JP5475481B2 - シート貼付装置およびシート貼付方法 - Google Patents
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しかしながら、減圧雰囲気で貼付ローラを用いて、凹部を有するウェハと、支持体とを予備的に接着すると、凹部に空間が形成された状態(凹部を塞ぐ状態)となり、凹部閉塞部分が形成されてしまう。この後、大気が導入されると、差圧により凹部閉塞部分がウェハの裏面に押し付けられて接着されるが、凹部閉塞部分を囲む周縁部分がリング状補強部に接着されているため、接着シートにおける凹部閉塞部分とウェハにおける凹部に張力が加わった状態で、ウェハと接着シートとが貼り付けられる。このため、50μm前後にまで研削されたウェハは、凹部に加わった張力によって割れてしまうといった不都合が発生じる。また、上記のような状態で接着シートに貼り付けられたウェハをダイシングすると、接着シートの弾性復元力によりチップ間隔が不均一になってしまい、これら各チップをピックアップする時に正確な位置を支持することができず、支持したチップを正確な位置にボンディングすることができなくなり、ボンディング不良を発生する不都合が生じる。
そして、本発明のシート貼付装置では、前記弛み形成手段は、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで前記接着シートを付勢することが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、前記フレームを支持するフレーム支持手段と、前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、前記接着シートは、前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状に形成されており、前記シート供給手段は、前記接着シートを長手方向に繰出して供給し、前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び押圧手段とを相対移動させる移動手段をさらに備え、前記弛み形成手段は、前記移動手段による相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで前記弛みを形成する、という構成を採用している。
また、本発明のシート貼付装置の一態様では、前記フレーム支持手段における前記フレームの開口部に対応する位置には、支持凹部が設けられている、こととしてもよい。
また、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、前記フレームを支持し、前記接着シートを前記フレームに向って供給し、この供給した前記接着シートを付勢することで前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付する、という構成を採用している。
さらに、本発明のシート貼付方法は、基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、フレーム支持手段と、シート供給手段と、押圧手段とを備えたシート貼付装置を用い、前記フレーム支持手段で前記フレームを支持し、前記シート供給手段で前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状の接着シートを長手方向に繰出して前記フレームに向って供給し、前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び前記押圧手段とを相対移動させる相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで、この供給した前記接着シートに前記開口部内で弛みを形成しつつ、前記押圧手段で前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付する、という構成を採用している。
図1〜図4において、本実施形態のシート貼付装置1は、フレームとしてのリングフレームRFに接着シートとしてのマウント用シートMSを貼付して支持体Hを形成するものである。この支持体Hは、図示しない後工程において、凹部W11,W21を有するウェハW1,W2(図4(A),(B)参照)、あるいは、バンプW32の間に形成された凹部W31を有するウェハW3(図4(C)参照)と一体化される。マウント用シートMSは、図示しない基材シートの一方の面に図示しない接着剤層が積層された構成を有し、例えば、図3に示すように開口部RF1よりも大きく、かつ、リングフレームRFからはみ出すことのない外形に予め切断されている。
そして、シート貼付装置1は、リングフレームRFを載置して保持するフレーム支持手段としてのテーブル2と、マウント用シートMSをリングフレームRFに向けて供給するシート供給手段としての繰出ユニット3と、この繰出ユニット3で繰り出されたマウント用シートMSをリングフレームRFに押圧して貼付する押圧ユニット4と、テーブル2を図1中左右方向に相対移動させる移動手段としての単軸ロボット5とを備えて構成されている。
まず、図1中実線で示すように、テーブル2のフレーム載置部22にリングフレームRFを載置して固定し、単軸ロボット5でテーブル2を図1中右側から左側に向って移動させる。そして、テーブル2が所定の位置に到達したことが図示しない検知手段によって検知されると、直動モータ44の駆動によって押圧ローラ41を下降させるとともに、モータ36の駆動によってマウント用シートMSを所定の速度で繰り出す。これにより、押圧ローラ41でマウント用シートMSをリングフレームRFに押圧し、単軸ロボット5によるテーブル2の移動を継続することで、マウント用シートMSをリングフレームRFの上面に貼付する。この際、押圧ローラ41がクラウン形状なので、開口部RF1内のマウント用シートMSは、リングフレームRFの上面(マウント用シートMSの貼付面)より図1中下方に押し出され、図3に示すように弛んだ状態で貼付される。また、押圧ローラ41がリングフレームRFに押し付けられるとリングフレームRFの形状に倣って変形し、マウント用シートMSの外周部分は、リングフレームRFに面接触する状態で貼付される。
シート貼付装置1は、リングフレームRFにマウント用シートMSを貼付する際に、リングフレームRFの開口部RF1内において接着剤層が表出し、かつ、この表出部分に弛みが形成される状態で貼付する。このため、後工程で、ウェハW1,W2,W3の凹部W11,W21,W31を有する面に、マウント用シートMSを貼付したときに、マウント用シートMSの凹部W11,W21,W31に貼付された部分に余分な張力が発生することを抑制することができ、ウェハが割れてしまうことを防止できる上、ウェハW1を個片化した際に、チップ間隔が不均一になることを防止して、適切にチップをピックアップできる。また、クラウン形状の押圧ローラ41を用いて押圧により弛みを形成しているため、弛みの形成状態を一定にできるとともに、部品点数の増加を抑制できる。また、テーブル2にテーブル凹部21を設けているため、マウント用シートMSを弛ませて貼付した際にテーブル2にマウント用シートMSが貼付されてしまうことを防止できる。
図5において、本発明の第2実施形態に係るシート貼付装置1Aと第1実施形態のシート貼付装置1との相違点は、押圧ユニット4の代わりに押圧ユニット4Aを設けた点と、弛み形成手段としての気体噴付手段6Aを新たに設けた点である。
押圧ユニット4Aは、押圧ユニット4のクラウン形状の押圧ローラ41の代わりに、クラウン形状を有さない円柱状の押圧手段としての押圧ローラ41Aを設けた構成となっている。
気体噴付手段6Aは、繰出ユニット3と押圧ローラ41Aとの間に繰出されるマウント用シートMSに気体Pを噴き付け可能に設けられ、噴き付けのタイミングや強さを制御する図示しない制御手段とともに、繰出ユニット3の図示しないフレームに一体的に支持されている。
すなわち、シート貼付装置1Aは、マウント用シートMSに気体Pを噴き付けることで、つまり、マウント用シートMSの両面に気圧差を生じさせることで、マウント用シートMSを弛ませる。このため、マウント用シートMSの弛んだ部分に接触することなく、当該マウント用シートMSの損傷を避けて貼付することができる。また、気体Pを噴き付ける圧力の大きさを変えるだけで、弛みの調整が容易に行える。
図6において、本発明の第3実施形態に係るシート貼付装置1Bと第2実施形態のシート貼付装置1Aとの相違点は、気体噴付手段6Aの代わりに弛み形成手段としての吸引手段6Bを設けた点である。
吸引手段6Bは、テーブル2のテーブル凹部21内に設けられ、具体的には、フレーム載置部22に載置されたリングフレームRFの開口部RF1中心の直下に設けられている。
すなわち、吸引手段6Bをテーブル2のテーブル凹部21内に設けているため、吸引手段6Bを設置するための新たなスペースを設ける必要がなく、テーブル凹部21の有効活用を図ることができる。また、吸引によりマウント用シートMSの両面に気圧差を生じさせることで、マウント用シートMSを弛ませるため、マウント用シートMSの損傷を防止できる。
図7において、本発明の第4実施形態に係るシート貼付装置1Cと第2実施形態のシート貼付装置1Aとの相違点は、気体噴付手段6Aの代わりに弛み形成手段としての弛み形成押圧手段6Cを設けた点である。
例えば、マウント用シートMSに貼付される被着体がウェハW1,W2,W3である場合を示したが、被着体はそれらに限定されるものではなく、ウェハW1,W2,W3以外にガラス板、鋼板、または、樹脂板、その他の板状部材や、板状部材以外のものも対象とすることができ、半導体ウェハは、シリコンウェハや化合物ウェハであってもよい。また、テーブル2に対して繰出ユニット3のみを移動させてもよいし、テーブル2と繰出ユニット3の両方を移動させてもよい。さらに、半球状の弛み形成手段と、この弛み形成手段から鍔状に延びる押圧手段とを有する部材をリングフレームRFに押し当てて、弛み形成手段でマウント用シートMSに弛みを形成しつつ、押圧手段でリングフレームRFに貼付してもよい。
また、図8に示すように、マウント用シートMSの代わりに、短辺が開口部RF1の直径よりも短くかつ長辺が開口部RF1の直径よりも長い長方形状のマウント用シートMS1を貼付する場合、弛み形成手段としての図示しない制御手段により、テーブル2の移動速度をマウント用シートMS1の繰出速度よりも遅くすることで、弛みを形成してもよい。
更に、移動手段は、単軸ロボット5によってテーブル2を移動させる構成以外に、図示しない駆動手段を用いて繰出ユニット3及び押圧ローラ41を移動させてもよいし、テーブル2と繰出ユニット3及び押圧ローラ41との両方を移動させてもよい。
2…テーブル(フレーム支持手段)
3…繰出ユニット(シート供給手段)
5…単軸ロボット(移動手段)
6A…気体噴付手段(弛み形成手段)
6B…吸引手段(弛み形成手段)
6C…弛み形成押圧手段(弛み形成手段)
21…テーブル凹部(支持凹部)
41…押圧ローラ(押圧手段、弛み形成手段)
41A…押圧ローラ(押圧手段)
MS…マウント用シート(接着シート)
RF…リングフレーム(フレーム)
RF1…開口部
Claims (7)
- 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記押圧手段は、軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラであり、
前記弛み形成手段は、前記ローラの前記中央部分により構成されていることを特徴とするシート貼付装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記弛み形成手段は、前記シート供給手段と前記押圧手段との間に位置するとともに、当該押圧手段で押圧される前の接着シートに付勢することで前記弛みを形成することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記弛み形成手段は、前記接着シートの両面に気圧差を生じさせることで前記接着シートを付勢することを特徴とする請求項2に記載のシート貼付装置。
- 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシート貼付装置であって、
前記フレームを支持するフレーム支持手段と、
前記接着シートを前記フレームに向って供給するシート供給手段と、
前記シート供給手段から供給された接着シートを前記フレームの開口部内に前記接着剤層が表出する状態で押圧して貼付する押圧手段と、
前記押圧手段による貼付の際に、前記開口部内で接着シートに弛みを形成する弛み形成手段とを備え、
前記接着シートは、前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状に形成されており、
前記シート供給手段は、前記接着シートを長手方向に繰出して供給し、
前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び押圧手段とを相対移動させる移動手段をさらに備え、
前記弛み形成手段は、前記移動手段による相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで前記弛みを形成することを特徴とするシート貼付装置。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
前記フレームを支持し、
前記接着シートを前記フレームに向って供給し、
軸方向の中央部分の直径が両端部分よりも大きい形状のローラで前記供給した前記接着シートを前記フレームに押圧することで、前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに貼付することを特徴とするシート貼付方法。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
前記フレームを支持し、
前記接着シートを前記フレームに向って供給し、
この供給した前記接着シートを付勢することで前記フレームの開口部内で前記接着シートに弛みを形成しつつ、前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。 - 基材シートの一方の面に接着剤層が積層された接着シートをフレームに貼付するシートの貼付方法であって、
フレーム支持手段と、シート供給手段と、押圧手段とを備えたシート貼付装置を用い、
前記フレーム支持手段で前記フレームを支持し、
前記シート供給手段で前記フレームの開口部の直径よりも幅が狭い帯状の接着シートを長手方向に繰出して前記フレームに向って供給し、
前記フレーム支持手段と前記シート供給手段及び前記押圧手段とを相対移動させる相対移動速度を前記接着シートの繰出し速度に対して遅くすることで、この供給した前記接着シートに前記開口部内で弛みを形成しつつ、前記押圧手段で前記接着シートを前記フレームに押圧して貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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