유지되는 제1패널소자 상에 제2패널소자를 그 제2패널소자에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치,

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자의 상호 위치관계를 유지해야 할 그들 패널소자를 스테이지에 가고정하는 가고정 장치 및,

상기 스테이지 상에 가고정되는 제1 및 제2패널소자에 그들 패널소자의 상호 위치관계를 결정하는 위치결정 구멍을 설치하는 구멍뚫기 장치를 구비하고 있는 표시패널의 제조장치이다.

이 제조장치에 있어서도, 제1패널소자를 스테이지에 유지시키고, 위치 일치시킴 장치에 의해 그 제1패널소자 상에 제2패널소자를 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치한다.

그 스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다.

위치 일치시킴 장치로서는, 상기 (A-2)타입의 표시패널 제조방법에서 설명한 위치 일치시킴 방법을 실시할 수 있는, 일치시킴 마크 관찰카메라, 또는 일치시킴 마크 관찰카메라 및 X-Y-θ 구동장치 또는 더욱이 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 마크 위치정보)에 기초해서 양쪽 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어하는 제어부 등을 포함하는 위치 일치시킴 장치를 채용할 수 있다.

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 양쪽 패널소자를 스테이지에 가고정하는 가고정 장치로서는, 예컨대 양쪽 패널소자의 적어도 한쪽의 단부를 스테이지에 가고정하기 위한, 스테이지 등에 설치된 클립 등을 포함하는 장치로 할 수 있다.

이 표시패널 제조장치는, 더욱이 상기 위치결정 구멍을 이용해서 제1 및 제2패널소자를 상호 위치결정하면서 양쪽 패널소자를 접착재에 의해 상호 접합하는 접합장치를 구비해도 된다.

이와 같은 접합장치로서는, 상기 (A-3)타입의 표시패널 제조장치에서 채용한 패널소자 단부 유지장치로서, 상기 위치결정 구멍을 이용해서 패널소자 단부를 스테이지에 유지하는 단부 유지장치를 구비함과 더불어, 더욱이 그 단부 유지장치에 의해 겹쳐맞춘 상태로 유지되는 단부를 남겨 제1 및 제2패널소자간에 틈을 형성하는 틈 형성장치 및, 틈 형성장치에 의해 틈이 형성되는 제1 및 제2패널소자를 상기 유지장치에 의한 유지단부측부터 순차 전면적으로 접합해 가기 위한, 스테이지에 대해 상대적으로 이동가능한 억누름부재를 포함하는 장치를 예시할 수 있다. 접착재 도포장치를 더 포함해도 된다.

접합을 원활화 하기 위해, 이와 같은 억누름부재로서, 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖추고, 그 억누름부재에 의한 양쪽 패널소자의 순차 접합에 있어서 그 패널소자 억누름면이 패널소자에 대해 상대적으로 전동가능한 것을 채용해도 된다. 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 채용할 수 있다. 단면 원형의 억누름 롤러를 이용할 경우, 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

이상 설명한 본 발명과 관련한 어느 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서도, 인접한 패널소자는 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합되고, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어진다.

또한, (A-1), (A-2) 및 (A-3)의 각 타입의 표시패널 제조방법 및 장치에서는, 인접한 패널소자는 단부부터 순차 접합해 가기 때문에, 그들 패널소자 사이로부터 탈기(脫氣)하여 양자를 밀착시켜, 주름이 없는 상태로 접합할 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어진다.

(A-4)타입의 표시패널 제조방법 및 장치에 있어서도, 인접한 패널소자의 접합을 패널소자 단부부터 순차 전면적으로 행하는 것이 가능하고, 그렇게 함으로써 그들 패널소자 사이로부터 탈기해서 양자를 밀착시켜, 주름 등이 없는 상태로 접합할 수 있다.

이상 설명한 (A-1)~(A-4)의 타입중 어느 표시패널 제조방법에 있어서도, 인접한 패널소자 사이로부터 보다 확실하게 탈기하기 위해, 적어도 상기 접합공정을 소정 감압분위기중에서 실시해도 된다.

또한, 이를 위해 표시패널 제조장치는, 인접한 패널소자의 접합에 있어서 그 양쪽 패널소자의 주위 분위기를 소정 감압분위기로 하기 위한 감압실을 구비해도 된다.

이상 설명한 (A-1)~(A-4)타입의 방법 및 장치는, 각종 표시패널의 제조에 적용할 수 있지만, 이하에 액정표시패널의 제조방법 및 제조장치의 구체적인 예에 대해 도 1부터 도 14d를 참조해서 설명한다.

도 1은 제조하려고 하는 반사형 액정표시패널의 일예의 개략 측면도이다.

이 액정표시패널 A는, 청색(블루)표시를 행하는 패널소자(이하, B패널소자라 칭함) B, 녹색(그린)표시를 행하는 패널소자(이하, G패널소자라 칭함) G 및, 적색(레드)표시를 행하는 패널소자(이하, R패널소자라 칭함) R을 적층해서 풀칼라 화상표시 가능하게 한 패널이고, 각 인접한 B패널소자와 G패널소자, G패널소자와 R패널소자를 각각 접착재 N으로 상호 접합한 것이다. R패널소자의 외면에는 흑색의 광흡수층 BK를 설치하고 있다.

B, G, R패널소자의 각각은 대향하는 1쌍의 투명기판 S1, S2 사이에 정해진 색으로 화상표시하기 위한 액정 함유층(LC)을 협착(挾着)한 것이다. 각 기판 S1, S2에는 액정 함유층(LC)에 대향하는 면에 각각 도시를 생략한 전극이 형성되어 있다.

도 2에서 도 5는 각각 이와 같은 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치 예의 개략 구성도이다.

도 2의 패널 제조장치는,

제1패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100)와,

제1패널소자(c1)를 제1스테이지(100) 상에 위치맞추기 위한 위치 일치시킴 장치(400),

제1스테이지(100)에 대해 소정의 위치관계에 배치되고, 제2패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200),

제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200) 상에 위치맞추기 위한 위치 일치시킴 장치(500),

제1 및 제2스테이지(100, 200) 상에 각각 위치 일치시켜져 유지되는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자(c1, c2)의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추도록 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 상대적으로 이동시키는 제1구동장치 (300; 스테이지 100의 구동장치 310과 스테이지 200의 구동장치 320의 조합),

제1 및 제2스테이지(100, 200) 상에 각각 유지되어 상기 소정 단부끼리가 겹쳐맞추어지는 양쪽 패널소자(c1, c2)의 그 단부를 제1스테이지(100)로 눌러 유지하는 억누름부재(610) 및,

억누름부재(610)로 양쪽 패널소자 단부가 억눌려지는 제1스테이지(100)를, 억누름부재(610)에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200)로부터 인출하면서 제1스테이지(100) 상에서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 순차 억누름부재(610)에 의한 억누름 하에 접합해 가도록, 억누름부재(610) 및 제2스테이지(200)에 대해 상대적으로 이동시키는 제2구동장치(310)를 구비하고 있다. 더욱이, 제2구동장치(310)는 제1구동장치(300; 310과 320으로 이루어진)의 일부이다.

도 3의 패널 제조장치는,

제1패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100)와,

제1스테이지(100)에 유지되는 제1패널소자(c1) 상에 제2패널소자(c2)를 제1패널소자(c1)에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치(400'),

제1스테이지(100) 상에서 제1패널소자(c1) 상에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자(c2)를 일단 유지해서 들어올리는 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 유지표면(200a')을 갖춘 제2스테이지(200') 및,

제1스테이지(100) 상에서 제1패널소자(c1) 상에 위치 일치시켜져 겹쳐배치된 제2패널소자(c2)에 제2스테이지(200')의 패널소자 유지면(200a')을 상대적으로 접촉전동 시켜 패널소자 유지면(200a')에 제2패널소자(c2)를 일단 유지시키고, 그 후 제2패널소자(c2)를 유지하는 제2스테이지(200')와 제1패널소자(c1)를 유지하는 제1스테이지(100)를, 제2패널소자(c2)를 그 일단으로부터 타단으로 순차 제1패널소자(c1)에 접합해 가도록 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 개재상태로 상대적으로 압접전동 시키는 스테이지 구동장치(300')를 구비하고 있다.

도 4의 패널 제조장치는,

제1패널소자(c1)를 유지하기 위한 스테이지(100)와,

스테이지(100)에 유지되는 제1패널소자(c1) 상에 제2패널소자(c2)를 제1패널소자(c1)에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치(400'),

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 일단부를 스테이지(100)에 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 유지클립(800),

유지클립(800)에 의해 겹쳐맞춘 상태로 유지되는 단부를 남겨 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 사이에 틈을 형성하는 틈 형성장치(900) 및,

틈 형성장치(900)에 의해 틈이 형성되는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 유지클립(800)에 의한 유지단부측부터 순차 전면적으로 접합해 가기 위한, 스테이지(100)에 대해 상대적으로 이동가능한 억누름 롤러(600')를 구비하고 있다.

도 5의 패널 제조장치는,

제1패널소자(c1)를 유지하기 위한 스테이지(100)와,

스테이지(100)에 유지되는 제1패널소자(c1) 상에 제2패널소자(c2)를 제1패널소자(c1)에 대해 위치 일치시켜 겹쳐맞춰 배치하는 위치 일치시킴 장치(400'),

겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 상호 위치관계를 유해야 할 그들 패널소자를 스테이지(100)에 가고정하는 가고정 장치(1000) 및,

스테이지(100) 상에 가고정되는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)에 그들 패널소자(c1, c2)의 상호 위치관계를 결정하는 위치결정 구멍을 설치하는 구멍뚫기 장치(1100)를 구비하고 있다.

이하에, 도 2에서 도 5에 나타낸 각 패널 제조장치에 대해 도 2의 장치부터 순차 설명하지만, 각 구성부품중 이하에 설명하는 패널 제조장치에서 동일한 구성, 작용을 갖는 부품에 대해서는, 이하의 패널 제조장치에서의 설명은 생략한다. 더욱이, 이들의 부품에 대해서는 동일한 참조부호를 붙이고 있다.

도 2에 나타낸 패널 제조장치는, 이미 기술한 바와 같이, 제1스테이지(100)와, 위치 일치시킴 장치(400), 제2스테이지(200), 위치 일치시킴 장치(500), 스테이지 구동장치(320)와 스테이지 구동장치(310)로 이루어진 제1구동장치(300) 및 억누름부재(610)를 구비하고 있다.

제1스테이지(100)는, 도 3에 나타낸 패널 제조장치의 제1스테이지(100), 도 4 및 도 5에 나타낸 패널 제조장치의 스테이지(100)와 동일한 것이다.

이 제1스테이지(100)는, 제1흡착 테이블(101), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(110)를 포함하고 있다.

제1흡착 테이블(101)은 패널소자(c1)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(101a)이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(110)는 이와 같은 흡기구멍(101a) 외에, 스테이지(100)에서의 배기실(111), 플렉시블 튜브(112), 배기장치(113)를 포함하고 있고, 배기장치(113)는 튜브(112)의 일단부에, 튜브(112)의 타단부는 배기실(111)에 접속되어 있으며, 배기실(111)은 흡착 테이블(101)의 흡기구멍(101a)에 연통(連通)하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(113)의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(101a)으로부터 배기실(111), 튜브(112)를 통해 배기된다.

제2스테이지(200)는, 제2흡착 테이블(201), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(210)를 포함하고 있다.

제2흡착 테이블(201)은 패널소자(c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(201a)이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(210)는 이와 같은 흡기구멍(201a) 외에, 스테이지(200)에서의 배기실(211), 플렉시블 튜브(212), 배기장치(213)를 포함하고 있으며, 배기장치(213)는 튜브(212)의 일단부에, 튜브(212)의 타단부는 배기실(211)에 접속되어 있으며, 배기실(211)은 흡착 테이블(201)의 흡기구멍(201a)에 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(213)의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(201a)으로부터 배기실(211), 튜브(212)를 통해 배기된다.

스테이지(100)의 구동장치(310)는, 도 3에서 도 5에 나타낸 패널 제조장치에도 설치되어 있으며, 그것으로는 한정되지 않지만, 가이드레일(311)에 걸쳐 설치된 랙기어(311a)에 제1스테이지(100)에 설치된 피니온기어(313)를 맞물리게 하고, 이 피니온기어(313)를 제1스테이지(100)에 탑재한 모터(312)로 왕복회전시키는 것이다. 제1스테이지(100)는 구동장치(310)에 의해 가이드레일(311)에 따라 이동하고, 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1) 또는 패널소자 접합 개시위치(Q2)에 배치된다. 이 이동에 대응해서는, 제1스테이지(100)에 설치한 슬라이더(102)가 가이드레일(311)에 따라 미끄럼 운동한다.

스테이지(200)의 구동장치(320)는, 제2스테이지 지지아암(321)과 이를 구동하는 회전구동부(322)를 포함하고 있다.

제2스테이지 지지아암(321)은, 일단부가 회전구동부(322)의 축(322a)에 지지되어 있으며, 타단부가 제2스테이지(200)에 연결되어 있다. 회전구동부(322)는 정위치에 배치되어 있으며, 축(322a)을 소정의 타이밍으로 소정 방향(도면중 A방향) 또는 그 소정 방향과는 반대방향(도면중 B방향)으로 회전이동할 수 있다. 이렇게 해서, 회전구동부(322)의 구동에 의한 축(322a)의 회전이동에 의해 지지아암(321) 및 제2스테이지(200)가 소정의 타이밍으로 A방향 또는 B방향으로 선회(旋回)된다.

억누름부재(610)는, 도시를 생략한 승강구동장치에 의해 승강할 수 있고, 이렇게 해서 그 승강구동장치에 의해 억누름부재(610)가 소정의 타이밍으로 패널소자 접합 개시위치(Q2)에 위치하는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 제1스테이지(100)로 억누르는 억누름 위치 P1 또는 위치 P2로부터 윗쪽으로 퇴피(退避)하는 퇴피위치 P2에 배치된다.

억누름부재(610)는, 여기서는 단면 원형의 억누름 롤러이고, 패널소자 억누름 둘레면(610a)을 갖추고 있다.

위치 일치시킴 장치(400, 500)는, 각각 2대의 카메라 410, 510(여기에서는, CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(D1, D2), 제어부(430, 530)를 구비하고 있다.

도 6에는 제1, 제2스테이지(100, 200)의 흡착 테이블(101, 201)에 유지된 제1, 제2패널소자(c1, c2)를 위에서 본 도면을 나타낸다. 더욱이, 위치 일치시킴 장치(400, 500) 등은 도시를 생략하고 있다.

제1, 제2스테이지(100, 200)에서의 스테이지대(120, 220)에는, X-Y-θ 구동장치(D1, D2), 상기의 배기실(111, 211), 더욱이 흡착 테이블(101, 201)이 각각 설치되어 있다.

제1, 제2패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외(外)에 각각 형성되어 있다. 더욱이, 일치시킴 마크는, 여기에서는 십(十)자형의 패턴이 패널소자의 대각선 방향 양단영역에 형성되어 있지만, 거기에 한정되는 것은 아니고, 각 패널소자를 상호 위치 일치시킬 수 있는 것이면, 어떤 패턴이라도 좋고, 또한 표시영역 외이면, 어느 위치에 형성되어 있어도 된다. 또한, 이 일치시킴 마크는 인쇄 등에 의해 형성되어도 좋고, 패널소자의 전극형성의 경우에 표시영역 외에 마커용 전극을 설치해 두고, 그 마커용 전극으로의 전압인가에 의해 점등하는 것이어도 좋다. 여기에서는, 패널소자(c1, c2) 상에 일치시킴 마크(m1, m2)가 각각 인쇄되어 있다.

도 2에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 흡착 테이블(101)에 유지된 패널소자(c1)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)에 보낼 수 있다. 또한, CCD 카메라(510)는 제어부(530)에 접속되어 있으며, 흡착 테이블(201)에 유지된 패널소자(c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(530)에 각각 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(D1, D2)는 각각 제어부(430, 530)에 접속되어 있다. 제어부(430, 530)는 카메라로부터의 마크정보에 기초해서 패널소자(c1, c2)를 각각 소정 위치에 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동장치(D1, D2)로 흡착 테이블(101, 201)을 X-Y-θ 구동하도록 구동장치(D1, D2)의 동작을 제어한다. 이 제어부(430, 530)는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용하는 수단을 각각 포함하고 있다.

흡착 테이블(101, 201)에 흡착유지된 제1, 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴은, 정밀도 좋게 맞추어진 상태로 후정도의 양쪽 패널소자 겹쳐맞춤 단부의 유지 및 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합이 이루어지도록 행해진다.

더욱이, 위치 일치시킴 장치(500)는, 도시를 생략한 승강구동장치에 지지되어 있으며, 이 승강구동장치에 의해, 위치 일치시킴을 행하지 않을 경우에는 윗쪽의 위치, 즉 제2스테이지(200)가 선회해도 충돌하지 않는 위치로 퇴피하고 있다.

도 3에 나타낸 패널 제조장치는, 이미 기술한 바와 같이, 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400'), 제2스테이지(200'), 스테이지 구동장치(300')를 구비하고 있다.

위치 일치시킴 장치(400')는 도 4 및 도 5에 나타낸 패널 제조장치의 위치 일치시킴 장치와 동일한 것이다.

이 위치 일치시킴 장치(400')는, 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)의 윗쪽에 배치되어 있으며, 2대의 카메라(410; 여기에서는, CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(420), 제어부(430') 및 승강구동장치(440)를 구비하고 있다.

도 7에는 각 패널소자(c1, c2)가 제1스테이지(100) 상에서 상호 위치 일치시켜진 상태를 위에서 본 도면을 나타낸다. 더욱이, 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400') 등은 도시를 생략하고 있다.

이미 설명한 바와 같이, 각 패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외에 각각 형성되어 있다.

도 3에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 각 패널소자(c1, c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1, m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)에 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(420)는 패널소자 유지아암(421), X-Y-θ 구동부(422) 및 패널소자 유지장치(423)를 포함하고 있다. 패널소자 유지아암(421)은 일단부가 구동부(422)의 X-Y-θ방향 가동부에 접속되어 있으며, 타단부가 패널소자 유지장치(423)의 흡착 테이블(424) 등을 지지하고 있다.

패널소자 유지장치(423)는 흡착 테이블(424), 배기실(425), 플렉시블 튜브(426), 배기장치(427)를 포함하고 있으며, 흡착 테이블(424)로 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다.

흡착 테이블(424)은 패널소자(c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(424a)이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

배기장치(427)는 튜브(426)의 일단부에, 튜브(426)의 타단는 배기실(425)에 접속되어 있으며, 배기실(425)은 흡착 테이블(424)의 흡기구멍(424a)에 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(427)의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(424a)으로부터 배기실(425), 튜브(426)를 통해 배기된다.

X-Y-θ 구동부(422)는 제어부(430')에 접속되어 있으며, 흡착 테이블(424) 및 그것에 유지되는 패널소자(c2)를 미리 제1스테이지(100)에 흡착유지된 패널소자(c1)의 표면에 걸쳐 소정 방향(도면중 X방향), 이에 수직인 방향(도면중 Y방향)으로 이동시킴과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레(도면중 θ방향)로 회전이동시킬 수 있다. 이에 의해, 제어부(430')의 지시로, 제1스테이지(100)에 유지시킨 패널소자(c1) 윗쪽에서 패널소자(c2)를 이동시킬 수 있다.

제어부(430')는 이미 기술한 바와 같이 CCD 카메라(410), X-Y-θ 구동장치(420)에 접속되어 있으며, 카메라(410)로부터의 일치시킴 마크(m1, m2)의 마크정보를 위치정보로서 처리하고, 그 위치정보에 기초해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 맞추어 마크(m1, m2)를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 흡착 테이블(424) 및 패널소자(c2)를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치(420)의 동작을 제어한다. 더욱이, 제어부(430')는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용하는 수단을 포함하고 있다. 또한, 배기실(425) 및 흡착 테이블(424)은 패널소자의 일치시킴 마크(m1, m2)를 검출하기 위한 도시를 생략한 투과구멍 또는 창을 갖추고 있다.

승강구동장치(440)는, X-Y-θ 구동장치(420)의 윗쪽에 배열설치되어 있으며, 구동장치(420)를 소정의 타이밍으로 승강시킬 수 있다. 이렇게 해서, 승강구동장치(440)에 의해 X-Y-θ 구동장치(420) 및 이것에 이어 설치되어 있는 흡착 테이블(424)을 아래쪽으로 이동시킬 수 있다. 그리고, 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)에 위치하는 제1스테이지에 유지시킨 패널소자(c1) 상에 미리 올려 놓은 패널소자(c2)에 흡착 테이블(424)을 가까이 하여 그 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다. 그 상태에서 패널소자(c1, c2)를 위치 일치시켜야 할 패널소자(c2)를 X-Y-θ 구동할 수 있다. 위치 일치시킨 후, 패널소자(c2)를 패널소자(c1) 상에 위치 일치시켜진 상태로 겹쳐배치할 수 있다.

제2스테이지(200')는, 여기에서는 측면에서 보아 약 1/4원호의 부채형을 나타내는 패널소자 유지면(200a')을 갖춘 스테이지이다. 또한, 제2스테이지(200')는 패널소자 유지장치(210')를 포함하고 있다.

패널소자 유지장치(210')는 스테이지(200')에서의 흡착 테이블(201') 및 배기실(211') 외에, 플렉시블 튜브(212'), 배기장치(213')를 포함하고 있으며, 흡착 테이블(201')로 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다.

흡착 테이블(201')은 패널소자(c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(210a')이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

배기장치(213')는 튜브(212')의 일단부에, 튜브(212')의 타단부는 배기실(211')에 접속되어 있으며, 배기실(211')은 흡착 테이블(201')의 흡기구멍(201a')에 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(213')의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(201a')으로부터 배기실(211'), 튜브(212')를 통해 배기된다.

이 제2스테이지(200')는 스테이지 구동장치(300')의 1구성원인 스테이지 지지축(310')에 지지되어 있다.

스테이지 구동장치(300')는, 스테이지(100)의 구동장치(310)를 그 일부에 포함하고 있으며, 더욱이 스테이지 지지축(310')을 구동하는 회전구동부(320')를 포함하고 있다.

회전구동부(320')는, 스테이지 지지축(310')을 소정의 타이밍으로 소정 방향(도면중 A방향) 또는 그 소정 방향과는 반대방향(도면중 B방향)으로 회전이동할 수 있다. 이렇게 해서, 제2스테이지(200')가 소정의 타이밍으로 A방향 또는 B방향으로 선회된다.

더욱이, 제2스테이지(200'), 스테이지 지지축(310') 및 회전구동부(320')는, 도시를 생략한 승강구동장치로 승강가능하다. 그 승강구동장치에 의해 제2스테이지(200')는 소정의 타이밍으로 소정의 하강위치 P3 또는 위치 P3으로부터 윗쪽으로 퇴피하는 퇴피위치 P4에 배치된다.

도 4에 나타낸 패널 제조장치는, 이미 기술한 바와 같이, 스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400'), 스테이지(100) 상의 유지클립(800), 틈 형성장치(900), 억누름 롤러(600')를 구비하고 있다.

억누름 롤러(600')는 정위치에 배열설치되어 있다. 이 억누름 롤러(600')는, 여기에서는 탄성 표면층을 갖춘 단면 원형의 억누름 롤러이고, 패널소자 억누름 둘레면(600a')을 갖추고 있다.

유지클립(800)은, 제1스테이지(100)의 일단부에 설치되어 있으며, 제1스테이지(100) 상에서 겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 일단부를 제1스테이지(100)에 겹쳐맞춘 형태로 유지할 수 있다.

틈 형성장치(900)는, 제2패널소자(c2)의 타단부에 탈리(脫離) 가능하게 연결되는 패널소자 지지부재(910), 지지부재(910)를 잡는 클립(920), 정위치의 와이어 안내활차(930; 案內滑車), 와이어를 감고, 풀 수 있는 윈치(940; winch), 일단부가 클립(920)에 타단부가 윈치(940)에 접속된 와이어(950)를 포함하고 있다.

이 틈 형성장치(900)는 윈치(940)로부터 와이어(950)를 풀고, 패널소자(c2)를 지지시킨 지지부재(910)를 클립(920)으로 잡고, 그 후 와이어(950)를 감아 취함으로써, 스테이지(100) 상의 클립(800)으로 유지된 양쪽 패널소자(c1, c2)간에 틈을 형성할 수 있다. 또한, 억누름 롤러(600')에 의한 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 접합 진행에 따라, 윈치(940)로부터 서서히 와이어(950)를 풀어, 들어올려진 패널소자(c2)의 단부를 하강시킬 수 있다.

도 5에 나타낸 패널 제조장치는, 이미 기술한 바와 같이, 스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400'), 가고정 장치(1000), 구멍뚫기 장치(1100)를 구비하고 있다.

가고정 장치(1000)는, 여기에서는 제1스테이지(100)의 양단부에 설치된 2개의 클립(1010)을 포함한 것이고, 이미 기술한 바와 같이, 제1스테이지(100) 상에서 겹쳐지고, 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 상호 위치관계를 유지해야 할 그들 패널소자(c1, c2)를 제1스테이지(100)에 가고정할 수 있다.

구멍뚫기 장치(1100)는, 여기에서는 2대의 프레스기(1110)를 포함하고 있으며, 이미 기술한 바와 같이, 스테이지(100) 상에 가고정되는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)에 그들 패널소자(c1, c2)의 상호 위치관계를 결정하는 위치결정 구멍을 설치할 수 있다.

다음에, 도 2에서 도 5에 나타낸 각 표시패널 제조장치에 의한 도 1에 나타낸 타입의 반사형 액정표시패널 제조예를 도 8에서 도 13에 나타낸 제조공정을 참조하면서 순차 설명한다.

더욱이, 도 2에서 도 5의 각 표시패널 제조장치에 의한 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조함에 있어, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B 패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 제1패널소자(c1)로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 제2패널소자(c2)로 하여 취급하고, 이하에 설명하는 각 패널 제조장치에 의한 제조공정으로 양쪽 패널소자를 접합한다.

우선, 도 2에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 설명한다.

도 8에 도 2의 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면을 나타내고, 도 9에 도 8에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면을 나타낸다. 더욱이, 도 8 및 도 9에서는 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; 여기에서는, R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트로 덮여진 점착시트(adhesive sheet)를 이용해도 된다.

제1패널소자(c1)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다. 위치 일치시킴 장치(400)를 이용해서, 제1패널소자(c1)의 일치시킴 마크(m1)를 CCD 카메라(410)에 의해 관찰하면서 X-Y-θ 구동장치로 흡착 테이블(101)을 구동하여 패널소자(c1)를 소정 위치에 위치 일치시킨다.

마찬가지로, 제2패널소자(c2; 여기에서는, G패널소자)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록, 또한 제2패널소자 단부를 제2스테이지(200)로부터 삐져 나오게 한 상태로 제2스테이지(200)에 세트하고, 흡착 테이블(201)에 흡착시킨다. 위치 일치시킴 장치(500)를 이용해서, 제2패널소자(c2)의 일치시킴 마크(m2)를 CCD 카메라(510)에 의해 관찰하면서 X-Y-θ 구동장치로 흡착 테이블(201)을 구동하여 패널소자(c2)를 소정 위치에 위치 일치시킨다.

(2) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴 종료후, 스테이지 구동장치(310)에 의해 제1패널소자(c1)를 흡착하고 있는 제1스테이지(100)를, 패널소자(c1)의 소정 일단부가 억누름부재(610)의 아래쪽으로 오는 위치, 즉 패널소자 접합위치(Q2)로 이동시킨다.

(3) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)으로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(4) 스테이지 구동장치(320)의 구동부(322)에 의해 제2패널소자(c2)를 흡착하고 있는 제2스테이지(200)를 A방향으로 선회시키고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 단부가 억누름부재(610)의 아래쪽으로 오는 위치까지 이동시킴으로써, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자(c1, c2)의 소정 단부끼리를 겹쳐맞춘다. 이 경우, 위치 일치시킴 장치(500)는 도시 생략한 승강구동장치에 의해, 윗쪽으로 퇴피하고 있다.

(5) 도시를 생략한 승강구동장치에 의해 억누름부재(610)를 억누름 위치(P1)로 하강시키고, 억누름부재(610)의 패널소자 억누름면(610a)의 일부로 양쪽 패널소자(c1, c2)의 겹쳐맞추어진 단부를 제1스테이지(100)로 억누름 유지한다.

(6) 그 후, 스테이지 구동장치(310)에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200) 및 억누름부재(610)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 억누름부재(610)에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200)로부터 인출하면서 제1스테이지(100) 상에서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 억누름부재(610)에 의한 억누름 하에 접착재(N)에 의해 순차 접합해 간다.

(7) 양쪽 패널소자(c1, c2)의 종단까지 억누름부재(610)를 상대적으로 이동시킨 후, 도시 생략한 승강구동장치에 의해 억누름부재(610)를 퇴피위치(P2)로 상승시킨다.

(8) 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합이 종료되면, 패널소자 유지장치(210)에 의한 제2스테이지(200)의 흡착동작을 해제하고, 스테이지 구동장치(320)에 의해 스테이지(200)를 B방향으로 선회시켜, 스테이지(200)를 원래의 위치로 되돌린다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 완료되면, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 되돌아 간다.

다음에, R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 동일한 공정을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

다음에, 도 3에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 설명한다.

도 10에 도 3에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예 (1)부터 (7)을 설명하기 위한 도면을 나타낸다. 더욱이, 도 10에서는 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; 여기에서는 R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN; 점착시트여도 좋다)를 미리 붙여 둔다.

제1패널소자(c1)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록 제1스테이지(100)에 세트하고, 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다.

제2패널소자(c2; 여기에서는 G패널소자)를 제1패널소자(c1) 상에 놓고, 이어서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다.

이 위치 일치시킴은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 패널소자(c1) 위에 올려 놓은 패널소자(c2)를 일단 위치 일치시킴 장치(400')의 패널소자 유지장치(423)의 흡착 테이블(424)에 흡착유지시키고, 그 상태에서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 CCD카메라(410)로 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 유지하는 흡착 테이블(424)을 X-Y-θ 구동장치(420)로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시킨다. 이 위치 일치시킴 동작은 카메라(410)로 검출되는 마크정보에 기초해서 제어부(430')의 지시 하에 이루어진다. 위치 일치시킴 처리가 종료하면 다시 패널소자(c2)를 패널소자(c1) 상에 위치 일치시켜진 상태로 올려 놓는다.

(2) 이와 같이, 위치 일치시켜져 겹쳐맞춰 배치된 패널소자(c1, c2)를 유지하는 제1스테이지(100)를 스테이지 구동장치(310)에 의해 제2스테이지(200')의 아래쪽으로 이동시킨다. 이 경우, 제2스테이지(200')를 소정 하강위치(P3)에 배치해 두고, 제2스테이지(200')와 제1스테이지(100)와의 갭을 패널소자 2매분의 두께와 거의 동일한 거리로 해 둔다.

(3) 더욱이, 제1스테이지(100)를 이동시킴과 동시에, 제2스테이지용의 회전구동부(320')로 제2스테이지(200')를 제1스테이지(100)에 동기시켜 제2패널소자(c2)에 접촉전동 시킨다. 이렇게 해서, 패널소자 유지장치(210')에 의해 제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200')에 흡착유지시킨다. 이 제2스테이지(200')에 의한 패널소자 유지는, 제2스테이지(200')의 패널소자 유지면(200a')을 제2패널소자(c2)에 대해 상대적으로 접촉전동 시킴으로써 원활하게 이루어질 수 있다.

(4) 제2패널소자(c2)를 흡착유지한 제2스테이지(200')를 도시 생략한 승강구동장치에 의해 퇴피위치(P4)로 상승시키고, 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 제2패널소자(c2)를 흡착유지한 제2스테이지(200')를 위치(P3)로 하강시켜, 제2패널소자(c2)의 일단부를 제1패널소자(c1)의 일단부에 눌러붙인다.

(6) 제1스테이지(100)를 위치(Q1)의 방향으로 되돌려 이동시킴과 동시에, 이에 동기시켜 제2패널소자(c2)를 유지한 제2스테이지(200')를 전과는 역회전시키고, 제1스테이지(100) 상의 제1패널소자(c1)에 패널소자(c2)를 매개로 압접전동 시키고, 이에 의해 제2패널소자(c2)를 그 일단으로부터 타단으로 순차 제1패널소자(c1)로 접착재(N)로 접합해 간다.

(7) 패널소자 유지장치(210')에 의한 제2스테이지(200')의 흡착동작을 해제하고, 제2스테이지(200')를 상승시킨다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 완료되면, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 되돌아 간다.

다음에, R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 동일한 공정을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

다음에, 도 4에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 설명한다.

도 11에 도 4에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예 (1)부터 (7)을 설명하기 위한 도면을 나타낸다. 더욱이, 도 11에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; 여기에서는, R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN; 점착시트여도 된다)를 미리 붙여 둔다.

제1패널소자(c1)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록 제1스테이지(100)에 드믄 드믄 위치정하여 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다. 제1패널소자(c1) 상에 제2패널소자(c2; 여기에서는 G패널소자)를 드믄 드믄 위치정하여 겹쳐둔다.

(2) 스테이지 구동장치(310)에 의해 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 올려 놓은 제1스테이지(100)를, 위치 일치시킴 장치(400')의 아래쪽, 즉 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)로 이동시킨다. 여기서, 장치(400')를 이용해서 패널소자(c2)를 패널소자(c1)에 위치 일치시킨다. 이 위치 일치시킴은, 도 10의 공정 (1)과 동일하고, 여기에서는 설명을 생략한다. 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴 종료후, 유지클립(800)에 의해 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 일단부(여기에서는, 도면중 패널소자의 우측의 변부분)를 스테이지(100)에 겹쳐맞춘 상태로 유지한다.

(3) 스테이지 구동장치(310)에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 올려 놓은 제1스테이지(100)를 패널소자 접합 개시위치(Q2)로 이동시킨다. 제2패널소자(c2)를 그 또 한쪽의 단부(도면중 좌측의 변부분)에서 패널소자 지지부재(910)에 유지시킴과 더불어, 이 부재(910)를 클립(920)으로 잡게한다.

(4) 클립(800)에 의해 유지되어 있는 패널소자(c1, c2)의 일단부를 남겨 틈 형성장치(900)에 의해 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 사이에 틈을 형성한다. 즉, 윈치(940)에 의해 와이어(950)를 감아올림으로써, 지지부재(910)를 매개로 클립(920)으로 지지한 제2패널소자(c2)의 단부를, 유지클립(800)에 의해 유지되어 있는 양쪽 패널소자(c1, c2)의 단부를 중심으로 하여 회전이동시켜 들어올린다.

그리고, 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 클립(920)을 와이어(950)에 의해 제2패널소자(c2)가 휘어지지 않도록 인장하면서, 소정의 위치까지 하강시킨다.

(6) 더욱이, 와이어(950)를 풀어내면서 스테이지 구동장치(310)에 의해 제1스테이지(100)를 더 이동시켜, 유지클립(800)에 의해 유지되어 있는 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일단부가 억누름 롤러(600')의 아래까지 온 곳에서, 제2패널소자(c2)의 위로부터 억누름 롤러(600')를 억눌러 개시시킨다. 억누름 롤러(600')는 그 표면층의 탄성에 의해 변형하면서 클립(800)을 뛰어 넘을 수 있다.

(7) 억누름 롤러(600')에 의한 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 접합에 따라, 서서히 클립(920)을 낮추면서, 억누름 롤러(600')로 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 단부 유지클립(800)에 의한 유지단부측으로부터 순차 전면적으로 접합해 간다.

다음에, R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 동일한 공정을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

다음에, 도 5에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 설명한다.

도 12에 도 5에 나타낸 패널 제조장치의 액정패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (5)를 설명하기 위한 도면을 나타내고, 도 13에 도 12에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (6) 및 (7)을 설명하기 위한 도면을 나타낸다. 더욱이, 도 12 및 도 13에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

(1) 제1패널소자(c1; 여기에서는, R패널소자)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록 제1스테이지(100)에 드믄 드믄 위치정하여 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다. 제1패널소자(c1) 상에 제2패널소자(c2; 여기에서는, G패널소자)를 드믄 드믄 위치정하여 겹쳐둔다.

(2) 스테이지 구동장치(310)에 의해 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 올려 놓은 제1스테이지(100)를, 위치 일치시킴 장치(400')의 아래쪽, 즉 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)로 이동시킨다. 여기서, 위치 일치시킴 장치(400')를 이용해서 패널소자(c1) 상에 패널소자(c2)를 위치 일치시켜 겹쳐배치한다. 이 위치 일치시킴은, 도 10의 공정 (1)과 동일하고, 여기에서는 설명을 생략한다. 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴 종료후, 가고정 장치(1000)의 한쪽의 클립(1010)에 의해 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 일단부(도면중 우측의 변부분)를 스테이지(100)에 가고정한다.

(3)~(4) 가고정된 패널소자와 함께 제1스테이지(100)를 스테이지 구동장치(310)에 의해 원래의 위치로 이동시킨다. 다음에, R패널소자 및 G패널소자가 가고정된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음의 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 상기 (1)~(2)의 공정을 반복하고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴 종료후에 가고정 장치(1000)의 다른쪽의 클립(1010)에 의해 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 타단부(도면중 좌측의 변부분)을 스테이지(100)에 가고정한다. 즉, 이미 가고정된 R, G패널소자에 다음의 B패널소자를 가고정 장치(1000)의 다른쪽의 클립(1010)에 의해 가고정한다.

(5) 가고정된 패널소자와 함께 제1스테이지(100)를 스테이지 구동장치(310)에 의해 원래의 위치로 이동시키고, R패널소자 및 G패널소자를 가고정하고 있는 한쪽의 클립(1010)을 벗긴다. 이와 같이 하여, R, G, B의 패널소자를 위치 일치시켜진 상태로 3단으로 겹쳐배치한다.

(6) 가고정 장치(1000)의 다른쪽의 클립(1010)에 의해 가고정된 R, G, B패널소자를 올려 놓은 제1스테이지(100)를 구멍뚫기 장치(1100)의 프레스기(1110)의 하래쪽으로 이동시킨다. 프레스기(1110)로 R, G, B의 3개의 패널소자에 동시에 위치결정 구멍을 뚫는다.

(7) 다음에, 예컨대 도 11에 나타낸 공정중 공정 (2)를 대신해서 상기 위치결정 구멍을 이용해서 R, G패널소자의 일단부를 스테이지(100)에 유지하는 이외에는 거의 도 11에 나타낸 각 공정을 실행하여 R, G패널소자를 접합하고, 이어서 동일한 공정을 반복해서, 이미 접합된 R, G패널소자에 더 B패널소자를 접합해서 목적으로 하는 표시패널(A)을 얻는다.

이상 설명한 도 2에서 도 5에 나타낸 패널 제조장치에 의한 어떠한 표시패널 제조예에 있어서도, 인접한 패널소자는 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합되어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어진다.

또한, 도 2에서 도 4에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 각 표시패널 제조예에서는, 인접한 패널소자는 단부부터 순차 접합해 가기 때문에, 그들 패널소자 사이로부터 탈기해서 양자를 밀착시켜, 주름 등이 없는 상태로 접합할 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행하는 표시패널이 얻어진다.

도 5에 나타낸 표시패널 제조장치에 의한 표시패널 제조예에 있어서도, 인접한 패널소자의 접합을 패널소자 단부부터 순차 전면적으로 행하는 것이 가능하고, 그렇게 함으로써, 그들 패널소자 사이로부터 탈기해서 양자를 밀착시켜, 주름 등이 없는 상태로 접합할 수 있다.

또한, 도 2에서 도 5에 나타낸 표시패널 제조장치의 어느 것에 있어서도, 인접한 패널소자의 접합에 있어서 그 양쪽 패널소자의 주위 분위기를 소정 감압분위기로 하기 위한 감압실을 구비해도 된다.

도 14a~도 14c에 상기한 도 2에서 도 5에 나타낸 각 패널소자 제조장치에 감압실(1200) 및 이에 접속된 배기장치(1300)가 각각 설치된 표시패널 제조장치의 개략구성을 나타낸다.

감압실(1200)은 기밀성을 갖고, 스테이지(100, 200, 200') 등을 둘러쌀 수 있다. 더욱이, 상기의 배기장치(113, 213, 213', 427) 등은 감압실(1200)의 외측에 설치된다. 배기장치(1300)는, 여기에서는 로터리펌프를 포함하는 것이고, 감압실(1200) 내를 배기감압할 수 있다. 감압실(1200)은 패널소자를 출입시키는 도시를 생략한 기밀도어를 갖추고 있다.

이와 같은 감압실(1200)을 채용할 경우, 도 2에서 도 5의 패널 제조장치의 어느 것에 있어서도, 적어도 패널소자를 접합할 경우에 감압실(1200) 내를 소정 압력으로 감압해 둔다. 이 때의 감압실(1200) 내의 압력은, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 13Pa~40Pa(약 0.1Torr~0.3Torr)정도로 한다.

〔B〕 도 15에서 도 20과 관련한 표시패널 제조방법 및 장치

도 15에서 도 20과 관련해서 설명하는 표시패널 제조방법 및 장치는, 다음의 표시패널 제조방법 및 장치에 기초한 것이다.

(표시패널 제조방법)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정과,

제1 및 제2패널소자를 서로 위치 일치시켜, 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치하는 공정 및,

서로 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 상호 눌러붙이는 압접공정을 포함하고,

상기 압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 그 양쪽 패널소자를 최초에는 부분적으로 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접(壓接)부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙임으로써 행하는 표시패널의 제조방법.

이와 같은 표시패널의 제조방법의 대표예로서 다음의 제조방법을 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

제1 및 제2스테이지에 유지된 제1 및 제2패널소자를 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치하는 공정,

제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 공정,

서로 접합해야 할 제1 및 제2패널소자의 면의 적어도 한쪽에 접착재를 설치하는 공정 및,

상호 위치 일치시켜져 제1 및 제2스테이지에 유지된 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 압접공정을 포함하고,

제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽은 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 구비함과 더불어 그 패널소자 유지면이 소정 곡률의 철곡면인 스테이지로 하고,

상기 압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써, 그 양쪽 패널소자를 최초에는 상기 탄성패드의 철곡면에서 부분적으로 상호 눌러붙이고, 계속해서 양쪽 스테이지를 접근시킴으로써 상기 탄성패드를 탄성변형시키면서 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙임으로써 행하는 표시패널의 제조방법이다.

어느 것의 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정으로서는, 미리 패널소자 면에 접착되고, 또 아직까지 표면이 보호시트로 덮여진 양면접착시트 내지 점착시트(그 시트는 테이프형상이어도 좋다)로부터 그 보호시트를 제거해서 접착면을 노출시키는 공정이나, 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 또는 접착재 도포장치에 의해 도포하는 공정을 예시할 수 있다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다.

접착재를 설치하는 공정은 압접공정 전에 실시한다. 압접공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 좋다.

압접공정은 접착재가 설치되고, 양쪽 패널소자가 상호 위치 일치시켜지고, 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 방향이 맞추어진 후에 실시한다.

또한, 어느 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 소정 위치에 고정해 두고 그 위에 다른쪽의 패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키는 방법.

이 위치 일치시킴 방법을 채용할 경우에 있어서, 상기의 제1 및 제2스테이지에 각각 패널소자를 유지시키는 방법을 채용할 경우에는, 예컨대 어느 한쪽의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 상에 다른쪽의 패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키고, 그 후 그 다른쪽의 패널소자를 다른쪽의 스테이지에 유지시킬 수 있다.

(2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 소정 위치에 고정해 두고 그 위 또는 윗쪽에 다른쪽의 패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합시키는 방법.

이 위치 일치시킴 방법을 채용할 경우에 있어서, 상기의 제1 및 제2스테이지에 각각 패널소자를 유지시키는 방법을 채용할 경우에는, 예컨대 어느 한쪽의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 위쪽에 다른쪽의 패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키면 된다.

그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함해도 좋다. 이 경우는 그 다른쪽의 패널소자를 그 스테이지에 유지시키고 나서 그 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있지 않을 경우는, 위치 일치시킨 그 다른쪽의 패널소자를 상기 한쪽의 패널소자 위에 올려 놓은 후, 그 올려 놓아진 다른쪽의 패널소자를 그 소자용의 스테이지에 유지시키면 된다.

X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치를 수동조작해서 행해도 좋지만, 카메라로 검출되는 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 X-Y-θ 구동장치를 자동제어함으로써 행해도 된다. 후자의 경우에는 기판, 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용할 수 있다.

더욱이, X-Y-θ 구동장치는, 말할 것도 없이, 물체를 방향 X, 이에 수직인 방향 Y로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레로 회전이동시킬 수 있는 장치이다.

상기 위치일치시킴 마크는 액정마크, 전계발광마크 등으로서 통전에 의해 발광하는 것으로 해도 된다.

상기 어느 표시패널 제조방법에 있어서도, 압접공정에서는 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 상호 눌러붙이고, 적층된 표시패널을 얻는다.

제1 및 제2스테이지에 제1 및 제2패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합할 경우에는, 그들 양쪽 스테이지에 양쪽 패널소자를 끼워 상호 눌러붙인다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 압접공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 간다.

제1 및 제2스테이지에 제1 및 제2패널소자를 유지시킬 경우, 그 스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치한 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지하는 경우를 들 수 있다. 이와 같은 흡기구멍은 상기 탄성패드를 구비한 스테이지에서는 적어도 그 탄성패드에 설치한다.

이와 같은 탄성패드로서, 진공흡인으로 패널소자를 상기 철곡면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 그 미세구멍이 그 탄성패드의 상기 압접공정에서의 탄성변형으로 닫혀지는 것을 예시할 수 있다. 이 탄성패드는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자의 상호 압접시에 탄성패드에 유지된 패널소자의 또 하나의 패널소자로 억눌려지는 부분을 해방시킬 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

상기 압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 그 양쪽 패널소자를 최초에는 부분적으로 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙임으로써 행한다. 이와 같은 눌러붙임 순서에 의해, 양쪽 패널소자는 위치오차가 억제되어 접합 개시됨과 더불어, 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기되면서, 주름 등이 억제되어 접합되어 간다.

압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 예컨대 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자 양단부로 향해) 상호 압접부분을 전면적으로 확장해 감으로써 행한다. 또는, 예컨대 양쪽 패널소자를 최초에는 그들중 어느 하나의 단부에서 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접부분부터(예컨대, 반대측의 단부방향) 차차로 상호 압접부분을 전면적으로 확장해 감으로써 행한다.

적어도 한쪽이 상기 탄성패드를 구비한 제1 및 제2스테이지에 패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합할 경우에는, 압접공정에서는 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써 그 양쪽 패널소자를 최초에는 상기 탄성패드의 철곡면에서 부분적으로 상호 눌러붙이고, 계속해서 양쪽 스테이지를 접근시킴으로써 상기 탄성패드를 탄성변형하면서 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙인다.

이 경우의 구체예를 들면, 탄성패드의 철곡면을 중앙부가 높아진 철곡면, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면(外周面)형상의 곡면으로 하고, 압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자 양단부로 향해) 상호 압접부분을 전면적으로 확장해 감으로써 행한다.

또는, 예컨대 탄성패드의 철곡면을 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면으로 하고, 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 일단부에서 상호 눌러붙이고, 그 최초 상호 압접부분으로부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분을 전면적으로 확장해 감으로써 행한다.

패널소자를 손상시키지 않고, 더 한층 양쪽 패널소자의 위치오차를 만들지 않고, 양쪽 패널소자 사이로부터 원활하게 탈기하면서, 또한 패널소자의 주름 등을 충분히 억제하면서 제1 및 제2패널소자를 접합하기 위해, 상기 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 추천할 수 있고, 철곡면을 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면, 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면과 같이 원활한 곡면으로 할 경우에는, 그 철곡면의 곡률 반지름으로서 2000mm~5000mm정도를 추천할 수 있다.

상기 압접공정에서는, 보다 확실하게 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하기 위해, 양쪽 패널소자 주위 분위기압을 대기압보다 낮은 소정의 감압분위기압으로 설정하여 실시해도 된다.

그 경우, 그 감압분위기 압력으로서 13Pa~40Pa(0.1Torr~0.3Torr)정도를 예시할 수 있다.

제1 및 제2스테이지에 패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합시킬 경우, 압접공정에서는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재로 제1 및 제2패널소자를 둘러쌈과 동시에 그 링부재를 제1 및 제2스테이지 사이에 협착시킴으로써 그 양쪽 패널소자 주위에 기밀실을 형성하고, 그 기밀실로부터 배기함으로써 상기 감압분위기압을 얻을 수 있도록 해도 된다.

(표시패널 제조장치)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

하나의 패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

또 하나의 패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지 및,

제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반(接近離反)시키기 위한 스테이지 구동장치를 구비하고 있으며,

제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽은 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 구비하고 있음과 더불어 그 패널소자 유지면이 소정 곡률의 철곡면인 표시패널의 제조장치.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다. 이와 같은 흡기구멍은 탄성패드를 구비한 스테이지에서는 적어도 그 탄성패드에 설치한다.

이와 같은 탄성패드로서, 진공흡인으로 패널소자를 상기 철곡면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 그 미세구멍이 그 탄성패드의 패널소자 압접공정에서의 탄성변형으로 닫혀질 수 있는 것을 예시할 수 있다. 이 탄성패드는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자의 상호 압접시에 탄성패드에 유지된 패널소자의 또 하나의 패널소자로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

그 표시패널의 제조장치에 의하면, 서로 접합해야 할 패널소자중 한쪽은 제1스테이지에 유지시키고, 다른쪽은 제2스테이지에 유지시킨다.

그런 후, 스테이지 구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지에 유지된 패널소자의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시켜 양쪽 패널소자를 양쪽 스테이지로 협착해서 접합한다.

이 패널소자 접합은 접착재를 이용해서 행한다. 그 접착재는 접합에 앞서 양쪽 패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽에, 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치한다. 제조장치는 접착재의 도포장치를 구비해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자의 접합에 앞서 양쪽 패널소자를 상호 위치 일치시킨다. 이 위치 일치시킴은 상기 표시패널의 제조방법에서 기술한 바와 같이 하여 행하면 된다.

제조장치는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치, 예컨대 서로 접합해야 할 2개의 패널소자를 제1 또는 제2스테이지 상에서 상호 위치 일치시키는 장치를 구비해도 된다. 다음의 장치를 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 윗쪽에서 다른쪽의 패널소자를 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 움직이는 X-Y-θ 구동장치를 포함하는 위치 일치시킴 장치,

(2) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 그 윗쪽에서 다른쪽의 패널소자를 움직이는 X-Y-θ 구동장치 및, 상기 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 그 위치정보)에 기초해서 양쪽 패널소자를 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 그 다른쪽의 패널소자를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치의 동작을 제어하는 제어부를 구비한 위치 일치시킴 장치. 이와 같은 제어부로서는, 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용한 것을 예시할 수 있다.

이상 설명한 제조장치에서는, 양쪽 패널소자의 접합은 다음과 같이 행한다. 즉, 상기 탄성패드의 철곡면을 이용해서 양쪽 패널소자를 최초에는 부분적으로 상호 눌러붙이고, 계속해서 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 상호 압접부분을 전면적으로 확장해 간다. 이렇게 해서, 양쪽 패널소자의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 주름이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가서, 양쪽 패널소자를 접합한다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽에 설치되는 상기 탄성패드의 철곡면으로서는, 중앙부가 높아진 철곡면, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면을 예시할 수 있다. 이와 같은 철곡면을 채용할 경우, 양쪽 패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자가 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 눌러붙여지고, 그 최초 상호 압접부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자 양단부로 향해) 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

또는, 예컨대 상기 탄성패드의 철곡면을 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면으로 해도 된다. 이 경우, 양쪽 패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자가 최초에는 그들의 일단부에서 상호 눌러붙여지고, 그 최초 상호 압접부분부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

패널소자를 손상시키지 않고, 더 한층 양쪽 패널소자의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자 사이로부터 원활하게 탈기하고, 패널소자의 주름 등을 억제하는 등을 위해, 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 추천할 수 있다. 탄성패드의 철곡면을 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면, 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면과 같이 매끄러운 곡면으로 할 경우에는, 그 철곡면의 곡률 반지름으로서 2000mm~5000mm정도를 추천할 수 있다.

양쪽 패널소자의 접합에 있어, 보다 확실하게 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하기 위해 제1 및 제2스테이지 사이로부터 배기감압하는 배기장치를 설치해도 된다.

이와 같은 배기장치의 간편한 것으로서, 제1 및 제2스테이지의 상호 접근에 의해 양쪽 스테이지 사이에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 함께 양쪽 스테이지 사이의 패널소자를 둘러싸는, 상기 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재를 포함하고 있는 배기장치를 예시할 수 있다.

이상 설명한 〔B〕타입의 방법 및 장치는, 각종 표시패널의 제조에 적용할 수 있지만, 이하에 액정표시패널의 제조방법 및 제조장치의 구체적인 예에 대해 도 15에서 도 20을 참조해서 설명한다.

도 15는 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치 예의 개략구성을 나타낸 도면이다.

이 패널 제조장치는, 하나의 패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100), 또 하나의 패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200), 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치(300)를 구비하고 있다.

이 패널 제조장치에서는, 제2스테이지(200)가 패널소자 유지면(220a)을 갖춘 탄성패드(220)를 구비하고 있음과 더불어 패널소자 유지면(220a)이 소정 곡률의 철곡면이다. 도 16, 도 17을 참조해서 후술하는 바와 같이 스테이지 구동장치(300)가, 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 서로 방향맞춘 후에 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 탄성패드(220)의 철곡면(220a)에서 부분적으로 상호 눌러붙이고, 계속해서 양쪽 스테이지(100, 200)를 접근시킴으로써 탄성패드(220)를 탄성압축변형 시키면서 그 최초 상호 압접부분으로부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙임으로써, 패널소자(c1, c2)를 적층해서 표시패널을 제조한다.

제1 및 제2스테이지(100, 200)는 제1 및 제2흡착 테이블(101, 201), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(110, 210)를 각각 포함하고 있다.

제1 및 제2흡착 테이블(101, 201)은 각각 강성을 갖는 재료로 이루어져 있으며, 패널소자(c1, c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(101a, 201a)이 각각 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(110, 210)는 이와 같은 흡기구멍(101a, 201a) 외에, 흡착 테이블에서의 배기실(111, 211), 플렉시블 튜브(112, 212), 배기장치(113, 213)를 포함하고 있으며, 배기장치(113, 213)는 튜브(112, 212)의 일단부에, 튜브(112, 212)의 타단부는 배기실(111, 211)에 각각 접속되어 있으며, 배기실(111, 211)은 흡착 테이블(101, 201)의 흡기구멍(101a, 201a)에 각각 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(113, 213)의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(101a, 201a)으로부터 배기실(111, 211), 튜브(112, 212)를 통해 각각 배기된다.

제2스테이지(200)는, 이미 기술한 바와 같이 패널소자 유지면(220a)을 갖춘 탄성패드(220)를 구비하고 있다. 탄성패드(220)는 제2흡착 테이블(201)의 배기실(211)이 설치되어 있는 측과는 반대측에 배치되어 있다.

탄성패드(220)는, 여기에서는 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어져 있으며, 진공흡인으로 패널소자(c2)를 철곡면(220a)에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍(220b)을 갖추고 있다. 이 미세구멍(220b)은 탄성패드(220)의 탄성압축변형으로 닫혀진다. 더욱이, 탄성패드(220)는, 여기에서는 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어진 것이지만, 안이 꽉찬 탄성체에 다수의 흡기구멍이 뚫어 설치되어 있는 것이어도 좋다.

패널소자 유지면(220a)은 한쪽의 단부(220c)가 높고, 그 단부(220c)로부터 타단부(220d)로 향해 차차로 낮아진 소정 곡률의 철곡면(여기에서는, 곡률 반지름이 4000mm~5000mm정도의 철곡면)이고, 그 곡면에 걸쳐 패널소자(c2)를 유지할 수 있다. 이와 같은 철곡면을 채용함으로써, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 최초에는 그들의 일단부에서 상호 눌러붙여지고, 그 최초 상호 압접부분부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

이 탄성패드(220)는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 압접시에 그 패드의 압축으로 흡기용 미세구멍이 닫혀짐으로써, 탄성패드(220)에 유지된 패널소자(c2)의 또 하나의 패널소자(c1)로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽패널소자(c1, c2)를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

더욱이, 더 한층 패널소자를 손상시키지 않고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 원활하게 탈기하고, 패널소자의 주름 등을 억제하는 등을 위해, 탄성패드(220)는, 여기에서는 탄성정수 70kgf/cm²~120kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것이다.

스테이지 구동장치(300)는 제1스테이지(100), 제2스테이지(200)를 구동하기 위해 설치되어 있으며, 제1스테이지(100)를 구동하는 제1스테이지 구동부(310)와, 제2스테이지(200)를 구동하는 제2스테이지 구동부(320)를 포함하고 있다.

제1스테이지 구동부(310)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 가이드레일(311)에 걸쳐 설치된 랙기어(311a)에 제1스테이지(100)에 설치된 피니온기어(313)를 맞물리고, 이 피니온기어(313)를 제1스테이지(100)에 탑재한 모터(312)로 왕복회전시키는 것이다. 제1스테이지(100)는 제1스테이지 구동부(310)에 의해 가이드레일(311)에 따라 이동하고, 패널소자 유지위치(Q1) 또는 패널소자 접합위치(Q2)에 배치된다. 이 이동에 있어서는, 제1스테이지(100)에 설치된 슬라이더(102)가 가이드레일(311)에 따라 미끄럼 운동한다.

제2스테이지 구동부(320)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 피스톤 실린더장치(321)와 이를 구동하는 공기회로(322)로 이루어진다. 피스톤 실린더장치(321)는, 복동형(複動型)인 것으로, 그 실린더부(321a)가 정위치로 배치되고, 피스톤 로드(321b)가 제2스테이지(200)에 연결되어 있다. 공기회로(322)는, 소정 압력의 압축공기를 피스톤 실린더장치(321)로 공급할 수 있다.

도시한 상태는, 공기회로(322)로부터 피스톤 실린더장치(321)의 피스톤 로드측에 압축공기가 공급되어 있으며, 피스톤 로드(321b)가 실린더부(321a) 내로 후퇴하고, 제2스테이지(200)가 상승하고 있는 상태를 나타내고 있다.

피스톤 실린더장치(321)의 실린더 헤드 커버측으로부터 압축공기가 공급되면, 피스톤 로드(321b)가 돌출하고, 제2스테이지(200)가 하강한다. 그 후, 피스톤 실린더장치(321)의 피스톤 로드 커버측에 압축공기가 공급되면, 피스톤 로드(321b) 및 제2스테이지(200)는 다시 상승하여, 도시한 상태로 되돌아 간다.

도 15에 나타낸 패널 제조장치는, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 앞서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 상호 위치 일치시키는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치(400)를 구비하고 있다.

위치 일치시킴 장치(400)는, 2개의 카메라(410; 여기에서는, CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(420), 제어부(430)를 구비하고 있다.

각 패널소자(c1, c2)가 상호 위치 일치시켜지는 상태를 위에서 본 상태는 도 7과 마찬가지이다. 더욱이, 여기에서의 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400) 등은 도 7에서 도시를 생략하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 각 패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외에 각각 형성되어 있다. 더욱이, 일치시킴 마크는, 여기에서는 십자형의 패턴이 패널소자의 대각선 양단영역에 형성되어 있지만, 그것에 한정되는 것은 아니고, 각 패널소자를 상호 위치 일치시킬 수 있는 것이면, 어떤 패턴이어도 좋고, 또한 표시영역 외이면, 어느 위치에 형성되어 있어도 좋다. 또한, 이 일치시킴 마크는 인쇄 등에 의해 형성되어 있어도 좋고, 패널소자의 전극형성의 경우에 표시영역 외에 마커용 전극을 설치해 두고, 그 마커용 전극으로의 전압인가에 의해 점등하는 것이어도 좋다. 여기에서는, 패널소자(c1, c2) 상에 일치시킴 마크(m1, m2)가 각각 인쇄되어 있다.

도 15에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 각 패널소자(c1, c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1, m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)로 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(420)는 패널소자 유지아암(421) 및 X-Y-θ 구동부(422)를 포함하고 있다. 패널소자 유지아암(421)은 구동부(422)의 X-Y-θ방향 가동부에 접속되어 있으며, 그 선단부(421a)에서 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다. X-Y-θ 구동부(422)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 패널소자 유지아암(421) 및 거기에 유지되는 패널소자(c2)를 미리 제1스테이지(100)에 흡착유지된 패널소자(c1)의 표면에 걸쳐 소정 방향(도면중 X방향), 이에 수직인 방향(도면중 Y방향)으로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레(도면중 θ방향)로 회전이동시킬 수 있다. 이에 의해, 제어부(430)의 지시로, 제1스테이지(100)에 유지시킨 패널소자(c1) 상에서 패널소자(c2)를 움직일 수 있다.

제어부(430)는, 이미 기술한 바와 같이 CCD 카메라(410), X-Y-θ 구동장치(420)에 접속되어 있으며, 카메라(410)로부터의 일치시킴 마크(m1, m2)의 마크정보를 위치정보로서 처리하고, 그 위치정보에 기초해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 패널소자(c2)를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치(420)의 동작을 제어한다. 더욱이, 제어부(430)는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용하는 수단을 포함하고 있다.

또한, 이 패널 제조장치는, 도 15중 2점쇄선으로 나타낸 기밀성을 갖는 기밀실(600)을 구비하고 있어 기밀실(600)이 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 각 장치를 둘러싸고 있어도 좋지만, 여기에서의 패널 제조장치는 기밀실(600)을 구비하고 있지 않다. 이 기밀실(600)에 대해서는 후술한다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 도 1에 나타낸 타입의 반사형 액정표시패널 제조의 일예를 도 16 및 도 17을 참조하면서 설명한다.

도 16은 도 15에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 17은 도 16에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (7)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 16 및 도 17에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조함에 있어서, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 하나의 패널소자(이하, 제1패널소자라 칭함) c1으로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 또 하나의 패널소자(이하, 제2패널소자라 칭함) c2로 하여 취급하고, 도 16에 나타낸 공정 (1)~(4) 및 도 17에 나타낸 공정 (5)~(7)에서 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN)를 미리 접착해 둔다. 더욱이, 여기에서는 양면접착테이프를 이용하지만, 그것으로 한정되는 것은 아니다. 점착시트여도 좋다. 어느 것으로 해도 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 도포해도 좋고 또는 접착재 도포장치에 의해 도포해도 좋다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다. 또한, 이 접착재를 설치하는 공정은 양쪽 패널소자의 상호 압접공정 전에 실시한다. 압접공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 좋다.

이 양면접착테이프(NN)가 설치된 제1패널소자(c1)를 광흡수층(BK)을 아래로 해서 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지층(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다.

(2) 제2패널소자(c2; G패널소자)를 제1패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다.

이 위치 일치시킴은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 패널소자(c1) 위에 올려 놓은 패널소자(c2)를 일단 위치 일치시킴 장치(400)의 선단부(421a)에 유지시키고, 그 상태에서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 CCD 카메라(410)로 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 X-Y-θ 구동장치(420)로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시킨다. 이 위치 일치시킴 동작은 카메라(410)로 검출되는 마크정보가 위치정보로서 화상처리되고, 그 위치정보에 기초해서 X-Y-θ 구동장치(420)를 자동제어함으로써 행한다. 위치 일치시킴 처리가 종료하면 다시 패널소자(c2)를 패널소자(c1) 위에 올려 놓는다.

X-Y-θ 구동장치(420)에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치(420)를 수동조작으로 행해도 된다. 또한, 제2패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200)가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있어도 된다. 이 경우는, 패널소자(c2)를 그 스테이지(200)에 유지시키고 나서 패널소자(c2)를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 또한, X-Y-θ 구동장치를 이용하지 않고 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜도 된다.

(3) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴이 종료하면, 상술한 바와 같이 제2패널소자(c2)를 유지하고 있는 X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)으로부터 패널소자(c2)를 놓아 패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 그런 후 스테이지 구동장치(300)의 제1스테이지 구동부(310)에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200)의 아래쪽(도 15중 Q2의 위치)으로 이동시키고, 제1 및 제2스테이지의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시킨다.

이어서, 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 하강시키고, 스테이지(200)의 탄성패드(220)가 제2패널소자(c2)에 접촉한 곳에서 패널소자 유지장치(210)에 의한 진공흡인으로 제2패널소자(c2)를 탄성패드(220)의 철곡면(220a)에 흡인유지시키고, 더욱이 제2패널소자(c2)를 흡착한 제2스테이지(200)를 제2스테이지 구동부(320)에 의해 상승시켜 대기시킨다.

(4) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 하강시키고, 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지(100, 200)에 유지된 패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시킨다.

(6) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 소정의 가압력 하에, 탄성패드(220)의 철곡면(220a)을 이용해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 부분적(본 예에서는 그들의 단부)으로 상호 눌러붙임 개시하고, 계속해서 철곡면을 갖춘 탄성패드(220)를 탄성압축변형 시키면서, 그 최초 상호 압접부분으로부터 타단부로 향해 탈기하면서, 탄성패드(220)와 제1스테이지(100)의 강체부(101)로 양쪽 패널소자(c1, c2)를 협착해서 차차로 상호 압접부분을 확장해 간다. 이 사이, 패드(220)의 탄성변형한 부분의 흡기용 미세구멍은 닫혀져 가고, 제2패널소자(c2)는 차차로 제2스테이지 패드(220)로부터 해방되어 간다. 이에 의해, 양쪽 패널소자(c1, c2)는 원활하게 접합되어 간다.

(7) 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 물결이나 주름이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 밀착접합한다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 접합된다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 완료되면, 패널소자 유지장치(210)에 의한 진공흡인이 정지되고, 제2스테이지(200)는 최초위치로 상승복귀되고, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 되돌아 간다.

다음에, 이렇게 해서 얻어진 R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 상기 각 공정 (1)부터 (7)을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 상기와 같이 접합된 패널소자를 유지한 제1스테이지(100)가 위치(Q1)로 되돌아 가 배치됨으로써 공정 (1)의 일부가 실행되고 있는 것으로 해도 좋은 것은 말할 것도 없다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

도 18에 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치의 다른 예를 나타낸다.

도 18에 나타낸 패널 제조장치는, 도 15에 나타낸 패널 제조장치에 있어서, 제1스테이지(100)에 대해 배기장치(500)를 설치하고, 제2스테이지(200)를 대신해서 제2스테이지(200')를 설치하고 있다. 다른 점은, 도 15의 장치와 마찬가지이고, 동일한 구성, 작용을 갖는 부품에는 동일한 참조부호를 붙이고 있다.

이하에, 도 18에 나타낸 패널 제조장치에 대해, 도 15의 장치와 다른 점을 중심으로 설명한다.

도 18의 패널 제조장치는, 하나의 패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100), 또 하나의 패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200'), 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치(300)를 구비하고 있다.

이 패널 제조장치에서는, 제2스테이지(200')가 패널소자 유지면(220a')을 갖춘 탄성패드(220')를 구비하고 있음과 더불어 패널소자 유지면(220a')이 소정 곡률의 철곡면이고, 도 19, 도 20을 참조해서 후술하는 바와 같이 스테이지 구동장치(300)가, 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 대향시킨 후에 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 탄성패드(220')의 철곡면(220a')에서 부분적으로 상호 눌러붙이고, 계속해서 양쪽 스테이지(100, 200')를 접근시킴으로써 탄성패드(220')를 탄성압축변형 시키면서 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장하여 전면적으로 상호 눌러붙임으로써, 패널소자(c1, c2)를 적층해서 표시패널을 제조한다.

제2스테이지(200')는 제2흡착 테이블(201'), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(210')를 포함하고 있다.

제2흡착 테이블(201')은 강성을 갖는 재료로 이루어져 있으며, 패널소자(c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(201a')이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(210')는 이와 같은 흡기구멍(201a') 외에, 배기실(211'), 플렉시블 튜브(212), 배기장치(213)를 포함하고 있으며, 배기장치(213)는 튜브(212)의 일단부에, 튜브(212)의 타단부는 배기실(211')에 각각 접속되고, 배기실(211')은 흡착 테이블(201')의 흡기구멍(201a')에 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(213)의 운전으로 공기가 흡기구멍(201a')으로부터 배기실(211'), 튜브(212)를 통해 배기된다.

제2스테이지(200')는, 이미 기술한 바와 같이 패널소자 유지면(220a')을 갖춘 탄성패드(220')를 구비하고 있다. 탄성패드(220')는 제2흡착 테이블(201')의 배기실(211')이 설치되어 있는 측과는 반대측에 배치되어 있다.

탄성패드(220')는, 여기에서는 도 15의 제조장치의 탄성패드(220)와 동일한 재료, 즉 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어져 있으며, 진공흡인으로 패널소자(c2)를 철곡면(220a')에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍(220b')을 갖추고 있다. 이 미세구멍(220b)은 탄성압축변형으로 닫혀진다.

패널소자 유지면(220a')은 중앙이 높아진 소정 곡률의 철곡면(여기에서는, 곡률 반지름이 4000mm~5000mm정도의 철곡면)이고, 그 곡면에 걸쳐 패널소자(c2)를 유지할 수 있다. 철곡면(220a')으로서는, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면을 채용할 수 있고, 여기에서는 구면이다. 이와 같은 철곡면을 채용함으로써, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 눌러붙여지고, 그 최초 상호 압접부분부터 차차로 주위로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

이 탄성패드(220')는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 압접시에 그 패드의 압축으로 흡기용 미세구멍이 닫혀짐으로써 탄성패드(220')에 유지된 패널소자(c2)의 또 하나의 패널소자(c1)로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

더욱이, 패널소자를 손상시키지 않고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 원활하게 탈기하고, 패널소자의 주름 등을 억제하는 등을 위해, 탄성패드(220')는 여기에서는 탄성정수 70kgf/cm²~120kgf/cm²의 탄성체로 이루어져 있다.

배기장치(500)는, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 있어, 보다 확실하게 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하기 위해 설치되어 있으며, 링부재(510), 공기 흡입용의 관(520), 플렉시블 튜브(530), 진공펌프(540)를 포함하고 있다.

링부재(510)는, 제1 및 제2스테이지(100, 200')의 상호 접근에 의해 양쪽 스테이지 사이에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 함께 양쪽 스테이지 사이의 패널소자(c1, c2)를 둘러싸는, 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재이다. 이 링부재(510)는, 여기에서는 고무제의 것이고, 제1스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 설치되어 있다.

공기 흡입용의 관(520)은, 제1스테이지(100)의 링부재(510)와 패널소자(c1) 유지영역의 사이에 설치된 관통구멍에 끼워 맞추어져 있으며, 플렉시블 튜브(530)의 일단부에 접속되어 있다. 튜브(530)의 타단부는 진공펌프(540)에 접속되어 있다. 이에 의해, 제1, 제2스테이지(100, 200') 및 링부재(510)로 형성되는 기밀실 안을 배기감압할 수 있다.

또한, 이 패널 제조장치는, 도 15의 제조장치와 동일하게, 도 15중 2점쇄선으로 나타낸 기밀실(600)을 구비하고 있어도 좋지만, 여기에서는 구비하고 있지 않다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 도 19 및 도 20을 참조하면서 설명한다.

도 19는, 도 18에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 20은 도 19에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 19 및 도 20에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 반사형 액정표시패널(A)을 제조함에 있어서, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 하나의 패널소자(이하, 제1패널소자라 칭함) c1으로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 또 하나의 패널소자(이하, 제2패널소자라 칭함) c2로 하여 취급하고, 도 19에 나타낸 공정 (1)~(4) 및 도 20에 나타낸 공정 (5)~(8)로 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; R패널소자)의 광흡수층(BK)을 설치하고 있지 않은 측의 면에 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN; 점착시트여도 좋다)를 미리 접착해 둔다.

이 양면접착테이프(NN)가 설치된 제1패널소자(c1)를 광흡수층(BK)을 아래로 해서 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다.

(2) 제2패널소자(c2; G패널소자)를 제1패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다. 이 위치 일치시킴은, 도 15의 장치에 의한 도 16의 공정 (2)와 마찬가지이고, 여기에서는 설명을 생략한다.

(3) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴이 종료하면, 제2패널소자(c2)를 유지하고 있는 X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)으로부터 패널소자(c2)를 놓아 패널소자(c1) 상에 다시 올려 놓고, 그런 후 스테이지 구동장치(300)의 제1스테이지 구동부(310))에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200')의 아래쪽(도 18중 Q2'의 위치)으로 이동시키고, 제1 및 제2스테이지의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시킨다.

이어서, 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200')를 하강시키고, 스테이지(200')의 패드(220')가 제2패널소자(c2)에 접촉한 곳에서 패널소자 유지장치(210')에 의한 진공흡인으로 제2패널소자(c2)를 탄성패드(220')의 철곡면(220a')에 흡인유지시키고, 더욱이 제2패널소자(c2)를 흡착한 제2스테이지(200')를 제2스테이지 구동부(320)에 의해 상승시켜 대기시킨다.

(4) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200')를 하강시키고, 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 그들의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지(100, 200')에 유지된 패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시킨다.

(6) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 소정의 가압력 하에, 탄성패드(220')의 철곡면(220a')을 이용해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 부분적으로 (본 예에서는, 그들의 중앙부에서) 상호 눌러붙여 개시한다. 이 압접공정에 있어서, 제2스테이지(200')가 고무제의 링부재(510)에 접촉한 곳에서, 배기감압을 행하기 위한 기밀실(D)이 형성된다. 그 경우, 기밀실(D)의 공기를 진공펌프(540)에 의해 빨아내고, 기밀실(D)을 대기압보다 낮은 소정의 압력(여기에서는, 20Pa~30Pa)으로 한다.

(7) 공정 (6)의 동작을 개시하고 나서도, 계속해서 제2스테이지(200')를 하강시키고, 구면을 갖춘 탄성패드(220')를 탄성압축변형 시키면서, 상기 최초 상호 압접부분으로부터 탈기하면서, 탄성패드(220')와 제1스테이지(100)의 강체부(101)로 양쪽 패널소자(c1, c2)를 협착하고, 차차로 상호 압접부분을 확장해 간다. 이 때 패드(220')의 탄성변형한 부분의 흡기용 미세구멍이 닫혀져 가고, 패널소자(c2)는 차차로 제2스테이지 패드(220')로부터 해방되어 간다. 이에 의해, 양쪽 패널소자(c1, c2)는 원활하게 접합되어 간다.

(8) 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 물결이나 주름이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 협착접합한다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 접합된다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 종료하면, 패널소자 유지장치(210')에 의한 진공흡인이 정지되고, 제2스테이지(200')는 최초위치로 상승복귀되고, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 복귀된다.

다음에, 이렇게 해서 얻어진 R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정 (1)부터 (8)을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합시킨다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

더욱이, 도 15 및 도 18에 나타낸 패널 제조장치에서는, 제2스테이지 구동부(320)에 의한 스테이지 구동으로서, 공기압구동을 채용하지만, 유압구동 외의 구동기구를 채용해도 된다. 또한, 제2스테이지 구동부로서, 예컨대 편심캠 기구 외의 기구를 채용할 수도 있다.

또한, 도 15에 나타낸 패널 제조장치에 있어서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 있어서, 보다 확실하게 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하기 위해, 도 18에 나타낸 패널 제조장치의 배기장치(500)를 이용해서 기밀실을 형성하고, 그 기밀실 안을 배기감압해도 된다. 도 15 및 도 18에 나타낸 제조장치중 어느 것에 있어서도, 배기장치(500)를 대신해서 또는 그와 함께 상기의 기밀실(600; 도 15 참조) 및 그 실내를 배기감압하는 배기장치를 설치하고, 그 배기장치에 의해 그 실내를 배기감압해도 된다.

더욱이, 도 15 및 도 18에 나타낸 패널 제조장치에 있어서 기밀실(600)을 설치할 경우에는, 도 15에서는 배기장치(113, 213) 및 공기회로(322) 등이 기밀실 안에 나타나 있지만, 기밀실 안에 설치해 두는 것이 부적당한 것은 기밀실 밖에 설치하면 된다. 또한, 배기장치(500)를 이용할 경우에는 진공펌프(540)도 기밀실 밖에 설치한다.

〔C〕 도 21에서 도 24와 관련한 표시패널의 제조방법 및 장치

도 21에서 도 24와 관련해서 설명하는 표시패널 제조방법 및 장치는, 다음의 표시패널 제조방법 및 장치에 기초한 것이다.

(표시패널 제조방법)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

제1 및 제2스테이지에 유지된 제1 및 제2패널소자를 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치하는 공정,

제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 공정,

서로 접합해야 할 제1 및 제2패널소자의 면의 적어도 한쪽에 접착재를 설치하는 공정 및,

상호 위치 일치시켜져 제1 및 제2스테이지에 유지되어 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치된 제1 및 제2패널소자를 상기 잡착재로 상호 접합하는 접합공정을 포함하고,

제2스테이지는 패널소자의 중앙영역을 흡착하는 중앙 흡기구멍 및 패널소자의 상기 중영역보다 외측의 영역을 흡착하는 외측 흡기구멍을 갖추고, 그들 흡기구멍으로부터 흡기함으로써 패널소자를 흡착유지하는 스테이지로 되고,

상기 접합공정은,

상호 위치 일치시켜져 제1 및 제2스테이지에 유지되어 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치된 제1 및 제2패널소자를 양쪽 스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써 소정 거리까지 상호 접근시키는 접근공정과,

접근공정 후에, 제2스테이지와 거기에 유지되어 있는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 제1 및 제2패널소자 사이의 기압보다 상대적으로 고압으로 설정함으로써, 제2스테이지 상의 패널소자 중앙영역 양면간의 기압차에 기초해서 제2스테이지 상의 패널소자의 중앙영역을 접착재를 개재시킨 상태로 제1스테이지에 유지되어 있는 패널소자에 접촉시키는 중앙접촉공정 및,

중앙접촉공정 후에, 양쪽 스테이지를 더 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 패널소자를 접착재를 개재시킨 상태로 상호 전면적으로 눌러붙여 접합하는 압접공정을 포함하고 있는 표시패널의 제조방법.

이 표시패널의 제조방법에서의 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정으로서는, 미리 패널소자 면에 접착되고, 또 아직까지 표면이 보호시트로 덮여진 양면접착시트 내지 점착시트(시트는 테이프형상의 것이여도 좋다)로부터 그 보호시트를 제거해서 접착재를 노출시키는 공정이나, 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 또는 접착재 도포장치에 의해 도포하는 공정을 예시할 수 있다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다.

접착재를 설치하는 공정은 접합공정 전에 실시한다. 접합공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 된다.

접합공정은 접착재가 설치되고, 양쪽 패널소자가 상호 위치 일치시켜지고, 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 방향이 맞추어진 후에 실시한다.

또한, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 상에 다른쪽의 패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키고, 그 후 그 다른쪽의 패널소자를 다른쪽의 스테이지에 유지시킨다.

(2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 위 또는 윗쪽에 다른쪽의 패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시킨다.

이 경우, 그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있어도 좋다. 이 경우는 그 다른쪽의 패널소자를 그 스테이지에 유지시키고 나서 그 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있지 않을 경우는, 위치 일치시킨 그 다른쪽의 패널소자를 상기 한쪽의 패널소자 위에 올려 놓은 후, 그 올려 놓은 패널소자를 대응하는 스테이지에 유지시켜도 된다.

더욱이, 위치일치시킴 마크는 액정마크, 전계발광마크 등으로서 통전에 의해 발광하는 마크로 해도 된다.

X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치를 수동조작해서 행해도 좋지만, 카메라로 검출되는 마크정보(예컨대, 위치정보 등)에 기초해서 X-Y-θ 구동장치를 자동제어함으로써 행해도 된다. 후자의 경우에는 기판, 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용할 수 있다.

더욱이, X-Y-θ 구동장치는, 말할 것도 없이, 물체를 방향 X, 이에 수직인 방향 Y로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레로 회전이동시킬 수 있는 장치이다.

제1스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 제1스테이지에 설치된 흡기구멍으로부터 흡기함으로써 패널소자를 흡착유지할 경우를 들 수 있다.

제2스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 제2스테이지에 설치된 상기의 중앙 흡기구멍 및 외측 흡기구멍으로부터 각각 흡기함으로써 패널소자를 흡착유지한다.

상기 접합공정에서는, 우선 양쪽 패널소자의 접근공정을 실시하고, 제1 및 제2패널소자를 양쪽 스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써 소정 거리까지 상호 접근시킨다.

이어서, 중앙접촉공정을 실시한다. 이 공정에서는, 제2스테이지와 이에 유지된 제2패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 제1, 제2패널소자 사이의 기압보다 상대적으로 고압으로 설정하고, 제2패널소자 중앙영역 양면간에 기압차를 발생시킨다. 이와 같은 기압차는 다양한 방법으로 발생시킬 수 있다.

예컨대, 양쪽 패널소자간 기압을 대기압보다 낮은 소정의 기압으로 설정함과 더불어, 제2스테이지의 중앙 흡기구멍으로부터의 흡기를 끊음과 동시에 그 중앙 흡기구멍에 외기를 도입하여 제2스테이지와 그에 유지되어 있는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 양쪽 패널소자간 기압보다 상대적으로 고압으로 설정한다. 이에 의해, 제2스테이지 상의 패널소자 중앙영역 양면간에 기압차를 발생시킨다.

어느 것으로 해도, 패널소자 중앙영역 양면간의 이와 같은 기압차에 기초해서 제2스테이지 위 패널소자의 중앙영역을 휘게 하여, 접착재를 개재시킨 상태로 제1스테이지에 유지되어 있는 패널소자에 접촉시킨다. 이와 같은 중앙영역의 휨에는 패널소자 자신의 무게를 기여시켜도 된다. 즉, 기압차와 패널소자의 중앙영역을 포함하는 부분의 자신의 무게로 휘어도 된다.

이어서, 양쪽 패널소자를 전면적으로 접합하는 압접공정이 실시된다.

접합공정에서는 양쪽 패널소자를 전면적으로 접합하기에 앞서 이와 같이 양쪽 패널소자의 중앙영역이 상호 접촉된다. 이에 의해, 양쪽 패널소자는 일거에 강한 접합 충격을 받지 않아, 대체로 접합 개시상태가 원만하게 얻어져, 양쪽 패널소자의 위치오차가 억제된다.

이어서, 양쪽 패널소자가 전면적으로 눌러붙여 접합된다. 이 때, 이미 중앙영역이 접촉된 양쪽 패널소자는 그 중앙영역으로부터 주위로 접촉영역이 차차로 확장되어 접합되어 가고, 이에 의해 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기되고, 양쪽 패널소자는 밀착상태로, 주름 등이 억제된 상태로, 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합된다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 압접공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써, 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 간다.

상기 접합공정에서의 양쪽 패널소자의 중앙접촉공정 후의 압접공정에서는, 양쪽 패널소자를 원활하게 전면적으로 눌러붙여 접합한 후에 제2스테이지의 외측 흡기구멍으로부터의 흡기에 의한 흡착을 끊음과 동시에 그 외측 흡기구멍에도 외기를 도입하여 제2스테이지에 의한 패널소자의 유지를 해방할 수 있다. 그 경우, 압접공정의 최초부터 제2스테이지의 외측 흡기구멍으로부터의 흡기를 끊음과 동시에 그 외측 흡기구멍에도 외기를 도입하도록 해도 좋지만, 양쪽 패널소자로부터 보다 확실하게 탈기하기 위해, 양쪽 패널소자를 상호 전면적으로 눌러붙여 접합해 감과 더불어 양쪽 패널소자가 접착재를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에 제2스테이지의 외측 흡기구멍에 의한 흡착을 끊음과 동시에 그 외측 흡기구멍에도 외기를 도입하도록 해도 된다.

또한, 중앙접촉공정 후의 압접공정에서는, 최초부터 양쪽 패널소자 주위 분위기압을 주위의 외기압으로 되돌려도 되지만, 양쪽 패널소자 사이로부터의 탈기를 보다 확실하게 하면서, 양쪽 패널소자가 접착재를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에 외기압으로 되돌려도 된다. 물론, 압접공정이 완료될 때까지 양쪽 패널소자 주위 분위기압을 상기 소정의 저압으로 유지해 두어도 된다.

어느 것으로 해도, 상기 양쪽 패널소자의 중앙접촉공정에 있어서는 양쪽 패널소자간의 기압을 대기압보다 낮은 소정의 기압으로 설정할 경우, 제1 및 제2패널소자를 유지한 제1 및 제2스테이지 등을 포함하는 영역의 분위기 전체를 대기압보다 저압으로 감압해도 되지만, 간편한 방법으로서, 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재로 제1 및 제2패널소자를 둘러쌈과 동시에 그 링부재를 제1 및 제2스테이지간에 협착시킴으로써 그 양쪽 패널소자 주위에 기밀실을 형성하고, 그 기밀실로부터 배기함으로써 상기 양쪽 패널소자간 기압을 감압하도록 해도 된다.

상기 패널소자의 접근공정에 의한 양쪽 패널소자의 상호 접근거리, 및 상기 패널소자 중앙영역 양면간의 기압차의 정도(예컨대, 기압차를 발생시키기 위한 양쪽 패널소자의 중앙접촉공정에서의 양쪽 패널소자간의 감압의 정도 및 제2스테이지의 중앙 흡기구멍으로 도입하는 외기량(누설량)의 정도)는, 제2스테이지에 유지되는 패널소자의 크기, 탄성 등도 고려해서, 중앙접촉공정에서 상기 양쪽 패널소자의 중앙 접촉상태가 원활하게 얻어지도록 설정하면 된다.

그것으로는 한정되지 않지만, 상기 접근공정에서의 상호 접근거리로서 대략 1mm~2mm정도를, 제2스테이지 상의 패널소자의 양측의 기압차로서 10Pa~30Pa(약 0.08Torr~0.23Torr)정도를 예시할 수 있다.

또한, 상기 중앙접촉공정에서의 양쪽 패널소자간의 감압기압으로서 20Pa~30Pa(약 0.15Torr~0.23Torr)정도를, 제2스테이지의 중앙 흡기구멍으로의 외기 도입량으로서, 제2스테이지 상의 패널소자의 양측의 기압차를 10Pa~30Pa(약 0.08Torr~0.23Torr)정도로 하는 양을 예시할 수 있다.

(표시패널 제조장치)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

하나의 패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

또 하나의 패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지,

제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치 및,

제1 및 제2스테이지 사이로부터 배기감압하는 스테이지간 배기장치를 구비하고 있으며,

제2스테이지는 패널소자의 중앙영역을 흡착하는 중앙 흡기구멍 및 패널소자의 상기 중앙영역보다 외측의 영역을 흡착하는 외측 흡기구멍을 갖추고, 그들 흡기구멍으로부터 흡기함으로써 패널소자를 흡착유지하는 스테이지이고, 그 중앙 흡기구멍에는 중앙 흡기구멍용의 배기장치가, 외측 흡기구멍에는 외측 흡기구멍용의 배기장치가 접촉되어 있으며, 중앙 흡기구멍용 및 외측 흡기구멍용의 각 배기장치에는 흡기구멍으로 외기를 도입하는 장치가 포함되어 있는 표시패널의 제조장치.

이 표시패널의 제조장치에 의하면, 서로 접합해야 할 패널소자중 한쪽은 제1스테이지에 유지시키고, 다른쪽은 제2스테이지에 유지시킨다.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 제1스테이지에 대한 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다.

제2스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 제2스테이지에 설치된 상기의 중앙 흡기구멍 및 외측 흡기구멍으로부터 거기에 연접(連接)된 배기장치로 각각 흡기함으로써 패널소자를 흡착유지한다.

그리고, 제1, 제2스테이지에 제1, 제2패널소자를 유지시키고, 스테이지 구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지에 유지된 패널소자의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시켜 양쪽 패널소자를 소정의 거리로 접근시킨다.

늦어도 이 경우에는 스테이지간 배기장치에 의해 제1 및 제2스테이지간 영역을(즉, 양쪽 패널소자간 영역을) 소정 기압까지 배기감압 개시한다. 또한, 제2스테이지의 중앙 흡기구멍에 연접된 배기장치에 의한 배기를 끊음과 동시에 그 배기장치중의 외기 도입장치로 그 중앙 흡기구멍으로 외기를 도입하여 제2스테이지와 거기에 유지되어 있는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 양쪽 패널소자간 기압보다 상대적으로 고압으로 한다. 이렇게 해서, 제2스테이지 위 패널소자의 중앙영역의 양면간에 기압차를 발생시키고, 그 기압차에 기초해서 제2스테이지 위 패널소자의 중앙영역을 접착재를 개재시킨 상태로 제1스테이지에 유지되어 있는 패널소자에 접촉시킨다.

그 후, 양쪽 스테이지를 더 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 패널소자를 접착재를 개재시킨 상태로 상호 전면적으로 눌러붙여 접합한다.

패널소자 접합은 상기와 같이 접착재를 이용해서 행한다. 그 접착재는 접합에 앞서 양쪽 패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽에 표시패널 제조방법으로 설명한 바와 같이 설치한다. 이 장치는 접착재의 도포장치를 구비해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자의 접합에 앞서 양쪽 패널소자를 상호 위치 일치시킨다. 이 위치 일치시킴은 상기 표시패널의 제조방법으로 기술한 바와 같이 행하면 된다.

또한, 여기에서의 표시패널 제조장치는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치, 예컨대 서로 접합해야 할 2개의 패널소자를 제1 또는 제2스테이지 상에서 상호 위치 일치시키는 장치를 구비해도 된다. 다음의 장치를 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 그 윗쪽에서 다른쪽의 패널소자를 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 움직이는 X-Y-θ 구동장치를 포함하는 위치 일치시킴 장치,

(2) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 윗쪽에서 다른쪽의 패널소자를 움직이는 X-Y-θ 구동장치와, 상기 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 양쪽 패널소자를 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 그 다른쪽의 패널소자를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치의 동작을 제어하는 제어부를 구비한 위치 일치시킴 장치. 이와 같은 제어부로서는, 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용한 것을 예시할 수 있다.

상기 스테이지간 배기장치는 패널소자를 유지한 제1 및 제2스테이지 등을 포함하는 영역의 분위기 전체를 대기압보다 저압으로 감압하는 것도 좋지만, 간편한 장치로서, 제1 및 제2스테이지의 상대적 접근에 의해 양쪽 스테이지간에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 더불어 양쪽 스테이지간의 패널소자를 둘러싸는, 상기 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재를 포함하고 있는 배기장치를 예시할 수 있다.

이와 같은 표시패널 제조장치에 의하면, 양쪽 패널소자의 접합에 있어서는, 양쪽 패널소자를 전면적으로 접합하기에 앞서 양쪽 패널소자의 중앙영역이 상호 접촉하게 된다. 이에 의해, 양쪽 패널소자는 일거에 강한 접합충격을 받지 않아, 대체로 접합 개시상태가 원만하게 얻어져, 양쪽 패널소자의 위치오차가 억제된다.

이어서, 양쪽 패널소자가 전면적으로 눌러붙여져 접합된다. 이 때, 이미 중앙영역이 접촉되어진 양쪽 패널소자는 그 중앙영역부터 주위로 접촉영역이 차차로 확장되어 접합되어 가고, 이에 의해 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기되고, 양쪽 패널소자는 밀착상태로, 주름 등이 억제된 상태로, 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합된다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 이미 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 가면 된다.

양쪽 패널소자의 중앙영역을 접촉시킨 후의 계속적인 양쪽 패널소자의 눌러붙임 접합에서는, 양쪽 패널소자를 원활하게 전면적으로 눌러붙여 접합한 후에 제2스테이지의 외측 흡기구멍에 연접된 배기장치에 의한 배기를 끊음과 동시에 그 배기장치중의 외기 도입장치로 그 외측 흡기구멍으로 외기를 도입하여 제2스테이지에 의한 패널소자의 유지를 전면적으로 해방할 수 있다. 그 경우, 양쪽 패널소자의 중앙영역 접촉의 직후부터 제2스테이지의 외측 흡기구멍에 의한 흡착을 끊음과 동시에 그 외측 흡기구멍에도 외기를 도입하도록 해도 되지만, 양쪽 패널소자로부터 보다 확실하게 탈기하기 위해, 양쪽 패널소자를 상호 전면적으로 눌러붙여 접합해 감과 더불어 양쪽 패널소자가 접착재를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에 제2스테이지의 외측 흡기구멍에 의한 흡착을 끊음과 동시에 그 외측 흡기구멍에도 외기를 도입하도록 해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자의 중앙영역의 접촉 직후부터 스테이지간 배기장치에 의한 감압조작을 멈추어 양쪽 패널소자간 기압을 외기압으로 되돌려도 되지만, 양쪽 패널소자 사이로부터의 탈기를 보다 확실하게 하면서, 양쪽 패널소자가 접착재를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에 외기압으로 되돌려도 된다. 물론, 양쪽 패널소자의 접합이 완료될 때까지 양쪽 패널소자 주위 분위기압을 소정의 저압으로 유지해 두어도 좋다.

상기 양쪽 패널소자를 중앙영역 접촉에 앞서 상호 접근시킬 경우의 양쪽 패널소자의 상호 접근거리, 및 상기 패널소자 중앙영역 양면간의 기압차의 정도(예컨대, 이 기압차를 발생시키기 위한 양쪽 패널소자의 중앙접촉공정에서의 양쪽 패널소자간의 감압의 정도 및 제2스테이지의 중앙 흡기구멍으로 도입하는 외기량(누설량)의 정도)는, 표시패널의 제조방법과 관련해서 이미 기술한 바와 같다.

표시패널 제조장치는,

상기 스테이지 구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 스테이지를, 다시 말해서 그들에 유지된 양쪽 패널소자를 미리 정해진 거리까지 상호 접근시킨 경우 그 양쪽 스테이지의 상호 접근을 일단 정지시키도록 스테이지 구동장치 동작을 제어하는 일단 정지 제어장치와,

상기 일단 정지 제어장치에 의해 상호 접근이 일단 정지되는 제1 및 제2스테이지중 제2스테이지에 유지되는 패널소자의 중앙영역 양면간의 기압차를 검출하는 기압차 검출센서 및,

상기 기압차 검출센서에 검출되는 기압차가 미리 정해진 기압차에 도달하면 다시 제1 및 제2스테이지를 상호 접근시키도록 스테이지 구동장치 동작을 제어하는 일단 정지해제 제어장치를 구비해도 된다.

그 기압차 검출센서에 의해 검출하는 제2스테이지에 유지되는 패널소자의 중앙영역 양면간의 기압차는, 제2스테이지와 거기에 유지되는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압과, 제1 및 제2스테이지간 기압(즉, 그들에 유지되는 양쪽 패널소자간 영역의 기압)과의 차이다.

기압 검출센서에 의해 검출될 미리 정해진 기압차는, 그 기압차에 기초해서, 제2스테이지 상의 패널소자의 중앙영역이 접착재를 매개로 제1스테이지에 유지되어 있는 패널소자에 접촉하는 기압차이다. 다시 말해서, 이와 같은 미리 정해진 기압차가 검출됨으로써, 제2스테이지 상의 패널소자의 중앙영역이 접착재를 매개로 제1스테이지에 유지되어 있는 패널소자에 접촉한 것을 검출할 수 있다.

기압 검출센서는, 기압차를 직접 검출하는 것 외에, 예컨대 제1 및 제2스테이지간 기압(즉, 그들에 유지되는 양쪽 패널소자간 영역의 기압)이 미리 정해져 있는 경우에 있어서, 미리 정해진 기압차를 가져오는, 제2스테이지와 거기에 유지되는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 검출하는 센서나, 제2스테이지의 중앙 흡기구멍으로의 외기 도입 개시로부터의 시간의 계측에 의해, 미리 정해진 기압차를 가져오는, 제2스테이지와 거기에 유지되는 패널소자의 중앙영역과의 사이의 기압을 검출하는 센서 등이어도 좋다.

이상 설명한 〔C〕타입의 방법 및 장치는, 각종 표시패널의 제조에 적용할 수 있지만, 이하에 액정표시패널의 제조방법 및 제조장치의 구체적인 예에 대해 도 21에서 도 24를 참조해서 설명한다.

도 21은 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치 예의 개략구성을 나타낸 도면이다.

이 패널 제조장치는, 하나의 패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100), 또 하나의 패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200), 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치(300), 제1 및 제2스테이지 100, 200 사이로부터 배기감압하는 스테이지간 배기장치(500)를 구비하고 있다.

제2스테이지(200)는 패널소자(c2)의 중앙영역을 흡착하는 중앙 흡기구멍(201a) 및 패널소자(c2)의 중앙영역보다 외측의 영역을 흡착하는 외측 흡기구멍(201b)을 갖추고, 그들 흡기구멍(201a, 201b)으로부터 흡기함으로써 패널소자(c2)를 흡착유지하는 스테이지이다.

중앙 흡기구멍(201a)에는 중앙 흡기구멍용의 배기장치(600)가, 외측 흡기구멍(201b)에는 외측 흡기구멍용의 배기장치(700)가 연접되어 있으며, 중앙 흡기구멍용 및 외측 흡기구멍용의 각 배기장치(600, 700)에는 흡기구멍(201a, 201b)으로 외기를 도입하는 외기 도입장치의 일예인 개폐 전자밸브(640, 740)가 포함되어 있다.

스테이지 구동장치(300)는 제1스테이지(100), 제2스테이지(200)를 구동하기 위해 설치되어 있으며, 제1스테이지(100)를 구동하는 제1스테이지 구동부(310)와, 제2스테이지(200)를 구동하는 제2스테이지 구동부(320)를 포함하고 있다.

제1스테이지 구동부(310)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 가이드레일(311)에 걸쳐 설치된 랙기어(311a)에 제1스테이지(100)에 설치된 피니온기어(313)를 맞물리고, 이 피니온기어(313)를 제1스테이지(100)에 탑재한 모터(312)로 왕복회전시키는 것이다. 제1스테이지(100)는 제1스테이지 구동부(310)에 의해 가이드레일(311)에 따라 이동하고, 패널소자 유지위치(Q1) 또는 패널소자 접합위치(Q2)에 배치된다. 이 이동에 대응해서는, 제1스테이지(100)에 설치된 슬라이더(102)가 가이드레일(311)에 따라 미끄럼 운동한다.

제2스테이지 구동부(320)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 피스톤 실린더장치(321)와 이를 구동하는 공기회로(322)로 이루어진다. 피스톤 실린더장치(321)는 복동형의 것으로, 그 실린더부(321a)가 정위치에 배치되고, 피스톤 로드(321b)가 제2스테이지(200)에 연결되어 있다. 공기회로(322)는, 소정 압력의 압축공기를 피스톤 실린더장치(321)로 공급할 수 있다.

도시한 상태는, 공기회로(322)로부터 피스톤 실린더장치(321)의 피스톤 로드측에 압축공기가 공급되고 있으며, 피스톤 로드(321b)가 실린더부(321a) 내로 후퇴하고, 제2스테이지(200)가 상승하고 있는 상태를 나타내고 있다.

피스톤 실린더장치(321)의 실린더 헤드 커버측으로부터 압축공기가 공급되면, 피스톤 로드(321b)가 돌출하고, 제2스테이지(200)가 하강한다. 또한, 피스톤 실린더장치(321)의 피스톤 로드 커버측에 압축공기가 공급되면, 피스톤 로드(321b) 및 제2스테이지(200)는 상승하여, 도시한 상태로 되돌아 간다.

공기압 회로(322)는 피스톤 로드(321b)를 원하는 돌출량으로 일단 정지시킬 수 있는 회로이다.

제2스테이지(200)는 제2흡착 테이블(201) 및 이들 상면에 고정된 피스톤 로드로의 연결부(202)를 포함하고 있다.

도 22에 패널소자(c2; 도면중 쇄선)를 흡착유지하고 있는 상태에서의 제2스테이지(200)를 위에서 본 상태를 나타낸다. 더욱이, 제2스테이지 구동부(320) 등은 도시를 생략하고 있다.

도 22에 나타낸 바와 같이, 제2흡착 테이블(201)은 패널소자(c2)의 중앙영역을 흡착하는 영역 및 패널소자(c2)의 중앙영역보다 외측의 영역을 흡착하는 영역에, 이미 기술한 중앙 흡기구멍(201a) 및 외측 흡기구멍(201b)이 각각 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

연결부(202)는 평면으로 보아 십자형상을 하고 있으며, 그 중심부(202a)로부터 사방으로 연장됨과 더불어, 도중의 부분에서 아래쪽으로 굴곡하고 있고 각 선단부가 흡착 테이블(201)의 중앙 흡기구멍(201a)이 설치되어 있는 영역과 외측 흡기구멍(201b)이 설치되어 있는 영역과의 사이에 접속되어 있다. 또한, 중심부(202a)가 제2스테이지 구동부(320)의 피스톤 로드(321b)에 연결되어 있다.

중앙 흡기구멍용 배기장치(600)는, 이미 기술한 바와 같이 중앙 흡기구멍(201a)에 연접되어 있으며, 이미 기술한 개폐 전자밸브(640) 외에 배기부(610), 플렉시블 튜브(620), 중앙 흡기구멍용 배기실(630), 압력센서(650; 기압센서)를 포함하고 있다.

튜브(620)는, 일단부가 배기부(610)에, 타단부가 배기실(630)에 접속되어 있으며, 배기실(630)은 흡착 테이블(201)의 중앙 흡기구멍(201a)에 연통하고 있다. 또한, 튜브(620)의 도중에는 개폐밸브(640)가 설치되어 있다. 이에 의해, 밸브(640)를 닫은 상태에서는 중앙 흡기구멍(201a)으로부터 배기부(610)로 흡인되는 공기가 배기실(630), 튜브(620)를 통해 배기되고, 흡착 테이블(201)로 패널소자(c2)의 중앙영역을 흡착유지할 수 있다.

또한, 배기부(610)를 정지시킴과 동시에 밸브(640)를 개방한 상태로 흡기구멍(201a)으로 외기를 도입할 수 있다. 또한, 압력센서(650)는 배기실(630)에 접속되어 있으며, 배기실(630) 내의 공기압을 검출할 수 있다.

외측 흡기구멍용 배기장치(700)는, 이미 기술한 바와 같이 외측 흡기구멍(201b)에 연접되어 있으며, 이미 기술한 개폐 전자밸브(740) 외에 배기부(710), 플렉시블 튜브(720), 외측 흡기구멍용 배기실(730)을 포함하고 있다.

튜브(720)는, 일단부가 배기부(710)에, 타단부가 배기실(730)에 접속되어 있으며, 배기실(730)은 흡착 테이블(201)의 외측 흡기구멍(201b)에 연통하고 있다. 또한, 튜브(720)의 도중에는 개폐밸브(740)가 설치되어 있다. 이에 의해, 밸브(740)를 닫은 상태에서는 외측 흡기구멍(201b)으로부터 배기부(710)로 흡인되는 공기가 배기실(730), 튜브(720)를 통해 배기되고, 흡착 테이블(201)로 패널소자(c2)의 외측영역을 흡착유지할 수 있다.

또한, 배기부(710)를 정지시킴과 동시에 밸브(740)를 개방한 상태에서는 밸브(740)로부터 튜브(720)를 통해 흡기구멍(201b)으로 외기를 도입할 수 있다.

도 21에 나타낸 바와 같이 제1스테이지(100)는 제1흡착 테이블(101), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(110)를 포함하고 있다.

제1흡착 테이블(101)은 패널소자(c1)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(101a)이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(110)는 이와 같은 흡기구멍(101a) 외에, 배기실(111), 플렉시블 튜브(112), 배기장치(113)를 포함하고 있다. 튜브(112)는, 일단부가 배기장치(113)에, 타단부가 배기실(111)에 접속되어 있으며, 배기실(111)은 흡착 테이블(101)의 흡기구멍(101a)에 연통하고 있다. 이에 의해, 흡기구멍(101a)으로부터 배기장치(113)로 흡인되는 공기가 배기실(111), 튜브(112)를 통해 배기되고, 흡착 테이블(101)로 패널소자(c1)를 흡착유지할 수 있다.

스테이지간 배기장치(500)는, 링부재(510), 공기 흡입용의 관(520), 플렉시블 튜브(530), 진공펌프(540)를 포함하고 있다.

링부재(510)는, 제1 및 제2스테이지(100, 200)의 상호 접근에 의해 양쪽 스테이지간에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 더불어 양쪽 스테이지간의 패널소자(c1, c2)를 둘러싸는, 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재이다. 이 링부재(510)는, 여기에서는 고무제의 것이고, 제1스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 설치되어 있다.

공기 흡입용의 관(520)은, 제1스테이지(100)의 링부재(510)와 패널소자(c1) 유지영역의 사이에 설치된 관통구멍에 끼워 맞추어져 있으며, 플렉시블 튜브(530)의 일단부에 접속되어 있다. 튜브(530)의 타단부는 진공펌프(540)에 접속되어 있다. 이에 의해, 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 링부재(510)로 형성되는 기밀실 내를 미리 정해진 기압, 여기에서는 20Pa(약 0.15Torr)정도로 배기감압할 수 있다.

또한, 제2스테이지(200)를 하강도중의 소정 위치에서 일단 정지시키기 위해 제2스테이지의 승강로에 면해서 그 제2스테이지를 검출하는 스테이지 검출센서(1000)가 설치되어 있다.

상기의 공기압 회로(322), 배기부(610 및 710), 전자 개폐밸브(640, 740)는 제어부(CONT)의 지시에 기초해서 동작한다. 또한, 압력센서(650)로 검출되는 배기실(630)의 기압정보, 즉 제2스테이지의 중앙 흡기구멍(201a)에서의 기압정보가 제어부(CONT)에 입력됨과 동시에, 스테이지 검출센서(1000)에 의한 제2스테이지(200)의 검출정보도 제어부(CONT)에 입력되도록 되어 있다.

이 패널 제조장치는, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 앞서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 상호 위치 일치시키는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치(400)를 구비하고 있다.

위치 일치시킴 장치(400)는, 2대의 카메라(410; 여기에서는 CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(420), 제어부(430)를 구비하고 있다.

각 패널소자(c1, c2)가 제1스테이지(100) 상에서 상호 위치 일치시켜지는 상태를 위에서 본 상태는 도 7과 같다. 더욱이, 여기에서의 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400) 등은 도 7에 있어서 도시를 생략하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 각 패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외에 각각 형성되어 있다. 더욱이, 일치시킴 마크는, 여기에서는 십자형의 패턴이 패널소자의 대각선 양단영역에 형성되어 있지만, 거기에 한정되는 것은 아니고, 각 패널소자를 상호 위치 일치시킬 수 있는 것이면, 어떤 패턴이라도 되고, 또한 표시영역을 외이면, 어느 위치에 형성되어도 된다. 또한, 이 일치시킴 마크는 인쇄 등에 의해 형성되어 있어도 되고, 패널소자의 전극형성의 경우에 표시영역 외에 마커용 전극을 설치해 두고, 그 마커용 전극으로의 전압인가에 의해 점등하는 것이어도 된다. 여기에서는, 패널소자(c1, c2) 상에 일치시킴 마크(m1, m2)가 각각 인쇄되어 있다.

도 21에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 각 패널소자(c1, c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1, m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)에 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(420)는 패널소자 유지아암(421) 및 X-Y-θ 구동부(422)를 포함하고 있다. 패널소자 유지아암(421)은 구동부(422)의 X-Y-θ방향 가동부에 접속되어 있으며, 그 선단부(421a)로 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다. X-Y-θ 구동부(422)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 패널소자 유지아암(421) 및 거기에 유지되는 패널소자(c2)를 패널소자(c1)의 표면에 걸쳐 소정 방향(도면중 X방향), 이것에 수직인 방향(도면중 Y방향)으로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레(도면중 θ방향)로 회전이동시킬 수 있다. 이에 의해, 제어부(430)의 지시로, 제1스테이지(100)에 유지시킨 패널소자(c1) 상에서 패널소자(c2)를 움직일 수 있다.

제어부(430)는, 이미 기술한 바와 같이 CCD 카메라(410), X-Y-θ 구동장치(420)에 접속되어 있으며, 카메라(410)로부터의 일치시킴 마크(m1, m2)의 마크정보를 위치정보로서 처리하고, 그 위치정보에 기초해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 패널소자(c2)를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치(420)의 동작을 제어한다. 더욱이, 제어부(430)는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용하는 수단을 포함하고 있다.

또한, 이 패널 제조장치는, 도 21중 2점쇄선으로 나타내고, 도시를 생략한 배기장치로 배기감압 가능한 기밀성을 갖는 기밀실(800)을 구비하고 있고 기밀실(800)이 제1, 제2스테이지(100, 200) 등을 둘러싸도 되지만, 여기에서의 패널 제조장치는 기밀실(800)을 구비하고 있지 않다. 이 기밀실(800)에 대해서는 후술한다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 도 1에 나타낸 타입의 반사형 액정표시패널 제조의 일예를 도 23 및 도 24를 참조하면서 설명한다.

도 23은, 도 21에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 24는 도 23에 나타낸 공정의 연속인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 23 및 도 24에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조함에 있어서, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 하나의 패널소자(이하, 제1패널소자라 칭함) c1으로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 또 하나의 패널소자(이하, 제2패널소자라 칭함) c2로 하여 취급하고, 도 23에 나타낸 공정 (1)~(4) 및 도 24에 나타낸 공정 (5)~(8)로 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN)를 미리 붙여 둔다. 더욱이, 여기에서는 양면접착테이프를 이용하지만, 그것으로 한정되는 것은 아니다. 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트로 덮여진 점착시트여도 된다. 어느 것으로 해도, 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 도포해도 되고 또는 접착재 도포장치를 설치하고, 그 도포장치에 의해 도포해도 된다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다. 또한, 이 접착재를 설치하는 공정은 접합공정 전에 실시한다. 접합공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 좋다.

이 양면접착테이프(NN)가 설치된 제1패널소자(c1)를 광흡수층(BK)을 아래로 해서 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착유지시킨다.

(2) 제2패널소자(c2; G패널소자)를 제1패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다.

이 위치 일치시킴은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 패널소자(c1) 위에 올려 놓은 패널소자(c2)를 일단 위치 일치시킴 장치(400)의 선단부(421a)에 유지시키고, 그 상태에서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 CCD 카메라(410)로 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 X-Y-θ 구동장치(420)로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시킨다. 이 위치 일치시킴 동작은 카메라(410)로 검출되는 마크정보가 위치정보로서 화상처리되고, 그 위치정보에 기초해서 X-Y-θ 구동장치(420)를 자동제어함으로써 행한다. 위치 일치시킴 처리가 종료하면, 다시 패널소자(c2)를 패널소자(c1) 위에 올려 놓는다.

X-Y-θ 구동장치(420)에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치(420)를 수동조작해서 행해도 된다. 또한, 제2패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200)가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있어도 된다. 이 경우는, 패널소자(c2)를 그 스테이지(200)에 유지시키고 나서 패널소자(c2)를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 또한, X-Y-θ 구동장치를 이용하지 않고 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜도 된다.

(3) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴이 종료하면, 제2패널소자(c2)를 유지하고 있는 X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)으로부터 패널소자(c2)를 놓아 패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 그런 후 제어부(CONT)의 지시로 스테이지 구동장치(300)의 제1스테이지 구동부(310)에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200)의 아래쪽(도 21중 Q2의 위치)으로 이동시키고, 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시킨다.

이어서, 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 하강시키고, 스테이지(200)가 제2패널소자(c2)에 접촉한 곳에서 중앙 흡기구멍용 배기장치(600) 및 외측 흡기구멍용 배기장치(700)에 의해 제2스테이지(200)에 설치된 중앙 흡기구멍(201a) 및 외측 흡기구멍(201b)으로부터 각각 흡기함으로써 제2패널소자(c2)를 흡착 테이블(201)로 흡착유지시키고, 더욱이 제2패널소자(c2)를 흡착한 제2스테이지(200)를 제2스테이지 구동부(320)에 의해 상승시켜 대기시킨다.

(4) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 이어서, 제어부(CONT)의 지시로 다시 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 하강시킨다.

(6) 이 제2스테이지 구동부(320)에 의한 제2스테이지(200)의 하강에 의해, 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지(100, 200)에 유지된 패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시킨다. 그리고, 제2스테이지(200)가 스테이지 검출센서(1000)로 검출됨과 더불어 고무제의 링부재(510)에 접촉하고, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 소정의 거리(도면중 d), 여기에서는 2mm로 접근한 곳에서 제어부(CONT)의 지시 하에 구동부(320)에 의한 제2스테이지(200)의 하강를 일단 정지시킨다.

이 때, 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 링부재(510)로 기밀실(D)이 형성되기 때문에, 그 기밀실(D)로부터 스테이지간 배기장치(500)에 의해 제1 및 제2스테이지 100, 200간 영역을(즉, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사 영역을) 미리 정해진 기압(여기에서는, 20Pa)까지 배기감압한다.

(7) 또한, 제2스테이지(200)의 중앙 흡기구멍(201a)에 연접된 배기장치(600)에 의한 배기를 끊음과 동시에 배기장치(600)중의 전자 개폐밸브(640)를 제어부(CONT)의 지시 하에 개방하여 중앙 흡기구멍(201a)으로 외기를 도입한다. 이렇게 해서, 제2스테이지(200)와 거기에 유지되어 있는 패널소자(c2)의 중앙영역과의 사이의 기압을 양쪽 패널소자(c1, c2) 사 기압보다 상대적으로 고압으로 한다. 이에 의해, 제2스테이지(200) 위 패널소자(c2)의 중앙영역의 양면간에 미리 정해진 기압차를 발생시키고, 그 기압차에 기초해서(여기에서는, 그 기압차와 패널소자(c2)의 중앙영역을 포함하는 부분의 스스로의 무게로) 제2스테이지(200) 위 패널소자(c2)의 중앙영역을 접착재(N)를 개재시킨 상태로 제1스테이지(100)에 유지되어 있는 패널소자(c1)에 접촉시킨다. 이 때의 제2스테이지(200) 위 패널소자(c2)의 중앙영역의 양면간의 기압차는, 여기에서는 20Pa~30Pa(약 0.15Torr~0.23Torr)정도이다. 이 기압차는 압력센서(650)가 배기실(620) 내의 기압이 미리 정해진 기압(미리 정해진 기압차를 가져오는 기압)에 도달한 것을 검출함으로써 간접적으로 알 수 있다.

(8) 압력센서(650)가 미리 정해진 기압을 검출하면, 제어부(CONT)는 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 다시 하강시키고, 양쪽 스테이지(100, 200)를 더 상대적으로 접근시킴으로써 양쪽 패널소자(c1, c2)를 접착재(N)를 개재시킨 상태로 상호 전면적으로 눌러붙여 접합한다.

더욱이, 이 제2스테이지 구동부(320)에 의한 제2스테이지(200)의 하강 타이밍은, 이미 기술한 바와 같이 압력센서(650)가 미리 정해진 기압을 검출하는 타이밍이어도 되고, 제2스테이지(200)의 중앙 흡기구멍(201a)으로 외기를 도입 개시하고 나서 소정 시간(예컨대, 5초) 경과 후로 해도 된다. 또한, 제2스테이지(200) 위 패널소자(c2)의 중앙영역이 제1스테이지(100)에 유지되어 있는 패널소자(c1)에 접촉한 것을 전기적 또는 광학적 센서를 이용해서 검출함으로써 제2스테이지(200)의 하강 타이밍을 결정해도 된다.

이 표시패널 제조장치에 의하면, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 있어서는, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 전면적으로 접합하기에 앞서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 중앙영역이 상호 접촉하게 된다. 이에 의해, 양쪽 패널소자(c1, c2)는 일거에 강한 접합충격을 받지 않아, 대체로 접합 개시상태가 원만하게 얻어져, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차가 억제된다.

이어서, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 전면적으로 눌러붙여져 접합된다. 이 때, 이미 중앙영역이 접촉되어진 양쪽 패널소자(c1, c2)는 그 중앙영역부터 주위로 접촉영역이 차차로 확장되어 접합되어 가고, 이에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기되고, 양쪽 패널소자(c1, c2)는 밀착상태로, 주름 등이 억제된 상태로, 또 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합된다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 접합된다. 이 때에는 중앙 배기실(630) 안은 대기압으로 되어 있다고 보아도 된다.

또한, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 상호 전면적으로 눌러붙여 접합해 감으로써 양쪽 패널소자(c1, c2)가 접착재(N)를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에, 제어부(CONT)의 지시에 기초해서 제2스테이지(200)의 외측 흡기구멍(201b)에 연접된 배기장치(700)에 의한 배기를 끊음과 동시에 배기장치(700)중의 밸브(740)를 개방하여 외측 흡기구멍(201b)으로 외기를 도입하여 제2스테이지(200)에 의한 패널소자의 유지를 전면적으로 해방하고, 제2스테이지 구동부(320)에 의한 양쪽 패널소자(c1, c2)의 눌러붙임을 정지한다. 더욱이, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 중앙영역 접촉 직후부터 제2스테이지(200)의 외측 흡기구멍(201b)에 의한 흡착을 끊음과 동시에 외측 흡기구멍(201b)에도 외기를 도입하도록 해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 접착재(N)를 매개로 전면적으로 또는 거의 전면적으로 접촉한 후에 스테이지간 배기장치(500)에 의한 감압조작을 멈추어 양쪽 패널소자(c1, c2) 주위 기압을 외기압으로 되돌린다. 이에 의해, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터의 탈기를 보다 확실히 할 수 있다. 더욱이, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 중앙영역의 접촉 직후부터 외기압으로 되돌리도록 해도 된다. 물론, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합이 종료될 때까지 양쪽 패널소자(c1, c2) 주위 분위기압을 소정의 저압으로 유지해 두어도 된다.

다음에, 이렇게 해서 얻어진 R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정 (1)부터 (8)을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

여기에서는, 링부재(510), 공기 흡입용의 관(520), 플렉시블 튜브(530), 진공펌프(540)를 포함하는 스테이지간 배기장치(500)를 이용해서 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 링부재(510)로 형성되는 기밀실(D) 내를 배기감압하지만, 상기의 기밀성을 갖는 기밀실(800) 및 그 실내를 배기감압하는 배기장치를 설치하고, 그 배기장치에 의해 그 실내를 배기감압하여 패널소자(c1, c2)를 유지한 제1 및 제2스테이지(100, 200) 등을 포함하는 영역의 분위기 전체를 대기압보다 저압으로 감압할 수 있도록 해도 된다. 더욱이, 도 21에 나타낸 패널 제조장치에 있어서, 기밀실(800)을 설치할 경우, 도면에서는 배기부(610, 710), 배기장치(113), 공기회로(322), 전자밸브(640, 740) 및 진공펌프(540) 등은 기밀실(800) 내에 나타나 있지만, 실제로는 이들은 기밀실(800)의 외측에 설치된다.

〔D〕 도 25에서 도 29와 관련한 표시패널의 제조방법 및 장치

도 25에서 도 29와 관련해서 설명하는 표시패널 제조방법 및 장치는, 다음의 표시패널 제조방법 및 장치에 기초한 것이다.

(표시패널 제조방법)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

제1스테이지에 유지된 제1패널소자 및 제2스테이지에 유지된 제2패널소자중 적어도 한쪽에 미경화의 접착재를 배치하는 공정,

제1패널소자를 유지한 제1스테이지 및 제2패널소자를 유지한 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여 양쪽 패널소자를 대향시킴과 더불어 그 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추는 공정,

그 겹쳐맞춘 제1 및 제2패널소자의 단부를 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 유지공정,

단부가 겹쳐맞춘 상태로 유지된 제1 및 제2패널소자에 양측으로부터, 또 그 유지된 단부측으로부터 순차 협착력을 가해 감으로써 상기 접착재에 의해 그 양쪽 패널소자를 순차 전면적으로 가접합해 가는 가접합공정,

가접합된 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 위치 일치시킴공정 및,

그 위치 일치시킴공정 후에 제1 및 제2패널소자간의 접착재를 경화시켜 양쪽 패널소자를 본접합하는 본접합공정을 포함한 표시패널의 제조방법.

이 방법에 있어서, 상기 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리의 겹쳐맞춤공정에서는, 반드시 양쪽 패널소자가 접착재를 개재시킨 상태로 서로 접촉할 필요는 없다. 약간의 틈이 아직까지 있어도 된다.

이 표시패널의 제조방법에서는, 제1 및 제2패널소자의 가접합공정에 있어서, 단부가 겹쳐맞춘 상태로 유지된 제1 및 제2패널소자에 양측으로부터, 또 그 유지된 단부측으로부터 순차 협착력을 가해 감으로써 양쪽 패널소자를 순차 전면적으로 가접합해 가기 때문에, 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기되면서 양쪽 패널소자가 가접합되어 가고, 그만큼 양쪽 패널소자는 밀착함과 더불어 주름 등의 발생이 억제된다.

또한, 양쪽 패널소자간의 접착재가 아직까지 미경화일 때에, 다시 말해서 양쪽 패널소자를 상대적으로 아직 살짝 움직이게 하는 상태일 때에 상기의 양쪽 패널소자의 위치 일치시킴공정을 실시하고, 그 후에 양쪽 패널소자간의 접착재를 경화시켜 양쪽 패널소자를 본접합하기 때문에, 인접한 패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 최종적인 접합이 이루어진다.

적층해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우에는, 제3번째 이후의 각 패널소자에 대해, 상기 본접합공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 상기 각 공정을 실질적으로 반복함으로써 이미 본접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 가면 된다.

제1 및 제2스테이지에 제1 및 제2패널소자를 유지시킬 경우, 그 스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서 스테이지에 설치된 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지할 경우를 들 수 있다.

접착재 배치공정으로 배치되는 접착재는 미경화의 접착재이지만, 이 접착재의 대표예로서 가압 하에 유동성을 나타낸 것을 들 수 있다. 더욱이, 여기에서 말하는 가압 하에 유동성을 나타내는 접착재에는 배치 직후에는 그 자신이 약간의 유동성을 나타내지만, 그 후에는 가압 하에 유동성을 나타내는 것도 포함된다. 상기 접착재를 배치하는 공정에 있어서는, 제1스테이지에 유지된 제1패널소자의 소정 단부에 미경화의 접착재를 배치하고, 상기 가접합공정에서, 단부가 겹쳐맞추어진 상태로 유지된 제1 및 제2패널소자에 양측으로부터, 또 그 유지된 단부측으로부터 순차 협착력을 가함으로써 그 접착재를 제1 및 제2패널소자간에 눌러 확장하면서 양쪽 패널소자를 순차 전면적으로 가접합해 가도록 해도 된다. 이와 같이, 접착재를 눌러 확장해 가면, 양쪽 패널소자 사이로 외기가 들어가기 어렵다. 물론, 접착재는 양쪽 패널소자의 접합에 지장이 없는 것이면, 패널소자의 단부에만 눌러서 확장 가능하게 배치하는 것은 아니고, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽에 부분적으로 또는 전면적으로 도포하는 등으로 해도 된다.

또한, 제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정에서는, 그보다 후공정인 제1 및 제2패널소자의 겹쳐맞추어진 소정 단부를 그 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 공정을 실시하기 쉽도록, 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추어 그 겹쳐맞춘 상태로 유지할 경우의 제2패널소자 단부를 제2스테이지로부터 삐져 나오게 한 상태로 그 제2스테이지에 유지시켜도 된다.

어느 것으로 해도, 양쪽 패널소자의 가접합은, 예컨대 제1스테이지에 양쪽 패널소자를 억누르는 억누름부재를 이용하고, 그 억누름부재에 의한 양쪽 패널소자 억누름 상태를 유지하면서 그 억누름부재를 제1스테이지에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 행해도 된다.

이 경우, 그 억누름부재는, 예컨대 겹쳐맞추어진 양쪽 패널소자의 단부를 제1스테이지에 억눌러 유지하는 수단에 병용해도 된다. 물론, 유지공정 실시를 위한 단부 유지수단은 그 억누름부재와는 별도로 설치해도 된다.

어느 것으로 해도, 이와 같은 억누름부재는 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 것으로 하고, 상기 가접합공정에서는 그 패널소자 억누름면을 패널소자에 대해 상대적으로 이동시켜도 된다. 이에 의해, 원활하게 가접합공정을 실시할 수 있다.

철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다.

단면 원형의 억누름 롤러를 채용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

이상 설명한 표시패널의 제조방법에 있어서 억누름부재를 이용하는 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다. 즉,

상기 겹쳐맞춘 제1 및 제2패널소자의 단부를 겹쳐맞춘 상태로 유지하는 유지공정에서는 그 겹쳐맞춘 단부를 억누름부재로 제1스테이지로 억누름 유지함으로써 유지하고,

상기 가접합공정에서는, 그 억누름부재로 패널소자가 억눌려진 제1스테이지를, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서 그 억누름부재 및 제2스테이지에 대해 상대적으로 이동시키고, 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널을 순차 가접합해 가는 표시패널의 제조방법이다.

이 경우도, 그 억누름부재로서 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재를 채용하고, 상기 유지공정에서는 그 억누름부재의 패널소자 억누름면의 일부에 상기 겹쳐맞춘 제1 및 제2패널소자의 단부를 제1스테이지로 억누름으로써 유지하고, 상기 가접합공정에서는 그 억누름부재의 패널소자 억누름면을 제1 및 제2패널소자 개재상태로 제1스테이지에 대해 상대적으로 전동시키고, 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 상기 접착재로 순차 가접합해 가는 경우를 예시할 수 있다.

상기 접착재로서는, 제1 및 제2패널소자를 가접합한 후 광조사, 가열 등에 의해 경화시킬 수 있는 접착재를 지장이 없는 범위에서 다양하게 채용할 수 있지만, 시장에서 입수하기 쉽고, 패널소자로의 악영향이 적은 것으로서 광경화형의 접착재, 예컨대 자외광경화형의 접착재를 들 수 있다.

광경화형 접착재를 이용할 경우에는, 상기 본접합공정에 있어서, 그 접착재를 경화시키는 광을 그 접착재에 조사한다.

어느 것으로 해도, 접합하는 이웃한 패널소자 사이로부터 충분히 탈기하기 위해, 적어도 상기 가접합공정에 대해서는 소정 감압분위기중에서 실시해도 된다.

제1 및 제2패널소자의 본접합에 앞서 위치 일치시킴공정에서의 양쪽 패널소자 상호의 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 제2패널소자를 제1패널소자 상에서 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키는 방법을 제공한다.

(2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 제2패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 제1패널소자 상에서 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키는 방법을 제공한다.

X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치를 수동조작해서 행해도 되지만, 카메라로 검출되는 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 양쪽 패널소자를 위치맞추도록 X-Y-θ 구동장치 동작을 제어함으로써 행해도 된다. 후자의 경우에는 기판, 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용할 수 있다.

더욱이, X-Y-θ 구동장치는, 말할 것도 없이, 물체를 방향 X, 이에 수직인 방향 Y로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레로 회전이동시킬 수 있는 장치이다.

상기 위치일치시킴 마크는 액정마크, 전계발광마크 등으로서 통전에 의해 발광하는 것으로 해도 된다.

(표시패널 제조장치)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

제1패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

제2패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지,

제1스테이지에 유지되는 제1패널소자에 미경화의 접착재를 배치하는 접착재 배치장치,

제1 및 제2스테이지에 유지되는 제1 및 제2패널소자를 대향시킴과 더불어 그 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추도록 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 이동시키는 제1구동장치,

그 겹쳐맞추어지는 제1 및 제2패널소자의 단부를 제1스테이지로 억누름 유지하는 억누름부재,

상기 억누름부재로 양쪽 패널소자가 억눌려지는 제1스테이지를, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 억누름부재에 의한 억누름 하에 상기 접착재에 의해 순차 가접합해 가도록, 억누름부재 및 제2스테이지에 대해 상대적으로 이동시키는 제2구동장치,

가접합된 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 위치 일치시킴 장치 및,

그 위치 일치시킴 장치에 의한 양쪽 패널소자의 위치 일치시킴 후에 제1 및 제2패널소자간의 접착재를 경화시켜 양쪽 패널소자를 본접합하는 본접합 장치를 구비하고 있는 표시패널의 제조장치를 제공한다.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 포함하는 것을 들 수 있다.

이 제조장치에 의하면, 제1패널소자를 제1스테이지에, 제2패널소자를 제2스테이지에 유지시킨다. 그런 후, 제1스테이지에 유지된 제1패널소자에 접착재 배치장치를 이용해서 미경화의 접착재를 소정량 배치한다.

그 후, 제1구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 이동시켜 양쪽 패널소자를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자의 소정 단부끼리를 겹쳐맞춘다.

이 겹쳐맞춤 단부를 억누름부재로 제1스테이지에 억눌러 유지한다.

그 후, 제2구동장치에 의해 제1스테이지와, 제2스테이지 및 억누름부재를 상대적으로 이동시킴으로써, 그 억누름부재에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 억누름부재에 의한 억누름 하에 상기 접착재에 의해 순차 가접합해 간다.

이 경우, 접착재 배치장치에 의한 접착재의 부여가 제1패널소자의 소정 단부 등에 부분적으로 이루어져 있던 경우에는, 그 접착재가 억누름 부재에 의해 양쪽 패널소자간에 눌려 확장되어 간다.

상기 제1구동장치와 제2구동장치는 일부가 공통으로 구성되어 있어도 된다. 또한, 한쪽이 다른쪽의 일부여도 된다.

이렇게 해서, 양쪽 패널소자의 가접합이 종료하면, 양쪽 패널소자를 위치 일치시킴 장치에 의해 위치 일치시키고, 이어서 본접합 장치로 양쪽 패널소자간의 접착재를 경화시켜 본접합한다.

상기 억누름부재로서, 예컨대 소정 곡률의 철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재를 채용할 수 있다. 그리고, 그 억누름면의 일부로 양쪽 패널소자의 겹쳐맞추어지는 단부를 제1스테이지로 억누름 유지할 수 있다. 이 경우, 상기 제2구동장치는, 그 억누름부재의 패널소자 억누름면을 제1 및 제2패널소자 개재상태로 제1스테이지에 대해 상대적으로 전동시켜 제2패널소자를 제2스테이지로부터 인출하면서 제1스테이지 상에서 양쪽 패널소자를 상기 접착재에 의해 순차 가접합해 가는 구동장치로 할 수 있다.

철곡면으로 이루어진 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재의 대표예는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다.

단면 원형의 억누름 롤러를 채용할 경우, 그 억누름 롤러에 의한 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

더욱이, 양쪽 패널소자 사이로부터 충분히 탈기하기 위해, 적어도 제1 및 제2패널소자의 가접합에 있어서 그 양쪽 패널소자 주위 분위기를 소정의 감압분위기로 하기 위한 감압실을 설치해도 된다.

접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

상기 위치 일치시킴 장치로서는, 예컨대 다음의 것을 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제2패널소자를 제1패널소자 상에서, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 움직이는 X-Y-θ 구동장치를 포함하는 위치 일치시킴 장치,

(2) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제2패널소자를 제1패널소자 상에서, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 움직이는 X-Y-θ 구동장치와, 상기 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 양쪽 패널소자를 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 제2패널소자를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치의 동작을 제어하는 제어부를 구비한 위치 일치시킴 장치. 이와 같은 제어부로서는, 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용한 것을 예시할 수 있다.

본접합 장치로서는, 사용하는 접착재에 따라 양쪽 패널소자간의 접착재를 경화시킬 수 있는 것을 채용하면 된다. 예컨대, 광경화형 접착재를 이용할 경우에는, 그 접착재를 경화시키는 광을 조사하는 램프를 포함할 수 있다.

이상 설명한 〔D〕타입의 방법 및 장치는, 각종 표시패널의 제조에 적용할 수 있지만, 이하에 액정표시패널의 제조방법 및 제조장치의 구체적인 예에 대해 도 25에서 도 29를 참조해서 설명한다.

도 25는 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치 예의 개략구성을 나타낸 도면이다.

이 패널 제조장치는,

제1패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100)와,

제2패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200),

제1스테이지(100)에 유지되는 제1패널소자(c1)에 미경화의 가압 하에 유동성을 나타내는 접착재(N)를 배치하는 접착재 배치장치(500),

제1 및 제2스테이지(100, 200)에 유지되는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자(c1, c2)의 소정 단부끼리를 겹쳐맞추도록 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 상대적으로 이동시키는 제1구동장치(320),

그 겹쳐맞추어지는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 단부를 제1스테이지(100)로 억누름 유지하는 억누름부재(610)를 포함하는 억누름 유지장치(600),

억누름부재(610)로 양쪽 패널소자(c1, c2)가 억눌려지는 제1스테이지(100)를, 억누름부재(610)에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200)로부터 인출하면서 제1스테이지(100) 상에서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 억누름부재(610)에 의한 억누름 하에 접착재(N)에 의해 순차 가접합해 가도록, 억누름부재(610) 및 제2스테이지(200)에 대해 상대적으로 이동시키는 제2구동장치(310),

가접합된 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 상호 위치 일치시키는 위치 일치시킴 장치(400),

위치 일치시킴 장치(400)에 의한 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴 후에 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 사의 접착재(N)를 경화시켜 양쪽 패널소자(c1, c2)를 본접합하는 본접합 장치(700)를 구비하고 있다.

제2구동장치(310)는 제1구동장치(320)의 일부를 겸하고 있다.

제1 및 제2스테이지(100, 200)는 제1 및 제2흡착 테이블(101, 201), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(110, 210)를 각각 포함하고 있다.

제1 및 제2흡착 테이블(101, 201)은 패널소자(c1, c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(101a, 201a)이 각각 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(110, 210)는 이와 같은 흡기구멍(101a, 201a) 외에, 흡착 테이블에서의 배기실(111, 211), 플렉시블 튜브(112, 212), 배기장치(113, 213)를 포함하고 있고, 배기장치(113, 213)는 튜브(112, 212)의 일부에, 튜브(112, 212)의 타단부는 배기실(111, 211)에 각각 접속되어 있으며, 배기실(111, 211)은 흡착 테이블(101, 201)의 흡기구멍(101a, 201a)에 각각 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(113, 213)의 운전에의해, 공기가 흡기구멍(101a, 201a)으로부터 배기실(111, 211), 튜브(112, 212)를 통해 각각 배기된다.

제2구동장치(310)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 가이드레일(311)에 걸쳐 설치된 랙기어(311a)에 제1스테이지(100)에 설치된 피니온기어(313)를 맞물리고, 이 피니온기어(313)를 제1스테이지(100)에 탑재한 모터(312)로 왕복회전시키는 것이다. 제1스테이지(100)는 제2구동장치(310)에 의해 가이드레일(311)에 따라 이동하고, 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1), 접착재 배치위치(Q2), 패널소자 가접합 개시위치(Q3) 또는 패널소자 본접합 위치(Q4)에 배치된다. 이 이동에 있어서는, 제1스테이지(100)에 설치된 슬라이더(102)가 가이드레일(311)에 따라 미끄럼 운동한다.

제1구동장치(320)는, 상기의 제2구동장치(310)를 그 일부에 포함한 것이지만, 더욱이 제2스테이지 지지아암(321)과 이를 구동하는 회전구동부(322)를 포함하고 있다. 즉, 제2스테이지 구동부를 포함하고 있다.

제2스테이지 지지아암(321)은, 일단부가 회전구동부(322)의 축(322a)에 지지되어 있고, 타단부가 제2스테이지(200)에 연결되어 있다. 회전구동부(322)는 정위치에 배치되어 있으며, 축(322a)을 소정의 타이밍으로 소정 방향(도면중 A방향) 또는 그 소정 방향과는 반대방향(도면중 B방향)으로 회전이동할 수 있다. 이렇게 해서, 회전구동부(322)의 구동에 의한 축(322a)의 회전이동에 의해 지지아암(321) 및 제2스테이지(200)가 소정의 타이밍으로 A방향 또는 B방향으로 선회된다.

억누름 유지장치(600)는, 정위치에 배치되어 있으며, 이미 기술한 억누름부재(610) 외에, 승강구동부(620)를 포함하고 있다. 승강구동부(620)는 억누름부재(610)를 회전이동 가능하게 지지하는 승강방향(도면중 Z방향) 가동부(621)를 갖추고 있으며, 그 가동부(621)를 소정의 타이밍으로 승강할 수 있다. 이렇게 해서, 승강구동부(620)에 의해 억누름부재(610)가 소정의 타이밍으로 패널소자 가접합 개시위치(Q3)에 위치하는 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 제1스테이지(100)로 억누르는 억누름 위치(P1) 또는 위치(P1)로부터 윗쪽으로 퇴피하는 퇴피위치(P2)에 배치된다.

억누름부재(610)는, 여기에서는 단면 원형의 억누름 롤러이고, 패널소자 억누름 둘레면(610a)을 갖추고 있다. 억누름부재(610)는 이미 기술한 바와 같이 승강구동부(620)의 가동부(621)에 회전이동 가능하게 지지되어 있다. 더욱이, 억누름부재(610)는, 여기에서는 단면 원형의 억누름 롤러이지만, 측면에서 보면 부채형을 나타내는 패널소자 억누름면을 갖춘 억누름부재 등도 이용할 수 있다. 또한, 억누름 롤러(610)는, 이것에 의한 패널소자 억누름에 의해 패널소자에 주름이 발생하지 않도록, 양단부 지름보다도 중앙부 지름이 작은 소위 역크라운형 억누름 롤러를 이용해도 된다.

접착재 배치장치(500)는, 접착재 배치위치(Q2)의 윗쪽에 배치되어 있으며, 접착재 공급부(510) 및 승강구동부(520)를 포함하고 있다.

접착재 공급부(510)는, 이미 기술한 미경화의 접착재(여기에서는, 가압 하에 유동성을 나타내는 광경화형 접착재) N이 수용되어 있으며, 선단부에 접착재 공급구(510a)를 갖추고 있다.

승강구동부(520)는 정위치에 배치되어 있으며, 접착재 공급부(510)에 접속된 승강방향(도면중 Z방향) 가동부(521)를 갖추고 있으며, 승강방향 가동부(521)를 소정의 타이밍으로 승강할 수 있다. 이렇게 해서, 승강구동부(520)에 의해 접착재 공급부(510)가 소정의 타이밍으로 제1패널소자(c1)에 접착재(N)를 공급하기 위한 접착재 공급위치(P3) 또는 위치(P3)로부터 윗쪽으로 퇴피하는 퇴피위치(P4)에 배치된다.

이 접착재 배치장치(500)에 의하면, 승강구동부(520)로 접착재 공급부(510)를 소정의 타이밍으로 접착재 공급위치(P3)에 배치해서 접착재 공급구(510a)로부터 소정량의 접착재(N)를 방출함으로써, 접착재 배치위치(Q2)에 위치하는 패널소자(c1)의 소정 단부에 접착재(N)를 배치할 수 있다.

위치 일치시킴 장치(400)는, 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)의 윗쪽에 배치되어 있다.

이 위치 일치시킴 장치(400)는 2대의 카메라(410; 여기에서는 CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(420), 제어부(430) 및 승강구동장치(440)를 구비하고 있다.

각 패널소자(c1, c2)가 상호 위치 일치시켜지는 상태를 위에서 본 상태는 도 7과 같다. 더욱이, 여기에서의 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400) 등은 도 7에서 도시를 생략하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 각 패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외(外)에 각각 형성되어 있다. 더욱이, 일치시킴 마크는, 여기에서는 십자형의 패턴이 패널소자의 대각선 양단영역에 형성되어 있지만, 거기에 한정되는 것은 아니고, 각 패널소자를 상호 위치 일치시킬 수 있는 것이면, 어떤 패턴이어도 되고, 또한 표시영역 외이면 어느 위치에 형성되어 있어도 된다. 또한, 이 일치시킴 마크는 인쇄 등에 의해 형성되어 있어도 되고, 패널소자의 전극형성의 경우에 표시영역 외에 마커용 전극을 설치해 두고, 그 마커용 전극으로의 전압인가에 의해 점등하는 것이어도 된다. 여기에서는, 패널소자(c1, c2) 상에 일치시킴 마크(m1, m2)가 각각 인쇄되어 있다.

도 25에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 각 패널소자(c1, c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1, m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)로 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(420)는 패널소자 유지아암(421) 및 X-Y-θ 구동부(422)를 포함하고 있다. 패널소자 유지아암(421)은 구동부(422)의 X-Y-θ방향 가동부에 접속되어 있으며, 그 선단부(421a)에서 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)에 위치하는 패널소자(c2)를 실질적으로 들어올리지 않고 흡착유지할 수 있다. X-Y-θ 구동부(422)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 패널소자 유지아암(421) 및 거기에 유지되는 패널소자(c2)를 미리 제1스테이지(100)에 흡착유지된 패널소자(c1)의 표면에 걸쳐 소정 방향(도면중 X방향), 이에 수직인 방향(도면중 Y방향)으로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레(도면중 θ방향)로 회전이동시킬 수 있다. 이에 의해, 제어부(430)의 지시로, 제1스테이지(100)에 유지시킨 패널소자(c1) 상에서 패널소자(c2)를 움직일 수 있다.

제어부(430)는, 이미 기술한 바와 같이 CCD 카메라(410), X-Y-θ 구동장치(420)에 접속되어 있으며, 카메라(410)로부터의 일치시킴 마크(m1, m2)의 마크정보를 위치정보로서 처리하고, 그 위치정보에 기초해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 패널소자(c2)를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치(420)의 동작을 제어한다. 더욱이, 제어부(430)는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용하는 수단을 포함하고 있다.

승강구동장치(440)는, X-Y-θ 구동장치(420)의 윗쪽에 배열설치되어 있으며, 구동장치(420)를 소정의 타이밍으로 승강방향(Z방향)으로 이동시킬 수 있다. 이렇게 해서, 승강구동장치(440)에 의해 X-Y-θ 구동장치(420)를 아래쪽으로 이동시킴으로써, 구동부(422)의 선단부(421a)에서 패널소자 위치 일치시킴 위치(Q1)에 위치하는 패널소자(c2)에 접촉할 수 있다.

본접합 장치(700)는, 패널소자 본접합 위치(Q4)의 윗쪽에 배치되어 있으며, 접착재(N)를 경화시키는 광(L)을 조사하는 램프(710)를 포함하고 있다. 램프(710)는 위치(Q4)에 위치하는 양쪽 패널소자(c1, c2) 사의 광경화형 접착재(N)에 광을 조사할 수 있다. 이에 의해, 광경화형 접착재(N)를 경화시킬 수 있다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 도 1에 나타낸 타입의 반사형 액정표시패널 제조의 일예를 도 26, 도 27 및 도 28을 참조하면서 설명한다.

도 26은 도 25에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 27은 도 26에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면이며, 도 28은 도 27에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (9)부터 (11)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 26, 도 27 및 도 28에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조함에 있어서, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 제1패널소자(c1)로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 제2패널소자(c2)로 하여 취급하며, 도 26에 나타낸 공정 (1)~(4), 도 27에 나타낸 공정 (5)~(8) 및 도 28에 나타낸 공정 (9)~(11)로 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1패널소자(c1; R패널소자)를 그 접합해야 할 면, 즉 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면이 위로 오도록 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다. 마찬가지로, 제2패널소자(c2; G패널소자)를 그 접합해야 할 면이 위로 오도록, 또한 제2패널소자 단부를 제2스테이지로부터 삐져 나오게 한 상태로 제2스테이지(200)에 세트하고, 패널소자 유지장치(210)에 의해 패널소자(c2)를 스테이지(200)의 흡착 테이블(201)에 흡착시킨다.

(2) 제2구동장치(310)에 의해 제1패널소자(c1)를 흡착하고 있는 제1스테이지(100)를 패널소자(c1)의 소정 단부가 접착재 배치장치(500)의 아래쪽으로 오는 위치, 즉 접착재 배치위치(Q2)까지 이동시키고, 접착재 배치장치(500)의 승강구동부(520)에 의해 접착재 공급부(510)를 패널소자(c1)의 윗쪽, 즉 접착재 공급위치(P3)로 하강시킨다. 그리고, 패널소자(c1)의 소정 단부에 광경화형 접착재(N)를 도포하고, 접착재(N)를 패널소자(c1)의 폭 방향에 따라 라인형상으로 배치한다.

(3) 승강구동부(520)에 의해 접착재 공급부(510)를 승강시킴으로써 공급부(510)를 위치(P3)로부터 퇴피위치(4)로 퇴피시키고, 제2구동장치(310)에 의해 제1패널소자(c1)를 흡착하고 있는 제1스테이지(100)를, 패널소자(c1)의 소정 단부가 억누름부재(610)의 아래쪽으로 오는 위치, 즉 패널소자 가접합위치(Q3)로 이동시킨다.

(4) 제1구동장치(320)의 구동부(322)에 의해 제2패널소자(c2)를 흡착하고 있는 제2스테이지(200)를 A방향으로 선회시키고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 소정 단부가 억누름부재(610)의 아래쪽으로 오는 위치까지 이동시킴으로써, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 대향시킴과 더불어 양쪽 패널소자(c1, c2)의 소정 단부끼리를 겹쳐맞춘다.

(5) 억누름 유지장치(600)의 승강구동부(620)에 의해 억누름부재(610)를 억누름 위치(P1)로 하강시키고, 억누름부재(610)의 패널소자 억누름면(610a)의 일부로 양쪽 패널소자(c1, c2)의 겹쳐맞추어지는 단부를 제1스테이지(100)로 억누름 유지한다.

(6) 그 후, 제2구동장치(310)에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200) 및 억누름부재(610)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써, 즉 억누름부재(610)의 억누름면(610a)을 제1 및 제2패널소자(c1, c2) 개재상태로 제1스테이지(100)에 대해 상대적으로 종동전동(從動轉動) 시킴으로써, 억누름부재(610)에 의한 패널소자 억누름 상태를 유지하면서, 또 제2패널소자(c2)를 제2스테이지(200)로부터 인출하면서 제1스테이지(100) 상에서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 억누름부재(610)에 의한 억누름 하에 접착재(N)에 의해 순차 가접합해 간다. 이 때, 접착재(N)가 억누름부재(610)에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로 눌려 확장해 간다. 이와 같이, 접착재(N)를 눌러 확장해 가면, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로 외기가 들어가기 어렵다. 이렇게 해서, 가접합공정이 원활하게 실시된다.

(7) 양쪽 패널소자(c1, c2)의 종단까지 억누름부재(610)를 상대적으로 이동시킨 후, 승강구동부(620)에 의해 억누름부재(610)를 퇴피위치(P2)로 상승시킨다.

(8) 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 가접합이 종료하면, 패널소자 유지장치(210)에 의한 제2스테이지(200)의 흡착동작을 해제하고, 제1구동장치(320)에 의해 스테이지(200)를 B방향으로 선회시키고, 스테이지(200)를 원래의 위치로 되돌림과 동시에, 가접합된 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 흡착하고 있는 제1스테이지(100)를, 제2구동장치(310)에 의해 위치 일치시킴 장치(400)의 아래쪽, 즉 위치 일치시킴 위치(Q1)로 이동시킨다.

(9) 승강구동장치(440)에 의해 X-Y-θ 구동장치(420)를 하강시키고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다.

이 위치 일치시킴은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, X-Y-θ 구동장치(420)의 하강에 의해, 패널소자(c1) 상의 패널소자(c2)를 위치 일치시킴 장치(400)의 선단부(421a)로 실질적으로 들어올리지 못하도록 하여 유지시키고, 그 상태에서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 CCD 카메라(410)로 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 X-Y-θ 구동장치(420)로 제1패널소자(c1) 상에서 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시킨다. 이 위치 일치시킴 동작은 카메라(410)로 검출되는 마크정보가 위치정보로서 화상처리되고, 그 위치정보에 기초해서 X-Y-θ 구동장치(420)를 자동제어함으로써 행한다.

(10) 위치 일치시킴처리 종료후, X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)에 의한 패널소자(c2)의 유지를 해제하고, X-Y-θ 구동장치(420)를 상승시킨다.

(11) 이어서, 제2구동장치(310)에 의해 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자(c1, c2)를 흡착하고 있는 제1스테이지(100)를, 본접합 장치(700)의 아래쪽, 즉 패널소자 본접합 위치(Q4)로 이동시키고, 본접합 장치(700)의 램프(710)로부터 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이의 접착재(N)에 광(L)을 조사하여, 접착재(N)를 경화시켜 본접합한다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 접합된다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 종료하면, 본접합 장치(700)에 의한 광조사가 정지되고, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 되돌아 간다.

도 25에 나타낸 패널 제조장치에 의한 표시패널의 제조방법에서는, 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 가접합공정에 있어서, 단부가 겹쳐맞춘 상태로 유지된 제1 및 제2패널소자(c1, c2)에 양측으로부터, 또 그 유지된 단부측으로부터 순차 협착력을 가해 감으로써 양쪽 패널소자(c1, c2)를 순차 전면적으로 가접합해 가기 때문에, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기되면서 양쪽 패널소자(c1, c2)가 가접합되어 가고, 그만큼 양쪽 패널소자(c1, c2)는 밀착함과 더불어 주름 등의 발생이 억제된다.

또한, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이의 접착재(N)가 아직까지 미경화일 때에, 다시 말해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 상대적으로 아직까지 살짝 움직이게 하는 상태일 때에 상기의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴공정을 실시하고, 그 후에 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이의 접착재(N)를 경화시켜 양쪽 패널소자(c1, c2)를 본접합하기 때문에, 인접한 패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 최종적인 접합이 이루어진다.

다음에, 이렇게 해서 R패널소자 및 G패널소자가 본접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 상기 각 공정 (1)부터 (11)을 실질적으로 반복해서, 이미 본접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

더욱이, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 충분히 탈기하기 위해, 적어도 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 가접합에 있어서 양쪽 패널소자(c1, c2) 주위 분위기를 소정의 감압분위기로 하기 위한 감압실을 설치해도 된다.

도 29에 상기한 도 25에 나타낸 표시패널 제조장치에 감압실(800) 및 이에 접속된 배기장치(900)가 설치된 표시패널 제조장치의 개략구성을 나타낸다.

감압실(800)은 기밀성을 갖고, 제1, 제2스테이지(100, 200) 등을 둘러쌀 수 있다. 더욱이, 상기의 배기장치(113, 213) 등은 감압실(800)의 외측에 설치된다. 배기장치(900)는, 여기에서는 로터리펌프를 포함한 것이고, 감압실(800) 내를 배기감압할 수 있다. 감압실(800)은 패널소자를 출입시키는 도시를 생략한 기밀도어를 갖추고 있다.

이와 같은 감압실(800)을 채용할 경우, 여기에서는 늦어도 도 26에 나타낸 접착재 도포공정 (2)부터 본접합공정(11)까지 감압실(800) 내를 소정 압력으로 감압한다. 이 때의 감압실(800) 내의 압력은, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 13Pa~40Pa(약 0.1Torr~0.3Torr)정도로 한다.

〔E〕 도 30에서 도 35와 관련한 표시패널의 제조방법 및 장치

도 30에서 도 35와 관련해서 설명하는 표시패널 제조방법 및 장치는, 다음의 표시패널 제조방법 및 장치의 1 또는 2 이상에 기초한 것이다.

(표시패널 제조방법)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정과,

제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키고, 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치하는 공정,

상호 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 소정의 제1조건 하에 상호 눌러붙이는 제1압접공정 및,

제1압접공정 후, 제1 및 제2패널소자를 제1조건과는 다른 소정의 제2조건 하에 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 포함한 표시패널의 제조방법.

이와 같은 표시패널의 제조방법의 대표예로서 다음의 제조방법을 들 수 있다. 즉,

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널 제조방법에 있어서,

제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

제1 및 제2스테이지에 유지된 제1 및 제2패널소자를 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 배치하는 공정,

제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 공정,

서로 접합해야 할 제1 및 제2패널소자의 면의 적어도 한쪽에 접착재를 설치하는 공정,

상호 위치 일치시켜져 제1 및 제2스테이지에 유지된 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로, 또 소정의 제1조건 하에 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제1압접공정 및,

제1압접공정 후, 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로, 또 제1조건과는 다른 소정의 제2조건 하에 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 포함한 표시패널의 제조방법이다.

어느 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽의 면에 접착재를 설치하는 공정으로서는, 미리 패널소자 면에 접착되고, 또 아직까지 표면이 보호시트로 덮여진 양면접착시트 내지 점착시트(시트는 테이프형상이어도 된다)로부터 그 보호시트를 제거해서 접착재를 노출시키는 공정이나, 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 또는 접착재 도포장치에 의해 도포하는 공정을 예시할 수 있다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다.

접착재를 설치하는 공정은 제1압접공정 전에 실시한다. 제1압접공정 전이면 지장이 없는 한, 어떤 단계에서 실시해도 된다.

제1압접공정은 접착재가 설치되고, 양쪽 패널소자가 상호 위치 일치시켜지고, 서로 접합해야 할 면이 대향하도록 방향이 맞추어진 후에 실시한다.

또한 어느 제조방법에 있어서도, 제1 및 제2패널소자의 상호 위치 일치시킴은 각종 방법으로 행한다. 예컨대, 그 자체가 이미 알려져 있는 기판이나 패널의 위치 일치시킴 방법을 이용해서 행한다.

위치 일치시킴의 방법으로서 다음의 방법을 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 소정 위치에 고정해 두고서 그 위에 다른쪽의 패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키는 방법.

이 위치 일치시킴 방법을 채용할 경우에 있어서, 상기의 제1 및 제2스테이지에 각각 패널소자를 유지시키는 방법을 채용할 경우에는, 예컨대 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 상에 다른쪽의 패널소자를 겹쳐배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키고, 그 후 그 다른쪽의 패널소자를 다른쪽의 스테이지에 유지시키면 된다.

(2) 각 패널소자에 미리 일치시킴 마크를 설치해 두고, 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 소정 위치에 고정해 두고서 그 위 또는 윗쪽에 다른쪽의 패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키는 방법.

이 위치 일치시킴 방법을 채용할 경우에 있어서, 상기의 제1 및 제2스테이지에 각각 패널소자를 유지시키는 방법을 채용할 경우에는, 예컨대 어느 것인가의 스테이지에 한쪽의 패널소자를 유지시키고, 그 패널소자 윗쪽에 다른쪽의 패널소자를 배치하고, 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 카메라로 관찰하면서 그 다른쪽의 패널소자를 X-Y-θ 구동장치로 움직여 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시키면 된다.

그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함해도 된다. 이 경우는, 그 다른쪽의 패널소자를 그 스테이지에 유지시키고 나서 그 패널소자를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 그 다른쪽의 패널소자를 유지하기 위한 스테이지가 X-Y-θ 구동장치를 포함하고 있지 않을 경우는, 위치 일치시킨 그 다른쪽의 패널소자를 상기 한쪽의 패널소자 위에 올려 놓은 후, 그 올려 놓여진 패널소자를 그에 대응하는 스테이지에 유지시키면 된다.

더욱이, 일치시킴 마크로서, 액정마크, 전계발광마크 등으로서 통전에 의해 발광하는 것으로 해도 된다.

X-Y-θ 구동장치에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치를 수동조작해서 행해도 좋지만, 카메라로 검출되는 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등)에 기초해서 X-Y-θ 구동장치를 자동제어함으로써 행해도 된다. 후자의 경우에는, 기판, 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리법을 이용할 수 있다.

더욱이, X-Y-θ 구동장치는, 말할 것도 없이 물체를 방향 X, 이에 수직인 방향 Y로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레로 회전이동시킬 수 있는 장치이다.

상기의 어느 표시패널 제조방법에 있어서도, 제1압접공정에서는 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 소정의 제1조건 하에 상호 눌러붙인다.

이어서, 제2압접공정에서 제1 및 제2패널소자를 소정의 제2조건 하에 상호 눌러붙여 적층된 표시패널을 얻는다.

제1 및 제2스테이지에 제1 및 제2패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합할 경우에는, 그들 양쪽 스테이지에 양쪽 패널소자를 끼워 상호 눌러붙인다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 상기 제2압접공정에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를 상기 제1패널소자로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 패널소자를 상기 제2패널소자로 간주해서 실질적으로 상기 각 공정을 반복함으로써 이미 접합된 패널소자에 1매씩 다음의 패널소자를 접합해 간다.

상기 제1압접공정에서의 제1조건, 제2압접공정에서의 제2조건은, 양쪽 패널소자를 상호 눌러붙일 경우의 가압력, 접합속도, 양쪽 패널소자 주위의 분위기압, 양쪽 패널소자 주위의 온도 또는 패널소자의 가열온도, 패널소자에 조사되는 광의 파장 등중 하나 또는 둘 이상이다.

제1압접공정에서의 제1조건과 제2압접공정에서의 제2조건은 그들 조건을 전체적으로 비교한 경우 다르게 되어 있다.

제1조건, 제2조건은, 사용하는 접착재의 종류, 구해지는 패널소자 접합상태(예컨대, 인접한 패널소자간에 공기가 개재하는 것이 억제되는 상태) 등에 따라 설정하면 된다.

패널소자 접합상태에 크게 영향을 주는 조건의 관점으로부터, 대표예로서 다음의 경우를 들 수 있다. 즉,

상기 제1압접공정에서의 제1조건에 양쪽 패널소자를 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있고, 그 가압력으로서 소정의 제1가압력을 채용해서 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 제2조건에 양쪽 패널소자를 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있으며, 그 가압력으로서 상기 제1가압력보다 큰 제2가압력(대표적으로는, 일정한 제2가압력)을 채용해서 제2압접공정을 실시할 경우이다.

이와 같은 제1가압력, 그보다 큰 제2가압력을 채용하면, 양쪽 패널소자 상호의 위치오차를 방지하면서, 최종적으로 위치 일치시킴 정밀도 좋게 양쪽 패널소자를 접합할 수 있다.

제1압접공정에서의 제1가압력으로서, 양쪽 패널소자를 미리 정해진 바와 같이 부분적으로(극히 한정된 점이나 선에 가까운 영역뿐이여도 좋다) 또는 거의 전면적으로 또는 전체적으로 겹쳐맞추는데 필요한 최소가압력 또는 그보다 약간 큰 가압력으로 하고, 제2압접공정에서의 제2가압력을 양쪽 패널소자를 최종적으로 전면적으로 본접합하는데 필요한 더 한층 큰 일정한 가압력으로 할 경우를 예시할 수 있다. 이 경우, 최종적으로 양쪽 패널소자를 강고하게 접합할 수 있다.

제1가압력은 점차 증가하는 것이여도 된다. 제2가압력은 소정 시간 가하도록 해도 된다.

또한, 제1조건, 제2조건에 대해 다음의 예도 들 수 있다. 즉,

상기 제1압접공정에서의 제1조건에 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있고, 그 분위기압으로서 소정의 제1분위기압을 채용해서 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 제2조건에 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있으며, 그 분위기압으로서 소정의 제2분위기압을 채용해서 제2압접공정을 실시하는 경우이다.

이 경우, 상기 제1분위기압 및 제2분위기압중 적어도 한쪽의 분위기압으로서 13Pa~40Pa(약 0.1Torr~0.3Torr)정도의 압력을 예시할 수 있다.

이와 같이, 적어도 제1분위기압 및 제2분위기압중 적어도 한쪽을 대기압보다 낮은 기압으로 설정함으로써, 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하고, 그것에 의해 양쪽 패널소자를 그만큼 밀착시킬 수 있다. 또한, 공기가 개재한 경우에는 발생하는 것이 어떤 패널의 주름보다도 억제할 수 있다.

제1압접공정에서 양쪽 패널소자가 전면적 또는 거의 전면적으로 상호 접촉한다고 한 경우는, 제1압접공정을 대기압보다 저압의 제1분위기 하에서 실시하고, 제2압접공정에서의 제2분위기압은 대기압이어도 된다. 물론, 제2분위기압을 대기압보다 저압으로 설정해도 되고, 그 경우 제2분위기압은 제1분위기압과 동등한 기압이어도 된다.

또한, 제1압접공정에 있어서는, 양쪽 패널소자가 약간의 영역만큼 상호 접촉한다고 할 경우는, 제1압접공정은 대기압 분위기 하에 실시하고, 제2압접공정을 대기압보다 저압의 제2분위기 하에 실시해도 된다. 물론, 제1압접공정도 대기압보다 저압의 제1분위기 하에 실시해도 된다. 이 경우, 제1, 제2분위기압은 동등해도 된다.

이와 같은 제1, 제2분위기압과 관계된 것이지만, 제1 및 제2스테이지에 패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합할 경우, 제1압접공정 및 제2압접공정중 적어도 한쪽의 공정에서는, 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재로 제1 및 제2패널소자를 둘러쌈과 동시에 그 링부재를 제1 및 제2스테이지간에 협착시킴으로써 양쪽 패널소자 주위에 기밀실을 형성하고, 그 기밀실로부터 배기함으로써 소정의 분위기압을 얻도록 해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기해서 양쪽 패널소자를 접합하기 위해, 상기 제1압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 그 양쪽 패널소자를 최초에는 부분적으로(점형상 또는 선형 등으로) 상호 접촉시키고, 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다.

더욱이, 구체예를 들면, 상기 제1압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 예컨대 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 접촉시키고, 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자 양단부로 향해) 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다. 또는, 예컨대 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 어느 것인가의 단부에서 상호 접촉시키고, 그 최초 상호 접촉부분부터(예컨대, 반대측의 단부로 향해) 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다.

제1압접공정에서 이와 같이 양쪽 패널소자를 눌러붙이는 경우, 상기 제2압접공정에 있어서는, 제1 및 제2패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙이면 된다.

제1 및 제2스테이지에 패널소자를 유지시켜 양쪽 패널소자를 접합할 경우에는, 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기해서 양쪽 패널소자를 접합하기 위해, 제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽은 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 구비하고 있음과 더불어 그 패널소자 유지면이 소정 곡률의 철곡면인 스테이지로 하고, 제1압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써 그 양쪽 패널소자를 최초에는 탄성패드의 철곡면에서 부분적으로 상호 접촉시키고, 계속해서 양쪽 스테이지를 접근시킴으로써 상기 패드를 탄성변형시키면서 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다.

더욱이, 구체예를 들면, 상기 탄성패드의 철곡면을 중앙부가 높아진 철곡면, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면으로 하고, 제1압접공정에서의 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 중앙부에서 점형상 또는 선형상 등으로 상호 접촉시키고, 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자의 양단부로 향해) 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다.

또는, 예컨대 상기 탄성패드의 철곡면을 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면으로 하고, 양쪽 패널소자를 최초에는 그들의 일단부에서 선형상 등으로 상호 접촉시키고, 그 최초 상호 접촉부분부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하도록 해도 된다.

제1압접공정에서 이와 같이 양쪽 패널소자를 눌러붙이는 경우도, 제2압접공정에서는, 탄성패드의 탄성변형 하에 제1 및 제2패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙이면 된다.

패널소자를 손상시키지 않고, 또한 더 한층 양쪽 패널소자의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자 사이로부터 원활하게 탈기하고, 본접합을 위한 상호 눌러붙임에도 지장이 없도록 하기 위해, 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 추천할 수 있고, 또한 철곡면을 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면, 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면과 같이 원활한 곡면으로 할 경우에는, 그 철곡면의 곡률 반지름으로서 2000mm~5000mm정도를 추천할 수 있다.

어느 것으로 해도, 이와 같이 차차로 상호 압접부분을 확장해 가는 제1압접공정을 채용할 경우에는, 상기의 제1분위기압, 제2분위기압은 반드시 대기압보다 저압으로 되어도 된다. 그러나, 접착재의 종류나, 구해지는 접합상태 등에 따라 제1분위기압 및 제2분위기압중 적어도 한쪽을 대기압보다 저압으로 해도 된다.

더욱이, 제1압접공정의 단계에서 양쪽 패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙여 버려도 되지만, 제1압접공정의 단계에서는 양쪽 패널소자는 반드시 전면적으로 상호 눌러붙일 필요는 없는 것은 상기와 같다.

어느 것으로 해도, 제1 및 제2스테이지에 제1 및 제2패널소자를 유지시킬 경우, 그 스테이지에 의한 패널소자의 유지는, 그것으로는 한정되지 않지만, 대표예로서, 스테이지에 설치된 흡기구멍을 매개로 패널소자를 흡인유지하는 경우를 들 수 있다. 이와 같은 흡기구멍은 상기 탄성패드를 구비한 스테이지에서는 적어도 그 탄성패드에 설치한다.

이와 같은 탄성패드로서, 진공흡인으로 패널소자를 상기 철곡면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 그 미세구멍이 그 탄성패드의 상기 압접공정에서의 탄성변형으로 닫혀져 가는 것을 예시할 수 있다. 이 탄성패드는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자의 상호 압접시에 탄성패드에 유지된 패널소자의 또 하나의 패널소자로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있으며, 그것에 의해 양쪽 패널소자를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

어느 것으로 해도, 상기 제1압접공정은 제1 및 제2패널소자를 상기 잡착재로서 가접합하는 공정으로 할 수 있고, 상기 제2압접공정은 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재로 강고하게 본접합하는 공정으로 할 수 있다.

이 경우, 제1압접공정은, 상호 위치 일치시켜진 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재를 개재시킨 상태로 상호 눌러붙여 양쪽 패널소자를 가접합하는 제1압접공정, 제2압접공정은, 그 제1압접공정 후, 제1 및 제2패널소자를 상호 눌러붙여 본접합하는 제2압접공정이라는 것도 가능하다.

더욱이, 제2압접공정에서의 상기의 제2조건으로는, 예컨대 접착재로서 광경화성의 접착재가 사용될 경우에, 그 접착재에 이를 경화시키는 광을 조사한다는 조건을 포함할 수 있고, 접착재로서 열경화성의 접착재가 사용될 경우에, 그 접착재를 소정 온도로 가열한다는 조건을 포함할 수 있다.

(표시패널 제조장치)

화상을 표시하는 표시패널을 형성하기 위한 패널소자를 적층해서 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

하나의 패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

또 하나의 패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지 및,

제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치를 구비하고 있으며,

제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽은 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 구비하고 있음과 더불어 그 패널소자 유지면이 소정 곡률의 철곡면이고,

상기 스테이지 구동장치는, 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴에 있어, 제1스테이지에 유지되는 패널소자와 제2스테이지에 유지되는 패널소자를 제1가압력 하에 상호 눌러붙이고, 더욱이 그 제1가압력보다 큰 제2의 일정한 가압력 하에 눌러붙이는 표시패널의 제조장치.

제1 및 제2스테이지는 패널소자 유지를 위한 장치를 포함하고 있다. 이와 같은 유지장치로서는, 그것으로는 한정되지 않지만, 예컨대 스테이지에 설치되고, 배기장치에 접속되는 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍을 들 수 있다. 이와 같은 흡기구멍은 탄성패드를 구비한 스테이지에서는 적어도 그 탄성패드에 설치한다.

이와 같은 탄성패드로서, 진공흡인으로 패널소자를 상기 철곡면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 그 미세구멍이 그 탄성패드의 탄성변형으로 닫혀지는 것을 예시할 수 있다. 이 탄성패드는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자의 상호 압접시에 탄성패드에 유지된 패널소자의 또 하나의 패널소자로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

이 표시패널의 제조장치에 의하면, 서로 접합해야 할 패널소자중 한쪽은 제1스테이지에 유지시키고, 다른쪽은 제2스테이지에 유지시킨다.

그런 후, 스테이지 구동장치에 의해 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지에 유지된 패널소자의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시켜 양쪽 패널소자를 양쪽 스테이지로 협착해서 접합한다.

이 패널소자 접합은 접착재를 이용해서 행한다. 그 접착재는 접합에 앞서 양쪽 패널소자의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽에, 표시패널 제조방법에서 설명한 바와 같이 설치한다. 본 발명 장치는 접착재의 도포장치를 구비해도 된다.

또한, 양쪽 패널소자의 접합에 앞서 양쪽 패널소자를 상호 위치 일치시킨다. 이 위치 일치시킴은 상기 표시패널의 제조방법에서 기술한 바와 같이 하여 행하면 된다. 본 발명 장치는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치, 예컨대 서로 접합해야 할 2개의 패널소자를 제1 또는 제2스테이지 상에서 상호 위치 일치시키는 장치를 구비해도 된다. 다음의 장치를 예시할 수 있다.

(1) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 그 윗쪽에서 다른쪽의 패널소자를 양쪽 패널소자의 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 움직이는 X-Y-θ 구동장치를 포함하는 위치 일치시킴 장치,

(2) 각 패널소자에 미리 형성된 일치시킴 마크를 관찰하는 카메라와, 제1 및 제2스테이지중 어느 것인가 한쪽의 스테이지에 유지시킨 한쪽의 패널소자 위 또는 그위쪽에서 다른쪽의 패널소자를 움직이는 X-Y-θ 구동장치와, 상기 카메라로부터의 일치시킴 마크정보(예컨대, 그 위치정보 등) 에 기초해서 양쪽 패널소자를 일치시킴 마크를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 그 다른쪽의 패널소자를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치의 동작을 제어하는 제어부를 구비한 위치 일치시킴 장치. 이와 같은 제어부로서는, 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용한 것을 예시할 수 있다.

양쪽 패널소자의 접합은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 상기 탄성패드의 철곡면을 이용해서 양쪽 패널소자를 최초에는 점형상, 선형상 등으로 부분적으로 상호 접촉시키고, 이어서 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장해 간다. 이렇게 해서, 양쪽 패널소자의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 주름 등이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가고, 양쪽 패널소자의 부분적(극히 한정된 점이나 선에 가까운 영역뿐이여도 좋다) 또는 거의 전면적으로 또는 전면적인 가접합을 행한다. 이 눌러붙임은, 제1 및 제2스테이지를 스테이지 구동장치로 상대적으로 접근시킬 경우, 그 구동장치에 의한 제1가압력 하에 행한다. 이 제1가압력은 차차로 증가하는 것이어도 된다. 더욱이, 계속해서 제1가압력보다 큰 일정한 제2가압력을 가해 양쪽 패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자를 강고하게 본접합한다. 제2가압력은 소정 시간 가하도록 해도 된다. 이렇게 해서, 표시패널을 얻을 수 있다.

더욱이, 접합해야 할 패널소자가 3매 이상일 경우는, 최종적으로 접합에 의해 얻어지는 접합된 패널소자를, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자중 하나로서 취급하면 된다.

제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽에 설치되는 상기 탄성패드의 철곡면으로서는, 중앙부가 높아진 철곡면, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면을 예시할 수 있다. 이와 같은 철곡면을 채용할 경우, 제1가압력에 의한 양쪽 패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자가 최초에는 그들 중앙부에서 점형상 또는 선형상 등으로 상호 접촉되고, 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로(예컨대, 주위로 또는 패널소자 양단부로 향해) 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

또는, 예컨대 상기 탄성패드의 철곡면을 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단쪽으로 향해 차차로 낮아진 철곡면으로 해도 된다. 이 경우, 제1가압력에 의한 양쪽 패널소자의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자가 최초에는 그들의 일단부에서 선형상 등으로 상호 접촉되고, 그 최초 상호 접촉부분부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

일정한 제2가압력 하에서의 양쪽 패널소자의 상호 눌러붙임에서는, 탄성패드의 탄성변형 하에 양쪽 패널소자가 전면적으로 상호 눌러붙여진다.

패널소자를 손상시키지 않고, 또한 더 한층 양쪽 패널소자의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자 사이로부터 원활하게 탈기하고, 본접합을 위한 상호 눌러붙임에도 지장이 없도록 하기 위해, 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 추천할 수 있다. 탄성패드의 철곡면을 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면, 한쪽의 단부가 높고, 그 단부부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 철곡면과 같이 원활한 곡면으로 할 경우에는, 그 철곡면의 곡률반지름으로서 2000mm~5000mm정도를 추천할 수 있다.

더욱이, 제1압접공정의 단계에서 양쪽 패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙여 버려도 되지만, 제1압접공정의 단계에서는 양쪽 패널소자는 반드시 전면적으로 상호 눌러붙일 필요는 없다.

양쪽 패널소자의 접합에 있어서, 보다 확실하게 양쪽 패널소자 사이로부터 탈기하기 위해 제1 및 제2스테이지 사이로부터 배기감압하는 배기장치를 설치해도 된다.

이와 같은 배기장치의 간편한 것으로서, 제1 및 제2스테이지의 상호 접근에 의해 양쪽 스테이지 사이에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 함께 양쪽 스테이지간의 패널소자를 둘러싸는, 상기 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재를 포함하고 있는 배기장치를 예시할 수 있다.

이상 설명한 〔E〕타입의 방법 및 장치는, 각종 표시패널의 제조에 적용할 수 있지만, 이하에 액정표시패널의 제조방법 및 제조장치의 구체적인 예에 대해 도 30에서 도 35를 참조해서 설명한다.

도 30은 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치 예의 개략구성을 나타낸 도면이다.

이 패널 제조장치는, 하나의 패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100), 또 하나의 패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200), 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치(300)를 구비하고 있다.

이 패널 제조장치에서는, 제2스테이지(200)가 패널소자 유지면(220a)을 갖춘 탄성패드(220)를 구비하고 있음과 더불어 패널소자 유지면(220a)이 소정 곡률의 철곡면이고, 도 31, 도 32를 참조해서 후술하는 바와 같이 스테이지 구동장치(300)가, 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 서로 방향맞춘 후 상대적으로 접근시킴에 있어, 제1스테이지(100)에 유지되는 패널소자(c1)와 제2스테이지(200)에 유지되는 패널소자(c2)를 제1가압력 하에 상호 눌러붙이고, 더욱이 그 제1가압력보다 큰 제2의 일정한 가압력 하에 눌러붙임으로써, 패널소자(c1, c2)를 적층해서 표시패널을 제조한다.

제1 및 제2스테이지(100, 200)는 제1 및 제2흡착 테이블(101, 201), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(110, 210)를 각각 포함하고 있다.

제1 및 제2흡착 테이블(101, 201)은 각각 강성을 갖는 재료로 이루어져 있으며, 패널소자(c1, c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(101a, 201a)이 각각 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(110, 210)는 이와 같은 흡기구멍(101a, 201a) 외에, 흡착 테이블에서의 배기실(111, 211), 플렉시블 튜브(112, 212), 배기장치(113, 213)를 포함하고 있고, 배기장치(113, 213)는 튜브(112, 212)의 일단부에, 튜브(112, 212)의 타단부는 배기실(111, 211)에 각각 접속되어 있으며, 배기실(111, 211)은 흡착 테이블(101, 201)의 흡기구멍(101a, 201a)에 각각 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(113, 213)의 운전에 의해, 공기가 흡기구멍(101a, 201a)으로부터 배기실(111, 211), 튜브(112, 212)를 통해 각각 배기된다.

제2스테이지(200)는, 이미 기술한 바와 같이 패널소자 유지면(220a)을 갖춘 탄성패드(220)를 구비하고 있다. 탄성패드(220)는 제2흡착 테이블(201)의 배기실(211)이 설치되어 있는 측과는 반대측에 배치되어 있다.

탄성패드(220)는, 여기에서는 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어져 있으며, 진공흡인으로 패널소자(c2)를 철곡면(220a)에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍(220b)을 갖추고 있다. 이 미세구멍(220b)은 탄성패드(220)의 탄성압축변형으로 닫혀진다. 더욱이, 탄성패드(220)는, 여기에서는 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어진 것이지만, 안이 꽉찬 탄성체에 다수의 흡기구멍이 뚫어설치되어 있는 것도 좋다.

패널소자 유지면(220a)은 중앙이 높아진 소정 곡률의 철곡면(여기에서는, 곡률반지름이 4000mm~5000mm정도의 철곡면)이고, 그 곡면에 걸쳐 패널소자(c2)를 유지할 수 있다. 철곡면(220a)으로서는, 예컨대 구면, 거의 구면, 반절 원통의 외주면형상의 곡면을 채용할 수 있고, 여기에서는 구면이다. 이와 같은 철곡면을 채용함으로써, 제1가압력에 의한 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 최초에는 그들의 중앙부에서 상호 접촉되고, 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 주위로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

이 탄성패드(220a)는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 압접시에 그 패드의 압축으로 흡기용 미세구멍이 닫혀짐으로써 탄성패드(220)에 유지된 패널소자(c2)의 또 하나의 패널소자(c1)로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

더욱이, 패널소자를 손상시키지 않고, 또한 더 한층 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 원활하게 탈기하고, 본접합을 위한 상호 눌러붙임에도 지장이 없도록 하기 위해, 탄성패드(220)는 여기에서는 탄성정수 70kgf/cm²~120kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것이다.

스테이지 구동장치(300)는 제1스테이지(100), 제2스테이지(200)를 구동하기 위해 설치되어 있으며, 제1스테이지(100)를 구동하는 제1스테이지 구동부(310)와, 제2스테이지(200)를 구동하는 제2스테이지 구동부(320)를 포함하고 있다.

제1스테이지 구동부(310)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 가이드레일(311)에 걸쳐 설치된 랙기어(311a)에 제1스테이지(100)에 설치된 피니온기어(313)를 맞물리고, 이 피니온기어(313)를 제1스테이지(100)에 탑재한 모터(312)로 왕복회전시키는 것이다. 제1스테이지(100)는 제1스테이지 구동부(310)에 의해 가이드레일(311)에 따라 이동하고, 패널소자 유지위치(Q1) 또는 패널소자 접합위치(Q2)에 배치된다. 이 이동에 있어서는, 제1스테이지(100)에 설치된 슬라이더(102)가 가이드레일(311)에 따라 미끄럼 운동한다.

제2스테이지 구동부(320)는, 그것으로는 한정되지 않지만, 피스톤 실린더장치(321)와 이를 구동하는 공기회로(322)로 이루어진다. 피스톤 실린더장치(321)는, 복동형의 것으로, 그 실린더부(321a)가 정위치에 배치되고, 피스톤 로드(321b)가 제2스테이지(200)에 연결되어 있다. 공기회로(322)는 압축공기원(322a), 사방구(四方口) 2위치 스프링오프셋형 전자밸브(322b), 삼방구(三方口) 2위치 스프링오프셋형 전자밸브(322c), 압력조정밸브(322d, 322e), 역지(逆止)밸브(322f, 322g), 역지밸브와 조임밸브의 병렬회로로 이루어진 스피드 콘트롤러(322h) 및 개폐 전자밸브(322i)를 포함하고 있다.

압력조정밸브(322d)는 압력 P1의 압축공기를, 압력조정밸브(322e)는 압력 P2(＞P1)의 압축공기를 각각 피스톤 실린더장치(321)로 공급한다.

도시한 상태는, 모든 전자밸브의 솔레노이드를 오프로 한 상태를 나타내고 있으며, 피스톤 로드(321b)는 실린더부(321a) 내로 퇴피하고, 제2스테이지(200)가 상승하고 있다.

이 상태에서 사방구밸브(322b)의 솔레노이드를 온함과 동시에, 개폐밸브(322i)를 온하여 닫으면, 압축공기원(322a)으로부터 공급되는 압축공기가 사방구밸브(322b) → 삼방구밸브(322c) → 압력조정밸브(322d) → 피스톤 실린더장치(321)의 실린더 헤드측으로 흐르고, 압력 P1과 함께, 또 스피드 콘트롤러(322h)에 의해 제어된 속도로 피스톤 로드(321b)가 돌출하고, 제2스테이지(200)가 압력 P1의 제1압력구동으로 하강한다.

또한, 여기서 삼방구밸브(322c)의 솔레노이드를 온하면, 압축공기는 압력조정밸브(322e)를 통해 공급되고, 압력 P2(＞P1)와 함께 피스톤 로드(321b) 및 제2스테이지(200)가 아래쪽으로 향하고, 압력 P2(＞P1)의 제2압력구동으로 구동된다.

더욱이, 이 상태로부터, 모든 전자밸브의 솔레노이드를 오프하면, 밸브(322i)가 열리고, 피스톤 로드(321b) 및 제2스테이지(200)는 상승하여, 도시한 상태로 되돌아 간다.

도 30에 나타낸 패널 제조장치는, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 앞서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 상호 위치 일치시키는 패널소자의 상호 위치 일치시킴 장치(400)를 구비하고 있다.

위치 일치시킴 장치(400)는, 2개의 카메라(410; 여기에서는 CCD 카메라), X-Y-θ 구동장치(420), 제어부(430)를 구비하고 있다.

각 패널소자(c1, c2)가 상호 위치 일치시켜지는 상태를 위에서 본 상태는 도 7과 같다. 더욱이, 여기에서의 제1스테이지(100), 위치 일치시킴 장치(400) 등은 도 7에서 도시를 생략하고 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 각 패널소자(c1, c2)에는 미리 위치 일치시킴을 위한 마크(m1, m2)가 패널소자의 표시영역 외에 각각 형성되어 있다. 더욱이, 일치시킴 마크는, 여기에서는 십자형의 패턴이 패널소자의 대각선 양단영역에 형성되어 있지만, 거기에 한정되는 것은 아니고, 각 패널소자를 상호 위치 일치시킬 수 있는 것이면, 어떤 패턴이어도 되고, 또한 표시영역 외이면, 어느 위치에 형성되어 있어도 된다. 또한, 이 일치시킴 마크는 인쇄 등에 의해 형성되어 있어도 되고, 패널소자의 전극형성의 경우에 표시영역 외에 마커용 전극을 설치해 두고, 그 마커용 전극으로의 전압인가에 의해 점등하는 것이어도 된다. 여기에서는, 패널소자(c1, c2) 상에 일치시킴 마크(m1, m2)가 각각 인쇄되어 있다.

도 30에 나타낸 CCD 카메라(410)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 각 패널소자(c1, c2)의 미리 형성된 일치시킴 마크(m1, m2)를 관찰하고, 그 마크정보를 제어부(430)로 보낼 수 있다.

X-Y-θ 구동장치(420)는 패널소자 유지아암(421) 및 X-Y-θ 구동부(422)를 포함하고 있다. 패널소자 유지아암(421)은 구동부(422)의 X-Y-θ방향 가동부에 접속되어 있으며, 그 선단부(421a)에서 패널소자(c2)를 흡착유지할 수 있다. X-Y-θ 구동부(422)는 제어부(430)에 접속되어 있으며, 패널소자 유지아암(421) 및 거기에 유지되는 패널소자(c2)를 미리 제1스테이지(100)에 흡착유지된 패널소자(c1)의 표면에 걸쳐 소정 방향(도면중 X방향), 이에 수직인 방향(도면중 Y방향)으로 움직임과 동시에 X-Y평면에 수직인 축의 둘레(도면중 θ방향)로 회전이동시킬 수 있다. 이에 의해, 제어부(430)의 지시로, 제1스테이지(100)에 유지시킨 패널소자(c1) 상에서 패널소자(c2)를 움직일 수 있다.

제어부(430)는, 이미 기술한 바와 같이 CCD 카메라(410), X-Y-θ 구동장치(420)에 접속되어 있으며, 카메라(410)로부터의 일치시킴 마크(m1, m2)의 마크정보를 위치정보로서 처리하고, 그 위치정보에 기초해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜 위치 일치시켜야 할 패널소자(c2)를 움직이도록 X-Y-θ 구동장치(420)의 동작을 제어한다. 더욱이, 제어부(430)는 기판이나 패널 등의 위치 일치시킴을 위한 화상처리에 의한 위치 일치시킴법을 이용하는 수단을 포함하고 있다.

또한, 이 패널 제조장치에는, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 접합에 있어, 보다 확실하게 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하기 위해 제1 및 제2스테이지 100, 200 사이로부터 배기감압하는 배기장치(500)가 설치되어 있다.

배기장치(500)는, 링부재(510), 공기 흡입용의 관(520), 플렉시블 튜브(530), 진공펌프(540)를 포함하고 있다.

링부재(510)는, 제1 및 제2스테이지(100, 200)의 상호 접근에 의해 양쪽 스테이지간에 협착되어 그 양쪽 스테이지와 함께 양쪽 스테이지간의 패널소자(c1, c2)를 둘러싸는, 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재이다. 이 링부재(510)는, 여기에서는 고무제의 것이고, 제1스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 설치되어 있다.

진공 흡입용의 관(520)은, 제1스테이지(100)의 링부재(510)와 패널소자(c1) 유지영역의 사이에 설치된 관통구멍에 끼워 맞춰져 있으며, 플렉시블 튜브(530)의 일단부에 접속되어 있다. 튜브(530)의 타단부는 진공펌프(540)에 접속되어 있다. 이에 의해, 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 링부재(510)로 형성되는 기밀실 내를 배기감압할 수 있다.

또한, 이 패널 제조장치는, 도 30중 2점쇄선으로 나타낸 기밀성을 갖는 기밀실(600)을 구비하고 있고 기밀실(600)이 제1, 제2스테이지(100, 200) 및 각 장치를 둘러싸고 있어도 되지만, 여기에서의 패널 제조장치는 기밀실(600)을 구비하고 있지 않다. 이 기밀실(600)에 대해서는 후술한다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 도 1에 나타낸 타입의 반사형 액정표시패널 제조의 일예를 도 31 및 도 32를 참조하면서 설명한다.

도 31은 도 30에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 32는 도 31에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 31 및 도 32에서는, 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조함에 있어, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 하나의 패널소자(이하, 제1패널소자라 칭함) c1으로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 또 하나의 패널소자(이하, 제2패널소자라 칭함) c2로 하여 취급하고, 도 31에 나타낸 공정 (1)~(4) 및 도 32에 나타낸 공정 (5)~(8)로 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; R패널소자)의 상기 광흡수층(BK)이 설치되어 있는 면과는 반대측의 면에, 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN)를 미리 접착해 둔다. 더욱이, 여기에서는 양면접착테이프를 이용하고 있지만, 그것으로 한정되는 것은 아니다. 편쪽의 표면이 아직까지 보호박리형 시트로 덮여진 점착시트여도 된다. 어느 것으로 해도, 패널소자 면에 접착재를 수작업으로 도포해도 되고 또는 접착재 도포장치에 의해 도포해도 된다. 접착재의 설치방향은 지장이 없는 한 임의이다. 또한, 이 접착재를 설치하는 공정은 제1압접공정 전에 실시한다. 제1압접공정 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 실시해도 된다.

이 양면접착테이프(NN1)가 설치된 제1패널소자(c1)를 광흡수층(BK)을 아래로 해서 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다.

(2) 제2패널소자(c2; G패널소자)를 제1패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다.

이 위치 일치시킴은 다음과 같이 하여 행한다. 즉, 패널소자(c1) 위에 올려 놓은 패널소자(c2)를 일단 위치 일치시킴 장치(400)의 선단부(421a)에 유지시키고, 그 상태에서 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 CCD 카메라(410)로 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 X-Y-θ 구동장치(420)로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시킨다. 이 위치 일치시킴 동작은 카메라(410)로 검출되는 마크정보가 위치정보로서 화상처리되고, 그 위치정보에 기초해서 X-Y-θ 구동장치(420)를 자동제어함으로써 행한다. 위치 일치시킴 처리가 종료하면 다시 패널소자(c2)를 패널소자(c1) 위에 올려 놓는다.

X-Y-θ 구동장치(420)에 의한 위치 일치시킴은, X-Y-θ 구동장치(420)를 수동조작해서 행해도 된다. 또한, 제2패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200)가 X-Y-θ 구동장치를 포함해도 된다. 이 경우는, 패널소자(c2)를 그 스테이지(200)에 유지시키고 나서 패널소자(c2)를 위치 일치시켜야 할 X-Y-θ 구동을 하면 된다. 또한, X-Y-θ 구동장치를 이용하지 않고 양쪽 패널소자(c1, c2) 일치시킴 마크(m1, m2)를 시각 관찰 또는 카메라 관찰하면서 제2패널소자(c2)를 수작업으로 움직여 양쪽 패널소자(c1, c2)의 일치시킴 마크(m1, m2)를 합치시켜도 된다.

(3) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴이 종료하면, 상술한 바와 같이 제2패널소자(c2)를 유지하고 있는 X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)으로부터 패널소자(c2)를 놓아 패널소자(c1) 위로 올려 놓고, 그런 후 스테이지 구동장치(300)의 제1스테이지 구동부(310)에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200)의 아래쪽(도 30중 Q2의 위치)으로 이동시키고, 제1 및 제2스테이지의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시킨다.

이어서, 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200)를 하강시키고, 스테이지(200)의 탄성패드(220)가 제2패널소자(c2)에 접촉한 곳에서 패널소자 유지장치(210)에 의한 진공흡인으로 제2패널소자(c2)를 탄성패드(220)의 철곡면(220a)에 흡인유지시키고, 더욱이 제2패널소자(c2)를 흡착한 제2스테이지(200)를 제2스테이지 구동부(320)에 의해 상승시켜 대기시킨다.

(4) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 압력(P1)의 제1압력구동으로 제2스테이지(200)를 하강시키고, 제1 및 제2스테이지(100, 200)를 그들의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지(100, 200)에 유지된 패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시킨다.

(6) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 소정의 가압력(P1) 하에, 탄성패드(220)의 철곡면(220a)을 이용해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 부분적으로(본 예에서는 그들의 중앙부에서) 상호 접촉 개시시킨다. 이 때 제2스테이지(200)가 고무제의 링부재(510)에 접촉하고, 배기감압을 행하기 위한 기밀실(D)이 형성된다. 기밀실(D)의 형성 직전부터 진공펌프(540)의 운전을 개시해 두고, 이 기밀실(D)의 공기를 진공펌프(540)에 의해 빨아내고, 기밀실(D)을 대기압보다 낮은 소정의 압력(여기에서는, 20Pa~30Pa)으로 한다.

공정 (6)의 개시 후에도, 계속해서 제2스테이지(200)를 하강시키고, 철곡면을 갖춘 탄성패드(220)를 약간 탄성압축변형 시키면서 상기 최초 상호 접촉부분부터 양쪽 패널소자(c1, c2) 상호 압접부분을 양쪽 소자 사이로부터 탈기하면서 확장해 간다. 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 주름 등이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 고정하여, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 부분적 또는 거의 전면적인 가접합을 행한다. 이 단계에서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 전면적으로 상호 눌러붙여 버려도 되지만, 이 단계에서는 양쪽 패널소자(c1, c2)는 반드시 전면적으로 상호 눌러붙일 필요는 없다.

(7) 및 (8) 공정 (6) 후에, 기밀실(D) 내의 압력을 그대로 저압으로 유지하고, 제2스테이지 구동부(320)에 의한 압력 P2(＞P1)의 제2압력구동으로 제2스테이지(200)를 더 밀어넣고, 제1가압력(P1)보다 큰 일정한 제2가압력(P2)을 가해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 전면적으로 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 양쪽 스테이지(100, 200)로 협착해서 본접합한다. 제2가압력은, 여기에서는 소정 시간 가해진다. 일정한 제2가압력 하에서의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 눌러붙임에서는, 탄성패드(220)의 철곡면(220a)의 탄성압축변형 하에 양쪽 패널소자(c1, c2)가 전면적으로 상호 눌러붙여진다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 강고하게 접합된다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 완료되면, 진공펌프(540)의 운전 및 패널소자 유지장치(210)에 의한 진공흡인이 정지되고, 제2스테이지(200)는 최초 위치로 상승복귀되고, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 되돌아 간다.

이와 같은 제1가압력(P1), 그보다 큰 제2가압력(P2)을 채용하면, 양쪽 패널소자(c1, c2) 상호의 위치오차를 방지하면서 접합을 개시하고, 최종적으로 양쪽 패널소자의 상호 위치 일치시킴 정밀도 좋게 강고하게 양쪽 패널소자(c1, c2)를 접합할 수 있다.

다음에, 이렇게 해서 얻어진 R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 상기 각 공정 (1)부터 (8)을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 더욱이, 접합된 패널소자를 유지한 제1스테이지(100)가 위치 Q1로 되돌아 가 배치되는 것을 더 공정 (1)의 일부가 실행되는 것으로 해도 된다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

도 33에 도 1에 나타낸 액정표시패널(A)을 제조하기 위한 제조장치의 다른 예를 나타낸다.

도 33에 나타낸 패널 제조장치는, 도 30에 나타낸 패널 제조장치에 있어서, 제1스테이지(100)에서의 배기장치(500)를 제거하고, 제2스테이지(200)를 대신해서 제2스테이지(200')를 설치하고 있다. 다른 점은 도 30의 장치와 마찬가지이고, 동일한 구성, 작용을 갖는 부품에는 동일한 참조부호를 붙이고 있다.

이하에, 도 33에 나타낸 패널 제조장치에 대해, 도 30의 장치와 다른 점을 중심으로 설명한다.

도 33에 패널 제조장치는, 하나의 패널소자(c1)를 유지하기 위한 제1스테이지(100), 또 하나의 패널소자(c2)를 유지하기 위한 제2스테이지(200'), 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반시키기 위한 스테이지 구동장치(300)를 구비하고 있다.

이 패널 제조장치에서는, 제2스테이지(200')가 패널소자 유지면(220a')을 갖춘 탄성패드(220')를 구비하고 있음과 더불어 패널소자 유지면(220a')이 소정 곡률의 철곡면이고, 도 34, 도 35를 참조해서 후술하는 바와 같이 스테이지 구동장치(300)가, 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 대향시킨 후에 상대적으로 접근시킴에 있어서, 제1스테이지(100)에 유지되는 패널소자(c1)와 제2스테이지(200')에 유지되는 패널소자(c2)를 제1가압력 하에 상호 눌러붙이고, 더욱이 그 제1가압력보다 큰 제2의 일정한 가압력 하에 눌러붙임으로써, 패널소자(c1, c2)를 적층해서 표시패널을 제조한다.

제2스테이지(200')는 제2흡착 테이블(201'), 패널소자 유지를 위한 패널소자 유지장치(210')를 포함하고 있다.

제2흡착 테이블(201')은 강성을 갖는 재료로 이루어져 있으며, 패널소자(c2)를 유지하는 영역에 패널소자 흡착을 위한 흡기구멍(201a')이 소정의 간격을 두고서 복수 설치되어 있다.

패널소자 유지장치(210')는 이와 같은 흡기구멍(201a') 외에, 배기실(211'), 플렉시블 튜브(212), 배기장치(213)를 포함하고 있으며, 배기장치(213)는 튜브(212)의 일단부에, 튜브(212)의 타단부는 배기실(211')에 각각 접속되고, 배기실(211')은 흡착 테이블(201')의 배기구멍(201a')에 연통하고 있다. 이렇게 해서, 배기장치(213)의 운전으로 공기가 흡기구멍(201a')으로부터 배기실(211'), 튜브(212)를 통해 배기된다.

제2스테이지(200')는, 이미 기술한 바와 같이 패널소자 유지면(220a')을 갖춘 탄성패드(220a')를 구비하고 있다. 탄성패드(220')는 제2흡착 테이블(201')의 배기실(211')이 설치되어 있는 측과는 반대측에 배치되어 있다.

탄성패드(220')는, 여기에서는 도 30의 제조장치의 탄성패드(220)와 동일한 재료, 즉 연속기포성의 탄성고무발포체로 이루어져 있으며, 진공흡인으로 패널소자(c2)를 철곡면(220a')에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍(220b')을 갖추고 있다. 이 미세구멍(220b')은 탄성압축변형으로 닫혀진다.

패널소자 유지면(220a')은 한쪽의 단부(220c')가 높고, 그 단부(220c')로부터 타단부(220d')로 향해 차차로 낮아진 소정 곡률의 철곡면(여기에서는, 곡률반지름이 4000mm~5000mm정도의 철곡면)이고, 그 곡면에 걸쳐 패널소자(c2)를 유지할 수 있다. 이와 같은 철곡면을 채용함으로써, 제1가압력에 의한 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 눌러붙임은, 양쪽 패널소자(c1, c2)가 최초에는 그들의 일부에서 상호 접촉되고, 그 최초 상호 접촉부분부터 타단부로 향해 차차로 상호 압접부분이 확장되도록 된다.

이 탄성패드(220')는, 압접공정에서의 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 압접시에 그 패드의 압축으로 흡기용 미세구멍이 닫혀짐으로써 탄성패드(220')에 유지된 패널소자(c2)의 또 하나의 패널소자(c1)로 눌러붙여지는 부분을 해방할 수 있고, 그것에 의해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 그만큼 원활하게 접합할 수 있다.

더욱이, 패널소자를 손상시키지 않고, 또한 더 한층 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 만들지 않으면서 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 원활하게 탈기하고, 본접합을 위한 상호 눌러붙임에도 지장이 없도록 하기 위해, 탄성패드(220')는, 여기에서는 탄성정수 70kgf/cm²~120kgf/cm²의 탄성체가 이루어진 것이다.

또한, 이 패널 제조장치는, 기밀성을 갖는 기밀실(600), 그 실내를 배기감압하는 도시를 생략한 배기장치를 포함하고 있으며, 기밀실(600)이 제1, 제2스테이지(100, 200') 및 각 장치를 둘러싸고 있다. 더욱이, 도 33에서는 공기압 회로(322), 배기장치(113, 213) 등이 기밀실(600) 내에 나타나 있지만, 실제로는 이와 같은 기밀실 내에 배치하는데 부적당한 것은 기밀실 외에 설치된다.

다음에, 이와 같은 장치에 의한 액정표시패널 제조의 일예를 도 34 및 도 35를 참조하면서 설명한다.

도 34는 도 33에 나타낸 패널 제조장치의 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면이고, 도 35는 도 34에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (7)을 설명하기 위한 도면이다. 더욱이, 도 34 및 도 35는 간략화를 위해 일부의 부품에 대해서는 도시를 생략하고 있다.

도 1에 나타낸 반사형 액정표시패널(A)을 제조함에 있어서, 적색표시, 녹색표시, 청색표시를 행하는 R, G, B패널소자를 각각 1패널소자씩 제작해 둔다.

우선, R, G, B패널소자중 어느 것인가(여기에서는, R패널소자)를 하나의 패널소자(이하, 제1패널소자라 칭함) c1으로 하고, 그 패널소자에 접합되는 패널소자(여기에서는, G패널소자)를 또 하나의 패널소자(이하, 제2패널소자라 칭함) c2로 하여 취급하고, 도 34에 나타낸 공정 (1)~(4) 및 도 35에 나타낸 공정 (5)~(7)로 양쪽 패널소자를 접합한다. 즉,

(1) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 서로 맞추어야 할 면중 적어도 한쪽, 여기에서는 제1패널소자(c1; R패널소자)의 광흡수층(BK)을 설치하고 있지 않은측의 면에 편쪽의 표면이 보호박리형 시트(NN1)로 덮여진 양면접착테이프(NN; 점착시트여도 된다)를 미리 접착해 둔다.

이 양면접착테이프(NN1)가 설치된 제1패널소자(c1)를 광흡수층(BK)을 아래로 해서 제1스테이지(100)에 세트하고, 패널소자 유지장치(110)에 의해 패널소자(c1)를 스테이지(100)의 흡착 테이블(101)에 흡착시킨다.

(2) 제2패널소자(c2; G패널소자)를 제1패널소자(c1) 위에 올려 놓고, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 상호 위치 일치시킴을 한다. 이 위치 일치시킴은, 도 30의 장치에 의한 도 31의 공정(2)과 마찬가지이고, 여기에서는 설명을 생략한다.

(3) 제1 및 제2패널소자(c1, c2)의 위치 일치시킴이 종료하면, 제2패널소자(c2)를 유지하고 있는 X-Y-θ 구동장치(420)의 패널소자 유지아암(421)으로부터 패널소자(c2)를 놓아 패널소자(c1) 상에 다시 올려 놓고, 그런 후 스테이지 구동장치(300)의 제1스테이지 구동부(310))에 의해 제1스테이지(100)를 제2스테이지(200')의 아래쪽(도 33중 Q2'의 위치)으로 이동시키고, 제1 및 제2스테이지의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시킨다.

이어서, 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의해 제2스테이지(200')를 하강시키고, 스테이지(200')의 패드(220')가 제2패널소자(c2)에 접촉한 곳에서 패널소자 유지장치(210')에 의한 진공흡인으로 제2패널소자(c2)를 탄성패드(220')의 철곡면(220a')에 흡인유지시키고, 더욱이 제2패널소자(c2)를 흡착한 제2스테이지(200')를 제2스테이지 구동부(320)에 의해 상승시켜 대기시킨다.

(4) 제1스테이지(100)의 제1패널소자(c1)에 붙여진 양면접착테이프(NN)로부터 보호박리형 시트(NN1)를 제거해서 접착재(N)를 노출시킨다.

(5) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 압력(P1)의 제1압력구동으로 제2스테이지(200')를 하강시키고, 제1 및 제2스테이지(100, 200')를 그들의 패널소자(c1, c2) 유지면을 대향시키고, 다시 말해서 그들 스테이지(100, 200')에 유지된 패널소자(c1, c2)의 서로 접합해야 할 면을 대향시켜 상대적으로 접근시킨다.

이 경우까지로 기밀실(600) 내를 배기감압하는 배기장치의 운전을 개시해 두고, 기밀실(600)을 대기압보다 낮은 소정의 압력(여기에서는, 20Pa~30Pa)으로 한다. 더욱이, 여기에서의 기밀실(600) 내의 감압은 공정 (6)보다 전이면 지장이 없는 한, 어느 단계에서 행해도 된다.

(6) 스테이지 구동장치(300)의 제2스테이지 구동부(320)에 의한 소정의 가압력(P1) 하에, 탄성패드(220')의 철곡면(220a')을 이용해서 양쪽 패널소자(c1, c2)를 최초에는 부분적(본 예에서는, 그들의 단부)으로 상호 접촉개시하고, 계속해서 철곡면을 갖춘 탄성패드(220')의 고무부분을 약간 탄성압축변형 시키면서, 그 최초 상호 접촉부분으로부터 타단부로 향해, 탈기하면서, 차차로 상호 압접부분을 확장해 간다. 이렇게 해서, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 위치오차를 방지하면서, 또 양쪽 패널소자(c1, c2) 사이로부터 탈기하면서, 또한 패널소자에 주름 등이 생기지 않도록 상호 압접부분을 확장해 가고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 고정하여, 양쪽 패널소자(c1, c2)의 부분적 또는 전면적인 가접합을 행한다.

(7) 기밀실(600) 내의 압력을 그대로 저압으로 유지하고, 제2스테이지 구동부(320)에 의한 압력 P2(＞P1)의 제2압력구동으로 제2스테이지(200')를 더 밀어넣고, 제1가압력(P1)보다 큰 일정한 제2가압력(P2)을 가해 양쪽 패널소자(c1, c2)를 전면적으로 상호 눌러붙이고, 양쪽 패널소자(c1, c2)를 양쪽 스테이지(100, 200')로 협착해서 본접합한다. 이렇게 해서, R패널소자 및 G패널소자가 강고하게 접합된다.

이와 같은 제1가압력(P1), 그보다 큰 제2가압력(P2)을 채용하면, 양쪽 패널소자(c1, c2) 상호의 위치오차를 방지하면서, 최종적으로 양쪽 패널소자의 상호 위치 일치시킴을 정밀도 좋게 강고하게 접합할 수 있다.

그리고, 양쪽 패널소자의 접합이 완료되면, 기밀실(600) 내를 배기감압하는 배기장치의 운전 및 패널소자 유지장치(210')에 의한 진공흡인이 정지되고, 제2스테이지(200')는 최초위치로 상승복귀되고, 제1스테이지(100)는 접합된 패널소자를 유지한 채 최초위치(Q1)로 복귀된다.

다음에, 이렇게 해서 얻어진 R패널소자 및 G패널소자가 접합된 패널소자를 제1패널소자(c1)로 간주함과 더불어 다음에 접합해야 할 1매의 B패널소자를 제2패널소자(c2)로 간주해서 상기 각 공정 (1)부터 (7)을 반복해서, 이미 접합된 패널소자에 다음의 B패널소자를 접합한다. 이렇게 해서, R패널소자, G패널소자 및 B패널소자가 적층된 표시패널(A)이 얻어진다.

더욱이, 도 30 및 도 33에 나타낸 패널 제조장치에서는, 제2스테이지 구동부(320)에 의한 스테이지 구동으로서, 공기압 구동을 채용하지만, 유압구동이나 그 외의 기구를 채용해도 된다. 또한, 제2스테이지 구동부로서, 예컨대 편심캠 기구나 그 외의 기구를 채용하는 것도 가능하다.

또한, 도 30에 나타낸 패널 제조장치에 있어서, 배기장치(500)를 대신해서 또는 그와 함께 상기의 기밀성을 갖는 기밀실(600) 및 그 실내를 배기감압하는 배기장치를 설치함으로써 제1 및 제2스테이지 100, 200 사이로부터 배기감압해도 된다. 도 30에 나타낸 패널 제조장치에 있어서도, 기밀실(600)을 설치할 경우, 도면에서는 배기장치(113, 213), 공기회로(322) 및 진공펌프(540) 등은 기밀실(600) 내에 나타내고 있지만, 실제로는 이들은 기밀실(600)의 외측에 설치된다.

〔F〕 도 36에서 도 44와 관련한 점착시트 접합방법 및 플레이트 접합방법

여기서 설명하는 점착시트 접합방법 및 플레이트 접합방법에 의하면, 기포의 혼입을 방지하여 플레이트로의 점착시트의 접합, 플레이트끼리의 점착시트에 의한 접합이 가능하다. 이하, 도 36으로부터 도 44를 참조해서, 여기에서의 접합의 제1 및 제2실시형태 등에 대해 설명한다.

(제1실시형태)

이하의 실시형태는, 액정표시소자에 있어서 액정셀(liquid crystal cell)과 편광판(polarizing plate)을 점착시트를 매개로 접합한 구체예를 설명하고 있지만, 점착시트를 이용해서 2개의 플레이트를 접합하는 모든 경우에 적용할 수 있다.

도 36은, 제1실시형태에 따른 플레이트 접합방법을 이용해서 액정셀에 편광판을 취부한 액정표시소자의 단면을 모식적으로 나타낸 도면이다. 액정표시소자(10)는, 투명재료(예컨대, 유리)로 이루어진 하측기판(12)과, 동일하게 투명한 재료로 이루어진 상측기판(14) 및, 이들 하측기판(12)과 상측기판(14)과의 사이에 끼워유지된 액정(16)을 갖춘다.

더욱이, 도시하지 않았지만, 하측기판(12)과 상측기판(14)의 서로 대향하는 면에는 적당한 전극이 배치되어 있다. 하측기판(12)과 상측기판(14)과의 접착은, 양자의 주연부(周緣部)에 걸쳐 연속적으로 배치된 접착재(18)에 의해 도모되고 있으며, 이 접착재(18)는 또한, 밀봉부재로서, 액정(16)을 액정표시소자(10) 내에 봉입(封入)된다. 액정(16)중에는 일정한 크기(예컨대, 바깥지름이 5㎛)의 구형상 스페이서(20)가 포함되어 있으며, 이들의 스페이서(20)에 의해 하측기판(12)과 상측기판(14)과의 간격이 일정한 값으로 유지되고 있다. 이하, 이들의 구성전체를 액정셀(21)이라 부른다.

상측기판(14) 상에는, 미세한 관통구멍(22)이 다수 형성된 점착시트(24)에 의해, 편광판(26)이 접착고정되어 있다. 도 37에 나타낸 바와 같이, 점착시트(24)는 통상, 사용전의 상태에 있어서, 그 양면에 세퍼레이터(27, 28)를 갖추고 있으며, 관통구멍(22)은, 예컨대 엑시머레이저나 프레스기 등에 의해 세퍼레이터(27, 28)가 부착된 상태로 점착시트(24)에 뚫어진 원형구멍인 것이 일반적이다.

이 구멍(22)의 직경(L₁)은, 구멍(22)을 눈에 띄지 않게 하기 위해 50㎛ 이하, 바람직하게는 30㎛로 하고, 또한 후술하는 바와 같이 관통구멍(22)을 매개로 기포가 충분히 빠지고, 게다가 구멍(22)의 막힘을 방지하기 위해 적어도 5㎛ 이상의 크기로 한다.

더욱이, 관통구멍(22)의 수밀도는 10개/cm² 이상이 적당하다. 이 수밀도가 10개/cm² 이하이면 관통구멍(22)을 매개로 기포가 충분히 빠지지 않는다. 더욱이, 점착시트(24)의 두께는, 5㎛~100㎛정도가 바람직하다. 5㎛ 이하이면 이물이 혼입된 경우에 눈에 띄고, 100㎛ 이상이면 막힘이 일어나기 쉽다.

도 38은, 액정셀(21)에 점착시트(24)를 부착하기 위한 부착장치의 단면도를 나타낸다. 이 부착장치(29)는, 액정셀(21)을 배치하기 위한 테이블(30)과, 테이블(30)의 윗쪽에 배치되면서 테이블(30)의 표면에 평행한 회전축을 갖춘 가압롤러(32)를 갖춘다. 이 테이블(30)은 도면의 화살표(34)방향으로 슬라이드할 수 있도록 하고 있다.

액정셀(21)을 부압(負壓)에 의해 흡착고정하기 위해, 테이블(30)은 액정셀(21)을 배치하는 표면에 복수의 흡착구멍(36)을 갖추고, 이들 흡착구멍(36)은 모두 테이블(30) 내로 연통되어 있으며, 더욱이 전자밸브(38)를 매개로 진공펌프(40)에 접속되어 있다.

점착시트(24)의 한변(도면 좌측의 단부)는, 이동가능한 유지부재(42)에 의해 들어올려지면서 유지되도록 되어 있으며, 이 결과, 후술하는 바와 같이 점착시트(24)가 가압롤러(32)에 의해 액정셀(21)측에 가압되기 직전의 위치(X)에서, 점착시트(24)와 액정셀(21)이 소정의 각도를 이루도록 하고 있다.

이 각도는 0~180°의 범위의 임의의 값을 취할 수 있다. 유지부재(42)는 또한, 점착시트(24)가 느슨해지지 않도록 점착시트의 상기 한변을 적당하게 인장하도록 하고 있다.

다음에, 액정셀(21)에 점착시트(24; 더욱이, 편향판(26))을 부착하는 방법을 설명한다. 우선, 도 37에서 점착시트(24)의 한쪽면에 설치되어 있는 세퍼레이터(27)를 벗긴다. 다음에, 도 38에 나타낸 바와 같이, 전자밸브(38)를 개방함으로써 테이블(30) 상에 액정셀(21)을 흡착고정한 상태로, 점착시트(24)의 점착면을 아래로 해서, 점착시트(24)의 다른변(도면중 우측의 단부)을 액정셀(21)의 다른변에 겹쳐맞춘다. 계속해서, 점착시트 24(및 세러레이터(28))의 상기 한변을 들어올리도록 하여 점착시트(24)를 휘어진 상태로, 테이블(30)을 화살표(34)방향으로 슬라이드 시킨다. 이 경우, 가압롤러(32)는 도면의 화살표(44)방향으로 회전시켜, 점착시트(24)를 액정셀(21)에 대해 가압하면서, 점착시트(24) 전체를 액정셀(21)에 겹쳐맞추어 간다. 더욱이, 테이블(30)을 롤러(32)에 대해 이동시키는 대신에, 테이블(30)의 위치를 고정하고, 가압롤러(32)를 화살표(34)와는 역방향으로 이동하면서 회전시키거나, 또는 테이블(30)과 롤러(32)의 양쪽을 서로 역방향으로 이동시켜도 된다.

그런데, 종래와 같이 점착시트(24)에 관통구멍(22)을 설치하지 않을 경우, 도 39에 나타낸 바와 같이, 점착시트(24)를 액정셀(21)에 부착하는 경우에, 점착시트(24)의 부분적인 휘어짐 등에 의해 점착시트(24)와 액정셀(21)과의 경계면에 기포(46)가 혼입하는 일이 많다. 이에 대해, 여기에서는 점착시트(24)와 액정셀(21)과의 경계면에 기포가 혼입해도, 가압롤러(32)에 의해 점착시트(24)를 위에서 누름으로써 기포를 관통구멍(22)으로부터 도피시킬 수 있다(더욱이, 가압하지 않고도, 점착시트(24)와 액정셀(21)의 겹쳐맞춤시에, 관통구멍(22)으로부터 다소나마 기포는 도피될 수 있다). 더욱이, 압력을 크게함으로써, 미세한 구멍(22)을 메워 이를 눈에 띄지 않게 할 수도 있다. 구멍(22)의 체적은, 롤러(32)에 의한 압력에 의해 50% 이상 감소하는 것이 바람직하다. 구멍(22)의 체적의 감소율이 50%보다 작으면, 구멍(22) 아래의 직경이 30㎛ 이상으로 비교적 클 경우, 가압후의 구멍(22)은 충분히 작아지지 않아 시각으로 인식할 수 있기 때문에 바람직하지 않다.

점착시트(24)를 액정셀(21)에 접합한 후에는, 점착시트(24)로부터 세퍼레이터(28)를 제거하고, 계속해서 점착시트(24) 상에 편향판(26; 도 36)을, 예컨대 액정셀(21) 상에 점착시트(24)를 접합한 것과 같은 방법으로(이 경우, 편향판(26)은 필름기판이다), 롤러에 의해 가압하면서 접합한다.

도 40은 본 실시형태의 변형예를 나타낸다. 구체적으로는, 한쪽면만 세퍼레이터(도시하지 않음)를 붙인 점착시트(24)에 미세구멍을 뚫고, 점착시트(24)를, 그 점착면이 외측으로 되도록 원주형상의 심(48; 芯)에 롤러형상으로 감는다(액정셀(21)에 점착시트(24)를 접합한 상태로, 점착시트(24)의 상면에 세퍼레이터가 위치하도록 된다). 그리고, 이 롤러를 액정셀(21) 상에서 굴림으로써, 점착시트(24)를 액정셀(21)에 접합한다.

이 구성에서는, 세퍼레이터가 한쪽면에만 붙여져 있기 때문에, 폐기물이 적어지는 효과가 있다. 또한, 점착시트(24) 자체가 롤러형상으로 되어 있기 때문에, 접합에 있어서 롤러를 별도로 준비할 필요가 없다. 더욱이, 상기 실시형태와 같이, 접합하기 직전의 위치(도 38의 위치 X)까지 액정셀(21)과 점착시트(24)가 접촉하지 않도록, 점착시트(24)의 일단을 유지부재(42; 도 38) 등으로 유지해 둘 필요가 없다.

이하, 제1실시형태의 구체적인 실시예 및 그 비교예를 설명한다.

(실시예1)

표시영역(도 36에서 접착재(18)에 의해 액정(16)이 봉입된 영역)이 200mm×300mm의 액정셀과, 액정셀과 동일한 외형을 갖는 양면테이프(적수(積水)화학공업 주식회사 제조)를 준비했다. 이 테이프는, 두께 25㎛의 아크릴계 점착제의 양면을, 38㎛ 및 25㎛의 PET제 세퍼레이터로 끼운 것이다. 테이프의 전면에, 엑시머레이저를 이용해서, 직경(L₁) 30㎛, 간격(L₂) 300㎛로 되도록 미세구멍을 격자형상으로 뚫었다(도 37 참조).

다음에, 테이프의 한쪽의 세퍼레이터를 박리한 후, 테이블 상에 진공흡착시킨 액정셀 상에, 점착층이 아래로 되도록 배치하고, 테이프의 한변(도 38의 우측단부)을 액정셀로 고정시켰다. 계속해서, 테이프의 다른변(도 38의 좌측단부)을 균등한 힘으로 인장하면서 테이프를 휘고, 고정된 한변부터 롤러를 굴려 점착시트를 액정셀에 접합했다. 점착시트가 롤러로 눌려지기 직전의 위치(도 38의 위치 X)에서의 점착시트와 액정셀이 이루는 각도는 20°로 유지했다. 롤러의 압력은 약 2.0×10⁴N/m²으로 했다. 최후에, 점착시트의 상측의 세퍼레이터를 제거한 후, 필름형상의 편향판을 롤러로 가압하면서 접합했다.

이와 같은 붙임방법을 한 결과, 액정셀과 점착시트와의 사이에는 기포가 남겨지지 않았다. 또한, 이렇게 해서 제작된 액정표시소자는, 구멍을 눈으로 볼 수 없었고, 양호한 표시성능을 가졌다.

(실시예2)

실시예1과 동일한 양면테이프에, 엑시머레이저 대신에 프레스기를 이용해서, 직경(L₁) 50㎛, 간격(L₂) 300㎛로 되도록 미세구멍을 격자형상으로 뚫었다(도 37 참조). 실시예1과 마찬가지로, 액정셀에 점착시트를 접합했다.

그 후, 구멍을 메워 눈에 띄지 않게 하기 위해, 1.0×10⁵N/m²의 압력을 가하면서, 롤러로 점착시트 전면을 가압했다. 더욱이, 실시예1과 마찬가지로, 점착시트의 상측의 세퍼레이터를 벗겨, 편향판을 접합했다.

이렇게 해서, 제작된 액정표시소자는, 구멍이 메워져 작아지기 때문에 구멍을 시각으로 인식할 수 없어, 양호한 표시성능을 가졌다.

(비교예1)

실시예2와 거의 동일하게 액정표시소자를 제작했지만, 롤러에 의한 점착시트의 가압을 행하지 않았다. 이와 같이 제작한 액정표시소자는, 구멍을 시각으로 인식할 수 있어, 표시성능이 나빠졌다.

(제2실시형태)

제2실시형태에 따른 플레이트 접합방법에서는, 관통구멍 대신에 홈을 점착시트(24) 표면에 걸쳐 설치하고, 이 홈으로부터 기포를 도피시키도록 한 것이다. 구체적으로는, 도 41a에 나타낸 바와 같이, 홈(50)은 소정의 방향에 따라 점착시트(24)의 한변(도면 상측의 단부)으로부터 다른변(도면 하측의 단부)까지 다수 설치되어 있다. 홈(50)의 패턴은, 도 41a에 한정하지 않고, 후술하는 바와 같이 기포가 홈에 따라 점착시트(24)의 외측으로 도피되는 구성이면 어떤 것이어도 좋고, 예컨대 도 41b에 나타낸 바와 같이 격자형상으로 형성해도 된다. 또한, 홈(50)의 단면도 도 41a, 41b에 나타낸 바와 같이 삼각형 형상일 필요는 없고, 직사각형 형상등과 같은 어떤 것이어도 좋다. 예컨대, 홈(50)의 단면형상이 삼각형일 경우, 홈(50)의 폭 L₃ 및 깊이 L₄(도 41c)는 각각, 홈(50)을 눈에 띄지 않게 하기 위해, 50㎛ 이하, 바람직하게는 30㎛로 하고, 또한 후술하는 바와 같이 홈(50)에 따라 기포를 충분히 도피시키기 위해 적어도 5㎛ 이상의 크기로 한다.

홈(50)을 점착시트(24)에 형성하기 위해서는, 예컨대 도 42에 나타낸 바와 같은 원하는 형상의 돌기부(52)를 외주면에 설치한 롤러(54)를, 적어도 한측의 세퍼레이터(27; 도 37)를 벗긴 점착시트(24) 상에서 굴리면 된다(도 41b와 같이 격자형상으로 형성할 경우에는, 롤러(54)를 서로 직교하는 방향으로 2도 굴린다). 더욱이, 세퍼레이터(27)의 재질에 따라서는, 세퍼레이터(27)를 붙인 채로 점착시트(24)에 홈을 형성하는 것도 가능하다.

도 43은, 점착시트(24)를 액정셀(21)에 한번에 전면을 부착하는 장치의 단면도를 나타낸다. 이 부착장치(56)는, 액정셀(21)을 흡착고정하기 위한 하부 스테이지(58)와, 하부 스테이지(58)의 윗쪽에 하부 스테이지(58)와 평행하게 배치되고, 점착시트 24(및 세퍼레이터(28))를 흡착고정하기 위한 상부 스테이지(60)를 갖춘다. 상부 스테이지(60)는, 도면의 화살표방향(하부 스테이지(58)의 상면에 수직인 방향)으로 이동할 수 있도록 하고 있다. 하부 스테이지(58)는, 도 38의 테이블(30)과 마찬가지로, 다수의 흡착구멍(62)을 갖추고, 이들 흡착구멍(62)이 전자밸브(도시하지 않았음)를 매개로 진공펌프(도시하지 않았음)에 접속되어 있다. 상부 스테이지(60)도 마찬가지로, 다수의 흡착구멍(64)을 갖추고, 이들 흡착구멍(64)이 전자밸브(도시하지 않았음)를 매개로 진공펌프(도시하지 않았음)에 접속되어 있다. 이 구성에 의하면, 상부 스테이지(60)는, 전자밸브의 개폐에 의해 점착시트(24)를 흡착·해방할 수 있다.

다음에, 주로 도 44를 이용해서, 액정셀(21)에 점착시트 24(더욱이, 편향판(26))를 부착하는 방법을 설명한다. 우선, 도 37에서 점착시트(24)의 한쪽면에 설치된 세퍼레이터(27)를 벗기고, 도 42에 나타낸 방법으로, 점착시트(24) 상에 다수의 홈(50)을 형성한다(도 44의 공정(A)). 이들의 홈(50)은, 도 44의 공정(A)의 지면표리(紙面表裏)방향에 따라 점착시트(24)의 한변부터 다른변까지 설치되어 있다. 그리고, 부착장치(56; 도 43)를 이용해서, 점착시트(24)를, 홈(50)을 형성한 면을 아래로 해서 상부 스테이지(60)에 흡착시킨 후, 상부 스테이지(60)를 하강시키고, 하부 스테이지(58)에 흡착고정한 액정셀(21)에 점착시트(24)를 한번에 부착한다(도 44의 공정(B)). 계속해서, 상부 스테이지(60)로부터 점착시트(24)를 분리한 후, 세퍼레이터(28)를 점착시트(24)로부터 제거한다(도 44의 공정(C)). 다음에, 세퍼레이터(28)를 벗긴 점착시트(24)의 표면에도 다수의 홈(66)을 형성한다(도 44의 공정(D)). 이들의 홈(66)도, 도 44의 공정(D)의 지면표리방향에 따라 점착시트(24)의 한변부터 다른변까지 설치되어 있다. 더욱이, 점착시트(24) 상에 편향판(26)을 부착한다(도 44의 공정(E)). 최후에, 편향판(26)의 위부터 가압롤러(68)를, 예컨대 홈의 형성방향과 평행하게 굴림으로써, 점착시트(24)의 상면 및 하면에 각각 형성한 홈(50, 66)으로부터 기포를 도피시킨다. 이 때의 롤러(68)에 의한 가압의 크기는, 홈(50, 66)을 메워, 점착시트(24)를 액정셀(21) 및 편향판(26)에 밀착시킬 수 있는 정도가 적당하다(도 44의 공정(F)). 홈(50, 66)의 체적은, 롤러(68)에 의한 압력에 의해 50% 이상 감소하는 것이 바람직하다. 홈(50, 66)의 체적의 감소율이 50%보다 작으면, 홈(50, 66)의 아래의 폭이 30㎛ 이상으로 비교적 큰 경우, 가압후의 홈(50, 66)은 충분히 작아지지 않아 시각으로 인식할 수 있기 때문에 바람직하지 않다.

이와 같이, 점착시트(24)의 양면에 홈을 설치함으로써, 액정셀(21)에 점착시트(24)를 부착하는 공정 뿐만 아니라, 점착시트(24) 상에 편향판(26), 위상차판, 터치패널, 또는 보호시트 등을 붙이는 공정에 있어서도, 기포 없이 접합이 가능하다.

더욱이, 한쪽면에만 홈(50)을 설치할 경우, 롤러에 의한 가압은, 편향판(26)을 접합하기 전이어도 된다.

이하, 제2실형태의 구체적인 실시예를 설명한다.

(실시예3)

실시예1과 동일한 양면테이프의 한쪽면의 세퍼레이터를 벗기고, 도 42에 나타낸 바와 같은 돌기가 붙은 롤러를 서로 수직인 방향으로 테이프 위를 2도 굴림으로써 격자형상의 홈을 형성했다. 격자형상의 홈은, 폭(L₃) 10㎛, 깊이(L₄) 5㎛로 하고, 격자간격(L₅)이 300㎛로 되도록 했다(도 41c 참조). 실시예1과 동일한 액정셀에, 홈을 붙인 면을 아래로 해서 테이프를 한번에 부착했다. 이 상태로 점착시트의 상측의 세퍼레이터를 벗기고, 이 상측의 시트면에 대해서도 돌기 부착의 롤러를 이용하고, 하측의 시트면의 홈과 동일한 칫수의 홈을 격자형상으로 형성했다. 그 후, 실시예1과 동일한 편향판을 점착시트 상에 한번에 부착했다. 최후에, 약 1.0×10⁵N/m²의 압력을 가하면서, 롤러를 천천히 편향판 상에서 굴림으로써, 점착시트의 홈을 메워, 점착시트를 액정셀 및 편향판에 밀착시켰다.

이와 같이 제작한 액정표시소자는, 기포가 없고, 시각으로는 홈도 보이지 않아, 양호한 표시성능을 가졌다.

비록 본 발명이 상술한 실시예를 들어 설명했지만, 본 발명의 목적 및 배경을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형하여 실시할 수 있다.

상기 기술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 인접한 패널소자를 요구되는 상태로 접합시킬 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행할 수 있고, 인접한 패널소자가 정밀도 좋게 위치 일치시켜진 상태로 접합되어, 그만큼 양호한 화상표시를 행할 수 있고, 인접한 패널소자를 그들 패널소자 사이로부터 탈기해서 양자를 밀착시켜, 주름 등이 없는 상태로 접합시킬 수 있어, 그만큼 양호한 화상표시를 행할 수 있고, 인접한 패널소자를 강고하게 접합시킬 수 있어, 그만큼 장기간에 걸쳐 안정적으로 양호한 화상표시를 행할 수 있으며, 기포의 혼입을 억제해서 점착시트를 플레이트에 접합시킬 수 있으면서 기포의 혼입을 억제해서 플레이트끼리를 점착시트를 매개로 접합시킬 수 있다.

도 1은 제조하고자 하는 액정표시패널의 일예의 개략 측면도,

도 2는 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 일예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 3은 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 4는 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 5는 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 6은 도 2에 나타낸 제조장치에 있어서, 제1, 제2스테이지의 흡착 테이블에 유지된 제1, 제2패널소자를 위에서 본 도면,

도 7은 각 패널소자가 상호 위치 일치시켜진 상태를 위에서 본 도면,

도 8은 도 2에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 9는 도 8에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면,

도 10은 도 3에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예 (1)부터 (7)을 설명하기 위한 도면,

도 11은 도 4에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예 (1)부터 (7)을 설명하기 위한 도면,

도 12는 도 5에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (5)를 설명하기 위한 도면,

도 13은 도 12에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (6)부터 (7)을 설명하기 위한 도면,

도 14a는 도 2에 나타낸 표시패널 제조장치에, 도 14b는 도 3에 나타낸 표시패널 제조장치에, 도 14c는 도 4에 나타낸 표시패널 제조장치에, 도 14d는 도 5에 나타낸 표시패널 제조장치에, 감압실 및 그 실내를 배기감압하는 배기장치가 설치된 표시패널 제조장치의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 15는 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 16은 도 15에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 17은 도 16에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (7)을 설명하기 위한 도면,

도 18은 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예를 나타낸 도면,

도 19는 도 18에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 20은 도 19에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면,

도 21은 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 22는 또 하나의 패널소자를 흡착유지하고 있는 상태에서의 제2스테이지를 위에서 본 도면,

도 23은 도 21에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 24는 도 23에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면,

도 25는 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 26은 도 25에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 27은 도 26에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면,

도 28은 도 27에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (9)부터 (11)을 설명하기 위한 도면,

도 29는 도 25에 나타낸 표시패널 제조장치에 감압실 및 그 실내를 배기감압하는 배기장치가 설치된 표시패널 제조장치의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 30은 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예의 개략구성을 나타낸 구성도,

도 31은 도 30에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 32는 도 31에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (8)을 설명하기 위한 도면,

도 33은 도 1에 나타낸 액정표시패널을 제조하기 위한 제조장치의 또 다른 예를 나타낸 도면,

도 34는 도 33에 나타낸 패널 제조장치에 의한 액정표시패널 제조공정의 일예의 일부 (1)부터 (4)를 설명하기 위한 도면,

도 35는 도 34에 나타낸 공정의 계속적인 공정 (5)부터 (7)을 설명하기 위한 도면,

도 36은 액정표시소자의 다른 예의 개략적인 단면도,

도 37은 도 36의 액정표시소자의 액정셀과 편향판을 접합시키기 위한 관통구멍을 설치한 점착시트의 사시도,

도 38은 도 37의 점착시트를 액정셀(liquid crystal cell)에 부착하기 위한 장치의 단면도,

도 39는 점착시트에 관통구멍을 설치하지 않은 경우에, 도 38의 부착장치를 이용해서 점착시트를 액정셀에 부착할 경우에 생기는 기포의 상태를 나타낸 단면도,

도 40은 롤러형상의 점착시트를 액정셀에 접합시킬 경우의 사시도,

도 41a는 소정의 방향에 걸쳐 홈을 설치한 점착시트의 사시도, 도 41b는 격자형상에 홈을 설치한 점착시트의 사시도, 도 41c는 홈의 확대단면도,

도 42는 점착시트에 홈을 형성하는 수단의 일예를 나타낸 사시도,

도 43은 도 41a의 점착시트를 액정셀에 한번에 부착하는 장치의 단면도,

도 44는 홈을 설치한 점착시트를 매개로 액정셀과 편향판을 접합시키는 공정도이다.

Claims (85)

1. 화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

   각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를, 각각 위치 일치시켜 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

   위치 일치시켜진 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시키는 패널 접합공정을 갖추어 이루어지되,

   상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
2. 제1항에 있어서, 상기의 패널 방향맞춤공정이,

   제1스테이지에 상기 제1패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정과,

   제2스테이지에 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
3. 제2항에 있어서, 상기 패널 방향맞춤공정이,

   상기 제1스테이지 상에 유지된 상기 제1패널소자와 상기 제2스테이지 상에 유지된 상기 제2패널소자중 적어도 한쪽에 상기 접착재료를 설치하는 공정을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
4. 제2항에 있어서, 상기 패널 방향맞춤공정이,

   상기 제1스테이지 상에 유지된 상기 제1패널소자와 상기 제2스테이지 상에 유지된 상기 제2패널소자중 적어도 한쪽에 상기 접착재료를 설치하는 공정과,

   상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 대향시키는 공정을 더 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합이,

   상기 제1 및 제2패널소자를 매개로 억누름부재를 상기 기점부위에서 상기 제1스테이지에 억누르고, 그리고 그 억누름부재를 상기 제1스테이지에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
6. 제5항에 있어서, 상기의 제1패널소자 및 제2패널소자의 접합에 있어 상기 제1스테이지에 대해 상기 억누름부재를 상대적으로 이동시킬 경우, 상기 제2패널소자를 상기 제2스테이지로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
7. 제2항에 있어서, 상기 패널 접합공정이,

   상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 겹치는 패널 겹침공정과,

   위치 일치시켜 겹쳐진 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 적어도 부분적으로 분리하는 패널 분리공정,

   상기 분리된 제1 및 제2패널소자의 사이에 상기 접착재료를 설치하는 공정 및,

   상기 분리된 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 상기 기점부위부터 순차 접합시키는 분리패널 접합공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
8. 제7항에 있어서, 상기 패널 분리공정에 있어서는, 상기 제1 및 제2패널소자가 위치 일치시켜져 겹쳐지는 상태를 재현 가능하게 상기 제1 및 제2패널소자를 적어도 부분적으로 분리하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
9. 제8항에 있어서, 상기 패널 분리공정에 있어서는, 상기 기점부위 근방에서 상기 제1 및 제2패널소자를 겹쳐맞춘 상태로 유지해서 상기 제1 및 제2패널소자를 분리하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 제1 및 제2패널소자의 겹쳐맞춘 상태의 유지는, 상기 제1 및 제2패널소자에 각각 형성된 관통구멍을 이용해서 행해지는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
11. 제8항에 있어서, 상기 패널 분리공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 적어도 부분적인 분리는, 상기 제2패널소자를 철곡면형상의 패널 유지면을 갖춘 유지부재에 유지시킨 상태로 행하고, 상기 분리패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 상기 유지부재에 유지된 상기 제2패널소자를 상기 유지부재에 의해 상기 제1패널소자에 억누름으로써 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
12. 제1항에 있어서, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 상기 제1 및 제2패널소자중 한쪽의 패널소자를 다른쪽의 패널소자에 대해 상기 기점부위에서 억누름으로써 개시하고, 그리고 억누르는 영역을 상기 기점부위부터 서서히 확장함으로써 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
13. 제12항에 있어서, 철곡면형상의 억누름면을 갖춘 탄성패드를 이용해서 상기 한쪽의 패널소자를 상기 다른쪽의 패널소자에 대해 억누르는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
14. 제13항에 있어서, 상기 탄성패드는 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
15. 제13항에 있어서, 상기 탄성패드의 상기 억누름면이 2000mm~5000mm의 곡률반지름을 갖는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
16. 제1항에 있어서, 상기 기점부위가 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 단부인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
17. 제1항에 있어서, 상기 기점부위가 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 중앙부인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
18. 제1 내지 제17항중 어느 한항에 있어서, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합이 감압분위기중에서 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
19. 제18항에 있어서, 상기 감압분위기의 압력이 13Pa~14Pa인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
20. 화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

    각각이 적어도 하나의 표시층을 포함하는 제1패널소자 및 제2패널소자를 대향시키는 패널 방향맞춤공정과,

    상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자를 미경화의 접착재료를 매개로 접합시키는 패널 접합공정,

    상기 접합된 제1 및 제2패널소자를 상대적으로 이동시켜 양쪽 패널소자를 위치 일치시키는 패널 위치 일치시킴공정 및,

    상기 패널 위치 일치시킴공정 후, 상기 접착재료를 경화시키는 접착재 경화공정을 갖추어 이루어지되,

    상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
21. 제20항에 있어서, 상기 패널 접합공정에 있어서는, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 상기 접착재료를 매개로 기점부위부터 순차 접합시키는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
22. 제21항에 있어서, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 접합시킬 경우, 상기 접착재료를 눌러 확장하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
23. 제21항에 있어서, 상기 기점부위가 상기 제1패널소자 및 상기 제2패널소자의 단부인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
24. 제20항에 있어서, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합은, 상기 제2패널소자를 철곡면형상의 패널 유지면을 갖춘 유지부재에 유지시키고, 상기 유지부재에 유지된 상기 제2패널소자를 상기 유지부재에 의해 상기 제1패널소자에 대해 억누름으로써 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
25. 제20항에 있어서, 상기 패널 방향맞춤공정이,

    제1스테이지에 상기 제1패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정과,

    제2스테이지에 상기 제2패널소자를 위치 일치시켜 유지시키는 공정 및,

    상기 제1스테이지와 상기 제2스테이지중 적어도 한쪽을 움직여, 상기 제1패널소자와 상기 제2패널소자를 대향시키는 공정을 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
26. 제20항에 있어서, 상기 패널 접합공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 접합의 경우, 상기 제2패널소자를 상기 제2스테이지로부터 분리하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
27. 제20항에 있어서, 상기 접착재료는 광경화성의 접착재이고, 상기 접착재 경화공정에서 상기 접착재료에 광을 조사하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
28. 제20항 내지 제27항중 어느 한항에 있어서, 상기 패널 접합공정이 감압분위기중에서 행하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
29. 화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

    제1 및 제2패널소자중 적어도 한쪽에 접착재료를 설치하는 공정과,

    상기 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시켜 대향시키는 공정,

    상호 위치 일치시켜진 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재(介在)시킨 상태로 제1조건 하에 상호 눌러붙이는 제1압접(壓接)공정 및,

    상기 제1압접공정 후, 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 제1조건과는 다른 제2조건 하에 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 갖추어 이루어지되,

    상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
30. 제29항에 있어서, 상기 제1압접공정에서의 제1조건에 상기 양쪽 패널소자를 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있고, 그 가압력으로서 제1가압력을 채용해서 상기 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 제2조건에 상기 양쪽 패널소자를 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있으며, 그 가압력으로서 상기 제1가압력보다 큰 제2가압력을 채용해서 상기 제2압접공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
31. 제29항에 있어서, 상기 제1압접공정에서의 제1조건에 상기 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있고, 그 분위기압으로서 제1분위기압을 채용해서 상기 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 제2조건에 상기 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있으며, 그 분위기압으로서 제2분위기압을 채용해서 상기 제2압접공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
32. 제31항에 있어서, 상기 제1분위기압 및 상기 제2분위기압중 적어도 한쪽은 13Pa~40Pa의 압력인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
33. 제29항 내지 제32항중 어느 한항에 있어서, 상기 제1압접공정이 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료로 가접합하는 공정이고, 상기 제2압접공정이 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료로 본접합하는 공정인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
34. 제29항 내지 제32항중 어느 한항에 있어서, 상기 제1압접공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 상호 압접은 그 양쪽 패널소자를 최초에는 부분적으로 상호 접촉시킴과 동시에 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하고, 상기 제2압접공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임에서는 상기 제1 및 제2패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙이는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
35. 화상을 표시하는 표시패널 제조방법에 있어서,

    제1스테이지에 제1패널소자를 유지시키는 공정과,

    제2스테이지에 제2패널소자를 유지시키는 공정,

    상기 제1 및 제2스테이지에 유지된 상기 제1 및 제2패널소자를 대향시키는 공정,

    상기 제1 및 제2패널소자를 상호 위치 일치시키는 공정,

    상기 제1 및 제2패널소자중 적어도 한쪽에 접착재료를 설치하는 공정,

    상호 위치 일치시켜져 상기 제1 및 제2스테이지에 유지된 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재시킨 상태에서, 또 제1조건 하에 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제1압접공정 및,

    상기 제1압접공정 후, 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료를 개재시킨 상태에서, 또 상기 제1조건과는 다른 제2조건 하에 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙이는 제2압접공정을 갖추어 이루어지되,

    상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
36. 제35항에 있어서, 상기 제1압접공정에서의 상기 제1조건에 상기 양쪽 패널소자를 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있고, 그 가압력으로서 제1가압력을 채용해서 상기 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 상기 제2조건에 상기 양쪽 패널소자를 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 끼워 상호 눌러붙일 경우의 가압조건이 포함되어 있으며, 그 가압력으로서 상기 제1가압력보다 큰 제2가압력을 채용해서 제2압접공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
37. 제35항에 있어서, 상기 제1압접공정에서의 제1조건에 상기 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있고, 그 분위기압으로서 제1분위기압을 채용해서 상기 제1압접공정을 실시하고, 상기 제2압접공정에서의 제2조건에 상기 양쪽 패널소자 주위 분위기압 조건이 포함되어 있으며, 그 분위기압으로서 제2분위기압을 채용해서 상기 제2압접공정을 실시하는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
38. 제37항에 있어서, 상기 제1분위기압 및 상기 제2분위기압중 적어도 한쪽이 13Pa~40Pa의 압력인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
39. 제37항에 있어서, 상기 제1압접공정 및 제2압접공정중 적어도 한쪽의 공정에서는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재로 상기 제1 및 제2패널소자를 둘러쌈과 동시에 그 링부재를 상기 제1 및 제2스테이지 사이에 협착시킴으로써 상기 양쪽 패널소자 주위에 기밀실을 형성하고, 상기 기밀실로부터 배기함으로써 상기 분위기압을 얻는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
40. 제35항에 있어서, 상기 제1압접공정이 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료로 가접합하는 공정이고, 상기 제2압접공정이 상기 제1 및 제2패널소자를 상기 접착재료로 본접합하는 공정인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
41. 제35항 내지 제40항중 어느 한항에 있어서, 상기 제1 및 제2스테이지중 적어도 한쪽이, 철곡면형상의 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드이고,

    상기 제1압접공정에서의 상기 제1 및 제2패널소자의 상호 눌러붙임은, 상기 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴으로써 그 양쪽 패널소자를 최초에는 상기 탄성패드의 철곡면형상의 패널소자 유지면에서 부분적으로 상호 접촉시키고, 계속해서 상기 양쪽 스테이지를 접근시킴으로써 상기 탄성패드를 탄성변형시키면서 그 최초 상호 접촉부분부터 차차로 상호 압접부분을 확장해 감으로써 행하고,

    상기 제2압접공정에서는, 상기 탄성패드의 탄성변형 하에 상기 제1 및 제2패널소자를 전면적으로 상호 눌러붙이는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
42. 제41항에 있어서, 상기 탄성패드의 철곡면형상의 패널소자 유지곡면이 곡률반지름 2000mm~5000mm의 곡면인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
43. 제41항에 있어서, 상기 탄성패드는 진공흡인으로 상기 패널소자를 상기 철곡면형상의 패널소자 유지면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 상기 미세구멍은 상기 탄성패드의 상기 압접공정에서의 탄성변형으로 닫혀져 가는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조방법.
44. 화상을 표시하는 표시패널을 제조하는 장치에 있어서,

    제1패널소자를 유지하기 위한 제1스테이지와,

    제2패널소자를 유지하기 위한 제2스테이지 및,

    상기 제1 및 제2스테이지를 그들의 패널소자 유지면을 대향시켜 상대적으로 접근이반(接近離反) 시키기 위한 스테이지 구동장치를 갖추어 이루어지되,

    상기 제1 및 제2스테이지 중 적어도 한쪽이 패널소자 유지면을 갖춘 탄성패드를 갖고 있음과 더불어 그 패널소자 유지면이 철곡면형상의 면이고,

    상기 스테이지 구동장치가, 상기 제1 및 제2스테이지를 상대적으로 접근시킴에 있어, 상기 제1스테이지에 유지되는 상기 제1패널소자와 상기 제2스테이지에 유지되는 상기 제2패널소자를 제1가압력 하에서 상호 눌러붙이고, 더욱이 그 제1가압력 보다 큰 일정한 제2가압력 하에서 눌러붙이며,

    상기 제1 및 제2패널소자가, 각각 1쌍의 전극부착기판에 표시층을 끼운 것이고, 접착재료에 의해 전면적으로 접합되는 것임을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
45. 제44항에 있어서, 서로 접합해야 할 2개의 패널소자를 상호 위치 일치시키는 장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
46. 제44항에 있어서, 상기 탄성패드가 탄성정수 60kgf/cm²~200kgf/cm²의 탄성체로 이루어진 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
47. 제44항에 있어서, 상기 탄성패드의 철곡면형상의 패널소자 유지면이 중앙부가 높게 형성된 곡면인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
48. 제44항에 있어서, 상기 탄성패드의 철곡면형상의 패널소자 유지면이 한쪽의 단부가 높고, 그 단부로부터 타단부로 향해 차차로 낮아진 곡면인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
49. 제44항에 있어서, 상기 탄성패드의 철곡면형상의 패널소자 유지면이 곡률반지름 2000mm~5000mm의 곡면인 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
50. 제44항에 있어서, 상기 탄성패드가 진공흡인으로 상기 패널소자를 상기 철곡면형상의 패널소자 유지면에 유지하기 위한 흡기용 미세구멍을 갖추고 있으며, 상기 미세구멍은 그 탄성패드의 탄성변형으로 닫혀질 수 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
51. 제44항 내지 제50항중 어느 한항에 있어서, 상기 제1 및 제2스테이지 사이로부터 배기감압하는 배기장치를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
52. 제51항에 있어서, 상기 배기장치가 상기 제1 및 제2스테이지의 상대적 접근에 의해 상기 양쪽 스테이지 사이에 협착되어 상기 양쪽 스테이지와 함께 상기 양쪽 스테이지 사이의 상기 패널소자를 둘러싸 상기 배기감압을 행하기 위한 기밀실을 형성하는 기밀밀봉용의 탄성변형 가능한 링부재를 포함하고 있는 것을 특징으로 하는 표시패널의 제조장치.
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