JP5626782B2 - シート貼付装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、シート付きフレームを形成する処理と、シート付きフレームの接着シートをウエハに貼付する処理とを単一の装置で行うことができるシート貼付装置を提供することにある。
前記突条部の内側に対向させて接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段によって供給された接着シートを前記フレームに押圧して貼付する第1押圧手段と、
前記外側テーブルの開放部を閉塞して密閉空間を形成可能な閉塞手段と、
前記密閉空間を減圧可能な減圧手段と、
前記フレームに貼付された接着シートを押圧して前記半導体ウエハに貼付する第2押圧手段とを備え、
前記閉塞手段は、前記突条部の内径よりも小さな凹部が設けられた上蓋本体を備えている一方、前記第2押圧手段は、前記凹部内を摺動可能な弾性部材を備え、
前記弾性部材は、平面視で前記凹部が前記突条部の内側に配置された状態で前記接着シートを押圧することで、前記凹部に対向している接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面に接着させ、その後も接着シートSを押圧することで、この押圧力の反力によって弾性変形し、前記突条部の内側であって前記凹部に対向していない接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面及び前記突条部の内面に接着させる、という構成を採っている。
前記フレームに接着シートを貼付する工程と、
前記突条部の内径よりも小さな凹部が設けられた上蓋本体を用い、平面視で当該凹部が前記突条部の内側に配置された状態で前記外側テーブルの開放部を閉塞して密閉空間を形成する工程と、
前記密閉空間を減圧する工程と、
前記フレームに貼付された接着シートを前記凹部内で移動可能な弾性部材で押圧することで前記凹部に対向している接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面に接着させ、その後も接着シートを押圧することで、この押圧力の反力によって弾性変形し、前記突条部の内側であって前記凹部に対向していない接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面及び前記突条部の内面に接着させる工程とを含む、という手法を採っている。
また、閉塞手段が接着シート又は、接着シート及びフレームを間に挟んで密閉空間を形成し、当該密閉空間を減圧したときに、少なくとも第2押圧手段が接着シートを吸着可能に設けられているため、密閉空間の減圧時に接着シートが閉塞手段から離れてウエハに接着してしまうような不都合は生じない。
更に、第2押圧手段が、ウエハ外周側に設けられた突条部の内側に収まる平面形状の弾性部材を備えている構成により、突条部の内側に弾性部材が入り込んで当該突条部の内側領域に接着シートを貼付することができる。
なお、本明細書において、減圧は真空をも含む概念とする。
図1において、シート貼付装置10は、ウエハWを支持する内側テーブル11及び開放部12Aを有し内側テーブル11を収容するとともにウエハWを囲む位置にリング状のフレームFを支持する外側テーブル12を含む支持手段13と、ウエハW及びフレームFの上面側に接着シートSを供給する供給手段15と、供給手段15によって供給された接着シートSをフレームFに押圧して貼付する第1押圧手段としての押圧ローラ16と、外側テーブル12の上部側開放部12Aを閉塞して密閉空間C(図2参照)を形成可能な閉塞手段17と、密閉空間Cを配管18Aを介して減圧可能な減圧ポンプ等からなる減圧手段18と、フレームFに貼付された接着シートSを押圧してウエハWに貼付する第2押圧手段19とを備えて構成されている。ここで、本実施形態におけるウエハWは、裏面研削によって外周に環状の突条部W1が形成されている。
先ず、図1に示されるように、供給手段15において、接着シートSを剥離部材31上の剥離待機位置に待機させておく。また、図示しない搬送手段によって内側テーブル11及び外側テーブル12にウエハW及びフレームFをそれぞれ支持させる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
更に、段部12DをフレームFと同じ高さ若しくは高く設定することで、閉塞手段17が下降したときに、接着シートSを間に挟んで外側テーブル12の開放部12Aを閉塞して密閉空間Cを形成するようにしてもよい。
また、接着シートSやフレームFを間に挟んで密閉空間Cを形成することなく、閉塞手段17と外側テーブル12とで密閉空間Cを形成し、この密閉空間Cの内部でウエハW及びシート付きフレームF1をそれぞれ支持し、当該密閉空間Cの内部に設けた第2押圧手段19によって接着シートSを押圧してウエハWに貼付するようにしてもよい。
更に、上蓋本体17Aによる接着シートSの吸着は、必ずしも必要ではなく、接着シートSが垂れ下がってウエハWに接着しなければ、弾性部材43だけの吸着でもよい。
11 内側テーブル
12 外側テーブル
12A 開放部
13 支持手段
15 供給手段
16 押圧ローラ(第1押圧手段)
17 閉塞手段
18 減圧手段
19 第2押圧手段
43 弾性部材
C 密閉空間
C1 内部空間
F フレーム
M1 直動モータ(昇降手段)
S 接着シート
W 半導体ウエハ
W1 突条部
Claims (3)
- 一方の面の外周側に環状の突条部を備えた半導体ウエハを支持する内側テーブル及び開放部を有し、前記内側テーブルを収容するとともに前記半導体ウエハを囲む位置にフレームを支持する外側テーブルを含む支持手段と、
前記突条部の内側に対向させて接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段によって供給された接着シートを前記フレームに押圧して貼付する第1押圧手段と、
前記外側テーブルの開放部を閉塞して密閉空間を形成可能な閉塞手段と、
前記密閉空間を減圧可能な減圧手段と、
前記フレームに貼付された接着シートを押圧して前記半導体ウエハに貼付する第2押圧手段とを備え、
前記閉塞手段は、前記突条部の内径よりも小さな凹部が設けられた上蓋本体を備えている一方、前記第2押圧手段は、前記凹部内を摺動可能な弾性部材を備え、
前記弾性部材は、平面視で前記凹部が前記突条部の内側に配置された状態で前記接着シートを押圧することで、前記凹部に対向している接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面に接着させ、その後も接着シートSを押圧することで、この押圧力の反力によって弾性変形し、前記突条部の内側であって前記凹部に対向していない接着シート部分を前記半導体ウエハの一方の面及び前記突条部の内面に接着させることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記閉塞手段及び第2押圧手段のうち少なくとも第2押圧手段は、前記密閉空間の減圧下で前記接着シートを吸着可能に設けられていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記内側テーブルを昇降させる昇降手段を更に含み、前記密閉空間が形成された状態で前記内側テーブルを閉塞手段側に上昇させたときに、前記突条部と前記弾性部材との間に前記接着シートが挟み込まれて当該接着シートと半導体ウエハとの間に密閉された内部空間が形成されることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
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JP2010203996A JP5626782B2 (ja) | 2010-09-13 | 2010-09-13 | シート貼付装置 |
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