JP6255279B2

JP6255279B2 - シート貼付装置および貼付方法

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Publication number: JP6255279B2
Application number: JP2014036026A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2014-02-26
Filing date: 2014-02-26
Publication date: 2017-12-27
Anticipated expiration: 2034-02-26
Also published as: JP2015160880A

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このシート貼付装置は、直径が両端に向かうにしたがって小さくなるテーパを有するテーパローラを備え、テープ（接着シート）が当該テーパローラに押し付けられることによって、接着シート幅方向のテンションが与えられるとともに、接着シート幅方向中央付近がウエハ（被着体）に対して突出し、テープ貼り付けローラ（押圧手段）によって接着シートが被着体の中心線付近から当該被着体の周辺へ順次貼付されるように構成されている。

特開２００２−１２４５００号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、接着シートが第１接着面と第２接着面とを有する両面接着シートの場合、押圧手段によって第２接着面側から押圧されて第１接着面が第１被着体に貼付されるため、当該貼付後の接着シートの第２接着面は平坦形状となってしまい、当該第２接着面に第２被着体を貼付する際に、当該第２接着面と当該第２被着体との接着界面に気泡が形成されてしまうという不都合がある。このような不都合を解消するために、接着シートの第２接着面と第２被着体とを真空雰囲気下で貼付することも考えられるが、真空雰囲気を作り出す機構を設ける必要があり、装置が大型化したり、制御が複雑化したりするという不都合がある。

本発明の目的は、装置の大型化および制御の複雑化を招くことなく、第２接着面との間に気泡が形成されないように第２被着体を貼付可能な状態として、接着シートを第１被着体に貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段で供給された前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段とを備え、前記接着シートは、前記第２接着面が第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状とされ、前記押圧手段の押圧面には、前記テーパ形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられている、という構成を採用している。

また、前記目的を達成するために、本発明の他のシート貼付装置は、第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段で供給された前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段とを備え、前記押圧手段の前記押圧面には、第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状となるように、前記第２接着面を変形可能なテーパ形状形成手段が設けられている、という構成を採用している。

この際、本発明のシート貼付装置では、前記第２接着面における前記テーパ形状部分と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えている、ことが好ましい。

一方、本発明のシート貼付方法は、第１接着面と第２接着面とを有し、前記第２接着面が第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状とされた接着シートを供給する工程と、前記テーパ形状を維持可能なテーパ形状維持手段が押圧面に設けられた押圧手段を用い、前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、前記テーパ形状維持手段によって前記テーパ形状を維持しつつ、前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えている、という構成を採用している。

また、本発明の他のシート貼付方法は、第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する工程と、第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状となるように、前記第２接着面を変形可能なテーパ形状形成手段が押圧面に設けられた押圧手段を用い、前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、前記テーパ形状形成手段によって前記第２接着面をテーパ形状に変形させつつ、前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、接着シートの第２接着面に設けられていたテーパ形状をテーパ形状維持手段で維持しつつ、または、テーパ形状形成手段で第２接着面にテーパ形状を形成しつつ、接着シートを第１被着体に押圧して貼付することができる。このように第１被着体に貼付された接着シートは、第２接着面の頂部を第２被着体に当接させ、そのまま第２被着体に押圧するという１の動作によって、第２接着面と第２被着体との貼付領域を頂部から徐々に外縁側に広げ、空気を追い出すようにして貼付することができ、真空雰囲気を作り出す機構等が必要なくなり、装置の大型化および制御の複雑化を招くことなく、第２接着面との間に気泡が形成されないように第２被着体を貼付可能な状態として、接着シートを第１被着体に貼付することができる。

この際、第２接着面におけるテーパ形状部分と押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を設ければ、第２接着面の接着剤をテーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段内に引き込むことができる。

本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の側面図。（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）は本発明の変形例を示す図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、第１接着面ＦＡ１と第２接着面ＦＡ２とを有する接着シートとしての両面接着シートＡＴを供給する供給手段２０と、供給手段２０で供給された両面接着シートＡＴの第１接着面ＦＡ１を第１被着体ＷＫ１の被着面ＷＡ１に当接させ、押圧面３１によって第２接着面ＦＡ２側から第１被着体ＷＫ１方向に押圧力を付与して当該両面接着シートＡＴを第１被着体ＷＫ１に貼付する押圧手段としての押圧ローラ３０と、第１被着体ＷＫ１を支持して当該第１被着体ＷＫ１と押圧ローラ３０とを相対移動させる支持手段４０とを備えている。

供給手段２０は、両面接着シートＡＴの第１接着面ＦＡ１が帯状の第１剥離シートＲＬ１上に仮着されるとともに第２接着面ＦＡ２に枚葉状の第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、第１剥離シートＲＬ１を折り返し当該第１剥離シートＲＬ１から両面接着シートＡＴを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５との間に第１剥離シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって駆動し、第１剥離シートＲＬ１を回収する回収ローラ２７とを備え、その全体が図示しないフレームに支持されている。

ここで、両面接着シートＡＴは、図１中符号ＡＡで示すように、略四角板状の接着剤ＡＤ層により構成され、第１接着面ＦＡ１は平坦面とされるとともに、第２接着面ＦＡ２は２つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって図示しない第２被着体の被着面に線接触可能な頂部ＴＬを有するテーパ形状とされている。
接着剤ＡＤ層および第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２としては、何ら制限はなく、接着剤ＡＤ層は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着剤で構成されたものが例示でき、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２は、紙、樹脂、ゴムなどにシリコーン系剥離剤、アルキルペンダント系剥離剤、縮合ワックス系剥離剤、フッ素系剥離剤、ポリエステル系剥離剤などの剥離剤を積層したものや、シリコーン樹脂、アルキルペンダント樹脂、縮合ワックス樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などそのものからなるものが例示でき、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２は、同じ材質でも、異なる材質でもよい。
なお、接着剤ＡＤ層および第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２の厚みは、技術常識に照らし合わせてどのような厚みでもよい。特に、本発明の接着シートとしての両面接着シートＡＴは、当該両面接着シートＡＴを第２被着体に貼付するときに、当該両面接着シートＡＴと第２被着体の被着面との接着界面に気泡が混入しないように、両面接着シートＡＴまたは第２被着体を折り曲げて空気を追い出すようにして貼付することができない場合にも効果を発揮する。また、接着剤ＡＤ層の第２接着面ＦＡ２における頂部ＴＬの高さＨＴは、当該第２接着面ＦＡ２の最下部に比べて１μｍ〜５ｍｍ高くなっているものが例示できるが、それ以上の高低差でもよいしそれ以下の高低差でもよい。
また、接着剤ＡＤ層は、第２被着体に押圧するときに流動性があることが好ましく、第２被着体に押圧するときに、当該接着剤ＡＤ層のテーパ形状が押し均されて厚みが略一様（略均等）になるとよい。なお、接着剤ＡＤ層は、加熱または冷却等の外力を加えることで流動性を発揮するものや流動性が向上するものでもよい。また、被着面側が変形可能なものである場合、接着剤ＡＤ層は、被着体に押圧するときに流動性が低くてもよいし流動性がなくてもよい。

押圧ローラ３０の押圧面３１には、テーパ形状を維持可能な２つのテーパ形状維持手段３２が押圧ローラ３０の回転方向に沿って設けられている。テーパ形状維持手段３２は、第２剥離シートＲＬ２が仮着された両面接着シートＡＴの形状に対応し、頂部ＴＬ、第２接着面ＦＡ２および側面ＦＢのそれぞれの形状を維持する頂部維持部３２Ａ、接着面維持部３２Ｂおよび側面維持部３２Ｃを備えている。テーパ形状維持手段３２の深さは、第２剥離シートＲＬ２および両面接着シートＡＴが当該テーパ形状維持手段３２に変形することなく収容された際に、第１接着面ＦＡ１側部分が押圧面３１から若干突出する深さに設定され、第１接着面ＦＡ１が第１被着体ＷＫ１に貼付されるようになっている。なお、押圧によって押圧ローラ３０（押圧面３１）が圧縮変形する場合、テーパ形状維持手段３２の深さは、上記と同じ条件下で、第１接着面ＦＡ１側部分が押圧面３１から突出しない深さに設定してもよい。また、テーパ形状維持手段３２は、第２接着面ＦＡ２に形成されたテーパ形状を維持可能であればよいので、当該テーパ形状に対応した形状（同じ形状）でもよいし、対応しない形状（異なる形状）であってもよい。テーパ形状維持手段３２がテーパ形状に対応しない形状の場合、両面接着シートＡＴを第１被着体ＷＫ１に押圧する際、テーパ形状部と押圧面３１とで形成される領域を加圧する加圧ポンプやタービン等の加圧手段を設けてもよい。

支持手段４０は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によって第１被着体ＷＫ１を吸着保持可能な支持面４１を有するテーブル４２と、テーブル４２をスライダ４３Ａで支持する駆動機器としてのリニアモータ４３とを備えている。

以上のシート貼付装置１０において、第１被着体ＷＫ１に両面接着シートＡＴを貼付する手順を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段２０が回動モータ２４および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出す。そして、両面接着シートＡＴの繰出方向先端部が剥離板２３によって所定量剥離されたことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４および図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持面４１上に第１被着体ＷＫ１を載置すると、支持手段４０が図示しない吸引手段を駆動し、第１被着体ＷＫ１を吸着保持した後、リニアモータ４３を駆動し、テーブル４２を図１中実線で示す初期位置から左方向に搬送する。そして、第１被着体ＷＫ１が所定の位置に到達したことが図示しない検知手段に検知されると、供給手段２０が回動モータ２４および図示しない駆動機器を駆動し、第１被着体ＷＫ１の搬送速度に合わせて両面接着シートＡＴを繰り出す。これにより、図１中符号ＡＢで示すように、両面接着シートＡＴの繰出方向先端部をテーパ形状維持手段３２の内部に入り込ませ、当該両面接着シートＡＴの繰出方向先端部を押圧面３１によって第１被着体ＷＫ１の左端部に押圧して貼付する。その後も第１被着体ＷＫ１の搬送と両面接着シートＡＴの繰り出しとが継続されることで、テーパ形状維持手段３２内に両面接着シートＡＴが順次収容され、第２接着面ＦＡ２のテーパ形状を維持した状態で、両面接着シートＡＴを第１被着体ＷＫ１に押圧し、同図中二点鎖線で示すように、両面接着シートＡＴ全体を第１被着体ＷＫ１に貼付する。
なお、押圧手段は、押圧ローラ３０を回転可能な図示しない駆動機器を備えてもよく、この場合、両面接着シートＡＴの繰出方向先端部がテーパ形状維持手段３２の内部に入り込み、図１中符号ＡＢで示した状態になった後、押圧手段が図示しない駆動機器を駆動し、第１被着体ＷＫ１の搬送速度に合わせて押圧ローラ３０を回転させてもよい。

その後、両面接着シートＡＴが貼付された第１被着体ＷＫ１は、人手または図示しない搬送手段によって次工程へ搬送され、テーブル４２が初期位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。
なお、第１被着体ＷＫ１に貼付された両面接着シートＡＴを図示しない第２被着体に貼付するときには、両面接着シートＡＴから第２剥離シートＲＬ２を剥離した後、所定の平面からなる支持面を備えた支持手段で第１被着体ＷＫ１側から支持する。その後、第２被着体の被着面と両面接着シートＡＴを支持した支持面とを略平行に配置し、支持面に略直交する方向に支持手段と第２被着体とを相対移動させて押圧する。これにより、初めに頂部ＴＬが被着面に当接し、その後もそれらの相対移動により第２接着面ＦＡ２が徐々に外縁に向かって貼付されてゆく。すなわち、第２接着面ＦＡ２の頂部ＴＬを第２被着体に当接させ、そのまま第２被着体に押圧するという１の動作によって、第２接着面ＦＡ２と第２被着体との貼付領域を頂部ＴＬから徐々に外縁側に広げ、空気を追い出すようにして貼付することができる。このような貼付は、両面接着シートＡＴが貼付された第１被着体ＷＫ１をテーブル４２で支持した状態で行ってもよい。

以上のような第１実施形態によれば、装置の大型化および制御の複雑化を招くことなく、第２接着面ＦＡ２との間に気泡が形成されないように第２被着体を貼付可能な状態として、両面接着シートＡＴを第１被着体ＷＫ１に貼付することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図２において、シート貼付装置１０Ａは、第１接着面ＦＡ１１と第２接着面ＦＡ１２とを有する接着シートとしての両面接着シートＡＴＡを供給する供給手段５０と、供給手段５０で供給された両面接着シートＡＴＡの第１接着面ＦＡ１１を第１被着体ＷＫ１の被着面ＷＡ１に当接させ、押圧面７１によって第２接着面ＦＡ１２側から第１被着体ＷＫ１方向に押圧力を付与して当該両面接着シートＡＴＡを第１被着体ＷＫ１に貼付する押圧手段６０と、支持手段４０とを備えている。
ここで、両面接着シートＡＴＡは、図２中符号ＢＢで示すように、略四角板状の接着剤ＡＤ層により構成され、第１、第２接着面ＦＡ１１、ＦＡ１２が第１被着体ＷＫ１、図示しない第２被着体にそれぞれ線接触可能な第１、第２頂部ＴＬ１、ＴＬ２を有するテーパ形状とされている。なお、第１、第２頂部ＴＬ１、ＴＬ２も頂部ＴＬと同様、２つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって形成される。

供給手段５０は、供給手段２０と同様の構成であり、供給手段２０における付番の先頭２の記号を５に置き換えることで説明ができ、供給手段２０の剥離板２３が両面接着シートＡＴを左斜め下方向に繰り出すように構成されているのに対し、剥離板５３が両面接着シートＡＴＡを左方に繰り出すように構成されている点が相違する。
ここで、両面接着シートＡＴＡは、第１接着面ＦＡ１１が帯状の第１剥離シートＲＬ１１上に仮着されるとともに第２接着面ＦＡ１２に枚葉状の第２剥離シートＲＬ２が仮着された原反ＲＳＡとして支持ローラ５１に支持されている。
また、第１剥離シートＲＬ１１には、繰り出し方向に沿って所定間隔で凹部ＲＲが設けられている。凹部ＲＲは、両面接着シートＡＴの第１接着面ＦＡ１１側の形状に対応し、第１頂部ＴＬ１、第１接着面ＦＡ１１および側面ＦＢ２のそれぞれの形状を維持する第１頂部維持部ＲＲ１、第１接着面維持部ＲＲ２および第１側面維持部ＲＲ３を備えている。第１頂部維持部ＲＲ１、第１接着面維持部ＲＲ２および第１側面維持部ＲＲ３のそれぞれ深さは、第１頂部ＴＬ１、第１接着面ＦＡ１１および側面ＦＢが変形することなく凹部ＲＲに両面接着シートＡＴＡが収容された際に、両面接着シートＡＴＡの第２接着面ＦＡ１２側の約半分が第１剥離シートＲＬ１１から突出する深さに設定されている。

押圧手段６０は、両面接着シートＡＴＡを保持する保持手段７０と、保持手段７０をその出力軸８０Ａで支持する駆動機器としての直動モータ８０と、直動モータ８０をそのスライダ９０Ａで支持し供給手段５０と保持手段７０とを相対移動させる駆動機器としてのリニアモータ９０とを備えている。

保持手段７０は、押圧面７１を有する保持プレート７３と、保持プレート７３内に設けられ、押圧面７１で保持した両面接着シートＡＴＡの接着剤ＡＤ層の変形を促進させる変形促進手段７４とを備えている。

押圧面７１には、第２接着面ＦＡ１２のテーパ形状を維持可能な１のテーパ形状維持手段７２と、第２剥離シートＲＬ２を介して第２接着面ＦＡ１２とテーパ形状維持手段７２とで形成される領域を減圧可能な減圧手段としての第１減圧手段８５が設けられている。
テーパ形状維持手段７２は、テーパ形状維持手段３２と同様の構成であり、テーパ形状維持手段３２における付番の先頭３の記号を７に置き換えることで説明ができる。テーパ形状維持手段７２の深さは、第２剥離シートＲＬ２および両面接着シートＡＴＡがテーパ形状維持手段７２に変形することなく収容された際に、第１剥離シートＲＬ１１から突出する部分の突出寸法と等しいかそれ以下の深さに設定されている。なお、押圧によって保持プレート７３（押圧面７１）が圧縮変形する場合、テーパ形状維持手段７２の深さは、上記と同じ条件下で、第１剥離シートＲＬ１１から突出する部分の突出寸法以上に設定してもよい。
第１減圧手段８５は、テーパ形状維持手段７２の頂部維持部７２Ａに設けられた孔８５Ａだけで構成されてもよいし、当該孔８５Ａを介して強制的に減圧する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧装置８５Ｂを含んで構成されてもよい。また、テーパ形状維持手段７２の接着面維持部７２Ｂには、減圧装置８５Ｂまたは当該減圧装置８５Ｂと同様の構成を有する図示しない第２減圧手段に接続されており、両面接着シートＡＴＡを第２接着面ＦＡ１２側から吸着保持できるようになっている。

変形促進手段７４としては、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、光照射手段、マイクロ波照射手段、紫外線照射手段、赤外線照射手段、マイクロ波照射手段、Ｘ線照射手段、超音波振動装置や偏心モータ等の振動付与装置等、接着剤ＡＤ層の特性によって適宜選択することができ、接着剤ＡＤを軟化させたり寄せ集めたりすることで、当該接着剤ＡＤが所定形状に変形することを促進させるものであり、本実施形態では、加熱手段が採用されている。なお、変形促進手段７４は、保持プレート７３の外部に設けてもよい。

以上のシート貼付装置１０Ａにおいて、第１被着体ＷＫ１に両面接着シートＡＴＡを貼付する手順を説明する。
先ず、作業者が原反ＲＳＡを図２に示すようにセットした後、入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、供給手段５０が回動モータ５４および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳＡを繰り出す。そして、剥離板５３の上部に位置する両面接着シートＡＴＡが所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、供給手段５０が回動モータ５４および図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。

そして、人手または図示しない搬送手段が支持面４１上に第１被着体ＷＫ１を載置すると、支持手段４０が支持面４１で第１被着体ＷＫ１を吸着保持した後、テーブル４２を図２中実線で示す初期位置から二点鎖線で示す位置に搬送する。その後、押圧手段６０が直動モータ８０を駆動し、図２中実線で示す初期位置から保持プレート７３を下降させ、第２接着面ＦＡ１２のテーパ形状を維持したまま、両面接着シートＡＴＡが第２剥離シートＲＬ２とともにテーパ形状維持手段７２に収容される。
この状態で、保持手段７０が図示しない第２減圧手段を駆動し、テーパ形状維持手段７２で両面接着シートＡＴＡを吸着保持する。さらに、第１減圧手段８５が減圧装置８５Ｂを駆動し、第２剥離シートＲＬ２を介して第２接着面ＦＡ１２とテーパ形状維持手段７２とで形成される領域を減圧することで、接着剤ＡＤをテーパ形状維持手段７２に強制的に引き込む。これにより、第２接着面ＦＡ１２のテーパ形状が変形していた場合にでも、当該テーパ形状を適切に再形成することができる。このとき、保持手段７０が変形促進手段７４を駆動し、接着剤ＡＤを軟化させたり寄せ集めたりすることで、テーパ形状の再形成を促進させることができる。

次に、供給手段５０および押圧手段６０が回動モータ５４、図示しない駆動機器およびリニアモータ９０を同期させて駆動し、原反ＲＳＡを繰り出しながら両面接着シートＡＴＡを保持した保持プレート７３を左方向に移動させることにより、保持プレート７３で第１頂部ＴＬ１の形状を維持しかつ両面接着シートＡＴＡを保持したまま、当該両面接着シートＡＴＡを第１剥離シートＲＬ１から剥離する。
その後、両面接着シートＡＴＡが第１被着体ＷＫ１の直上の所定位置に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、押圧手段６０がリニアモータ９０の駆動を停止し、直動モータ８０を駆動し、図２中二点鎖線で示すように、保持プレート７３を下降させ、当該保持プレート７３で両面接着シートＡＴＡを第１被着体ＷＫ１に押圧して貼付する。この貼付の際、先ず、第１接着面ＦＡ１１の第１頂部ＴＬ１を第１被着体ＷＫ１に当接させ、そのまま両面接着シートＡＴＡを第１被着体ＷＫ１に押圧するという１の動作によって、第１接着面ＦＡ１１と第１被着体ＷＫ１との貼付領域が第１頂部ＴＬ１から徐々に外縁側に広がり、空気を追い出すように貼付することができる。

次に、保持手段７０および第１減圧手段８５が図示しない第２減圧手段および減圧装置８５Ｂの駆動を停止し、押圧手段６０がリニアモータ９０および直動モータ８０を駆動し、保持プレート７３を初期位置に復帰させる。その後、人手または図示しない搬送手段が第１被着体ＷＫ１を次工程に搬送し、テーブル４２が初期位置に復帰し、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような第２実施形態によっても、第１実施形態の効果を奏することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、第２実施形態において、図２中符号ＣＣに示すような第２接着面ＦＡ２２が平坦面とされた接着シートとしての両面接着シートＡＴＢを貼付対象とするとともに、押圧手段６０の押圧面７１に、第２被着体に線接触可能な第２頂部ＴＬ２を有するテーパ形状となるように、第２接着面ＦＡ２２を変形可能なテーパ形状形成手段１００を設けてもよい。テーパ形状形成手段１００は、テーパ形状維持手段７２と同様に構成され、頂部維持部７２Ａ、接着面維持部７２Ｂおよび側面維持部７２Ｃとそれぞれ同形状の頂部形成部１００Ａ、接着面形成部１００Ｂおよび側面形成部１００Ｃを備えている。
このような構成の場合、剥離板５３の上部に位置する両面接着シートＡＴＢが所定位置に到達すると、押圧手段６０が保持プレート７３を下降させ、両面接着シートＡＴＢに押圧面７１のテーパ形状形成手段１００を当接させるとともに、保持手段７０が両面接着シートＡＴＢの接着剤ＡＤ層を変形させる。さらに、第１減圧手段８５が減圧装置８５Ｂを駆動し、第２接着面ＦＡ２２とテーパ形状形成手段１００とで形成される領域を減圧する。これにより、接着剤ＡＤが移動して頂部形成部１００Ａ、接着面形成部１００Ｂおよび側面形成部１００Ｃに強制的に引き込まれることで、二点鎖線で示すように、両面接着シートＡＴＢの第２接着面ＦＡ２２が第２頂部ＴＬ２を有するテーパ形状に変形する。このとき、保持手段７０が変形促進手段７４を駆動し、接着剤ＡＤを軟化させたり寄せ集めたりすることで、テーパ形状に変形することを促進させることができる。

さらに、第１実施形態においても、テーパ形状維持手段３２の代わりに当該テーパ形状維持手段３２と同じ形状のテーパ形状形成手段１０１を設けて、平坦面の第２接着面を頂部を有するテーパ形状に変形させてもよい。
また、テーパ形状維持手段またはテーパ形状形成手段としては、第２接着面の形状に対応する形であればよく、例えば、図３（Ａ）に示すような第１、第２接着面ＦＡ３１、ＦＡ３２を有する接着シートとしての両面接着シートＡＴＣを貼付する場合、第１実施形態の押圧ローラ３０にテーパ形状維持手段１１０を設けてもよい。また、第２接着面の形状に合わせて、図３（Ｂ）、（Ｃ）に示すようなテーパ形状維持手段１１１、１１２を、押圧ローラ３０に設けてもよい。また、図３（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）において、テーパ形状維持手段１１０、１１１、１１２の代わりに、テーパ形状形成手段１０２、１０３、１０４を設けてもよい。
さらに、押圧ローラ３０の押圧面３１に設けるテーパ形状維持手段３２、１１０、１１１、１１２、テーパ形状形成手段１０１、１０２、１０３、１０４は、１でもよいし３以上でもよい。
また、テーパ形状形成手段を設ける構成において、変形促進手段７４および第１減圧手段８５の少なくとも一方を設けなくてもよい。
さらに、テーパ形状維持手段を設ける構成において、変形促進手段７４および第１減圧手段８５の少なくとも一方を設けてもよい。
また、第１、第２接着面ＦＡ１、ＦＡ１１、ＦＡ２、ＦＡ１２、ＦＡ２２は、側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状の接着面でもよいし、第１、第２被着体に点接触可能な例えば、円錐形状や、角錐形状などの形状であってもよいし、それら錐面が側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
さらに、テーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段は、側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状で第２接着面ＦＡ１２、ＦＡ２２を維持したり形成したりしてもよいし、第２被着体に点接触可能な例えば、円錐形状や、角錐形状などの形状や、それら錐面が側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状の第２接着面を維持したり形成したりしてもよい。
さらに、第１接着面に設けられる線接触可能または点接触可能な頂部は、１の第１被着体に対して１でもよいし複数でもよい。
また、頂部の位置は、接着シートの中心であってもよいし、当該中心からからずれていてもよいし、第１頂部ＴＬ１と第２頂部ＴＬ２との形状は同じであってもよいし、異なっていてもよいし、これらのような構成において一方の面に点接触可能な頂部を設け、他方の面に線接触可能な頂部を設けてもよいし、第１頂部ＴＬ１の位置と第２頂部ＴＬ２の位置は、表裏の位置関係においてずれていてもよい。

また、第２実施形態において、移動手段は、供給手段５０および保持手段７０の両方を移動可能に構成してもよいし、供給手段５０のみを移動可能に構成してもよい。
さらに、第２実施形態において、リニアモータ９０を設けなくてもよい。
また、各実施形態において、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
さらに、第２剥離シートＲＬ２は、複数の両面接着シートＡＴ、ＡＴＡに跨るような帯状のものでもよく、この場合、押圧ローラ３０に押圧される前や、保持プレート７３が当接する前に剥離するとよい。
また、支持手段４０は、第１被着体ＷＫ１をメカチャック等で挟み込んで当該第１被着体ＷＫ１を保持する構成でもよい。
さらに、接着シートは、第１被着体ＷＦ１や第２被着体の外縁に沿った形状でもよいし、それらの外縁に沿わない形状例えば、第１被着体ＷＦ１、第２被着体からはみ出したり、はみ出さない形状でもよく、例えば、円形、多角形、楕円形等、どのような形状であってもよい。
さらに、両面接着シートＡＴ、ＡＴＡ、ＡＴＢ、ＡＴＣは、枚葉でなく帯状に形成されていてもよく、第１被着体や第２被着体に貼付する前または貼付した後に、切断刃やレーザカッタ、圧縮エア切断、圧縮水切断等の適宜な切断手段で切断して使用してもよい。

さらに、本発明における接着シートとしての両面接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、両面接着シートは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、両面接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０、１０Ａ…シート貼付装置
２０…供給手段
３０…押圧ローラ（押圧手段）
３１、７１…押圧面
３２、７２、１１０、１１１、１１２…テーパ形状維持手段
６０…押圧手段
８５…第１減圧手段（減圧手段）
１００、１０１、１０２、１０３、１０４…テーパ形状形成手段
ＡＴ、ＡＴＡ、ＡＴＢ、ＡＴＣ…両面接着シート（接着シート）
ＦＡ１、ＦＡ１１、ＦＡ３１…第１接着面
ＦＡ２、ＦＡ１２、ＦＡ２２、ＦＡ３２…第２接着面
ＴＬ、ＴＬ２…頂部
ＷＫ１…第１被着体

Claims

第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記接着シートは、前記第２接着面が第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状とされ、
前記押圧手段の押圧面には、前記テーパ形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する供給手段と、
前記供給手段で供給された前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段とを備え、
前記押圧手段の前記押圧面には、第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状となるように、前記第２接着面を変形可能なテーパ形状形成手段が設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
前記第２接着面における前記テーパ形状部分と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート貼付装置。
第１接着面と第２接着面とを有し、前記第２接着面が第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状とされた接着シートを供給する工程と、
前記テーパ形状を維持可能なテーパ形状維持手段が押圧面に設けられた押圧手段を用い、前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、前記テーパ形状維持手段によって前記テーパ形状を維持しつつ、前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。
第１接着面と第２接着面とを有する接着シートを供給する工程と、
第２被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ形状となるように、前記第２接着面を変形可能なテーパ形状形成手段が押圧面に設けられた押圧手段を用い、前記接着シートの第１接着面を第１被着体に当接させ、前記テーパ形状形成手段によって前記第２接着面をテーパ形状に変形させつつ、前記第２接着面側から前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。