JP5451335B2 - マウント装置およびマウント方法 - Google Patents

Description

本発明は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、フレームと被着体とを一体化するマウント装置およびマウント方法に関する。

ＩＣ（Integrated Circuit）やＬＳＩ（Large Scale Integration）などの回路が一面に形成された半導体ウェハ（以下、単にウェハという場合がある）は、電子機器の小型化や軽量化を図るため、個々のチップに分割される前に厚さが５０μｍ前後にまで研削される。しかし、このようにウェハが薄くなると、それ自体の剛性が無くなるため、その後の工程での取り扱いが困難になる。そこで、加工時の取り扱いを容易にするためのウェハの加工方法が検討されている（例えば、特許文献１参照）。このウェハの加工方法では、回路が形成された回路形成領域と、この回路形成領域を囲む外周余剰領域とを表面に備えたウェハを加工する際に、ウェハの裏面のうち、回路形成領域に対応する領域に凹部を形成することで、この凹部の外側にリング状補強部を形成している。

一方、半導体製造工程において、ウェハとリングフレームとを一体化するために、マウント用シート（接着シート）をウェハとリングフレームとに貼付するマウント装置が利用されている（例えば、特許文献２参照）。このマウント装置では、真空チャンバ内の基板載置テーブル上に、円板状のウェハの周縁部のみを支持させるとともに、接着シートが貼り付けられたリングフレームをフレーム固定台上に載置して、ウェハをリングフレームの内部に位置させる。そして、真空チャンバ内を減圧して、貼付ローラでウェハと接着シートとを予備的に接着した後、真空チャンバ内に大気を導入することにより、ウェハと接着シートを差圧により貼り付けている。

特開２００７−１９４６１号公報 特開２００８−６６６８４号公報

ところで、特許文献１に記載の加工方法が施されたウェハとリングフレームとを一体化するために、特許文献２に記載のマウント装置を用いることが考えられる。この場合、貼付ローラで接着シートを予備的に接着すると、凹部に空間を形成した状態（凹部を塞ぐ状態）で接着シートがウェハに貼付されてしまう。ここで、弾性変形可能な貼付ローラを用いたとしても、リング状補強部と凹部底面とで形成される角部に確実に接着シートを貼付することはできない。このような状態で、大気が導入されると、差圧により凹部空間を塞いでいた接着シートは、余分な張力が加えられた状態で凹部全体に貼付される。
そして、上記のような状態のウェハをダイシングすると、ダイシングされた各チップ間隔は、接着シートの弾性復元力によりチップ間隔が不均一になってしまい、これら各チップをピックアップする時に正確な位置を支持することができなくなる。これにより、支持したチップを正確な位置にボンディングすることができなくなりボンディング不良を発生する不都合が生じる。

本発明の目的は、接着シートに余分な張力を発生させることなくフレームと被着体とを一体化可能なマウント装置およびマウント方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明のマウント装置は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、フレームと被着体とを一体化するマウント装置であって、前記被着体を支持する被着体支持手段と、前記被着体の外側に位置した状態で前記フレームを支持可能なフレーム支持手段と、前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給するシート供給手段と、前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を有し、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する接着シート支持手段と、前記接着シート支持手段に支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する第１貼付手段と、前記被着体からはみ出している接着シートを前記フレームに貼付する第２貼付手段と、を備えている、という構成を採用している。

この際、本発明のマウント装置では、前記移動部材は、前記第１貼付手段によって接着シートを前記被着体の一方の面に貼付するときに、前記接着シートに作用する張力により変形可能な部材により形成されている変形許容部材である、ことが好ましい。
また、本発明のマウント装置では、前記接着シート支持手段は、前記移動部材を前記中央方向に向かって移動させる制御機構を備えている、ことが好ましい。

一方、本発明のマウント方法は、基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、フレームと被着体とを一体化するマウント方法であって、前記被着体を支持する工程と、前記被着体の外側に位置した状態で前記フレームを支持する工程と、前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給する工程と、前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を用い、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する工程と、前記支持された接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、前記移動部材を移動させるとともに、前記支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する工程と、前記被着体からはみ出している接着シートを前記フレームに貼付する工程とを有する、という方法を採用している。

以上のような本発明によれば、移動部材に接着シートを支持させた状態で、当該接着シートを被着体に貼付することができるので、例えば、背景技術で記載したような凹部が設けられた被着体の当該凹部に接着シートを貼付する場合でも、接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、移動部材が被着体に向かって移動することで、接着シートに余分な張力を発生させることなく当該接着シートを被着体の凹部全体に貼付することができる。また、被着体の一方の面が平面の場合には、接着シートにおける被着体とフレームとの間の部分に余計な張力が発生することを抑制できる。したがって、このように接着シートが貼付された被着体をフレームと一体化した後に、被着体を個片化した際に、接着シートの弾性復元力でチップの間隔が不均一になることがないため、適切にチップをピックアップでき、チップのボンディング不良を解消することができる。

また、移動部材を弾性変形可能な部材により形成した変形許容部材とすれば、構成の簡略化を図ることができる。
ここで、接着シートは、ある程度の張力が加えられないと被着体に皺や気泡なく貼付することはできない。本発明でいう「余分な張力」とは、例えば、上記のようにチップの間隔が不均一になってボンディング不良を発生するといった、被着体に所定の処理を施す各過程において支障を来たすような張力のことをいう。

本発明の第１実施形態に係るマウント装置の部分断面図。 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、第１実施形態のマウント装置の動作説明図。 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、第１実施形態のマウント装置の動作説明図。 本発明の第２実施形態に係るマウント装置の部分断面図。 （Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、第２実施形態のマウント装置の動作説明図。 （Ａ），（Ｂ）は、本発明の第３実施形態に係るマウント装置の動作説明図。 （Ａ），（Ｂ）は、本発明の第４実施形態に係るマウント装置の動作説明図。

以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
図１において、マウント装置１は、被着体としてのウェハＷ１およびフレームとしてのリングフレームＲＦに接着シートとしてのマウント用シートＭＳを貼付し、このマウント用シートＭＳでウェハＷ１とリングフレームＲＦとを一体化するものである。ここで、ウェハＷ１は、図２（Ａ）にも示すように、外縁部がそれ以外の部分よりも厚くなるように研削されることで、厚さ方向（裏面側）に突出した環状の凸部Ｗ１１が外縁部に形成され、凸部Ｗ１１で囲まれた内側に凹部Ｗ１２が形成されるとともに、その表面（研削面の反対側であり、図１の下側の面）Ｗ１３に回路が形成された半導体ウェハである。ウェハＷ１は、凹部Ｗ１２の底面Ｗ１５および内周面Ｗ１６と、凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４とにマウント用シートＭＳが貼付されてリングフレームＲＦと一体化される。マウント用シートＭＳは、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された構成を有し、ウェハＷ１の外形形状よりも大きな外形形状を有するとともに、リングフレームＲＦの開口部よりも大きく、その面内に収まる外形に予め切断されている。なお、表面Ｗ１３には、図示しない保護シートが貼付されている。
そして、マウント装置１は、マウント用シートＭＳを供給するシート供給手段２と、このシート供給手段２から供給されるマウント用シートＭＳをウェハＷ１に貼付する第１貼付手段としての減圧貼付手段３と、ウェハＷ１やリングフレームＲＦ等を移動させる移動手段４と、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに貼付する第２貼付手段としての第２押圧ローラ５とを備えている。なお、以下の説明において、図１中右側を上流側、同図左側を下流側ということがある。

シート供給手段２は、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、剥離シートＲＬ上に所定間隔を隔てて仮着されたマウント用シートＭＳをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、剥離シートＲＬおよびマウント用シートＭＳを案内する２個のガイドローラ２２と、図１中左下方に傾斜して剥離シートＲＬからマウント用シートＭＳを剥離するピールプレート２３とが設けられている。さらに、フレームには、モータ２６によって駆動する駆動ローラ２４と、駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動手段によって剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２７と、ピールプレート２３で剥離されたマウント用シートＭＳを後述する変形許容部材３４１に押圧して貼付する第１押圧ローラ２８とが設けられている。

減圧貼付手段３は、減圧状態でウェハＷ１にマウント用シートＭＳを貼付するとともに、差圧を利用してウェハＷ１にマウント用シートＭＳを押圧して貼付するものであり、上面が開口された箱状の下チャンバ３１と、下面が開口された箱状に形成され、下チャンバ３１の上面に当接して空間Ａ（図２参照）を形成可能な上チャンバ３２とを備えている。なお、空間Ａは、下チャンバ３１の上面に設けられたパッキン３１１によって密閉可能となっている。

下チャンバ３１の内部には、ウェハＷ１を支持する被着体支持手段３３と、マウント用シートＭＳを支持する接着シート支持手段３４と、リングフレームＲＦを支持するフレーム支持手段３５とが設けられている。
被着体支持手段３３は、ウェハＷ１が載置されるとともに直動モータ３３２で昇降する略円板状の内側テーブル３３１を備えている。内側テーブル３３１は、図示しない保持手段によって、ウェハＷ１をその上面で所定位置に保持可能に設けられている。
接着シート支持手段３４は、ゴムや樹脂等で構成された弾性変形可能な部材によりリング状に形成され、上面でマウント用シートＭＳを支持可能な移動部材としての変形許容部材３４１と、この変形許容部材３４１を保持する保持部３４２と、この保持部３４２を昇降または傾斜させる傾斜手段３４３とを備えている。保持部３４２は、筒状の保持部本体３４４と、この保持部本体３４４の下端面の上流側と下流側を結ぶ下端連結部３４５とを備えている。傾斜手段３４３は、下端連結部３４５の上流側および下流側を昇降させる上流側直動モータ３４７と、下流側直動モータ３４８とを備えている。なお、変形許容部材３４１は、マウント用シートＭＳよりも弾性率が小さい材質のものが採用されている。
フレーム支持手段３５は、接着シート支持手段３４を囲む円筒状に形成されて上面にリングフレームＲＦが載置される外側テーブル３５１と、この外側テーブル３５１を昇降させる一対の直動モータ３５２とを備えている。外側テーブル３５１は、図示しない保持手段によって、リングフレームＲＦをその上面で所定位置に保持可能に設けられている。

上チャンバ３２は、板状の上面部３２１と、この上面部３２１の外縁から下方に延びる側面部３２２とにより形成されている。上面部３２１には、気圧調整孔３２３を介して空間Ａを減圧可能な気圧調整手段３６と、上チャンバ３２を昇降させる直動モータ３２４が設けられている。さらに、上面部３２１における図１中上方には、マウント用シートＭＳを上方から押さえる上押さえ手段３７が設けられている。この上押さえ手段３７は、図２に示すように、直動モータ３７１の出力軸に取り付けられるとともに、貫通孔３７４を有する保持部３７２と、この保持部３７２の外縁側に設けられるとともに、内径がウェハＷ１の内周面Ｗ１６の直径よりもマウント用シートＭＳの厚みの２倍分小径に形成されたリング状の凸部押さえ部材３７３と、保持部３７２の図１中下面にばね等の付勢手段３７５を介して設けられるとともに、貫通孔３７６を有する保持部３７７と、この保持部３７７の外縁側に設けられるとともに、外径がウェハＷ１の内周面Ｗ１６の直径よりもマウント用シートＭＳの厚みの２倍分小径に形成されたリング状の凹部押さえ部材３７８とを備えている。

移動手段４は、図１の左右方向に延びて設けられた単軸ロボットからなり、この単軸ロボットのスライダ４１が下チャンバ３１の下面に固定され、下チャンバ３１を上流側および下流側に移動可能に構成されている。
第２押圧ローラ５は、図示しない駆動手段によって図１中上下方向に昇降可能に設けられている。

以上のマウント装置１において、ウェハＷ１およびリングフレームＲＦにマウント用シートＭＳを貼付してウェハＷ１とリングフレームＲＦとを一体化する手順を説明する。
まず、下チャンバ３１がシート供給手段２よりも上流側に位置している状態において、被着体支持手段３３およびフレーム支持手段３５で、ウェハＷ１およびリングフレームＲＦがそれぞれ図示しない保持手段によって所定の位置に位置決めされて保持される。このとき、ウェハＷ１の頂面Ｗ１４は、リングフレームＲＦの上面よりも上方に位置するように位置決めされ、変形許容部材３４１の上面は、ウェハＷ１の頂面Ｗ１４よりも上方に位置するように位置決めされている。
そして、移動手段４で下チャンバ３１を下流側に移動させつつ、シート供給手段２から繰り出したマウント用シートＭＳを第１押圧ローラ２８で押圧することで、マウント用シートＭＳが変形許容部材３４１の上面に貼付される。この後、図１に示すように、下チャンバ３１が上チャンバ３２の真下まで到達したときに移動手段４での移動を停止させる。

次に、図２（Ａ）に示すように、上チャンバ３２を下降させて空間Ａを密閉するとともに、気圧調整手段３６により空間Ａを真空状態を含む減圧状態とする。
そして、図２（Ｂ）に示すように、直動モータ３７１の駆動によって、凹部押さえ部材３７８を下降させてマウント用シートＭＳをウェハＷ１の底面Ｗ１５に押圧し、底面Ｗ１５の外縁領域にマウント用シートＭＳを押圧する。このとき、凹部押さえ部材３７８と変形許容部材３４１との間が拘束されているので、凹部押さえ部材３７８よりも外側に位置する接着シート部分に張力が発生しようとしても、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ１の中央側に弾性変形することで、マウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。
その後も直動モータ３７１を駆動し続けることで、図２（Ｃ）に示すように、付勢手段３７５の付勢力に抗して凸部押さえ部材３７３がマウント用シートＭＳをウェハＷ１の頂面Ｗ１４に押圧して貼付する。このとき、変形許容部材３４１も上流側、下流側直動モータ３４７，３４８の駆動によって下降させる。
この後、気圧調整孔３２３から空間Ａに大気を導入すると、気圧によってウェハＷ１の底面Ｗ１５全面にマウント用シートＭＳが貼付されることとなる。以上により、マウント用シートＭＳがウェハＷ１の底面Ｗ１５および内周面Ｗ１６と、凸部Ｗ１１の頂面Ｗ１４とに貼付される。

この後、凸部押さえ部材３７３および凹部押さえ部材３７８をマウント用シートＭＳから離間させるとともに、上チャンバ３２を下チャンバ３１から離間させる。次に、図３（Ａ）に示すように、上流側、下流側直動モータ３４７、３４８を駆動してマウント用シートＭＳの下流側が上流側よりも低くなるように、保持部３４２を傾斜姿勢とする。そして、移動手段４の駆動によって第２押圧ローラ５の直下にマウント用シートＭＳの下流側端部が位置するように下チャンバ３１を下流側に移動させ、第２押圧ローラ５が図示しない駆動手段によって下降されてマウント用シートＭＳの下流側端部をリングフレームＲＦに押し付ける。この後、図３（Ｂ）に示すように、さらに下チャンバ３１を下流側に移動させつつ、上流側、下流側直動モータ３４７，３４８がリンクしてマウント用シートＭＳの上流側を徐々に下降させ、マウント用シートＭＳのウェハＷ１からはみ出ている部分をリングフレームＲＦに貼付する。そして、図３（Ｃ）に示すように、変形許容部材３４１を下降させてマウント用シートＭＳから離すことで、ウェハＷ１とリングフレームＲＦとが一体化され、一体化されたウェハＷ１は、図示しない搬送手段によって別の工程に搬送され、以降上記同様の動作が繰り返されることとなる。

以上のような第１実施形態によれば、次のような効果がある。
すなわち、マウント用シートＭＳに加わる張力によって変形許容部材３４１が変形されるため、リングフレームＲＦに貼付されたマウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制でき、ウェハＷ１を個片化した際に、マウント用シートＭＳの弾性復元力でチップの間隔が不均一になることがないため、適切にチップをピックアップできる。また、変形許容部材３４１をゴムや樹脂等の弾性変形可能な部材により構成したため、変形許容部材３４１を変形させるための制御機構などを設ける必要がなく、構成の簡略化を図ることができる。さらに、マウント用シートＭＳを傾斜姿勢としてからリングフレームＲＦへの貼付を行うので、マウント用シートＭＳとリングフレームＲＦとの間に気泡を巻き込むことを防止できる。

次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
図４は、第２実施形態に係るマウント装置１Ｂを示す部分断面図である。
第２実施形態のマウント装置１Ｂと第１実施形態のマウント装置１との相違点は、シート供給手段２の代わりにシート供給手段２Ｂを設けたことと、減圧貼付手段３内に切断手段６Ｂを新たに設けた点である。
シート供給手段２Ｂは、図示しないフレームに支持されている。このフレームには、帯状シートＭＳ１をロール状に巻回して支持する支持ローラ２１１Ｂと、モータ２１３Ｂにより駆動する上流駆動ローラ２１２Ｂと、上流駆動ローラ２１２Ｂとの間に帯状シートＭＳ１を挟み込むピンチローラ２１４Ｂと、図示しないモータによって駆動し、切断手段６Ｂにより切断されたマウント用シートＭＳがくりぬかれた帯状シートＭＳ１を回収する回収ローラ２２１Ｂと、モータ２２３Ｂにより駆動する下流駆動ローラ２２２Ｂと、下流駆動ローラ２２２Ｂとの間に帯状シートＭＳ１を挟み込むピンチローラ２２４Ｂと、図示しない移動手段により図４中上下方向と左右方向とに往復移動可能な往復本体部２３１Ｂと、この往復本体部２３１Ｂに支持されたガイドローラ２３２Ｂと、回転モータ２３４Ｂによって回転可能に設けられた駆動ローラ２３３Ｂとを備えている。

切断手段６Ｂは、上チャンバ３２の上面部３２１における図４中下方に設けられた回転モータ６１Ｂと、この回転モータ６１Ｂの出力軸から水平方向に延びるアーム６２Ｂと、このアーム６２Ｂの先端部分に設けられてスライダ６４Ｂを上下方向に移動させる単軸ロボット６３Ｂと、スライダ６４Ｂに固定された切断用モータ６５Ｂと、この切断用モータ６５Ｂの出力軸に取り付けられた切断部材としての回転ブレード６６Ｂとを備えている。また、アーム６２Ｂの下方面には、当該アーム６２Ｂの回転に追従回転することのない上押さえ手段３７が設けられている。

そして、マウント装置１Ｂにおいて、マウント用シートＭＳをウェハＷ１に貼付する際には、まず、下チャンバ３１が上チャンバ３２の下方に位置している状態において、変形許容部材３４１の上面で帯状シートＭＳ１を支持する。次いで、上チャンバ３２と回転ブレード６６Ｂとを下降させ、切断用モータ６５Ｂと回転モータ６１Ｂとを駆動することで、変形許容部材３４１の外側で帯状シートＭＳ１を切断してマウント用シートＭＳを形成する。その後、回転ブレード６６Ｂを上昇させ、上チャンバ３２を下降させることで空間Ａを密閉する。このとき、帯状シートＭＳ１が上チャンバ３２と下チャンバ３１とに挟まれるが、パッキン３１１によって空間Ａの密閉度は保たれる。そして、第１実施形態の図２と同様の制御をすることにより、マウント用シートＭＳがウェハＷ１の凹部Ｗ１２全体と頂面Ｗ１４とに貼付される（図５（Ａ）参照）。

次に、図５（Ｂ）に示すように、上チャンバ３２を下チャンバ３１から離間させるとともに、マウント用シートＭＳのウェハＷ１からはみ出ている部分が帯状シートＭＳ１と同レベルとなるように、内側テーブル３３１と変形許容部材３４１とが上昇される。また、リングフレームＲＦも上昇させてマウント用シートＭＳおよび帯状シートＭＳ１に接触させる。この後、図５（Ｃ）に示すように、往復本体部２３１Ｂを下降させた後、駆動ローラ２３３Ｂを回転させつつ右方向に移動させる。これにより、マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押圧して貼付しながら、下チャンバ３１の上面に接着している帯状シートＭＳ１を浮上させる。図５（Ｃ）中二点鎖線で示す位置に往復本体部２３１Ｂが位置すると、リングフレームＲＦと一体化されたウェハＷ１は、図示しない搬送手段によって別の工程に搬送される。そして、回転モータ２３４Ｂの回転をロックした状態として往復本体部２３１Ｂを左方向に移動させるとともに、上流、下流駆動ローラ２１２Ｂ、２２２Ｂを回転させ、新しい帯状シートＭＳ１を上チャンバ３２の下方に位置させる。

以上のような第２実施形態によれば、予め所定形状に切断されたマウント用シートＭＳを採用することなく、帯状シートＭＳ１を採用することができるので、汎用性が向上するという効果がある。

次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
図６（Ａ），（Ｂ）は、第３実施形態に係るマウント装置１Ｃの動作説明図である。
第３実施形態のマウント装置１Ｃと第１実施形態のマウント装置１との相違点は、凹部Ｗ１２を有するウェハＷ１の代わりに凹部を有さないウェハＷ２が貼付対象であるとともに、減圧貼付手段３の代わりに、第１貼付手段としての押付貼付手段３Ｃを設けた点である。
押付貼付手段３Ｃの貼付基台３１Ａ上には、被着体支持手段３３Ｃと、接着シート支持手段３４と、フレーム支持手段３５とが設けられている。また、被着体支持手段３３Ｃの上方には、押付手段３８Ｃが設けられている。押付手段３８Ｃは、平面形状がウェハＷ２と略等しい形状であって、緩やかな曲面の押付面３８２Ｃを有するとともに、直動モータ３８３Ｃで昇降可能な押付部材３８１Ｃを備えている。なお、押付部材３８１Ｃは、弾性変形可能な部材によって構成されている。

そして、マウント装置１Ｃにおいて、マウント用シートＭＳをウェハＷ２に貼付する際には、図６（Ａ）に示すように、ウェハＷ２の裏面Ｗ２１を、変形許容部材３４１で支持されているマウント用シートＭＳよりも下側に位置させるとともに、リングフレームＲＦを被着面ＲＦ１とマウント用シートＭＳとの間に微少な隙間が形成される状態に移動させる。
この後、押付部材３８１Ｃの押付面３８２Ｃにより、マウント用シートＭＳのシート中央部をウェハＷ２の裏面Ｗ２１に押し付けると、押付部材３８１Ｃが徐々に弾性変形してこの押し付けられた部分が裏面Ｗ２１に貼付される。この貼付に伴って、未貼付シート部分にウェハＷ２の中央部側への張力が発生するが、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ２の中央側に弾性変形することで、マウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。
そして、ウェハＷ２からはみ出たマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦへ貼付する際には、例えば、マウント用シートＭＳを傾斜させずに水平にしたまま、かつ、変形許容部材３４１を変形させたまま、貼付基台３１Ａを下流側に移動させて、第２押圧ローラ５でマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押し付ける。

以上のような第３実施形態によれば、第１実施形態の減圧貼付手段を省略することができ、構成の簡略化を図ることができる。

次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
図７（Ａ），（Ｂ）は、第４実施形態に係るマウント装置１Ｄの動作説明図である。
第４実施形態のマウント装置１Ｄと第３実施形態のマウント装置１Ｃとの相違点は、接着シート支持手段３４を、フレーム支持手段３５の外側において、接着シートＳを支持可能な接着シート支持手段３４Ｄとした点である。
接着シート支持手段３４Ｄは、第３実施形態の変形許容部材３４１よりも直径が大きいリング状の変形許容部材３４１Ｄと、この変形許容部材３４１Ｄを支持する略筒状の保持部本体３４４Ｄとを備えている。保持部本体３４４Ｄは、外側テーブル３５１を囲むように上流側直動モータ３４７と下流側直動モータ３４８に支持されている。

そして、マウント装置１Ｄにおいて、マウント用シートＭＳをウェハＷ２に貼付する際には、図７（Ａ）に示すように、ウェハＷ２の裏面Ｗ２１がマウント用シートＭＳよりも下側に位置し、リングフレームＲＦとマウント用シートＭＳとの間に隙間が形成されている状態とする。この後、押付部材３８１Ｃの押付面３８２Ｃにより、マウント用シートＭＳの中央部をウェハＷ２の裏面Ｗ２１に押し付けると、第３実施形態と同様に、押付部材３８１Ｃが徐々に弾性変形してこの押し付けられた部分が裏面Ｗ２１に貼付される。この貼付に伴って、未貼付シート部分にウェハＷ２の中央部側への張力が発生するが、変形許容部材３４１がその張力によってウェハＷ２の中央側に弾性変形することで、マウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。

以上のような第４実施形態によれば、マウント装置１Ｄは、第３実施形態のマウント装置１Ｃと同様の作用効果を奏することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質等を限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質等の限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

すなわち、第１〜第４実施形態においては、以下のような構成としてもよい。
例えば、被着体がウェハＷ１，Ｗ２である場合を示したが、被着体はそれらに限定されるものではなく、ウェハＷ１，Ｗ２以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材や、板状部材以外のものも対象とすることができる。
マウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに貼付する際に、下チャンバ３１や貼付基台３１Ａを移動させずに第２押圧ローラ５を移動させてもよいし、下チャンバ３１や貼付基台３１Ａと第２押圧ローラ５とを共に移動させてもよい。

また、変形許容部材３４１，３４１Ｄのような変形可能な部材に代えて、変形許容部材３４１，３４１Ｄと略等しい形状の移動部材の先端をウェハＷ１の中央側に移動させるスライド機構等を採用し、ウェハＷ１にマウント用シートＭＳを貼付するときに制御機構により、あるいは、マウント用シートＭＳに作用する張力により、移動部材をウェハＷ１の中央に向けて移動させてもよい。なお、制御機構により移動部材を移動させるタイミングは、マウント用シートＭＳに張力が作用するときと同時であってもよいし、張力が作用する前であってもよい。また、このような移動手段は、自ら変形せずに移動することにより、マウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制できることから、マウント用シートＭＳに作用する張力により変形する材料で形成されていてもよいし、変形しない材料で形成されていてもよい。
さらに、移動部材は上記の構成以外に、マウント用シートＭＳが貼付される面に複数のベアリング等の回転部材を配置した構成としてもよい。この場合、凹部押さえ部材３７８よりも外側に位置するマウント用シートＭＳ部分に張力が発生しようとしたときに、この回転部材が張力によって回転することで、マウント用シートＭＳに余計な張力が発生することを抑制することができる。
また、シート供給手段２Ｂと切断手段６Ｂを第３，第４実施形態のマウント装置１Ｃ，１Ｄに設けてもよい。また、第１〜第２実施形態では、マウント用シートＭＳを傾斜させずに水平にしたまま、かつ、変形許容部材３４１を変形させたまま、第２押圧ローラ５でマウント用シートＭＳをリングフレームＲＦに押し付けてもよい。そして、回転ブレード６６Ｂの代わりに回転しないカッタを設け、このカッタをリングフレームＲＦの周方向に沿って移動させてマウント用シートＭＳを切断してもよい。また、回転ブレード６６Ｂの代わりに円筒状のカッタを設け、このカッタをリングフレームＲＦ上のマウント用シートＭＳに押し付けることでマウント用シートＭＳを切断してもよい。さらには、第１，第２実施形態のマウント装置１，１Ｂにおける貼付対象をウェハＷ２としてもよい。

１，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ…マウント装置
２，２Ｂ…シート供給手段
３…減圧貼付手段（第１貼付手段）
３Ｃ，３Ｄ…押付貼付手段（第１貼付手段）
４…移動手段
５…第２押圧ローラ（第２貼付手段）
６Ｂ…切断手段
３３，３３Ｃ…被着体支持手段
３４，３４Ｄ…接着シート支持手段
３５…フレーム支持手段
３４１，３４１Ｄ…変形許容部材（移動部材）
３４３…傾斜手段
ＭＳ…マウント用シート（接着シート）
ＲＦ…リングフレーム（フレーム）
Ｗ１，Ｗ２…ウェハ（被着体）

Claims (4)

1. 基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、フレームと被着体とを一体化するマウント装置であって、
   前記被着体を支持する被着体支持手段と、
   前記被着体の外側に位置した状態で前記フレームを支持可能なフレーム支持手段と、
   前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給するシート供給手段と、
   前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を有し、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する接着シート支持手段と、
   前記接着シート支持手段に支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する第１貼付手段と、
   前記被着体からはみ出している接着シートを前記フレームに貼付する第２貼付手段と、を備えていることを特徴とするマウント装置。
2. 前記移動部材は、前記第１貼付手段によって接着シートを前記被着体の一方の面に貼付するときに、前記接着シートに作用する張力により変形可能な部材により形成されている変形許容部材であることを特徴とする請求項１に記載のマウント装置。
3. 前記接着シート支持手段は、前記移動部材を前記中央方向に向かって移動させる制御機構を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のマウント装置。
4. 基材シートの一方の面に接着材層が積層された接着シートを介して、フレームと被着体とを一体化するマウント方法であって、
   前記被着体を支持する工程と、
   前記被着体の外側に位置した状態で前記フレームを支持する工程と、
   前記被着体の外形形状よりも大きな外形形状を有する前記接着シートを供給する工程と、
   前記被着体を囲む位置に配置されるとともに、当該被着体の中央方向に向かって移動可能な移動部材を用い、前記供給された接着シートを当該移動部材の上面に貼付することで当該接着シートを支持する工程と、
   前記支持された接着シートに張力が作用するとき、または、張力が作用する前に、前記移動部材を移動させるとともに、前記支持された接着シートに対して前記被着体の反対側に設けられた押圧部材を前記被着体の一方の面に直交する方向に移動させることで前記接着シートを前記被着体の一方の面に貼付する工程と、
   前記被着体からはみ出している接着シートを前記フレームに貼付する工程とを有することを特徴とするマウント方法。

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