JP7022560B2 - 接着シート処理方法および接着シート処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、接着シート処理方法および接着シート処理装置に関する。

従来、被着体に接着シートを貼付したり、被着体から接着シートを剥離したりする接着シート処理方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１７－７３４２８号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来の処理装置を用いた処理方法（接着シート処理方法）では、シート剥離手段６０による剥離工程での剥離の対象が、シート貼付手段４０による貼付工程でウエハＷＦ（被着体）に貼付した第２接着シートＡＳ２（接着シート）ではないので、必要に応じて被着体に接着シートを貼付した後、当該接着シートが不要になったとしても、当該接着シートを被着体から剥離することができないという不都合を発生する。

本発明の目的は、必要に応じて被着体に接着シートを貼付した後、不要になった当該接着シートを被着体から剥離することができる接着シート処理方法および接着シート処理装置を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、剥離工程での剥離の対象が、貼付工程で被着体に貼付した接着シートなので、必要に応じて被着体に接着シートを貼付した後、不要になった当該接着シートを被着体から剥離することができる。
また、支持部材貼付工程を実施し、剥離工程で支持部材と共に被着体から接着シートを剥離すれば、接着シートの処理を多彩にアレンジすることができる。
さらに、加工工程を実施すれば、既貼付被着体に所定の加工を施した後、不要になった当該接着シートを被着体から剥離することができる。
また、エネルギー付与工程を実施すれば、所定のエネルギーによって接着力が低下する構成の接着シートを容易に被着体から剥離することができる。

（Ａ）～（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る接着シート処理装置の説明図。 （Ａ）～（Ｃ）は、本発明の変形例に係る接着シート処理装置の説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行なＹＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の接着シート処理装置１０は、被着体ＷＫを支持する貼付用支持手段２０と、貼付用支持手段２０で支持した被着体ＷＫに接着シートＡＳの一方の面ＡＳＵを当接させて貼付し、既貼付被着体ＷＫ１を形成する貼付手段３０と、当該接着シート処理装置１０に被着体ＷＫを搬入または、当該接着シート処理装置１０から既貼付被着体ＷＫ１を搬出する貼付用出し入れ部４０と、被着体ＷＫまたは既貼付被着体ＷＫ１を貼付用支持手段２０と貼付用出し入れ部４０との間で搬送する貼付用搬送手段５０と、既貼付被着体ＷＫ１を支持する剥離用支持手段６０と、剥離用支持手段６０で支持した既貼付被着体ＷＫ１から接着シートＡＳを剥離して既剥離被着体ＷＫ２を形成する剥離手段７０と、当該接着シート処理装置１０に既貼付被着体ＷＫ１を搬入または、当該接着シート処理装置１０から既剥離被着体ＷＫ２を搬出する剥離用出し入れ部８０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての紫外線を付与するエネルギー付与手段９０と、既貼付被着体ＷＫ１または既剥離被着体ＷＫ２を剥離用支持手段６０と剥離用出し入れ部８０との間で搬送する剥離用搬送手段１００とを備えている。
なお、接着シートＡＳは、所定のエネルギーとしての紫外線が付与されることで、被着体ＷＫに対する接着力が低下するものが採用され、具体的には、紫外線が付与されることで硬化して接着力が低下する接着剤層ＡＬと、当該接着剤層ＡＬ上に積層された基材シートＢＳとを備え、接着剤層ＡＬに帯状の剥離シートＲＬが仮着されて原反ＲＳを構成している。

貼付用支持手段２０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面２１Ａを有する貼付用支持テーブル２１を備えている。

貼付手段３０は、原反ＲＳを支持する支持軸３１と、複数のガイドローラ３２と、剥離シートＲＬを折り返し当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離部材としての剥離板３３と、被着体ＷＫに接着シートＡＳを押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ３４と、駆動機器としての回動モータ３５Ａで駆動され、ピンチローラ３６とで剥離シートＲＬを挟み込む駆動ローラ３５と、図示しない駆動機器で駆動され、ピンチローラ３６との間に存在する剥離シートＲＬに常に所定の張力を付与して当該剥離シートＲＬを回収する回収ローラ３７と、そのスライダ３８Ａで貼付用支持テーブル２１を支持し、被着体ＷＫと押圧ローラ３４等とを相対移動させる駆動機器としてのリニアモータ３８とを備えている。

貼付用出し入れ部４０は、右側面が開口し、上下方向に所定間隔をおいて複数の被着体ＷＫを収納可能な収納ケースＳＣが載置される貼付用載置台４１を備えている。なお、収納ケースＳＣは、既貼付被着体ＷＫ１および既剥離被着体ＷＫ２も収納可能になっている。

貼付用搬送手段５０は、複数のアームによって構成され、その作業範囲内において、作業部である先端のアーム５１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての所謂多関節ロボット５１と、先端のアーム５１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段で吸着保持が可能な保持手段としての搬送アーム５２とを備えている。

剥離用支持手段６０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な支持面６１Ａを有する剥離用支持テーブル６１を備えている。

剥離手段７０は、保持手段としての帯状の剥離用接着シートＡＳＲを支持する支持ローラ７１と、剥離用接着シートＡＳＲを案内するガイドローラ７２と、駆動機器としての直動モータ７３の出力軸７３Ａに回転可能に支持された剥離ローラ７４と、駆動機器としての回動モータ７５Ａで駆動され、ピンチローラ７６とで剥離用接着シートＡＳＲを挟み込む駆動ローラ７５と、図示しない駆動機器で駆動され、ピンチローラ７６との間に存在する剥離用接着シートＡＳＲに常に所定の張力を付与して当該剥離用接着シートＡＳＲを回収する回収ローラ７７と、そのスライダ７８Ａで剥離用支持テーブル６１を支持し、被着体ＷＫと剥離ローラ７４等とを相対移動させる駆動機器としてのリニアモータ７８とを備えている。

剥離用出し入れ部８０は、貼付用出し入れ部４０と同等の構成とされ、収納ケースＳＣが載置される剥離用載置台８１を備えている。

エネルギー付与手段９０は、光源ケース９１と、光源ケース９１に支持され、紫外線を発光する発光源９２とを備えている。

剥離用搬送手段１００は、貼付用搬送手段５０と兼用する構成となっている。

以上の接着シート処理装置１０の動作を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された接着シート処理装置１０に対し、当該接着シート処理装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が原反ＲＳおよび剥離用接着シートＡＳＲを図１（Ｂ）および図１（Ｃ）のようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。すると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出して先頭の接着シートＡＳが剥離板３３の剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

次いで、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、複数の被着体ＷＫが収納された収納ケースＳＣを貼付用載置台４１上に載置すると、接着シート処理装置１０は、以下の貼付サイクル動作を行う。
すなわち、貼付用搬送手段５０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、収納ケースＳＣ内に収納されている被着体ＷＫを搬送アーム５２で吸着保持して取り出した後、当該被着体ＷＫを貼付用支持テーブル２１の支持面２１Ａ上に載置する。その後、貼付用支持手段２０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面２１Ａでの被着体ＷＫの吸着保持を開始すると、貼付用搬送手段５０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させる。

次に、貼付手段３０がリニアモータ３８を駆動し、貼付用支持テーブル２１を右方へ移動させ、被着体ＷＫが所定の位置に到達すると、回動モータ３５Ａを駆動し、被着体ＷＫの移動速度に合わせて原反ＲＳを繰り出す。これにより、接着シートＡＳは、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、剥離板３３の剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬから剥離されつつ、押圧ローラ３４によって被着体ＷＫの上面に押圧されて貼付され、既貼付被着体ＷＫ１が形成される。そして、既貼付被着体ＷＫ１が形成され、次の接着シートＡＳが剥離板３３の剥離縁３３Ａで剥離シートＲＬから所定長さ剥離されると、貼付手段３０が回動モータ３５Ａの駆動を停止し、再びスタンバイ状態となる。

次いで、既貼付被着体ＷＫ１を支持した貼付用支持テーブル２１が所定の位置に到達すると、貼付手段３０がリニアモータ３８の駆動を停止した後、再度リニアモータ３８を駆動し、貼付用支持テーブル２１を初期位置に復帰させる。その後、貼付用搬送手段５０が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、既貼付被着体ＷＫ１を搬送アーム５２で吸着保持した後、貼付用支持手段２０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。次に、貼付用搬送手段５０が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２で吸着保持した既貼付被着体ＷＫ１を収納ケースＳＣ内に収納して図示しない減圧手段の駆動を停止し、以降、上記の貼付サイクル動作が繰り返される。そして、収納ケースＳＣ内の全ての被着体ＷＫが既貼付被着体ＷＫ１に置き変わると、使用者または図示しない搬送手段が、既貼付被着体ＷＫ１に所定の加工を施す図示しない加工手段に収納ケースＳＣを搬送し、当該加工手段で所定の加工が施された既貼付被着体ＷＫ１が、再度収納ケースＳＣ内に収納される。

次いで、使用者または図示しない搬送手段が、既貼付被着体ＷＫ１が複数収納された収納ケースＳＣを剥離用載置台８１上に載置すると、接着シート処理装置１０は、以下の剥離サイクル動作を行う。
すなわち、剥離用搬送手段１００が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、収納ケースＳＣ内に収納されている既貼付被着体ＷＫ１を搬送アーム５２で吸着保持して取り出した後、当該既貼付被着体ＷＫ１を剥離用支持テーブル６１の支持面６１Ａ上に載置する。その後、剥離用支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６１Ａでの既貼付被着体ＷＫ１の吸着保持を開始すると、剥離用搬送手段１００が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２を初期位置に復帰させる。

次に、剥離手段７０およびエネルギー付与手段９０がリニアモータ７８および発光源９２を駆動し、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、剥離用支持テーブル６１を右方へ移動させつつ、既貼付被着体ＷＫ１における接着シートＡＳに紫外線を照射し、被着体ＷＫに対する接着シートＡＳの接着力を低下させる。その後もリニアモータ７８の駆動が続行され、図１（Ｃ）に示すように、既貼付被着体ＷＫ１の接着シートＡＳの右端部が剥離ローラ７４の最下端部直下に到達すると、剥離手段７０がリニアモータ７８の駆動を停止した後、直動モータ７３を駆動し、剥離ローラ７４を下降させて剥離用接着シートＡＳＲを接着シートＡＳの右端部に貼付する。そして、剥離手段７０がリニアモータ７８および回動モータ７５Ａを駆動し、剥離用支持テーブル６１を右方へ移動させる移動速度に合わせて剥離用接着シートＡＳＲを回収ローラ７７で巻き取ることで、図１（Ｃ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳが既貼付被着体ＷＫ１から剥離されて既剥離被着体ＷＫ２が形成される。

次いで、接着シートＡＳ全体が剥離された既剥離被着体ＷＫ２を支持した剥離用支持テーブル６１が所定の位置に到達すると、剥離手段７０がリニアモータ７８の駆動を停止するとともに、直動モータ７３を駆動し、剥離ローラ７４を初期位置に復帰させて回動モータ７５Ａの駆動を停止した後、再度リニアモータ７８を駆動し、剥離用支持テーブル６１を初期位置に復帰させる。その後、剥離用搬送手段１００が多関節ロボット５１および図示しない減圧手段を駆動し、既剥離被着体ＷＫ２を搬送アーム５２で吸着保持した後、剥離用支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止する。次に、剥離用搬送手段１００が多関節ロボット５１を駆動し、搬送アーム５２で吸着保持した既剥離被着体ＷＫ２を収納ケースＳＣ内に収納して図示しない減圧手段の駆動を停止し、以降、上記の剥離サイクル動作が繰り返される。そして、収納ケースＳＣ内の全ての既貼付被着体ＷＫ１が既剥離被着体ＷＫ２に置き変わると、使用者または図示しない搬送手段が収納ケースＳＣを別の工程に搬送する。

以上のような実施形態によれば、剥離工程での剥離の対象が、貼付工程で貼付した接着シートＡＳなので、必要に応じて被着体ＷＫに接着シートＡＳを貼付した後、不要になった当該接着シートＡＳを被着体ＷＫから剥離することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、貼付用支持工程は、被着体を貼付用支持手段で支持する工程であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

本発明の接着シート処理装置は、両面に接着面を有する両面接着型の接着シートＡＳ１を採用し、図２各図に示すように、既貼付被着体ＷＫ１における接着シートＡＳ１の他方の面ＡＳＴに支持部材ＳＭを貼付して支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１を形成する支持部材貼付手段１１０を備え、剥離手段７０に代えて、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１から支持部材ＳＭと共に接着シートＡＳ１を剥離して既剥離被着体ＷＫ２を形成する剥離手段７Ａを採用し、エネルギー付与手段９０に代えて、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての赤外線を付与するエネルギー付与手段９Ａを採用した接着シート処理装置１０Ａとしてもよい。
なお、接着シートＡＳ１は、所定のエネルギーとしての赤外線が付与されることで、被着体ＷＫに対する接着力が低下するものが採用され、具体的には、第１接着剤層ＡＬ１と、当該第１接着剤層ＡＬ１上に積層され、赤外線が付与されることで膨張する膨張性微粒子を含む基材シートＢＳと、当該基材シートＢＳ上に積層され、易接着処理の施された例えば易接着ＰＥＴ等のバリア層ＢＬと、当該バリア層ＢＬ上に積層された第２接着剤層ＡＬ２とを備え、第１接着剤層ＡＬ１に剥離シートＲＬが仮着されて原反ＲＳを構成している。

支持部材貼付手段１１０は、複数の支持部材ＳＭを上下方向に段積みして収容する支持部材収容手段１１１と、前後方向に移動するスライダ１１２Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ１１２と、スライダ１１２Ａに支持された駆動機器としての直動モータ１１３と、その出力軸１１３Ａに支持され、吸着保持が可能な保持手段としての保持板１１４と、保持板１１４に吸着力を付与する減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段とを備えている。

剥離手段７Ａの構成は、剥離用支持テーブル６１をスライダ７８Ａで支持するリニアモータ７８を備えている以外は、支持部材貼付手段１１０の構成と同等であり、支持部材貼付手段１１０の構成部材の付番先頭２桁の１１を７Ａとすることでその説明ができるので、詳細な説明は省略する。

エネルギー付与手段９Ａは、光源ケース９Ａ１と、光源ケース９Ａ１に支持され、赤外線を発光する発光源９Ａ２とを備えている。

このような接着シート処理装置１０Ａの動作は、以下の第２貼付サイクル動作を行う。
すなわち、図２（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置された接着シート処理装置１０Ａによって、接着シート処理装置１０と同様の貼付サイクル動作が行われ、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、貼付手段３０で接着シートＡＳ１が被着体ＷＫに貼付されて既貼付被着体ＷＫ１が形成される。次いで、貼付用支持テーブル２１で支持した既貼付被着体ＷＫ１が保持板１１４の作用位置に到達すると、貼付手段３０がリニアモータ３８の駆動を停止した後、支持部材貼付手段１１０がリニアモータ１１２、直動モータ１１３および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、保持板１１４で支持部材ＳＭを吸着保持して支持部材収容手段１１１から取り出す。その後、支持部材貼付手段１１０がリニアモータ１１２および直動モータ１１３を駆動し、図２（Ｂ）中二点鎖線で示すように、接着シートＡＳ１の他方の面ＡＳＴを構成する第２接着剤層ＡＬ２に保持板１１４で吸着保持した支持部材ＳＭを押圧して貼付し、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１を形成した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持板１１４を初期位置に復帰させる。

次に、貼付手段３０がリニアモータ３８を駆動し、貼付用支持テーブル２１を初期位置に復帰させた後、接着シート処理装置１０と同様の貼付サイクル動作が行われ、以降、上記の第２貼付サイクル動作が繰り返される。そして、収納ケースＳＣ内の全ての被着体ＷＫが支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１に置き変わると、使用者または図示しない搬送手段が、既貼付被着体ＷＫ１に所定の加工を施す図示しない加工手段に収納ケースＳＣを搬送し、当該加工手段で所定の加工が施された支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１が、再度収納ケースＳＣ内に収納される。

次いで、使用者または図示しない搬送手段が、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１が複数収納された収納ケースＳＣを剥離用載置台８１上に載置すると、接着シート処理装置１０Ａは、以下の第２剥離サイクル動作を行う。
すなわち、接着シート処理装置１０と同様の剥離サイクル動作が行われ、剥離用支持テーブル６１で支持した支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１がエネルギー付与手段９Ａの直下に到達すると、剥離手段７Ａがリニアモータ７８の駆動を停止した後、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、エネルギー付与手段９Ａが発光源９Ａ２を駆動し、接着シートＡＳ１に赤外線を照射する。

接着シートＡＳ１に赤外線を照射すると、基材ＢＳに含まれていた膨張性微粒子が膨張し、基材ＢＳに無数の凸部ＣＶが形成され始め、図２（Ｃ）中ＣＣを付した図に示すように、当該凸部ＣＶが第１接着剤層ＡＬ１をも変形させる。これにより、接着シートＡＳの外縁と被着体ＷＫとの界面から空気が侵入し、第１接着剤層ＡＬ１と被着体ＷＫとの間に空間ＣＲが形成され、被着体ＷＫに対する第１接着剤層ＡＬ１の接着領域が低減し始める。このとき、基材ＢＳとバリア層ＢＬとは、当該バリア層ＢＬの良好な密着性により、それらの界面に空間ＣＲが形成されることはない。その後、空間ＣＲが接着シートＡＳ１の中央部にまで達すると、被着体ＷＫに対する第１接着剤層ＡＬ１の接着領域が著しく減少し、当該接着シートＡＳ１は、被着体ＷＫから簡単に除去できるようになる。

空間ＣＲが接着シートＡＳの中央部にまで達すると、エネルギー付与手段９Ａが発光源９Ａ２の駆動を停止した後、剥離手段７Ａがリニアモータ７８を駆動し、剥離用支持テーブル６１を右方へ移動させる。次に、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１が保持板７Ａ４の作用位置に到達すると、剥離手段７Ａがリニアモータ７８の駆動を停止した後、リニアモータ７Ａ２、直動モータ７Ａ３および図示しない減圧手段を駆動し、図２（Ｃ）中二点鎖線で示すように、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１の支持部材ＳＭを保持板７Ａ４で吸着保持する。その後、剥離手段７Ａがリニアモータ７Ａ２および直動モータ７Ａ３を駆動し、保持板７Ａ４を上昇させ、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１から当該支持部材ＳＭと共に接着シートＡＳ１を剥離し、図２（Ｃ）に示すように、既剥離被着体ＷＫ２が形成される。

そして、剥離手段７Ａがリニアモータ７Ａ２および直動モータ７Ａ３を駆動し、接着シートＡＳ１付き支持部材ＳＭを支持部材収容手段７Ａ１内に収納して図示しない減圧手段の駆動を停止した後、保持板７Ａ４を初期位置に復帰させる。次いで、剥離手段７Ａがリニアモータ７８を駆動し、剥離用支持テーブル６１を初期位置に復帰させた後、接着シート処理装置１０と同様の剥離サイクル動作が行われ、以降、上記の第２剥離サイクル動作が繰り返される。その後、収納ケースＳＣ内の全ての支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１が既剥離被着体ＷＫ２に置き変わると、使用者または図示しない搬送手段が収納ケースＳＣを別の工程に搬送する。

このような接着シート処理装置１０Ａでも、接着シート処理装置１０と同様の効果を奏することができる。

貼付用支持手段２０は、被着体ＷＫや既貼付被着体ＷＫ１を強制的に保持する減圧手段等の保持手段がなくてもよい。

貼付手段３０は、貼付用支持手段２０を移動させることなくまたは、移動させつつ、押圧ローラ３４等を移動させて被着体ＷＫに接着シートＡＳ、ＡＳ１を貼付してもよいし、巻回された原反ＲＳではなく、ファンフォールド折りにされた原反ＲＳを下方から支え持って繰り出し可能に支持し、剥離シートＲＬをファンフォールド折りにして回収してもよいし、巻き取ったり折り畳んだりすることなく回収してもよいし、剥離シートＲＬに仮着された帯状の接着シートに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込が形成されることで、その切込で仕切られた領域が接着シートＡＳ、ＡＳ１とされた原反ＲＳを支持する構成でもよいし、帯状の接着シートが剥離シートＲＬに仮着された原反ＲＳが採用された場合、帯状の接着シートに閉ループ状または短寸幅方向全体の切込を形成し、その切込で仕切られた領域を接着シートＡＳ、ＡＳ１とする切断手段が備わっていてもよい。
貼付手段３０は、押圧ローラ３４を被着体ＷＫに離間接近させる押圧部材接離手段としての駆動機器を備え、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにしてもよく、このような押圧部材接離手段としては、駆動機器以外に手動で押圧ローラ３４を移動させるものでもよい。

貼付用出し入れ部４０は、被着体ＷＫや既貼付被着体ＷＫ１を１つだけ載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣなしに被着体ＷＫや既貼付被着体ＷＫ１を１つまたは複数載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣを複数載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣ、被着体ＷＫまたは既貼付被着体ＷＫ１を位置決めして支持する構成でもよい。

貼付用搬送手段５０は、Ｉ型の搬送アーム５２を採用してもよいし、被着体ＷＫを全面吸着する搬送アーム５２を採用してもよい。

剥離用支持手段６０は、既貼付被着体ＷＫ１や既剥離被着体ＷＫ２を強制的に保持する減圧手段等の保持手段がなくてもよい。

剥離手段７０は、剥離用支持手段６０を移動させることなくまたは、移動させつつ、剥離ローラ７４等を移動させて既貼付被着体ＷＫ１から接着シートＡＳを剥離してもよいし、保持手段として枚葉の剥離用接着シートＡＳＲを採用し、当該枚葉の剥離用接着シートＡＳＲを接着シートＡＳに貼付して接着シートＡＳを剥離する構成としてもよい。
剥離手段７Ａは、剥離用支持手段６０や保持板７Ａ４等を移動させながら、支持部材ＳＭと共に接着シートＡＳ１を剥離してもよいし、支持部材ＳＭを１枚のみ収容する支持部材収容手段７Ａ１を採用してもよいし、支持部材ＳＭを縦にして１枚のみまたは、左右方向に複数収容する支持部材収容手段７Ａ１を採用してもよいし、支持部材貼付手段１１０に対して構成や形状が異なるもので構成してもよい。

剥離用出し入れ部８０は、既貼付被着体ＷＫ１や既剥離被着体ＷＫ２を１つだけ載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣなしに既貼付被着体ＷＫ１や既剥離被着体ＷＫ２を１つまたは複数載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣを複数載置する構成でもよいし、収納ケースＳＣ、既貼付被着体ＷＫ１または既剥離被着体ＷＫ２を位置決めして支持する構成でもよい。

エネルギー付与手段９０は、既貼付被着体ＷＫ１を移動させずにまたは移動させつつ、発光源９２を移動させて接着シートＡＳに紫外線を付与してもよいし、既貼付被着体ＷＫ１および発光源９２を移動させずに接着シートＡＳに紫外線を付与してもよいし、接着シートＡＳに一括または部分的に紫外線を付与する構成としてもよい。
エネルギー付与手段９Ａは、支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１を移動させずにまたは移動させつつ、発光源９Ａ２を移動させて接着シートＡＳ１に赤外線を付与してもよいし、発光源９Ａ２を移動させずに支持部材ＳＭ付き既貼付被着体ＷＫ１を移動させ、接着シートＡＳ１に赤外線を付与してもよいし、接着シートＡＳ１に一括または部分的に赤外線を付与する構成としてもよい。
エネルギー付与手段９０、９Ａの発光源９２、９Ａ２は、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよい。
エネルギー付与手段９０、９Ａは、接着シートＡＳ、ＡＳ１に紫外線や赤外線を照射する時間は、接着シートＡＳ、ＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、所定のエネルギーとして、紫外線や赤外線以外に、可視光線、音波、Ｘ線またはガンマ線等の電磁波や、熱湯や熱風等の熱を付与するものでもよく、接着シートＡＳ、ＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等を考慮して任意に決定することができるし、本願の接着シート処理装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。

剥離用搬送手段１００は、貼付用搬送手段５０と兼用でなく、貼付用搬送手段５０に対して独立した構成でもよいし、貼付用搬送手段５０に対する構成や形状が同じもので構成されてもよいし、異なるもので構成されてもよい。

支持部材貼付手段１１０は、支持部材ＳＭを１枚のみ収容する支持部材収容手段１１１を採用してもよいし、支持部材ＳＭを縦にして１枚のみまたは左右方向に複数収容する支持部材収容手段１１１を採用してもよいし、本発明の接着シート処理装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。

接着シート処理装置１０、１０Ａは、剥離サイクル動作中や第２剥離サイクル動作中であっても、収納ケースＳＣが貼付用載置台４１上に載置されれば、貼付サイクル動作や第２貼付サイクル動作を平行して実施してもよいし、貼付サイクル動作中や第２貼付サイクル動作中であっても、収納ケースＳＣが剥離用載置台８１上に載置されれば、剥離サイクル動作や第２剥離サイクル動作を平行して実施してもよいし、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、被着体ＷＫに接着シートＡＳ、ＡＳ１を貼付したり、被着体ＷＫから接着シートＡＳ、ＡＳ１を剥離したりしてもよい。
接着シート処理装置１０、１０Ａは、加工が施されていない既貼付被着体ＷＫ１つまり、加工工程を経ていない既貼付被着体ＷＫ１から接着シートＡＳを剥離して既剥離被着体ＷＫ２を形成してもよい。

接着シートＡＳは、接着剤層ＡＬおよび基材シートＢＳの少なくとも一方が、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子を含むものでもよい。
接着シートＡＳ１は、第１接着剤層ＡＬ１および基材シートＢＳの少なくとも一方が、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子を含むものでもよいし、バリア層ＢＬがなくてもよい。
接着シートＡＳ１の第１接着剤層ＡＬ１は、所定のエネルギーが付与されることによって硬化して接着力が低下するものでもよい。
所定のエネルギーが付与されることで硬化して接着力が低下する接着シートＡＳ、ＡＳ１としては、例えば特開平１０－２３３３７３や特開２０００－１０４０２６等が例示でき、また、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子を含む基材シートＢＳを有する接着シートＡＳ、ＡＳ１としては、例えば、特願２０１７－７３２３６等が例示でき、所定のエネルギーが付与されることで膨張する膨張性微粒子を含む接着剤層ＡＬ（ＡＬ１、ＡＬ２）を有する接着シートＡＳ、ＡＳ１としては、例えば特開平１１－３０２６１０や特開２００４－２６６１７９等が例示できるが、接着シートＡＳ、ＡＳ１としては、所定のエネルギーが付与されることで化学変化、組成変化、密度変化、接触面積変化、粘度変化、硬度変化等を起こしてその接着力が低下するものであれば何でもよく、そのような接着シートＡＳ、ＡＳ１の特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じてエネルギー付与手段９０、９Ａが選択されればよい。
接着シートＡＳ、ＡＳ１は、所定のエネルギーが付与されることで接着力が低下するタイプのものでなくてもよいし、基材シートＢＳ側、第２接着剤層ＡＬ２側にカバーシートが仮着されていてもよく、この場合、貼付手段３０は、基材シートＢＳ、第２接着剤層ＡＬ２からカバーシートＣＳを剥離手段を備えてもよい。

支持部材ＳＭは、ゴムや樹脂等の弾性部材でもよいし、金属、セラミック等の非弾性部材でもよいし、木材、紙、布等でもよいし、その形状は板状でなく、例えば、球状や角柱状等なんら限定されるものではない。
収納ケースＳＣは、被着体ＷＫ、既貼付被着体ＷＫ１、既剥離被着体ＷＫ２を１つだけ収納する構成でもよいし、それらを専用で収納するものでもよいし、それらのうち少なくとも２種を収納するものでもよいし、開口部に蓋が備わっていてもよく、このように蓋が備わっている場合、貼付用出し入れ部４０や剥離用出し入れ部８０に蓋を開く構成が備わっているとよい。
被着体ＷＫを収納する収納ケースＳＣと、既貼付被着体ＷＫ１を収納する収納ケースＳＣと、既剥離被着体ＷＫ２を収納する収納ケースＳＣは、それらのうち少なくとも２つが、同じものでもよいし、同種のものでもよいし、それら全てが異種のものでもよい。
既貼付被着体ＷＫ１に所定の加工を施す加工手段は、接着シートＡＳ、ＡＳ１に所定の加工を施してもよいし、被着体ＷＫに所定の加工を施してもよいし、本発明の接着シート処理装置１０、１０Ａに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、備わっていない場合、本発明の接着シート処理装置１０、１０Ａ以外の装置で所定の加工を施せばよく、既貼付被着体ＷＫ１に施す所定の加工としては、例えば、当該既貼付被着体ＷＫ１を切断したり研削したりする加工でもよいし、当該既貼付被着体ＷＫ１に熱を加えたり他の部材を積層したりする加工でもよく、どのような加工でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、ＡＳ１、剥離用接着シートＡＳＲおよび被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳ、ＡＳ１および剥離用接着シートＡＳＲは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳおよび剥離用接着シートＡＳＲが採用された場合、それらを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳおよび剥離用接着シートＡＳＲは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートＢＳやバリア層ＢＬと接着剤層との間に中間層を有するもの等、３層以上の層構成のものであってもよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳ、ＡＳ１は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材を支持または保持するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよい。

１０、１０Ａ…接着シート処理装置
２０…貼付用支持手段
３０…貼付手段
４０…貼付用出し入れ部
５０…貼付用搬送手段
６０…剥離用支持手段
７０、７Ａ…剥離手段
８０…剥離用出し入れ部
９０、９Ａ…エネルギー付与手段
１００…剥離用搬送手段
１１０…支持部材貼付手段
ＡＳ、ＡＳ１…接着シート
ＡＳＵ…一方の面
ＡＳＴ…他方の面
ＳＭ…支持部材
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…既貼付被着体
ＷＫ２…既剥離被着体

Claims (2)

1. 被着体に接着シートを貼付し、当該接着シートを剥離する接着シート処理方法において、
   前記被着体を貼付用支持手段で支持する貼付用支持工程と、
   前記貼付用支持工程で支持した前記被着体に前記接着シートの一方の面を当接させて貼付し、既貼付被着体を形成する貼付工程を、貼付手段を用いて実施する工程と、
   貼付用出し入れ部に前記被着体を搬入または、前記貼付用出し入れ部から前記既貼付被着体を搬出する貼付用出し入れ工程と、
   前記被着体または前記既貼付被着体を前記貼付用支持手段と前記貼付用出し入れ部との間で搬送する貼付用搬送工程を、貼付用搬送手段を用いて実施する工程と、
   前記既貼付被着体を剥離用支持手段で支持する剥離用支持工程と、
   前記剥離用支持工程で支持した前記既貼付被着体から前記接着シートを剥離して既剥離被着体を形成する剥離工程を、剥離手段を用いて実施する工程と、
   剥離用出し入れ部に前記既貼付被着体を搬入または、前記剥離用出し入れ部から前記既剥離被着体を搬出する剥離用出し入れ工程と、
   前記既貼付被着体または前記既剥離被着体を前記剥離用支持手段と前記剥離用出し入れ部との間で搬送する剥離用搬送工程を、剥離用搬送手段を用いて実施する工程とを実施し、
   前記貼付用搬送手段は、前記被着体と前記既貼付被着体と前記既剥離被着体とを選択的に保持可能な単一の保持手段を備えることで前記剥離用搬送手段と兼用され、前記貼付手段による前記貼付工程と、前記剥離手段による前記剥離工程との並行実施が可能に設けられていることを特徴とする接着シート処理方法。
2. 被着体に接着シートを貼付し、当該接着シートを剥離する接着シート処理装置において、
   前記被着体を支持する貼付用支持手段と、
   前記貼付用支持手段で支持した前記被着体に前記接着シートの一方の面を当接させて貼付し、既貼付被着体を形成する貼付手段と、
   当該接着シート処理装置に前記被着体を搬入または、当該接着シート処理装置から前記既貼付被着体を搬出する貼付用出し入れ部と、
   前記被着体または前記既貼付被着体を前記貼付用支持手段と前記貼付用出し入れ部との間で搬送する貼付用搬送手段と、
   前記既貼付被着体を支持する剥離用支持手段と、
   前記剥離用支持手段で支持した前記既貼付被着体から前記接着シートを剥離して既剥離被着体を形成する剥離手段と、
   当該接着シート処理装置に前記既貼付被着体を搬入または、当該接着シート処理装置から前記既剥離被着体を搬出する剥離用出し入れ部と、
   前記既貼付被着体または前記既剥離被着体を前記剥離用支持手段と前記剥離用出し入れ部との間で搬送する剥離用搬送手段とを備え、
   前記貼付用搬送手段は、前記被着体と前記既貼付被着体と前記既剥離被着体とを選択的に保持可能な単一の保持手段を備えることで前記剥離用搬送手段と兼用され、前記貼付手段による前記接着シートの貼付動作と、前記剥離手段による前記接着シートの剥離動作との並行実施が可能に設けられていることを特徴とする接着シート処理装置。

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