JP7045838B2 - シート剥離装置およびシート剥離方法 - Google Patents
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Description
さらに、冷却手段を備えれば、自然冷却に比べ、マイクロ波加熱接着剤層を短時間で冷却し、冷却後の接着力を得ることができる。
また、温度検知手段を備えれば、マイクロ波加熱接着剤層が良好に接着する温度に達したことを確実に確認することができる。
さらに、マイクロ波加熱接着剤層の温度が所定の第1温度以上となるまで、当該マイクロ波加熱接着剤層にマイクロ波を印加する構成とすれば、マイクロ波加熱接着剤層が良好に接着する第1温度に達してから接着シートの剥離を行うことができる。
また、出力手段を備えれば、マイクロ波加熱接着剤層が確実に第2温度以下となったことを確認した後に、接着シートの剥離を行うことができる。
なお、本発明における接着または接着剤は、粘着または粘着剤を含む。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
なお、剥離用シートPSにおける接着シートASに当接する面側には、マイクロ波によって加熱されて接着力を生じる、または、接着力が増加するマイクロ波加熱接着剤層HAが設けられ、当該マイクロ波加熱接着剤層HAに基材シートBSが積層されている。
繰出手段22は、駆動機器としての回動モータ22Aと、その図示しない出力軸に支持され、支持ローラ21Cに支持された剥離用シートPSに回転力を付与する繰出ローラ22Bとを備えている。
リード保持手段23は、駆動機器としての直動モータ23Aの出力軸23Bに支持された収容手段23Cと、収容手段23Cの底面である吸着面23Dに形成された吸引孔23Eを介して吸着保持が可能な減圧ポンプや真空エジェクタ等の支持手段としての吸引手段23Fとを備えている。
保持補助手段24は、駆動機器としての直動モータ24Aと、その出力軸24Bに支持され、剥離用シートPSを吸着面23Dに当接させる補助ローラ24Cとを備えている。
マイクロ波印加手段25は、収容手段23C内に収容された駆動機器としてのリニアモータ25Aと、そのスライダ25Bに支持され、剥離用シートPSを接着シートASに当接させる当接部材25Cと、当接部材25Cの内部に設けられ、マイクロ波を印加する導波管25Dと、2.45GHzのマイクロ波を生成するマグネトロンやクライストロン等の発振器25Eとを備えている。
切断手段26は、収容手段23C内に収容された駆動機器としてのリニアモータ26Aと、そのスライダ26Bに支持され、剥離用シートPSを切断可能な切断刃26Cとを備えている。
移動手段31は、駆動機器としてのリニアモータ31Aと、そのスライダ31Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な支持面31Cを有する支持部材としてのテーブル31Dとを備えている。
誘導手段32は、駆動機器としてのリニアモータ32Aと、そのスライダ32Bに支持され、被着体WKから剥離した接着シートASが掛け回される誘導ローラ32Cとを備えている。
先ず、図1中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート剥離装置10に対し、当該シート剥離装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように剥離用シートPSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、保持手段20が吸引手段23Fを駆動し、吸着面23Dでの剥離用シートPSの吸着保持を開始する。そして、作業者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートASが上方となる状態で被着体WKが支持面31C上に載置されると、張力付与手段30が図示しない減圧手段を駆動し、被着体WKの吸着保持を開始する。次いで、張力付与手段30がリニアモータ31Aを駆動し、テーブル31Dを右方向に移動させ、図1中二点鎖線で示すように、接着シートASの左端部を当接部材25Cの直下に位置させる。
テープ支持手段21は、繰出手段22方向に付勢されることなく剥離用シートPSを支持してもよく、この場合、繰出手段22は、繰出ローラ22Bとで剥離用シートPSを挟み込むピンチローラ等を採用すればよい。
保持補助手段24は、補助ローラ24Cに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で剥離用シートPSを吸着面23Dに当接させる構成を採用してもよいし、接着シートAS剥離後の剥離用シートPSをリード保持手段23のみで保持可能であれば、なくてもよい。
マイクロ波印加手段25は、導波管25Dをテーブル31D側やその他の位置に設けてもよいし、当接部材25Cの外部に導波管25Dを設けてもよいし、マイクロ波加熱接着剤層HAにマイクロ波を印加する際、当該マイクロ波がシート剥離装置10の外部に漏洩しないように遮蔽部材で囲む構成としてもよいし、当接部材25Cの代わりに、気体を吹き付けて剥離用シートPSを接着シートASに当接させる構成を採用してもよいし、当接部材25Cで剥離用シートPSを接着シートASに押圧して、または押圧することなく当接させてもよいし、当接部材25Cがなくてもよい。当接部材25Cがない場合、剥離用シートPSが自重で接着シートASに当接すればよい。
発振器25Eが生成するマイクロ波の周波数は、例えば、433.92MHz、915MHz、61.25GHz、245GHz等でもよく、マイクロ波と言われる例えば300MHz~300GHzの範囲さらには、その前後の範囲のどのような周波数でもよく、マイクロ波加熱接着剤層HAに印加することで、当該マイクロ波加熱接着剤層HAが加熱して接着力を生じる、または、接着力が増加する周波数であればどのような周波数でもよい。
マイクロ波加熱接着剤層HAにマイクロ波を印加する所定時間は、シート剥離装置10が予め記憶していてもよいし、マイクロ波加熱接着剤層HAの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
マイクロ波印加手段25および切断手段26の少なくとも一方は、収容手段23Cに収容されていなくてもよいし、収容手段23Cがなくてもよい。
切断手段26は、剥離用シートPSを切断しなくてもよいし、他の装置で剥離用シートPSを切断する場合、本発明のシート剥離装置10に備わっていなくてもよい。
張力付与手段30は、本発明のシート剥離装置10に備わっていなくてもよく、この場合、接着シートASが貼付された被着体WKを他の装置で支持し、当該他の装置が保持手段20に対して被着体WKを相対移動させ、接着シートASに貼付された剥離用シートPSに張力を付与して被着体WKから接着シートASを剥離すればよい。
張力付与手段30は、接着シートASが貼付された被着体WKを他の装置で支持する場合、他の装置で支持した被着体WKを移動させずにまたは移動させつつ保持手段20を移動させ、接着シートASに貼付された剥離用シートPSに張力を付与して被着体WKから接着シートASを剥離する構成としてもよい。
誘導手段32は、誘導ローラ32Cに代えてまたは併用して、棒状部材、板状部材、エアの吹き付け等で接着シートASを誘導してもよいし、なくてもよい。
温度検知手段50は、マイクロ波の印加を行っている最中に、マイクロ波加熱接着剤層HAの温度を検知する構成としてもよく、この場合、保持手段20は、マイクロ波加熱接着剤層HAの温度が第1温度以上となったことを温度検知手段50が検知した時点で、発振器25Eの駆動を停止するように構成してもよいし、マイクロ波加熱接着剤層HAの温度が第1温度以上となったことを温度検知手段50が検知した時点から、当該第1温度以下にならないように制御しつつ所定の時間経過した後、発振器25Eの駆動を停止するように構成してもよい。
第1温度は、マイクロ波加熱接着剤層HAが接着シートASに良好に接着することができる温度であれば何度でもよく、シート剥離装置10が予め記憶していてもよいし、マイクロ波加熱接着剤層HAの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
第2温度は、マイクロ波加熱接着剤層HAが冷却前の接着力に比べて強い接着力で接着することができる温度であれば何度でもよく、シート剥離装置10が予め記憶していてもよいし、マイクロ波加熱接着剤層HAの特性、特質、性質、材質、組成、構成、形状、寸法および重量や、雰囲気の条件や、その他の要因等を考慮して使用者が任意に決定してもよい。
剥離用シートPSは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形等、その形状に限定されることはないし、例えば、マイクロ波加熱接着剤層HAだけの単層のものでもよいし、基材シートBSとマイクロ波加熱接着剤層HAとの間に中間層を有するものでもよいし、基材シートBS側およびマイクロ波加熱接着剤層HA側の少なくとも一方に剥離シートを有する3層以上のものでもよいし、基材シートBSをマイクロ波加熱接着剤層HAから剥離可能なものでもよいし、基材シートBSが樹脂、紙、布、金属等の材料で形成されたものでもよいし、基材シートBSが糸や紐状等のシート状でないもので形成されたものでもよい。
マイクロ波加熱接着剤層HAは、感熱接着性の接着剤でもよいし、感圧接着性の接着剤でもよく、感圧接着性の接着剤の場合、例えば、低温雰囲気で接着力が小さ接着剤に対し、加熱して接着シートASへの接着力を大きくすることができる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよいし、付勢手段が採用されている場合、ばね、ゴム、樹脂等で構成してもよい。
20…保持手段
25…マイクロ波印加手段
40…冷却手段
50…温度検知手段
60…出力手段
AS…接着シート
HA…マイクロ波加熱接着剤層
PS…剥離用シート
WK…被着体
Claims (4)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付し、当該剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持手段を備え、当該接着シートに貼付した剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方における相手方に当接する面側には、マイクロ波によって加熱されて接着力を生じる、または、接着力が増加するマイクロ波加熱接着剤層が設けられ、
前記保持手段は、前記マイクロ波加熱接着剤層にマイクロ波を印加するマイクロ波印加手段を備え、
前記接着シートに前記剥離用シートを接着する接着領域は、当該接着シートの面全体よりも小さい領域とされ、
前記マイクロ波印加手段は、前記マイクロ波を印加する領域が前記接着シートの面全体とはならないように、前記接着領域を含む前記接着シートの面の一部に前記マイクロ波を印加する導波管を備えていることを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付し、当該剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持手段を備え、当該接着シートに貼付した剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方における相手方に当接する面側には、マイクロ波によって加熱されて接着力を生じる、または、接着力が増加するマイクロ波加熱接着剤層が設けられ、
前記保持手段は、前記マイクロ波加熱接着剤層にマイクロ波を印加するマイクロ波印加手段を備え、
前記マイクロ波加熱接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、
所定の信号を出力する出力手段とをさらに備え、
前記出力手段は、前記マイクロ波加熱接着剤層の温度が所定の第2温度以下となったことを前記温度検知手段が検知すると、前記接着シートに貼付した前記剥離用シートに張力を付与することを許可する前記所定の信号を出力することを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付し、当該剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持工程を備え、当該接着シートに貼付した剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方における相手方に当接する面側には、マイクロ波によって加熱されて接着力を生じる、または、接着力が増加するマイクロ波加熱接着剤層が設けられ、
前記保持工程では、前記マイクロ波加熱接着剤層にマイクロ波を印加するマイクロ波印加工程を実施し、
前記接着シートに前記剥離用シートを接着する接着領域は、当該接着シートの面全体よりも小さい領域とされ、
前記マイクロ波印加工程では、前記マイクロ波を印加する領域が前記接着シートの面全体とはならないように、前記接着領域を含む前記接着シートの面の一部に前記マイクロ波を印加する導波管を用いて前記マイクロ波を印加することを特徴とするシート剥離方法。 - 被着体に貼付された接着シートに剥離用シートを貼付し、当該剥離用シートを介して前記接着シートを保持する保持工程を備え、当該接着シートに貼付した剥離用シートに張力を付与して前記被着体から前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
前記剥離用シートおよび前記接着シートの少なくとも一方における相手方に当接する面側には、マイクロ波によって加熱されて接着力を生じる、または、接着力が増加するマイクロ波加熱接着剤層が設けられ、
前記保持工程は、前記マイクロ波加熱接着剤層にマイクロ波を印加するマイクロ波印加工程を実施し、
前記マイクロ波加熱接着剤層の温度を検知する温度検知工程と、
所定の信号を出力する出力工程とをさらに実施し、
前記出力工程では、前記マイクロ波加熱接着剤層の温度が所定の第2温度以下となったことを前記温度検知工程で検知すると、前記接着シートに貼付した前記剥離用シートに張力を付与することを許可する前記所定の信号を出力することを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017232557A JP7045838B2 (ja) | 2017-12-04 | 2017-12-04 | シート剥離装置およびシート剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2019102657A JP2019102657A (ja) | 2019-06-24 |
JP7045838B2 true JP7045838B2 (ja) | 2022-04-01 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7045838B2 (ja) |
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---|---|
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