JP5511441B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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Description
また、被着体と接着シートとを真空を含む減圧雰囲気下に置くことで、気泡が介在した状態で被着体に接着シートが貼付されることを防止することができる。
更に、加熱線照射手段を被着体および接着シートに接触することのない位置に設けることで、加熱線照射手段を配置する位置に制約を受けることなく、装置設計の自由度が生まれる。
また、密閉手段により減圧雰囲気下に置かれる閉空間の外部に加熱線照射手段が配置されれば、例えば、接着シートを貼付中に加熱線照射手段に何らかの不具合が発生した場合、被着体を支持手段から一旦取り除くことなく、メンテナンスを行うことができる。
更に、電磁波を透過可能な外周押圧手段を備えた構成により、外周押圧手段によって電磁波の照射が阻害されることなく、被着体や接着シートに温度斑ができることを防止することができる。
ここで、例えば加熱線として赤外線が選択されるときには、例えば、加熱線透過部22と保持部材18を耐熱ガラスで形成し、当接部材17をシリコン樹脂で形成することができる。なお、加熱線透過部22、保持部材18及び当接部材17それぞれを構成する材料は、加熱線照射手段5が発する加熱線の波長に応じ、当該加熱線を透過できる材料を適宜選択して使用できる。
ウエハWがテーブル14上の所定位置、つまり、溝28に沿ってウエハWの外周縁が位置するように載置されると、図示しない吸引孔を介して当該ウエハWが吸着保持される。次いで、図1中二点鎖線で示された位置に停止していた移動プレート31Gが同図実線で示された位置に移動する。このとき、モータ31Dはロックされ、巻取ローラ31Cに回転力を付与する図示しない駆動手段が駆動することで、新しい接着シートSがウエハW上に配置される。その後、図2(A)に示されるように、上蓋12がチャンバ本体13に向けて下降され、上蓋12の枠端面が接着シートSを挟んで、外部と気密的に隔絶された単一の閉空間Cを形成する。なお、接着シートSによって閉空間Cが図2中上下別空間に分断されることはない。このときウエハWおよび当接部材17は、接着シートSから僅かに隙間を隔てた上下に位置している。
1 支持手段
2 シート配置手段
3 外周押圧手段
4 押圧手段
5 加熱線照射手段
6 密閉手段
C 閉空間
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (6)
- 被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体を支持する支持手段と、
接着シートを前記被着体の上に配置するシート配置手段と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する加熱線照射手段と、
閉空間を形成する上蓋及びチャンバ本体を有し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く密閉手段と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記電磁波を透過可能に設けられるとともに、前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する外周押圧手段とを備え、
前記加熱線照射手段は、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられており、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付装置。 - 被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付方法。 - 被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
ことを特徴とするシート貼付方法。 - 被着体を支持する工程と、
接着シートを前記被着体の上に配置する工程と、
赤外線領域からマイクロ波領域における所定の波長域の電磁波を照射することで、前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程と、
上蓋及びチャンバ本体で閉空間を形成し、前記被着体および前記接着シートを当該閉空間内で真空を含む減圧雰囲気下に置く工程と、
前記減圧雰囲気下で気圧差によって前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する工程と、
前記電磁波を透過可能に設けられた外周押圧手段で前記接着シートを前記被着体の外周部のみに押圧する工程とを備え、
前記被着体及び前記接着シートの少なくとも一方を加熱する工程において、前記閉空間の外部であって、前記上蓋の上面部と、当該上蓋の側面部と、前記チャンバ本体の側面部とに設けられた加熱線照射手段で加熱を行い、
前記外周押圧手段は、前記被着体の外周縁に沿った領域を押圧可能な弾性部材からなる円環状の当接部材と、前記当接部材を支持する保持部材とを備え、前記当接部材及び保持部材は、前記加熱照射手段が照射する加熱線を透過可能な素材で構成され、前記上蓋の上面部と当該上蓋の側面部と前記チャンバ本体の側面部には前記加熱線照射手段に対応して加熱線透過部が設けられる
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