JP6328958B2

JP6328958B2 - 接着シート製造装置および製造方法

Info

Publication number: JP6328958B2
Application number: JP2014036025A
Authority: JP
Inventors: 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2014-02-26
Filing date: 2014-02-26
Publication date: 2018-05-23
Anticipated expiration: 2034-02-26
Also published as: JP2015160345A

Description

本発明は、接着シート製造装置および製造方法に関する。

従来、接着シートと被着体の被着面との接着界面に気泡が形成されないようにそれらを貼付する際には、接着シートおよび／または被着体を折り曲げて空気を追い出すように徐々に貼付したり、真空雰囲気下で貼付したりしている。
一方、被着体に貼付した後、接着界面の空気を抜くことができる易貼付性粘着シート（接着シート）が知られている（例えば、特許文献１参照）。
この接着シートは、剥離シートを用いて製造され、複数の球面状凸部が設けられ、隣接する凸部間に空気流通経路が形成されてなる粘着剤層（接着剤層）を有し、被着体に貼付した後に接着界面の空気を当該空気流通経路を介して逃がすことで、当該接着界面に気泡が形成されないようにしている。

特許第５１１２６０３号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の剥離シートを用いて製造された接着シートでは、当該接着シートを被着体に貼付する動作の後、接着界面の空気を追い出すための動作が要求され、２つの動作が必要であるという不都合がある。

本発明の目的は、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートを製造可能な接着シート製造装置および製造方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明の接着シート製造装置は、点状または線状の１の第１最深部を有する第１凹部であって、前記第１最深部から離間したいずれの位置においても、当該第１最深部側が前記第１凹部の外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を剥離シートの一方の面に形成する第１凹部形成手段と、前記第１凹部が形成された剥離シートの前記一方の面に接着剤を積層する接着剤積層手段とを備え、前記第１凹部は、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を有する接着剤層であって、前記第１頂部から離間したいずれの位置においても、当該第１頂部側が前記接着剤層の外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを当該第１凹部毎に形成し、前記第１凹部形成手段は、前記第１凹部に入り込んだ前記接着剤層と前記第１凹部との間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部を前記第１凹部に形成可能な空気逃し部形成手段を備えている、という構成を採用している。

一方、本発明の接着シート製造方法は、点状または線状の１の第１最深部を有する第１凹部であって、前記第１最深部から離間したいずれの位置においても、当該第１最深部側が前記第１凹部の外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を剥離シートの一方の面に形成する工程と、前記第１凹部に空気逃し部を形成する工程と、前記第１凹部が形成された剥離シートの前記一方の面に接着剤を積層し、前記第１凹部に入り込んだ接着剤層と前記第１凹部との間に介在する空気を前記空気逃し部から抜くまたは前記空気逃し部に貯めることで、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を有する接着剤層であって、前記第１頂部から離間したいずれの位置においても、当該第１頂部側が前記接着剤層の外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを当該第１凹部毎に形成する工程とを備えている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を有し、当該第１頂部から離間したいずれの位置においても、当該第１頂部側が外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを第１凹部毎に形成することができ、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートを製造することができる。このような接着シートは、第１頂部を被着体に当接させ、そのまま被着体に押圧するという１の動作によって、接着剤層と被着体との貼付領域を第１頂部から徐々に外縁側に広げ、空気を追い出すようにして貼付することができる。
また、空気逃し部形成手段を設けているため、接着シートの第１頂部から外縁にかかる部分に空気溜まりによる凹凸が形成されることを防止することができる。

本発明の第１実施形態に係る接着シート製造装置の側面図。（Ａ）は前記接着シート製造装置で製造される接着シートの斜視図、（Ｂ）は（Ａ）の側面図。本発明の第２実施形態に係る接着シート製造装置の側面図。本発明の第３実施形態に係る接着シート製造装置の側面図。本発明の変形例に係る接着シート製造装置で製造した接着シートの斜視図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成については、詳細な説明を省略する。
また、第１、第２実施形態および変形例において、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、第１、第２実施形態および変形例では、Ｙ軸と平行な矢印ＡＲ方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向であって図１中紙面に直行する手前方向で「後」がその逆方向とする。

図１において、接着シート製造装置１０は、帯状の剥離シートＲＬを繰り出す剥離シート繰出手段２０と、図１中符号ＡＡで示すように、点状の１の第１最深部としての第１点状最深部ＤＰ１から離間したいずれの位置においても、当該第１点状最深部ＤＰ１側が外縁ＥＧ側に比べて深く設けられた第１凹部ＨＬ１を剥離シートＲＬの一方の面ＲＡに形成する第１凹部形成手段３０と、第１凹部ＨＬ１が形成された剥離シートＲＬの一方の面ＲＡに接着剤ＡＤを積層する接着剤積層手段４０と、接着剤ＡＤ層を定着させる定着化手段５０と、接着剤ＡＤ層を貫通しかつ剥離シートＲＬを貫通しない閉ループ状の切込ＣＵを形成し、当該切込ＣＵの内側に接着シートＡＳを形成するとともに、外側に不要接着シートＵＳを形成する切断手段６０と、不要接着シートＵＳを回収する不要シート回収手段７０と、接着シートＡＳが仮着された剥離シートＲＬを原反ＲＳとして回収する回収手段８０とを備えている。

ここで、第１凹部ＨＬ１は、図２に示すように、図示しない被着体（例えば半導体ウエハ）に点接触可能な第１頂部としての第１頂点ＴＰ１を当該第１凹部ＨＬ１毎に形成される１の接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層に形成可能に設けられている。すなわち、第１凹部ＨＬ１は、第１点状最深部ＤＰ１が当該第１凹部ＨＬ１の中央に位置し、当該第１点状最深部ＤＰ１から外縁ＥＧ側に向けて側面視で直線状に傾斜し、略円錐面形状の第１接着面形成面ＦＣ２１と、略円筒状の第１側面形成面ＦＤ２１とを備えている。これにより、被着体に点接触可能な１の第１頂点ＴＰ１を備え、当該第１頂点ＴＰ１から離間したいずれの位置においても当該第１頂点ＴＰ１側が外縁ＥＤ側に比べて肉厚に設けられた接着剤ＡＤ層を有する接着シートＡＳを形成可能になっている。接着シートＡＳは、被着体の平面形状に合わせた平面形状（例えば円形）に形成され、接着剤ＡＤ層は、第１頂点ＴＰ１が接着シートＡＳの中央に位置し、当該第１頂点ＴＰ１から外縁ＥＤ側に向けて側面視で直線状に傾斜する略円錐面形状の接着面ＦＡと、略円筒状の側面ＦＢとを備えている。

接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬとしては、何ら制限はなく、接着剤ＡＤ層は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着剤で構成されたものが例示でき、剥離シートＲＬは、紙、樹脂、ゴムなどにシリコーン系剥離剤、アルキルペンダント系剥離剤、縮合ワックス系剥離剤、フッ素系剥離剤、ポリエステル系剥離剤などの剥離剤を積層したものや、シリコーン樹脂、アルキルペンダント樹脂、縮合ワックス樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などそのものからなるものが例示できる。なお、接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬの厚みは、技術常識に照らし合わせてどのような厚みでもよい。また、接着剤ＡＤ層の接着面ＦＡにおける第１頂点ＴＰ１の高さＨＴは、当該接着面ＦＡの最下部に比べて１μｍ〜５ｍｍ高くなっているものが例示できるが、それ以上の高低差でもよいしそれ以下の高低差でもよく、それに合わせて第１凹部形成手段３０による第１凹部ＨＬ１の深さを任意に決定するとができる。

剥離シート繰出手段２０は、剥離シートＲＬをロール状に巻回して支持する支持ローラ２１と、剥離シートＲＬを案内するガイドローラ２２とを備えている。

第１凹部形成手段３０は、駆動機器としての直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持され、剥離シートＲＬに第１接着面形成面ＦＣ２１を形成するための略円錐状の円錐部３２Ａおよび第１側面形成面ＦＤ２１を形成するための略円柱状の円柱部３２Ｂを有する凹部形成部材３２と、受け板３３とを備えている。

接着剤積層手段４０は、下端に剥離シートＲＬの前後方向の幅と略同じ前後幅を有する供給口４１Ａを有する接着剤ストックパン４１と、剥離シートＲＬに積層する接着剤ＡＤの全体的な厚さを調整可能な全体供給量調整手段４２と、剥離シートＲＬ上に積層する接着剤ＡＤの平面形状を所定形状とすることが可能な供給幅調整手段４３と、剥離シートＲＬ上に積層する接着剤ＡＤの部分供給量を調整可能な部分供給量調整手段４４とを備えている。
全体供給量調整手段４２は、駆動機器としてのリニアモータ４２Ａによって構成され、接着剤ストックパン４１が当該リニアモータ４２Ａの図示しないスライダに支持され、供給口４１Ａの下端と剥離シートＲＬの一方の面ＲＡとの間隔を調整可能に設けられている。
供給幅調整手段４３は、図１中符号ＢＢで示すように、駆動機器としてのリニアモータ４３Ａと、リニアモータ４３Ａの前後一対のスライダ４３Ｂにそれぞれ支持された前後幅調整板４３Ｃ（図１では一方のみを図示）とで構成され、供給口４１Ａにおける前後幅を調整可能に設けられている。
部分供給量調整手段４４は、駆動機器としてのリニアモータ４４Ａと、リニアモータ４４Ａのスライダ４４Ｂに支持された左右幅調整板４４Ｃとで構成され、供給口４１Ａにおける左右幅を調整可能に設けられている。
なお、本実施形態の場合、全体供給量調整手段４２が調整する供給口４１Ａの下端は、左右幅調整板４４Ｃの下端となるが、供給口４１Ａにおける剥離シートＲＬの繰出方向上流側（右側）にリニアモータ４４Ａおよび左右幅調整板４４Ｃを設けてもよい。

定着化手段５０は、接着剤ＡＤ層の硬化特性に応じて、例えば、熱風、紫外線、赤外線、マイクロ波、冷風、自然風等の定着化エネルギーを発するものが採用されている。なお、定着とは完全硬化または不完全硬化を含む。

切断手段６０は、駆動機器としての直動モータ６１の出力軸６１Ａに支持されたプレート６２の下面に設けられた環状の切込形成刃６３と、受け板６４とを備えている。

不要シート回収手段７０は、駆動機器としての回動モータ７１によって回転可能に設けられ、不要接着シートＵＳを回収する回収ローラ７２と、不要接着シートＵＳを案内するガイドローラ７３とを備えている。

回収手段８０は、駆動機器としての回動モータ８１によって回転可能に設けられ、原反ＲＳを回収する回収ローラ８２と、駆動機器としての回動モータ８３Ａによって回転可能に設けられた駆動ローラ８３との間に原反ＲＳを挟み込むピンチローラ８４とを備えている。

以上の接着シート製造装置１０において、接着シートＡＳを製造する手順を説明する。
先ず、作業者が剥離シートＲＬを図１に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して試運転開始の信号を入力すると、回収手段８０が回動モータ８１、８３Ａを駆動し、剥離シートＲＬを繰り出す。次いで、接着剤積層手段４０が、剥離シートＲＬの一方の面ＲＡ上に溶融状態の接着剤ＡＤを積層する。このとき、全体供給量調整手段４２がリニアモータ４２Ａを駆動し、接着剤ストックパン４１を昇降させて剥離シートＲＬ上に積層する接着剤ＡＤの全体的な厚さを調整する。この調整は、目視で調整してもよいし、光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段を介して自動で行ってもよい。そして、定着化手段５０が接着剤ＡＤ層を定着させた後、切断手段６０による切断を行わずに剥離シートＲＬの繰り出しを継続し、定着された接着剤ＡＤ層の先端が回収ローラ７２に取り付け可能な位置に到達すると、回収手段８０が回動モータ８１、８３Ａの駆動を一時停止する。そして、人手または図示しない取付手段によって定着された接着剤ＡＤ層の当該先端を回収ローラ７２に取り付けて接着シート製造装置１０がスタンバイ状態となる。

次いで、作業者が入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、不要シート回収手段７０および回収手段８０が回動モータ７１、８１、８３Ａを同期させて駆動し、剥離シートＲＬを繰り出し、所定のタイミングで第１凹部形成手段３０が直動モータ３１を駆動し、凹部形成部材３２を昇降させて剥離シートＲＬの一方の面ＲＡに第１凹部ＨＬ１を形成する。そして、接着剤積層手段４０が剥離シートＲＬの一方の面ＲＡ上に溶融状態の接着剤ＡＤを積層することで、当該接着剤ＡＤが第１凹部ＨＬ全体に入り込む。このとき、供給幅調整手段４３がリニアモータ４３Ａを駆動し、前後幅調整板４３Ｃの間隔を調整して、剥離シートＲＬ上に積層する接着剤ＡＤの平面形状が円形や矩形等の所定形状となるようにしてもよい。また、第１点状最深部ＤＰ１に近いほど接着剤ＡＤの量が不足気味となるので、部分供給量調整手段４４がリニアモータ４４Ａを駆動し、供給口４１Ａにおける左右幅を調整して、第１点状最深部ＤＰ１に近付くに連れて接着剤ＡＤの供給量を徐々に多くし、第１点状最深部ＤＰ１から遠ざかるに連れて接着剤ＡＤの供給量を徐々に少なくなるようにしてもよい。
その後、定着化手段５０が接着剤ＡＤ層を定着させ、第１凹部ＨＬ１が切断手段６０の直下に到達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると、切断手段６０が直動モータ６１を駆動し、切込形成刃６３を昇降させて切込ＣＵを形成する。この切込ＣＵを形成する位置は、第１凹部ＨＬ１の外縁ＥＧに完全一致する位置でもよいし、外縁ＥＧの内側または外側の位置でもよく、外縁ＥＧの外側に切込ＣＵを形成する場合、接着シートＡＳを被着体に貼付した後、当該外縁ＥＧの外側を切断して排除することもできる。そして、不要接着シートＵＳは、回収ローラ７２に回収されるとともに、接着シートＡＳが仮着された剥離シートＲＬは、が原反ＲＳとして回収手段８０で回収され、以降上述と同様の動作が繰り返される。
接着シートＡＳを被着体に貼付するときには、接着面ＦＡの反対側から当該接着シートＡＳを所定の平面からなる支持面を備えた支持手段で支持する。その後、被着体の被着面と接着シートＡＳを支持した支持面とを略平行に配置し、支持面に略直交する方向に支持手段と被着体とを相対移動させて押圧する。これにより、初めに第１頂点ＴＰ１が被着面に当接し、その後もそれらの相対移動により接着面ＦＡが徐々に外縁に向かって貼付されてゆく。すなわち、第１頂点ＴＰ１を被着体に当接させ、そのまま接着シートＡＳを被着体に押圧するという１の動作によって、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる。

以上のような第１実施形態によれば、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる接着シートＡＳを製造することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図３において、接着シート製造装置１０Ａは、接着シートとしての両面接着シートＡＴを製造する装置であって、切断手段６０および不要シート回収手段７０の代わりに、帯状の別の剥離シートＲＬ１を繰り出す別剥離シート繰出手段９０と、当該別の剥離シートＲＬ１の一方の面ＲＡ１に、図３中符号ＤＤで示すように、点状の第２最深部としての第２点状最深部ＤＰ２が設けられた第２凹部ＨＬ２を形成する第２凹部形成手段１００と、第１凹部ＨＬ１と第２凹部ＨＬ２とが両面接着シートＡＴを介して略対向するように、剥離シートＲＬの一方の面ＲＡと別の剥離シートＲＬ１の一方の面ＲＡ１とを積層する一対のローラ１１１、１１２からなる剥離シート積層手段１１０とを設けた点とが相違する。

ここで、第２凹部ＨＬ２は、図３中符号ＥＥで示すように、被着体に点接触可能な第２頂点ＴＰ２を１の両面接着シートＡＴの接着剤ＡＤ層における第１頂点ＴＰ１の反対側に形成可能に設けられている。すなわち、第２凹部ＨＬ２は、第１凹部ＨＬ１と同じ形状に形成され、第２接着面形成面ＦＣ２２と、第２側面形成面ＦＤ２２とを備えている。これにより、一方の面および他方の面が１の接着剤ＡＤ層で構成された両面接着シートＡＴであって、第１実施形態の接着面ＦＡと同じ形状に形成され、第１、第２頂点ＴＰ１、ＴＰ２を有する第１、第２接着面ＦＡ２１、ＦＡ２２を側面ＦＢの上側および下側に備えた両面接着シートＡＴを形成可能になっている。

別剥離シート繰出手段９０は、剥離シート繰出手段２０と同様の構成であり、剥離シート繰出手段２０における付番の先頭２の表記を９に置き換えることで説明ができる。
第２凹部形成手段１００は、第１凹部形成手段３０と同様の構成であり、第１凹部形成手段３０における付番の先頭３の表記を１０に置き換えることで説明ができる。

以上の接着シート製造装置１０Ａにおいて、両面接着シートＡＴを製造する手順を説明する。
先ず、作業者が剥離シートＲＬおよび別の剥離シートＲＬ１を図３に示すようにセットした後、運転開始の信号を入力すると、回収手段８０が回動モータ８１、８３Ａを同期させて駆動し、剥離シートＲＬおよび別の剥離シートＲＬ１を繰り出し、所定のタイミングで第１凹部形成手段３０が直動モータ３１を駆動し、凹部形成部材３２を昇降させて剥離シートＲＬの一方の面ＲＡに第１凹部ＨＬ１を形成する。本実施形態の場合、接着剤積層手段４０がリニアモータ４２Ａを介して接着剤ＡＤを第１実施形態より厚く積層するように構成してもよい。そして、接着剤積層手段４０が一方の面ＲＡ上に溶融状態の接着剤ＡＤを積層することで、当該接着剤ＡＤが第１凹部ＨＬ１全体に入り込む。このとき、第１実施形態と同様にして、剥離シートＲＬ上に積層する接着剤ＡＤの平面形状を調整したり、第１点状最深部ＤＰ１付近の接着剤ＡＤの供給量が多くなるように調整したりしてもよい。
その後、定着化手段５０が当該接着剤ＡＤ層を定着させる一方、所定のタイミングで第２凹部形成手段１００が直動モータ１０１を駆動し、凹部形成部材１０２を左右方向に移動させて別の剥離シートＲＬ１の一方の面ＲＡ１に第１凹部ＨＬ１と同じ間隔で第２凹部ＨＬ２を形成する。そして、剥離シート積層手段１１０が、第１凹部ＨＬ１と第２凹部ＨＬ２とが接着剤ＡＤ層を介して略対向するように、剥離シートＲＬと別の剥離シートＲＬ１とを積層し、当該接着剤ＡＤ層における第１接着面ＦＡ２１の反対側が第２凹部ＨＬ２全体に入り込むことで、第２接着面ＦＡ２２が形成され、原反ＲＳ１として回収手段８０で回収される。
剥離シートＲＬと別の剥離シートＲＬ１との積層体は、それらが積層状態のまま切断されたり、当該積層体から剥離シートＲＬまたは別の剥離シートＲＬ１を剥離してから接着剤ＡＤ層が切断されたりすることで、両面接着シートＡＴが製造される。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図４において、接着シート製造装置１０Ｂは、第１実施形態の接着シート製造装置１０に対し、剥離シートＲＬの他方の面ＲＢに、第２実施形態と同様の第２凹部ＨＬ２を形成する第２凹部形成手段１００を設けた点と、回収手段８０が第１凹部ＨＬ１と第２凹部ＨＬ２とが接着剤ＡＤを介して略対向するように、剥離シートＲＬを原反ＲＳ２として回収する点とが相違する。

第１凹部形成手段３０と第２凹部形成手段１００とは、図４中符号ＧＧに示すように、第１点状最深部ＤＰ１と第２点状最深部ＤＰ２とが上下方向の一直線上に位置しないように第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２を形成可能に設けられている。これにより、剥離シートＲＬの厚さを当該第１、第２点状最深部ＤＰ１、ＤＰ２の深さの２倍以下にすることができる。また、回収手段８０で剥離シートＲＬを原反ＲＳ２として回収するときに、内側の剥離シートＲＬと外側の剥離シートＲＬとに円弧方向の重なりずれが生じても、当該重なりずれが吸収され、第１頂点ＴＰ１と第２頂点ＴＰ２とが図３中符号ＥＥで示す状態で、上下方向の一直線上近傍に配置された両面接着シートＡＴを製造することができる。なお、第１、第２凹部形成手段３０、１００は、第１、第２点状最深部ＤＰ１、ＤＰ２が図４中符号ＧＧで示す状態で、上下方向の一直線上に位置するように第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２を形成してもよい。

以上の接着シート製造装置１０Ｂにおいて、両面接着シートＡＴを製造する手順を説明する。
図４に示すように、不要シート回収手段７０および回収手段８０が各回動モータ７１、８１、８３Ａを同期させて駆動し、剥離シートＲＬを繰り出し、所定のタイミングで第１、第２凹部形成手段３０、１００が直動モータ３１、１０１を駆動し、凹部形成部材３２、１０２を昇降させることで、剥離シートＲＬの一方の面ＲＡおよび他方の面ＲＢのそれぞれに第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２を形成する。次いで、接着剤積層手段４０が一方の面ＲＡに第２実施形態と同様にして接着剤ＡＤを積層し、定着化手段５０が当該接着剤ＡＤ層を定着させた後、切断手段６０が接着剤ＡＤ層を接着シートＡＳと不要接着シートＵＳとに分離し、不要接着シートＵＳは、回収ローラ７２に回収されるとともに、接着シートＡＳが仮着された剥離シートＲＬは、原反ＲＳ２として回収手段８０で回収される。この際、原反ＲＳ２の内側の剥離シートＲＬの第１凹部ＨＬ１と外側の剥離シートＲＬの第２凹部ＨＬ２とが接着シートＡＳ（接着剤ＡＤ）を介して略対向するように巻回されて回収され、当該接着シートＡＳにおける第１接着面ＦＡ２１の反対側が第２凹部ＨＬ２全体に入り込むことで、第２接着面ＦＡ２２が形成されて両面接着シートＡＴが製造される。

以上のような第２、第３実施形態によっても、第１実施形態の効果を奏することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、図１中符号ＣＣ、図３中符号ＤＤで示すように、第１凹部形成手段３０や第２実施形態の第２凹部形成手段１００の円錐部３２Ａ、１０２Ａの先端に、同図中符号ＢＢ、ＦＦで示すように、第１、第２点状最深部ＤＰ１、ＤＰ２に空気逃し部としての第１、第２貫通孔ＨＡ１、ＨＡ２を形成可能な針状の空気逃し部形成手段としての第１、第２貫通孔形成部材３２Ｃ、１０２Ｃを設けてもよい。このような構成にすれば、接着剤ＡＤを第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２全体に入り込むように積層する際に、接着剤ＡＤと第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２との間に存在する空気を第１、第２貫通孔ＨＡ１、ＨＡ２から抜くことで、接着シートＡＳの第１、第２頂点ＴＰ１、ＴＰ２から外縁ＥＤにかかる部分に空気溜まりが形成され、接着剤ＡＤ層に凹凸が形成されてしまうことを防止することができる。なお、空気逃し部は、貫通孔ではなく有底穴であってもよい。さらに、第２実施形態において、第１、第２点状最深部ＤＰ１、ＤＰ２の両方に貫通孔や有底穴を形成してもよいし、一方に貫通孔を形成し、他方に有底穴を形成するようにしてもよいし、一方のみに空気逃し部を形成し、他方に空気逃し部を形成しないようにしてもよい。
また、図１、図３中二点鎖線で示すように、接着剤積層手段４０に対し剥離シートＲＬの繰出方向の下流側に、第１、第２貫通孔ＨＡ１、ＨＡ２を介して第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２内の接着剤ＡＤを吸引する吸引手段１３０を設けてもよい。このような構成にすれば、第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２に接着剤ＡＤを強制的に引き込むことができ、接着剤ＡＤ層に凹凸が形成されてしまうことを確実に防止することができる。

さらに、図１中二点鎖線で示すように、定着化手段５０と切断手段６０との間に、帯状基材ＢＳを支持する支持ローラ１４１を有する基材繰出手段１４０と、当該帯状基材ＢＳを接着剤ＡＤ層に積層する一対のローラからなる基材積層手段１５０とを設けてもよい。この場合、切断手段６０が帯状基材ＢＳおよび接着剤ＡＤ層を貫通しかつ剥離シートＲＬを貫通しない切込ＣＵを形成することで、帯状基材ＢＳを基材ＢＳ１と不要基材ＢＳ２とに分離し、基材ＢＳ１が接着シートＡＳに積層されて回収手段８０で回収されるとともに、不要基材ＢＳ２が不要シート回収手段７０で回収される。基材ＢＳ１は、接着シートＡＳから剥離して使用してもよいし、剥離せずに使用してもよい。

また、第１実施形態において、第１凹部形成手段３０の凹部形成部材３２は、円錐部３２Ａの代わりに２つの面が所定の角度で繋がる傾斜面部３２Ｄを有し、線状の１の第１最深部としての第１線状最深部ＤＬ１（２つの面の繋がり部）から離間したいずれの位置においても、当該第１線状最深部ＤＬ１側が外縁ＥＧ側に比べて深く設けられた第１凹部ＨＬＡ１を剥離シートＲＬの一方の面ＲＡに形成するように構成されていてもよい。第１凹部ＨＬＡ１は、図５に示すように、図示しない被着体（例えばガラス板）に線接触可能な第１頂部としての第１頂線ＴＬ１を当該第１凹部ＨＬ１毎に形成される１の接着シートＡＳＡの接着剤ＡＤ層に形成可能に設けられている。すなわち、第１凹部ＨＬＡ１は、第１線状最深部ＤＬ１が当該第１凹部ＨＬＡ１の中央を通り、当該第１線状最深部ＤＬ１から外縁ＥＧ側に向けて側面視で直線状に傾斜し、２つの面が所定の角度で繋がる接着面形成面ＦＣ２１と、略円筒状の側面形成面ＦＤ２１とを備えている。これにより、被着体に線接触可能な１の第１頂線ＴＬ１を備え、当該第１頂線ＴＬ１から離間したいずれの位置においても当該第１頂線ＴＬ１側が外縁ＥＤ側に比べて肉厚に設けられた接着剤ＡＤ層を有する接着シートＡＳＡを形成可能になっている。接着シートＡＳＡは、被着体の平面形状に合わせた平面形状（例えば円形）に形成され、接着剤ＡＤ層は、第１頂線ＴＬ１が接着シートＡＳＡの中央を通り、当該第１頂線ＴＬ１から外縁ＥＤ側に向けて側面視で直線状に傾斜する２つの面が所定の角度で繋がる接着面ＦＡ１と、略円筒状の側面ＦＢ１とを備えている。
接着シートＡＳＡを被着体に貼付するときには、接着シートＡＳを被着体に貼付するときと同様に、第１頂線ＴＬ１を被着体に当接させ、そのまま接着シートＡＳＡを被着体に押圧するという１の動作によって、簡単に被着体との間に気泡が形成されないように貼付することができる。
また、第２、第３実施形態において、第１凹部形成手段３０の凹部形成部材３２は、円錐部３２Ａの代わりに２つの面が所定の角度で繋がる傾斜面部３２Ｄを有し、第１線状最深部ＤＬ１が設けられた第１凹部ＨＬＡ１を形成するように構成してもよいし、第２凹部形成手段１００の凹部形成部材１０２は、円錐部１０２Ａの代わりに２つの面が所定の角度で繋がる傾斜面部１０２Ｄを有し、線状の第２最深部としての第２線状最深部ＤＬ２が設けられた第２凹部ＨＬＡ２を形成するように構成してもよい。これにより、図３中符号ＥＥで示すように、第１頂点ＴＰ１の代わりに、被着体に線接触可能な１の第１頂線ＴＬ１が設けられたり、第２頂点ＴＰ２の代わりに、被着体に線接触可能な１の第２頂線ＴＬ２が設けられたりした両面接着シートＡＴを形成可能になる。

さらに、第１凹部と第２凹部とは、同じ平面形状であってもよいし、異なる平面形状であっていてもよいし、同じ深さでもよいし、異なる深さでもよいし、これらのような構成において一方の面の点状最深部または線状最深部を他方の面の点状最深部または線状最深部に対し前後左右のいずれかに位相して設けてもよいし、位相せずに設けてもよい。
また、本発明における第１、第２凹部形成手段は、側面形成面を有さない第１、第２凹部を形成するようにしてもよい。
さらに、本発明における第１、第２凹部形成手段で形成される第１、第２凹部の平面形状は、楕円形、三角形や五角形などの多角形、その他の異形であってもよく、被着体の平面形状と同じ平面形状でもよいし、当該被着体の平面形状と異なる平面形状でもよい。
さらに、第１線状最深部ＤＬ１は、図１、図３、図４の左方から視て上方に、第２線状最深部ＤＬ２は、図３の上方から視て右方に、図４の左方から視て上方に、湾曲または折れ線状に曲がっていてもよいし、第１線状最深部ＤＬ１は、図１、図３、図４の上方から視て、第２線状最深部ＤＬ２は、図３の左方や図４の上方から視て、湾曲または折れ線状に曲がっていてもよい。
また、第１凹部ＨＬＡ１、第２凹部ＨＬ２、ＨＬＡ２の深さは、第１凹部ＨＬ１の深さと同様に、第２頂点ＴＰ２や第１、第２頂線ＴＬ１、ＴＬ２の高低差を考慮して適宜決定することができる。
供給口４１Ａの前後幅は、剥離シートＲＬの前後方向の幅よりも長くてもよいし、短くてもよい。
供給幅調整手段４３の前後幅調整板４３Ｃは、前後一対となるように設けた２体のリニアモータ４３Ａの各スライダ４３Ｂにそれぞれ１体ずつ設けてもよいし、１のリニアモータ４３Ａの１のスライダ４３Ｂに１体設けてもよい。
部分供給量調整手段４４は、供給口４１Ａにおける剥離シートＲＬの繰出方向上流側および下流側の両側（左右両側）にリニアモータ４４Ａおよび左右幅調整板４４Ｃを設けてもよい。
また、接着面ＦＡ、ＦＡ１は、側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよく、それに応じて、第１、第２接着面形成面ＦＣ２１、ＦＣ２２も側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
さらに、第２頂点ＴＰ２、第２頂線ＴＬ２は、１の接着シートに対して１でもよいし複数でもよく、それに合わせて第２点状最深部ＤＰ２、第２線状最深部ＤＬ２の数を増減させることができる。
また、接着シートは、被着体の平面形状に合わせた形状でもよいし、それらの平面形状に合わせない形状例えば、被着体からはみ出したり、はみ出さない形状でもよく、例えば、円形、多角形、楕円形等、どのような形状であってもよい。
第１凹部ＨＬ１、ＨＬＡ１に側面形成面ＦＤ２１はなくてもよい。
第２凹部ＨＬ２に側面形成面ＦＤ２２はなくてもよい。
第１、第２点状最深部ＤＰ１、ＤＰ２の位置は、第１、第２凹部ＨＬ１、ＨＬ２の中心でもよいし、当該中心からずれていてもよい。
第１、第２線状最深部ＤＬ１、ＤＬ２の通る位置は、第１、第２凹部ＨＬＡ１、ＨＬＡ２の中心を通る位置でもよいし、当該中心を通らない位置でもよい。
また、切断手段６０は、レーザカッタや圧縮エア切断、圧縮水切断等の他の切断手段でもよいし、人手や他の装置で切断する場合、設けなくてもよい。

また、本発明における接着シート製造装置で製造される接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１凹部形成手段は、点状または線状の１の第１最深部から離間したいずれの位置においても、当該第１最深部側が外縁側に比べて深く設けられ、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を当該第１凹部毎に形成される１の接着シートの接着剤層に形成可能な第１凹部を剥離シートの一方の面に形成可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０、１０Ａ、１０Ｂ…接着シート製造装置
３０、１００…第１、第２凹部形成手段
３２Ｃ、１０２Ｃ…第１、第２貫通孔形成手段（空気逃し部形成手段）
４０…接着剤積層手段
８０…回収手段
１１０…剥離シート積層手段
ＡＤ…接着剤
ＡＳ、ＡＳＡ…接着シート
ＡＴ…両面接着シート（接着シート）
ＤＰ１、ＤＰ２…第１、第２点状最深部（点状の第１、第２最深部）
ＤＬ１、ＤＬ２…第１、第２線状最深部（線状の第１、第２最深部）
ＨＡ１、ＨＬ２…第１、第２貫通孔（空気逃がし部）
ＨＬ１、ＨＬＡ１…第１凹部
ＨＬ２、ＨＬＡ２…第２凹部
ＲＡ、ＲＡ１…一方の面
ＲＢ…他方の面
ＲＬ…剥離シート
ＲＬ１…別の剥離シート
ＴＬ１、ＴＬ２…第１、第２頂線（第１、第２頂部）
ＴＰ１、ＴＰ２…第１、第２頂点（第１、第２頂部）

Claims

点状または線状の１の第１最深部を有する第１凹部であって、前記第１最深部から離間したいずれの位置においても、当該第１最深部側が前記第１凹部の外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を剥離シートの一方の面に形成する第１凹部形成手段と、
前記第１凹部が形成された剥離シートの前記一方の面に接着剤を積層する接着剤積層手段とを備え、
前記第１凹部は、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を有する接着剤層であって、前記第１頂部から離間したいずれの位置においても、当該第１頂部側が前記接着剤層の外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを当該第１凹部毎に形成し、
前記第１凹部形成手段は、前記第１凹部に入り込んだ前記接着剤層と前記第１凹部との間に介在する空気を抜くまたは貯めることができる空気逃し部を前記第１凹部に形成可能な空気逃し部形成手段を備えていることを特徴する接着シート製造装置。
点状または線状の１の第１最深部を有する第１凹部であって、前記第１最深部から離間したいずれの位置においても、当該第１最深部側が前記第１凹部の外縁側に比べて深く設けられた第１凹部を剥離シートの一方の面に形成する工程と、
前記第１凹部に空気逃し部を形成する工程と、
前記第１凹部が形成された剥離シートの前記一方の面に接着剤を積層し、前記第１凹部に入り込んだ接着剤層と前記第１凹部との間に介在する空気を前記空気逃し部から抜くまたは前記空気逃し部に貯めることで、被着体に点接触可能または線接触可能な１の第１頂部を有する接着剤層であって、前記第１頂部から離間したいずれの位置においても、当該第１頂部側が前記接着剤層の外縁側に比べて肉厚に設けられた接着剤層を有する１の接着シートを当該第１凹部毎に形成する工程とを備えていることを特徴する接着シート製造方法。