JP4773419B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1には、前記接着シートの貼付装置が開示されている。同装置は、マウントテーブルを収容する下ハウジングと、当該下ハウジングの上端に突き合わされる上ハウジングとを含み、これらハウジング間に接着シートを挟み込んで当該接着シートで仕切られた上下二つの減圧室(処理室)を形成可能とし、減圧下で接着シートをウエハに貼付する構成となっている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、減圧制御に複雑な制御をすることなく、減圧下で接着シートを被着体に貼付することができるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記ケースを閉塞して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記テーブルは、前記被着体を支持した状態で当該被着体の外側にはみ出す外周表出面を形成する大きさに設けられ、
前記ケースを閉塞して単一の減圧室を形成した状態で、前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、当該減圧室内に前記被着体と当該被着体上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する隔壁を備える、という構成を採っている。
減圧下で前記接着シートを半導体ウエハに貼付するシート貼付装置において、
前記テーブルは、前記被着体を支持した状態で当該被着体の外側にはみ出す外周表出面を形成する大きさに設けられ、
前記第1のケースを第2のケースで閉塞して単一の減圧室を形成した状態で、前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、当該減圧室内に前記半導体ウエハと当該半導体ウエハ上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する隔壁が設けられる、という構成を採ることができる。
前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する工程と、
前記テーブルと被着体と接着シートとを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室内を減圧する工程と、
前記減圧室内で前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、前記被着体と当該被着体上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する工程と、
前記減圧室に対して前記圧力調整室の圧力を相対的に上昇させることで、前記接着シートを被着体に貼付する工程とを有する、という手法を採っている。
また、前記テーブルが隔壁に向かって進退可能に設けられているため、減圧室を全体的に減圧した後に、テーブルを隔壁に押し当てることで前記圧力調整室を形成することができる。
なお、本明細書において、減圧は真空をも含む概念として用いられる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 テーブル
14 ケース
15 供給手段
20 第1のケース
21 第2のケース
30 隔壁
C 減圧室
C1 圧力調整室
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含み、
前記ケースを閉塞して減圧下で前記接着シートを被着体に貼付するシート貼付装置において、
前記テーブルは、前記被着体を支持した状態で当該被着体の外側にはみ出す外周表出面を形成する大きさに設けられ、
前記ケースを閉塞して単一の減圧室を形成した状態で、前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、当該減圧室内に前記被着体と当該被着体上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する隔壁を備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 半導体ウエハを支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに開口部が設けられた第1のケースと、前記開口部を閉塞し第1のケースとで減圧室を形成する第2のケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含み、
減圧下で前記接着シートを半導体ウエハに貼付するシート貼付装置において、
前記テーブルは、前記被着体を支持した状態で当該被着体の外側にはみ出す外周表出面を形成する大きさに設けられ、
前記第1のケースを第2のケースで閉塞して単一の減圧室を形成した状態で、前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、当該減圧室内に前記半導体ウエハと当該半導体ウエハ上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する隔壁が設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体の外側にはみ出す外周表出面を形成する大きさを備えたテーブルで前記被着体を支持する工程と、
前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する工程と、
前記テーブルと被着体と接着シートとを収容して単一の減圧室を形成する工程と、
前記減圧室内を減圧する工程と、
前記減圧室内で前記外周表出面に前記接着シートを押し当てることで、前記被着体と当該被着体上の接着シートとを囲んで前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する工程と、
前記減圧室に対して前記圧力調整室の圧力を相対的に上昇させることで、前記接着シートを被着体に貼付する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
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