JP2010016147A - 粘着テープの貼着方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 デバイス領域に対応する裏面のみが研削されて円形凹部が形成され、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応する裏面に環状補強部が形成された半導体ウエーハを、破損させることなく粘着テープへ貼着可能な粘着テープの貼着方法を提供することである。
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、該ウエーハと該粘着テープとを減圧雰囲気中で対向して保持し、該ウエーハを該粘着テープの粘着面へと押圧する際に、該粘着テープの粘着面と反対側に固定的に配設された板状物を該粘着テープを支持しながら該円形凹部内に嵌合させて、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする。
【選択図】図8
【解決手段】 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、該ウエーハと該粘着テープとを減圧雰囲気中で対向して保持し、該ウエーハを該粘着テープの粘着面へと押圧する際に、該粘着テープの粘着面と反対側に固定的に配設された板状物を該粘着テープを支持しながら該円形凹部内に嵌合させて、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする。
【選択図】図8
Description
本発明は、裏面に円形凹部が形成されたウエーハの裏面側に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法に関する。
半導体デバイス製造工程においては、略円盤形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にIC、LSI等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切削装置で切削することにより、半導体ウエーハが個々の半導体チップ(デバイス)に分割される。
分割されるウエーハは、ストリートに沿って切削する前に裏面を研削や研磨によって所定の厚さに形成される。近年、電気機器の軽量化、小型化を達成するために、ウエーハの厚さをより薄く、例えば50μm程度にすることが要求されている。
このように薄く形成されたウエーハは取り扱いが困難になり、搬送等において破損する恐れがある。そこで、ウエーハのデバイス領域に対応する裏面のみを研削し、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応するウエーハの裏面に環状補強部を形成する研削方法が特開2007−19461号公報で提案されている。
一方、分割された個々のデバイスのハンドリングを容易にするために、分割に際して半導体ウエーハはダイシングテープ(粘着テープ)に貼着されて一体化される。切削装置による切削では、ウエーハと共にウエーハに貼着された粘着テープの途中まで切削ブレードで切り込み各デバイスへと分割することで、半導体ウエーハがデバイスへと分割された後も各デバイスは粘着テープと一体化しており、分割されたデバイスがちりぢりになることが防止される。
粘着テープを半導体ウエーハに貼着する方法としては、半導体ウエーハの裏面側に粘着テープの粘着面を対峙させ、ローラを粘着テープの非粘着面上を摺動させることにより、粘着テープを半導体ウエーハの裏面に貼着する方法が採用されている(特開平6−177243号公報)。
ところが、薄く形成された半導体ウエーハはローラによる圧力で破損する恐れがある。そこで、特開2005−135931号公報では、半導体ウエーハを支持する弾性体の膨張によって半導体ウエーハを粘着テープへ貼着する装置が提案されている。
特開2007−19461号公報
特開平6−177243号公報
特開2005−135931号公報
しかしながら、このような装置を使用して粘着テープを半導体ウエーハの裏面に貼着しても、デバイス領域に対応する裏面のみが研削されて円形凹部が形成され、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応する裏面に環状補強部が形成された半導体ウエーハでは、粘着テープ貼着時に環状補強部と円形凹部との境界部に応力が生じて破損してしまうという問題がある。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、デバイス領域に対応する裏面のみが研削されて円形凹部が形成され、デバイス領域を囲繞する外周余剰領域に対応する裏面に環状補強部が形成された半導体ウエーハを、破損させることなく粘着テープへ貼着可能な粘着テープの貼着方法を提供することである。
請求項1記載の発明によると、複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、該ウエーハと該粘着テープとを減圧雰囲気中で対向して保持し、該ウエーハを該粘着テープの粘着面へと押圧する際に、該粘着テープの粘着面と反対側に固定的に配設された板状物を該粘着テープを支持しながら該円形凹部内に嵌合させて、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする粘着テープの貼着方法が提供される。
好ましくは、ウエーハの円形凹部側を粘着テープの粘着面に対峙させて、ウエーハの表面側を弾性体で支持し、該弾性体のウエーハ保持面と反対面側に形成された気密空間の気圧を大気に開放することにより、ウエーハを粘着テープに押圧する。
請求項3記載の発明によると、複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、気密空間内に挿入されたピストンにより該気密空間を第1気密空間と第2気密空間に分離し、粘着面が該ピストン側を向くように前記粘着テープを該第2気密空間内で固定的に保持し、該円形凹部が該粘着テープに対向するように該第2気密空間内で前記ウエーハを前記ピストンにより保持し、前記粘着テープに対して前記ウエーハと反対側に該ウエーハの前記円形凹部に嵌合する板状部材を固定的に設け、前記第2気密空間内を減圧し、前記第1気密空間を大気に開放することにより、前記ピストンを駆動して該板状部材を前記粘着テープを介して該ウエーハの前記円形凹部に嵌合させることにより、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする粘着テープの貼着方法が提供される。
本発明によると、半導体ウエーハのデバイス領域に対応する裏面のみが研削されて形成された円形凹部に板状物を嵌合することにより、粘着テープを半導体ウエーハの裏面に貼着するので、半導体ウエーハを破損することなく粘着テープに貼着することができる。
以下、本発明実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1は所定の厚さに加工される前の半導体ウエーハの斜視図である。図1に示す半導体ウエーハ11は、例えば厚さが700μmのシリコンウエーハから成っており、表面11aに複数のストリート13が格子状に形成されているとともに、該複数のストリート13によって区画された複数の領域にIC、LSI等のデバイス15が形成されている。
このように構成された半導体ウエーハ11は、デバイス15が形成されているデバイス領域17と、デバイス領域17を囲繞する外周余剰領域19を備えている。また、半導体ウエーハ11の外周には、シリコンウエーハの結晶方位を示すマークとしてのノッチ21が形成されている。
半導体ウエーハ11の表面11aには、保護テープ貼着工程により保護テープ23が貼着される。従って、半導体ウエーハ11の表面11aは保護テープ23によって保護され、図2に示すように裏面11bが露出する形態となる。
このような半導体ウエーハ11のデバイス領域17に対応する裏面に円形凹部を形成し、該円形凹部の外周側に外周余剰領域19を含む環状補強部を形成する研削方法について図3乃至図5を参照して説明する。まず、図3を参照すると、研削装置2の要部斜視図が示されている。
研削装置2は、ウエーハを保持して回転可能なチャックテーブル4と、ウエーハに対して研削加工を施す研削ユニット6を備えている。研削ユニット6は、回転可能且つ昇降可能なスピンドル8と、スピンドル8の先端に装着された研削ホイール10と、研削ホイール10の下面に固着された研削砥石12から構成される。
ウエーハ11は保護テープ23側がチャックテーブ4により吸引保持され、ウエーハ11の裏面11bが研削砥石12に対向してセットされる。ここで、チャックテーブル4に保持されたウエーハ11と研削ホイール10に装着された研削砥石12との関係について図4を参照して説明する。
チャックテーブル4の回転中心P1と研削砥石12の回転中心P2は偏心しており、研削砥石12の外径はウエーハ11のデバイス領域17と外周余剰領域19との境界線28の直径より小さく境界線28の半径より大きい寸法に設定され、環状の研削砥石12がチャックテーブル4の回転中心P1を通過するようになっている。
チャックテーブル4を矢印30で示す方向に例えば300rpmで回転しつつ、研削砥石12を矢印32で示す方向に例えば6000rpmで回転させるとともに、図示しない研削送り機構を作動して研削ホイール10の研削砥石12をウエーハ11の裏面に接触させる。そして、切削ホイール10を所定の研削送り速度で下方に所定量研削送りする。
その結果、半導体ウエーハ11の裏面には、図5に示すように、デバイス領域17に対応する領域が研削除去されて所定厚さ(例えば50μm)の凹部24が形成されるとともに、外周余剰領域19に対応する領域は残存されて外周余剰領域19を含む環状補強部26が形成される。
このような半導体ウエーハ11は、次いで切削装置(ダイシング装置)によりストリートに沿って切削されて、個々の半導体チップ(デバイス)に分割される。ウエーハの切削加工に先立って、図6に示すようにウエーハ11はその外周部が環状フレーム60に装着されたダイシングテープ(粘着テープ)62に貼着される。本発明実施形態の粘着テープの貼着方法を、図7及び図8を参照して説明する。
図7を参照すると、本発明の粘着テープの貼着方法を実施するのに適した粘着テープ貼着装置34の縦断面図が示されている。粘着テープ貼着装置34は、凹部37を有する基台36と、同じく凹部39を有する上蓋38とを含んでいる。基台36と上蓋38とを、互いの凹部を向かい合わせて接合し、接合部分に環状シール部材40を設けて内部を気密空間に形成している。
気密空間内にはピストン42が挿入されており、このピストン42により気密空間は第1気密空間44と第2気密空間46に分離されている。第1気密空間44は、連通路48を介して第1電磁弁50に接続されている。第1電磁弁50は第1気密空間44内を減圧状態と、大気に開放状態に切り替え可能である。
第2気密空間46は、第2連通路52を介して第2電磁弁54に接続されている。第2電磁弁54は第2気密空間46内を減圧状態と、大気に開放状態と、加圧状態に切り替え可能である。
ピストン42上には半導体ウエーハ11がその裏面を上にしてゴム板等の弾性プレート56を介して搭載されている。基台36には環状凸部58が形成されており、この環状凸部58上に、その外周部が環状フレーム60に装着されたダイシングテープ(粘着テープ)62が、その粘着面を下にして搭載されている。上蓋38の内側には、半導体ウエーハ11の円形凹部24に対応する形状を有する円形プレート64が固着されている。
以下、本発明実施形態の動作について説明する。まず、上蓋38を基台36から取り外して、半導体ウエーハ11及び環状フレーム60に装着されたダイシングテープ62を図7に示すような所定位置にセットする。次いで、上蓋38を基台36に対して閉じ、環状シール部材40により内部に気密空間を確保してから、図7に示すように第1気密空間44及び第2気密空間46を共に減圧する。
次いで、図8(A)に示すように、第2気密空間46は減圧したまま保持し、第1電磁弁50を切り替えて第1気密空間42を大気に開放すると、第1及び第2気密空間44,46内の気圧差によりピストン42が上方に移動されて、半導体ウエーハ11の円形凹部24がダイシングテープ62を介して円形プレート64に押し付けられる。円形プレート64は半導体ウエーハ11の円形凹部24に対応する形状をしているため、ダイシングテープ62が半導体ウエーハ11の裏面全面に密着するように貼着される。
次いで、図8(B)に示すように、電磁弁50,54を共に切り替えて、第1気密空間44内を減圧し、第2気密空間46内を加圧状態にすると、第1及び第2気密空間44,46内の気圧差によりピストン42は下側に移動される。
よって、この状態或いは両気密空間内を大気に開放した状態で、上蓋38を取り外すことにより、半導体ウエーハ11の裏面をダイシングテープ62に貼着した状態で環状フレーム60に装着された半導体ウエーハ11を取り出すことができる。
2 研削装置
4 チャックテーブル
6 研削ユニット
10 研削ホイール
11 半導体ウエーハ
12 研削砥石
13 ストリート
15 デバイス
24 円形凹部
26 環状補強部
34 粘着テープ貼着装置
36 基台
38 上蓋
44 第1気密空間
46 第2気密空間
50,54 電磁弁
60 環状フレーム
62 ダイシングテープ(粘着テープ)
64 円形プレート
4 チャックテーブル
6 研削ユニット
10 研削ホイール
11 半導体ウエーハ
12 研削砥石
13 ストリート
15 デバイス
24 円形凹部
26 環状補強部
34 粘着テープ貼着装置
36 基台
38 上蓋
44 第1気密空間
46 第2気密空間
50,54 電磁弁
60 環状フレーム
62 ダイシングテープ(粘着テープ)
64 円形プレート
Claims (4)
- 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、
該ウエーハと該粘着テープとを減圧雰囲気中で対向して保持し、
該ウエーハを該粘着テープの粘着面へと押圧する際に、該粘着テープの粘着面と反対側に固定的に配設された板状物を該粘着テープを支持しながら該円形凹部内に嵌合させて、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする粘着テープの貼着方法。 - 前記ウエーハの前記円形凹部側を前記粘着テープの粘着面に対峙させて、該ウエーハの表面側を弾性体で支持し、
該弾性体のウエーハ保持面と反対面側に形成された気密空間の気圧を大気に開放することにより、該ウエーハを前記粘着テープに押圧することを特徴とする請求項1記載の粘着テープの貼着方法。 - 複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを表面に有し、該デバイス領域に対応する裏面に円形凹部が形成され、該円形凹部の外周側に該外周余剰領域を含む環状補強部が形成されたウエーハの裏面に粘着テープを貼着する粘着テープの貼着方法であって、
気密空間内に挿入されたピストンにより該気密空間を第1気密空間と第2気密空間に分離し、
粘着面が該ピストン側を向くように前記粘着テープを該第2気密空間内で固定的に保持し、
該円形凹部が該粘着テープに対向するように該第2気密空間内で前記ウエーハを前記ピストンにより保持し、
前記粘着テープに対して前記ウエーハと反対側に該ウエーハの前記円形凹部に嵌合する板状部材を固定的に設け、
前記第2気密空間内を減圧し、前記第1気密空間を大気に開放することにより、前記ピストンを駆動して該板状部材を前記粘着テープを介して該ウエーハの前記円形凹部に嵌合させることにより、該ウエーハの裏面に該粘着テープを貼着することを特徴とする粘着テープの貼着方法。 - 前記粘着テープの該粘着面外周に環状フレームが貼着されており、
前記粘着テープを固定的に保持する工程は該環状フレームを保持することを特徴とする請求項3記載の粘着テープの貼着方法。
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