JP2015191945A

JP2015191945A - 積層装置および積層方法

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Publication number: JP2015191945A
Application number: JP2014066519A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下; Yoshiaki Sugishita
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2014-03-27
Filing date: 2014-03-27
Publication date: 2015-11-02
Anticipated expiration: 2034-03-27
Also published as: JP6336312B2

Abstract

【課題】接着剤層を被着面や基材に対して適切な大きさに広げて貼付することができる積層装置および積層方法を提供すること。
【解決手段】積層装置１０は、被着体ＷＦと接着シートＡＳとを積層する装置であって、接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層の温度を検知する温度検知手段２０と、接着シートＡＳを被着体ＷＦに押圧して貼付する押圧手段３０と、接着剤ＡＤ層の流動性を向上させる流動性向上手段４０とを備え、流動性向上手段４０は、温度検知手段２０の検知結果に基づいて、接着シートＡＳの流動性を向上可能に設けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、積層装置および積層方法に関する。

従来、被着体と接着シートとを積層する積層装置が知られている。また、積層装置で積層される接着シートとして、押圧時に接着剤層が伸びるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１７８８７４号公報

しかしながら、従来の積層装置は、温度による接着シートの伸びの変化を考慮していないため、押圧時に接着剤層が被着面からはみ出したり、接着剤層が被着面の外縁まで広がらなかったりするという不都合がある。また、特許文献１に記載されたような基材を有する接着シートの場合、押圧時に接着剤層が基材からはみ出したり、接着剤層が基材の外縁まで広がらなかったりするという不都合がある。

本発明の目的は、接着剤層を被着面や基材に対して適切な大きさに広げて貼付することができる積層装置および積層方法を提供することにある。

本発明の積層装置は、被着体と接着シートとを積層する積層装置であって、前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記流動性向上手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記接着シートの流動性を向上可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の積層装置は、被着体と接着シートとを積層する積層装置であって、前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、押圧力を調整可能な押圧力調整手段を有し、当該押圧力調整手段で調整された押圧力で前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記押圧力調整手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記押圧力を調整可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の積層装置は、第１被着体および第２被着体の少なくとも一方に積層された接着シートを介して前記第１被着体と前記第２被着体とを積層する積層装置であって、前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記流動性向上手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記接着シートの流動性を向上可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の積層装置は、第１被着体および第２被着体の少なくとも一方に積層された接着シートを介して前記第１被着体と前記第２被着体とを積層する積層装置であって、前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、押圧力を調整可能な押圧力調整手段を有し、前記接着シートを間に挟んで当該押圧力調整手段で調整された押圧力で前記第１被着体および前記第２被着体の一方に他方を押圧して貼付する押圧手段とを備え、前記押圧力調整手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記押圧力を調整可能に設けられていることを特徴とする。

本発明の積層装置は、前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段を備えていることが好ましい。

本発明のシート積層方法は、被着体と接着シートとを積層する積層方法であって、前記接着シートの接着剤層の温度を検知する工程と、検知された温度に基づいて、前記接着剤層の流動性を向上させる工程と、前記接着剤層の流動性が向上した接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とする。

以上のような本発明によれば、接着剤層の温度に基づいて接着剤層の流動性を向上させ、または、接着剤層の温度に基づいて押圧力を調整するため、接着シートの伸び量を調整し、接着剤層を被着面や基材に対して適切な大きさに広げて貼付することができる。

また、流動性向上手段を設ければ、接着シートの伸び量を調整することができるとともに、接着シートを被着体に密着させて貼付することができる。

本発明の第１実施形態に係る積層装置の側面図。接着シートの温度、押圧力、および伸び量の関係を示すグラフ。本発明の第２実施形態に係る積層装置の側面図。本発明の第３実施形態に係る積層装置の側面図。

以下、本発明の各実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成については、詳細な説明を省略する。
また、各実施形態および変形例において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

［第１実施形態］
図１において、積層装置１０は、被着体としてのウエハＷＦと接着シートＡＳとを積層する装置であって、接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層の温度を検知する温度検知手段２０と、押圧力を調整可能な押圧力調整手段としての制御回路３１Ｂを有し、当該制御回路３１Ｂで調整された押圧力で接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する押圧手段３０と、接着剤ＡＤ層の流動性を向上させる流動性向上手段４０とを備え、接着シートＡＳを供給する供給手段５０と、ウエハＷＦを支持する支持手段６０との近傍に配置されている。なお、接着シートＡＳは、基材ＢＳと、基材ＢＳの一方の面に設けられ、基材ＢＳよりも小さい外形形状を有する接着剤ＡＤ層とを備え、基材ＢＳの一方の面の外縁部全周に接着剤ＡＤ層が設けられていない接着剤未積層領域ＮＡを有している。また、接着剤ＡＤ層は、加熱により流動性を発揮したり流動性が向上したりするものが採用されている。

押圧手段３０は、制御回路３１Ｂで制御される駆動機器としての直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、押圧面３２Ａを有する押圧板３２と、クーロン力によって押圧面３２Ａに接着シートＡＳを引き付けて保持可能な静電チャック３３とを備えている。なお、制御回路３１Ｂは、直動モータ３１のトルク検知機能、直動モータ３１の外部で押圧力を検知する圧力センサやロードセル、積層装置１０全体の動作を制御する図示しない制御手段等が例示できる。

流動性向上手段４０は、押圧板３２内に設けられ、コイルヒータや赤外線ヒータ等のヒータ、ヒートパイプの加熱側、温水循環装置等で構成される。

供給手段５０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ５１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ５２と、剥離シートＲＬを折り返して当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離板５３と、駆動機器としての回動モータ５４Ａによって駆動する駆動ローラ５４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ５５と、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ５６とを備えている。

支持手段６０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６１Ａを有するテーブル６１を備えている。

以上の積層装置１０において、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付して積層する手順について説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段５０が回動モータ５４Ａを駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、剥離板５３上に位置する接着シートＡＳが所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、供給手段５０が回動モータ５４Ａの駆動を停止し、当該供給手段５０がスタンバイ状態となる。次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段により、テーブル６１上にウエハＷＦを載置すると、支持手段６０が図示しない減圧手段を駆動し、支持面６１ＡでウエハＷＦを吸着保持する。

次に、供給手段５０および押圧手段３０が回動モータ５４Ａおよび静電チャック３３を駆動し、原反ＲＳを繰り出して、剥離板５３で剥離シートＲＬから剥離された接着シートＡＳを押圧面３２Ａで保持する。そして、次の接着シートＡＳが剥離板５３上の所定位置で図示しない検知手段に検知されると、供給手段５０が回動モータ５４Ａの駆動を停止し、当該供給手段５０が再びスタンバイ状態となる。次いで、温度検知手段２０が押圧面３２Ａで保持した接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層の温度を検知する。そして、押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、押圧板３２を図１に示す初期位置からウエハＷＦに向かって下降させ、接着シートＡＳをウエハＷＦの被着面ＷＡに押圧して貼付する。

次に、押圧手段３０が静電チャック３３の駆動を停止した後、直動モータ３１を駆動し、押圧板３２を初期位置に復帰させる。そして、支持手段６０が図示しない減圧手段の駆動を停止した後、人手または図示しない搬送手段がウエハＷＦを次工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。

ここで、図２の各グラフを用いて、押圧手段３０が接着シートＡＳをウエハＷＦに貼付する具体的な例を説明する。なお、図２（Ａ）は、直動モータ３１が一定の押圧力（第１押圧力Ｐ１）を各接着シートＡＳ（第１〜第４接着シートＡＳ１〜ＡＳ４）に付与したときの、各接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層（第１〜第４接着剤ＡＤ１〜ＡＤ４層）の温度と、その伸び量との関係を表している。また、図２（Ｂ）は、第１〜第４接着剤ＡＤ１〜ＡＤ４層が一定の温度（第１温度Ｔ１）にあるときの、第１〜第４接着シートＡＳ１〜ＡＳ４に対する直動モータ３１の押圧力と、第１〜第４接着剤ＡＤ１〜ＡＤ４層の伸び量との関係を表している。

例えば、所定の組成で構成された第１接着シートＡＳ１に対して、温度検知手段２０による検知結果が第１温度Ｔ１であった場合、図２（Ａ）に示すように、第１接着剤ＡＤ１層の伸び量がΔ１となることが解っている。また、第１接着剤ＡＤ１層を基材ＢＳの接着剤未積層領域ＮＡの大きさに合わせて広げるには、第１接着剤ＡＤ１層の伸び量をΔ２としなければならないことも解っている。よって、第１接着シートＡＳ１の場合、第１接着剤ＡＤ１層の伸び量をΔ２とするには、図２（Ａ）に示すように、直動モータ３１による押圧力を第１押圧力Ｐ１に維持したまま、流動性向上手段４０がヒータ等を駆動し、第１接着剤ＡＤ１層の温度を第２温度Ｔ２にする第１動作を行うか、図２（Ｂ）に示すように、第１接着剤ＡＤ１の温度を第１温度Ｔ１に維持したまま、押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、第１接着シートＡＳ１に付与する押圧力を第２押圧力Ｐ２にする第２動作を行う。これにより、接着剤ＡＤ層が放射状に伸び、図１中二点鎖線で示すように、接着剤ＡＤ層を基材ＢＳの外縁にまで広げることができる。なお、第１動作を行う場合、押圧手段３０は、直動モータ３１の押圧力を調整する制御回路３１Ｂはなくてもよく、第２動作を行う場合、流動性向上手段４０はなくてもよい。また、第２〜第４接着シートＡＳ２〜ＡＳ４においても上記と同様に、図２（Ａ）、（Ｂ）のグラフ（データ）を基にして、上記同様の第１動作または、第２動作を行うことができる。

以上のような実施形態によれば、接着剤ＡＤ層の温度に基づいて流動性向上手段４０が接着シートＡＳを加熱、または、接着剤ＡＤ層の温度に基づいて直動モータ３１が押圧力を調整するため、接着シートＡＳの伸び量を調整し、接着剤ＡＤ層を基材ＢＳに対して適切な大きさに広げて貼付することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態を図３に基づいて説明する。
本実施形態の積層装置１０Ａは、第１実施形態の押圧手段３０の代わりに押圧手段３０Ａを設けた点と、支持手段６０の代わりに支持手段６０Ａを設けた点と、流動性向上手段４０が剥離板５３内に設けられた点とが、第１実施形態と相違する。
なお、接着シートＡＳは、その供給方向（原反ＲＳの繰出方向）上流側および、前後の外縁部分に接着剤未積層領域ＮＡが設けられている。

押圧手段３０Ａは、押圧力調整手段としての制御回路３４Ｂで制御される駆動機器としての直動モータ３４の出力軸３４Ａにブラケット３５を介して支持された押圧ローラ３６を備えている。

支持手段６０Ａは、駆動機器としてのリニアモータ６２のスライダ６２Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によってウエハＷＦを吸着保持可能な支持面６３Ａを有するテーブル６３とを備えている。

以上の積層装置１０Ａにおいて、ウエハＷＦに接着シートＡＳを貼付して積層する際は、支持手段６０Ａがリニアモータ６２を駆動し、ウエハＷＦを支持したテーブル６３を左方向に移動させ、ウエハＷＦが剥離板５３の下方の所定位置に到達したことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、供給手段５０が回動モータ５４Ａを駆動し、接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離して供給する。そして、押圧ローラ３６が接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧して貼付する。このときも第１実施形態と同様にして、直動モータ３４や流動性向上手段４０を駆動し、第１動作または、第２動作を行う。これにより、接着剤ＡＤ層が前後方向および右方向に伸び、図３中左側の二点鎖線で示すように、接着剤ＡＤ層を基材ＢＳの外縁まで広げることができる。

以上のような実施形態によっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
また、接着シートＡＳを一方側から他方側に向かって貼付するため、空気を追い出すようにして接着シートＡＳを貼付することができ、当該接着シートＡＳと被着面ＷＡとの間に気泡が形成されることを防止することができる。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態を図４に基づいて説明する。
積層装置１０Ｂは、被着体としての第１被着体ＷＫ１および被着体としての第２被着体ＷＫ２の少なくとも一方に積層された接着シートＡＳとしての接着シートＡＳ５を介して第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを積層する装置であって、温度検知手段２０と、押圧力を調整可能な押圧力調整手段としての制御回路３１Ｂを有し、接着シートＡＳ５を間に挟んで当該制御回路３１Ｂで調整された押圧力で第１被着体ＷＫ１および第２被着体ＷＫ２の一方に他方を押圧して貼付する押圧手段３０と、接着剤ＡＤ層の流動性を向上させる流動性向上手段４０とを備え、支持手段６０の上方に配置されている。なお、接着シートＡＳ５は、接着剤ＡＤ層により構成され、第２被着体ＷＫ２に点接触可能な１の頂点ＴＰを備え、当該頂点ＴＰから離間したいずれの位置においても当該頂点ＴＰ側が外縁側に比べて肉厚に設けられている。また、第１被着体ＷＫ１は、被着面ＷＡ１の外縁部全周に接着剤ＡＤ層が設けられていない接着剤未積層領域ＮＡを有している。

以上の積層装置１０Ｂにおいて、第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを積層する際は、図４（Ａ）に示すように、第１実施形態と同様にして接着シートＡＳ５が積層された第１被着体ＷＫ１を支持手段６０が支持し、押圧手段３０が静電チャック３３を駆動し、第２被着体ＷＫ２を押圧面３２Ａで保持して、図４（Ｂ）に示すように、第１実施形態と同様にして当該第２被着体ＷＫ２を接着シートＡＳ５に押圧して貼付する。このときも第１実施形態と同様にして、直動モータ３１や流動性向上手段４０を駆動し、第１動作または、第２動作を行う。

以上のような実施形態によれば、接着剤ＡＤ層の温度に基づいて流動性向上手段４０が接着シートＡＳ５を加熱、または、接着剤ＡＤ層の温度に基づいて直動モータ３１が押圧力を調整するため、接着シートＡＳ５の伸び量を調整し、接着剤ＡＤ層を被着面ＷＡ１、ＷＡ２の外縁にまで広げることができ、当該接着剤ＡＤ層を適切な大きさに広げて貼付することができる。
また、第２被着体ＷＫ２が接着シートＡＳ５の頂点ＴＰから外縁方側に向かって貼付されるため、空気を追い出すようにして接着シートＡＳ５に貼付することができ、当該接着シートＡＳ５と被着面ＷＡ２との間に気泡が形成されることを防止することができる。
なお、本実施形態の場合、第２被着体ＷＫ２に頂点ＴＰが下方となるように接着シートＡＳ５を貼付しておき、接着シートＡＳ５が積層されていない第１被着体ＷＫ１を支持手段６０で支持して、第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２とを積層してもよいし、第１被着体ＷＫ１と第２被着体ＷＫ２との両方に、頂点ＴＰが向き合うように接着シートＡＳ５を積層し、それらを積層してもよい。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、流動性向上手段４０が第１接着剤ＡＤ１層を第２温度Ｔ２以下の第３温度に加熱してから、当該第３温度を維持したまま、押圧手段３０が直動モータ３１を駆動し、第１接着シートＡＳ１に付与する押圧力を第２押圧力Ｐ２にする動作を行ってもよい。この場合、第１接着剤ＡＤ１層が第３温度のとき、直動モータ３１が第１押圧力Ｐ１を第１接着シートＡＳ１に付与した際の第１接着剤ＡＤ１層の伸び量が解っており、第１接着剤ＡＤ１層が第３温度のとき、第１接着シートＡＳ１に対する直動モータ３１の押圧力と、第１接着剤ＡＤ１層の伸び量との関係が解っていればよい。

さらに、押圧手段３０、３０Ａは、熱風を噴き付けることにより、接着シートＡＳをウエハＷＦに押圧する構成を採用してもよい。この場合、押圧手段３０、３０Ａは、噴き付ける熱風の量や速度を変化させることで、押圧力を調整すればよい。
また、押圧手段３０、３０Ａは、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用してもよい。
さらに、押圧手段３０は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって、押圧面３２Ａに接着シートＡＳや第２被着体ＷＫ２を引き付けて保持するように構成してもよいし、メカチャックで接着シートＡＳや第２被着体ＷＫ２を保持するように構成してもよい。

また、流動性向上手段４０は、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、光照射手段、マイクロ波照射手段、紫外線照射手段、赤外線照射手段、マイクロ波照射手段、Ｘ線照射手段、超音波振動装置や偏心モータ等の振動付与装置等、接着剤ＡＤ層の特性によって、その流動性を向上させることができるものを適宜選択することができる。

さらに、供給手段５０は、図１中二点鎖線で示すように、第３実施形態で示した接着シートＡＳ５を供給してもよい。
また、供給手段５０を設けずに、人手で接着シートＡＳを供給するようにしてもよい。

さらに、接着剤ＡＤ層は、被着体に線接触可能な１の頂線を備え、頂線から離間したいずれの位置においても当該頂線側が外縁側に比べて肉厚に設けられてもよい。この場合、頂線は、正面視（図４の左右方向から視て）上方に湾曲または折れ線状に折れ曲がっていてもよいし、平面視（図４の上方から視て）湾曲または折れ線状に折れ曲がっていてもよい。
また、接着剤ＡＤ層は、頂点ＴＰが基材ＢＳの中心と一致し、当該頂点ＴＰから前後左右に側面視または正面視で直線状または曲線状に傾斜する略四角錐形状に形成されてもよい。なお、接着剤ＡＤ層は、略三角錐状でもよいし、略五角錐、略六角錐・・・といった略五角錐以上でもよく、その形状に何ら限定はない。また、基材ＢＳも三角形や五角形、六角形・・・といった五角形以上でもよいし、楕円形やその他の形状でもよく、その形状に何ら限定はない。
さらに、接着剤ＡＤ層は、傾斜面が側面視で凹状、凸状に湾曲した曲線状の略円錐形状または角錐形状に形成されもよい。
また、接着剤ＡＤ層は、頂線が基材ＢＳの中央を通り、当該頂線から側面視または正面視で少なくとも左右および前後の何れかの方向に直線状、曲線状または折れ線状に傾斜する複数の傾斜面を備えてもよい。
さらに、接着シートＡＳは、第１〜第４接着シートＡＳ１〜ＡＳ４だけでなく、その他の接着シートが採用された場合でも、図２（Ａ）、（Ｂ）に対応するグラフ（データ）を基にして、上記同様の第１動作または、第２動作を行うことができる。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートＡＳが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材ＢＳと接着剤ＡＤ層との間に中間層を有するもの、基材ＢＳの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材ＢＳを接着剤ＡＤ層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、温度検知手段は、接着シートの接着剤層の温度を検知可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０、１０Ａ、１０Ｂ積層装置
２０温度検知手段
３０、３０Ａ押圧手段
３１Ｂ、３４Ｂ制御回路（押圧力調整手段）
４０流動性向上手段
ＡＳ接着シート
ＷＫ１第１被着体（被着体）
ＷＫ２第２被着体（被着体）
ＷＦウエハ（被着体）

Claims

被着体と接着シートとを積層する積層装置であって、
前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、
前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記流動性向上手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記接着シートの流動性を向上可能に設けられていることを特徴とする積層装置。
被着体と接着シートとを積層する積層装置であって、
前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、
押圧力を調整可能な押圧力調整手段を有し、当該押圧力調整手段で調整された押圧力で前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧力調整手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記押圧力を調整可能に設けられていることを特徴とする積層装置。
第１被着体および第２被着体の少なくとも一方に積層された接着シートを介して前記第１被着体と前記第２被着体とを積層する積層装置であって、
前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、
前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記流動性向上手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記接着シートの流動性を向上可能に設けられていることを特徴とする積層装置。
第１被着体および第２被着体の少なくとも一方に積層された接着シートを介して前記第１被着体と前記第２被着体とを積層する積層装置であって、
前記接着シートの接着剤層の温度を検知する温度検知手段と、
押圧力を調整可能な押圧力調整手段を有し、前記接着シートを間に挟んで当該押圧力調整手段で調整された押圧力で前記第１被着体および前記第２被着体の一方に他方を押圧して貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧力調整手段は、前記温度検知手段の検知結果に基づいて、前記押圧力を調整可能に設けられていることを特徴とする積層装置。
前記接着剤層の流動性を向上させる流動性向上手段を備えていることを特徴とする請求項２または請求項４に記載の積層装置。
被着体と接着シートとを積層する積層方法であって、
前記接着シートの接着剤層の温度を検知する工程と、
検知された温度に基づいて、前記接着剤層の流動性を向上させる工程と、
前記接着剤層の流動性が向上した接着シートを被着体に押圧して貼付する工程とを備えていることを特徴とする積層方法。