JP2009253083A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数箇所に被着面WSを有する被着体Wを支持するテーブル13と、被着面WSに臨む位置に第2の剥離シートRL2が仮着された両面接着シートAを供給する供給手段11と、前記両面接着シートAを各被着面WSに貼付する貼付ユニット12と、各被着面WSに貼付された両面接着シートAを各被着面WSの大きさに合わせて切断するロボット15と、前記切断によって各被着面WSの外側に生ずる不要接着シートS1を回収する回収手段19とを備えてシート貼付装置10が構成されている。供給ユニット11と貼付ユニット12と回収手段19とが各被着面WS上に残る第2の剥離シートRL2を除去する機能をも備えている。
【選択図】図2
Description
このような接着シートを貼付するための装置及び方法は、例えば、特許文献1に開示されている。同文献に開示されたシート貼付装置は、複数の半導体ウエハに対して接着シートを略同時に貼付し、各半導体ウエハの大きさに合わせて接着シートを切断する構成となっている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複数の被着面に略同時に接着シートを貼付することができ、また被着体を支持する支持手段の構成を複雑にすることのないシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記被着体を支持する支持手段と、前記各被着面に臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、前記接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断手段と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収手段とを備える、という構成を採っている。
前記被着体を支持する支持手段と、一方の面に剥離シートが仮着された両面接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給手段と、前記両面接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、前記各被着面に貼付された両面接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断手段と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収手段とを備え、前記供給手段と貼付手段と回収手段とは、各被着面に貼付された両面接着シートに仮着されている前記剥離シートを除去する機能をも備える、という構成を採ることもできる。
前記被着体を支持する支持工程と、前記各被着面に臨む位置に接着シートを供給する供給工程と、前記接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収工程とを含む、という手法を採っている。
前記被着体を支持する支持工程と、一方の面に剥離シートが仮着された両面接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給工程と、前記両面接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、前記各被着面に貼付された両面接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収工程と、前記供給工程、貼付工程及び回収工程と同様の工程を繰り返して各被着面に貼付された両面接着シートに仮着されている前記剥離シートを除去する除去工程とを含む、という手法を採ることができる。
また、被着面が複数箇所に分散していても、被着体自体は単一の部材であるため、従来のような複数のテーブルを要しない。
更に、供給手段と貼付手段と回収手段とが剥離シートを除去する機能をも備えた構成であれば、両面接着シートを被着面に貼付した後に、当該被着面上に仮着されている剥離シートを除去するための専用装置を設ける必要性を排除でき、供給手段、貼付手段及び回収手段の有効利用を図ることができる。
ロボット15が工具保持チャック69で吸着アーム100(図2参照)を支持し、被着体Wを内側テーブル52上に移載する。その後、ロボット15は、工具保持チャック69で吸着アーム100からカッター刃63に持ち替えて支持し、切断に備えることとなる。
図1に示されるように、支持ローラ20に支持された原反Rから第2の剥離シートRL2が仮着された両面接着シートAが被着体Wの各被着面WSに臨む位置に供給される。なお、この供給は、先に行われた一連のシート貼付動作における回収工程により既に行われている(後述の回収工程参照)。
貼付角度維持手段37が図1中左下方に移動する一方、その移動に同期して貼付ユニット12が同図中左側に移動することで、押圧ローラ14が第2の剥離シートRL2に仮着された両面接着シートAを押圧して被着面WSに貼付することとなる。
被着体Wの各被着面WSに貼付された両面接着シートAは、ロボット15によって、第2の剥離シートRL2と共に被着面Wの大きさに合わせて切断される。
回収手段19が図1中左側に移動するとともに、剥離ローラ部18とモータMの駆動により、被着面WSの外側に生じた不要接着シートS1を回収ローラ93で巻き取って回収する。その後、貼付角度維持手段37が上方へ移動する一方、その移動に同期して貼付ユニット12と回収手段19とが図1に示される位置に復帰する。この復帰動作中、モータMがロック状態とされることで供給ユニット11から新たな両面接着シートAが所定長さ引き出されることとなる。
以上の動作が行われた後、被着面WS上には、第2の剥離シートRL2が両面接着シートAに仮着された状態で残されていることとなる。この残された第2の剥離シートRL2は、再び(供給工程)、(貼付工程)及び(回収工程)と同様の動作を行うことで除去することができる。すなわち、(供給工程)新たに第2の剥離シートRL2が仮着された両面接着シートAを被着面WSに臨む位置に供給する。(貼付工程)貼付角度維持手段37と貼付ユニット12との同期駆動によって、両面接着シートAを被着面WSに貼付する。(回収工程)回収手段19が図1中左側に移動し、新たに引き出された両面接着シートAを被着体Wから剥離して回収ローラ93で回収する。これらの動作により、図4に示されるように、被着面WS上に残された第2の剥離シートRL2は、両面接着シートAに貼付されて被着面WS上から除去されることとなる。その後、貼付角度維持手段37、貼付ユニット12及び回収手段19が同期駆動して図1に示される位置に復帰するときに、新たな両面接着シートAが所定長さ引き出される。
また、両面接着シートAを貼付すべき面が複数であっても、被着体Wは単一の板状体であるため、その移載若しくは搬送を迅速に行うことができ、被着体Wを支持するテーブルも簡易に構成することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 供給ユニット(供給手段)
12 貼付ユニット(貼付手段)
13 テーブル(支持手段)
15 ロボット(切断手段)
19 回収手段
A 両面接着シート(接着剤層)
RL1 第1の剥離シート
RL2 第2の剥離シート(基材シート)
S 接着シート
S1 不要接着シート
W 被着体
WS 被着面
Claims (4)
- 複数箇所に被着面を有する被着体に、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、
前記各被着面に臨む位置に接着シートを供給する供給手段と、
前記接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、
前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断手段と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収手段とを備えたことを特徴とするシート貼付装置。 - 複数箇所に被着面を有する被着体に、両面接着シートを貼付するシート貼付装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、
一方の面に剥離シートが仮着された両面接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給手段と、
前記両面接着シートを各被着面に貼付する貼付手段と、
前記各被着面に貼付された両面接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断手段と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収手段とを備え、
前記供給手段と貼付手段と回収手段とは、各被着面に貼付された両面接着シートに仮着されている前記剥離シートを除去する機能をも備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 複数箇所に被着面を有する被着体に、基材シートの一方の面に接着剤層を有する接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記被着体を支持する支持工程と、
前記各被着面に臨む位置に接着シートを供給する供給工程と、
前記接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、
前記各被着面に貼付された接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。 - 複数箇所に被着面を有する被着体に、両面接着シートを貼付するシート貼付方法において、
前記被着体を支持する支持工程と、
一方の面に剥離シートが仮着された両面接着シートを前記各被着面に臨む位置に供給する供給工程と、
前記両面接着シートを各被着面に貼付する貼付工程と、
前記各被着面に貼付された両面接着シートを各被着面の大きさに合わせて切断する切断工程と、
前記切断によって各被着面の外側に生ずる不要接着シートを回収する回収工程と、
前記供給工程、貼付工程及び回収工程と同様の工程を繰り返して各被着面に貼付された両面接着シートに仮着されている前記剥離シートを除去する除去工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074657A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 粘着シート貼着用補助治具 |
JP2014030066A (ja) * | 2013-11-14 | 2014-02-13 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2017130575A (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 治具及び治具を用いた加工方法 |
CN108376654A (zh) * | 2017-01-31 | 2018-08-07 | 株式会社迪思科 | 判定方法、测量装置和粘合带粘贴装置 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5981822B2 (ja) * | 2012-09-27 | 2016-08-31 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP6678516B2 (ja) * | 2016-05-31 | 2020-04-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置および貼付方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2919938B2 (ja) * | 1990-09-26 | 1999-07-19 | 日東電工株式会社 | 薄板に貼着した粘着テープのカット方法 |
JP2003257898A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Nitto Denko Corp | 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法 |
WO2007018041A1 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Lintec Corporation | シート貼付装置及び貼付方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4441450B2 (ja) * | 2005-07-07 | 2010-03-31 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP4841412B2 (ja) * | 2006-12-06 | 2011-12-21 | 日東電工株式会社 | 基板貼合せ装置 |
JP4906518B2 (ja) * | 2007-01-15 | 2012-03-28 | 日東電工株式会社 | 粘着テープ貼付け方法およびこれを用いた粘着テープ貼付け装置 |
-
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- 2008-04-08 JP JP2008100347A patent/JP5113599B2/ja active Active
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2919938B2 (ja) * | 1990-09-26 | 1999-07-19 | 日東電工株式会社 | 薄板に貼着した粘着テープのカット方法 |
JP2003257898A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Nitto Denko Corp | 接着シート貼付方法およびその装置並びに半導体ウエハ処理方法 |
WO2007018041A1 (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-15 | Lintec Corporation | シート貼付装置及び貼付方法 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074657A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-04-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 粘着シート貼着用補助治具 |
JP2014030066A (ja) * | 2013-11-14 | 2014-02-13 | Lintec Corp | シート貼付装置および貼付方法 |
JP2017130575A (ja) * | 2016-01-21 | 2017-07-27 | 株式会社ディスコ | 治具及び治具を用いた加工方法 |
TWI704642B (zh) * | 2016-01-21 | 2020-09-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 治具及使用治具的加工方法 |
CN108376654A (zh) * | 2017-01-31 | 2018-08-07 | 株式会社迪思科 | 判定方法、测量装置和粘合带粘贴装置 |
JP2018123211A (ja) * | 2017-01-31 | 2018-08-09 | 株式会社ディスコ | 判定方法、測定装置、及び粘着テープ貼着装置 |
TWI753998B (zh) * | 2017-01-31 | 2022-02-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 判斷方法、測量裝置以及黏著膠帶之黏貼裝置 |
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