KR101497639B1 - 시트 첩부 장치 및 첩부 방법 - Google Patents

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KR101497639B1
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히데아키 노나카
겐지 고바야시
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린텍 가부시키가이샤
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    • H01L21/67132Apparatus for placing on an insulating substrate, e.g. tape

Abstract

복수 개소에 피착면(WS)을 갖는 피착체(W)를 지지하는 테이블(13)과, 피착면(WS)에 면하는 위치에 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 공급하는 공급 수단(11)과, 상기 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)에 첩부하는 첩부 유닛(12)과, 각 피착면(WS)에 첩부된 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 절단하는 로봇(15)과, 상기 절단에 의해 각 피착면(WS)의 외측에 생기는 불필요 접착 시트(S1)를 회수하는 회수 수단(19)을 구비하여 시트 첩부 장치(10)가 구성되어 있다. 공급 유닛(11)과 첩부 유닛(12)과 회수 수단(19)이 각 피착면(WS) 위에 잔류하는 제 2 박리 시트(RL2)를 제거하는 기능도 구비하고 있다.

Description

시트 첩부 장치 및 첩부 방법{APPARATUS AND METHOD FOR ATTACHING SHEET}
본 발명은 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에 시트를 부착함과 아울러, 각 피착면의 크기에 맞추어 시트를 절단할 수 있는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법에 관한 것이다.
유리 등의 판상 부재를 적층하는 경우에는, 그 맞춤면에 양면 접착 시트 등으로 이루어지는 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있고, 또한 반도체 웨이퍼는 그 표면측에 보호 시트나, 이면측에 다이본딩 시트 등의 접착 시트를 첩부하는 것이 행해지고 있다.
이러한 접착 시트를 첩부하기 위한 장치 및 방법은, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 동 문헌에 개시된 시트 첩부 장치는, 복수의 반도체 웨이퍼에 대하여 접착 시트를 대략 동시에 첩부하고, 각 반도체 웨이퍼의 크기에 맞추어 접착 시트를 절단하는 구성으로 되어 있다.
특허문헌 1: WO 2007/018041 A1
(발명의 개시)
(발명이 해결하고자 하는 과제)
그렇지만, 특허문헌 1에 개시된 시트 첩부 장치에 있어서는, 피착체가 되는 복수의 반도체 웨이퍼를 지지하는 테이블이 복수로 되어 지지 수단의 구성을 복잡하게 해버리는 문제가 있는 외에, 지지 수단에 지지시키는 피착체의 수에 따라 당해 피착체의 반송 공정이 증대해 버린다고 하는 문제가 있다.
[발명의 목적]
본 발명은 이러한 문제에 주목하여 안출된 것으로, 그 목적은 복수의 피착면에 대략 동시에 접착 시트를 첩부할 수 있고, 또 피착체를 지지하는 지지 수단의 구성을 복잡하게 하지 않는 시트 첩부 장치 및 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과, 상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 수단과, 상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과, 상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비한다는 구성을 채용하고 있다.
또, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,
상기 피착체를 지지하는 지지 수단과, 일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 수단과, 상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과, 상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고, 상기 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단은, 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 기능도 구비한다고 하는 구성을 채용할 수도 있다.
또한 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과, 상기 각 피착면에 면하는 위치에 접착 시트를 공급하는 공급 공정과, 상기 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과, 상기 각 피착면에 첩부된 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정을 포함한다고 하는 수법을 채용하고 있다.
또, 본 발명은, 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에, 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,
상기 피착체를 지지하는 지지 공정과, 일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 공정과, 상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과, 상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과, 상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정과, 상기 공급 공정, 첩부 공정 및 회수 공정과 동일한 공정을 반복하여 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 제거 공정을 포함한다고 하는 수법을 채용할 수 있다.
본 발명에 의하면, 피착체에 있어서의 접착 시트의 피착면이 복수 개소에 존재해도, 이들 피착면에 접착 시트를 첩부하여 각 피착면의 크기로 절단을 행함으로써, 피착체의 필요부위에만 접착 시트를 첩부할 수 있다.
또, 피착면이 복수 개소로 분산되어 있어도, 피착체 자체는 단일 부재이기 때문에, 종래와 같은 복수의 테이블을 요하지 않는다.
또한, 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단이 박리 시트를 제거하는 기능도 구비한 구성이면, 양면 접착 시트를 피착면에 첩부한 후에, 당해 피착면 위에 가부착되어 있는 박리 시트를 제거하기 위한 전용장치를 설치할 필요성을 배제할 수 있어, 공급 수단, 첩부 수단 및 회수 수단의 유효 이용을 도모할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도.
도 2는 상기 시트 첩부 장치의 개략 사시도.
도 3은 테이블 및 로봇의 부분 단면도.
도 4는 각 피착면으로부터 제 2 박리 시트를 박리하는 상태를 나타내는 개략 사시도.
(발명을 실시하기 위한 최선의 형태)
이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1에는 본 발명의 실시형태에 따른 시트 첩부 장치의 개략 정면도가 도시되고, 도 2에는 그 개략 사시도가 도시되어 있다. 이들 도면에서, 시트 첩부 장치(10)는 대략 동일 평면 내에서 복수 개소에 분산된 피착면(WS)을 갖는 판상의 피착체(W)를 지지하는 테이블(13)(지지 수단)과, 각 피착면(WS)에 면하는 위치에 양면 접착 시트(A)를 공급하는 공급 유닛(11)(공급 수단)과, 압력을 부여하여 상기 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)에 첩부하는 첩부 유닛(12)(첩부 수단)과, 각 피착면(WS)에 양면 접착 시트(A)를 첩부한 후에, 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 양면 접착 시트(A)를 절단하는 다관절형의 로봇(15)(절단 수단)과, 각 피착면(WS)의 외측에 생기는 불필요 접착 시트(S1)를 회수하는 회수 수단(19)을 구비하여 구성되어 있다.
상기 피착체(W)는, 도 3 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 대략 사각형의 제 1 판상체(W1)와, 당해 제 1 판상체(W1)의 면 내 4개소의 오목부(101)에 배치된 평면으로 보아 대략 사각형의 제 2 판상체(W2)로 이루어진다. 본 실시형태에서의 피착면(WS)은 제 1 판상체(W1)의 상면 위치보다도 상위에 위치하고, 피착체(W)는 양면 접착 시트(A)를 통하여 도시하지 않은 판상체 등이 첩합되는 것으로, 예를 들면, 복층유리 등의 구성부품으로서 이용된다.
상기 테이블(13)은, 도 3 및 도 4에 도시되는 바와 같이, 평면으로 보아 대략 사각형의 외측 테이블(51)과, 이 외측 테이블(51)의 내측에 배치된 평면으로 보아 대략 사각형의 내측 테이블(52)에 의해 구성되어 있다. 외측 테이블(51)은 승강기구(52A)를 통하여 승강 가능하게 설치된 내측 테이블(52)을 수용 가능하게 되고, 승강기구(51A)를 통하여 베이스 플레이트(BP)에 대하여 승강 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 내측 테이블(52)은 외측 테이블(51)의 상면을 기준위치로 하여 피착면(WS)의 높이 위치를 소정 위치에 맞추도록 승강 가능하게 되는 한편, 외측 테이블(51)은 누름 롤러(14)의 누름면을 기준으로 하여 양면 접착 시트(A) 및 제 2 박리 시트(RL2)의 두께에 따라 승강 가능하게 되어, 누름 롤러(14)의 단위면적당의 누르는 힘을 대략 일정하게 유지하도록 설치되어 있다. 또한, 내측 테이블(51)은 양면 접착 시트(A)가 감열접착성인 경우에 대비하여 도시하지 않은 가열 수단을 내장할 수 있다.
상기 공급 유닛(11)은, 제 1 박리 시트(RL1) 및 제 2 박리 시트(RL2) 사이에, 감압접착성의 양면 접착 시트(A)가 가부착된 원재료 시트(R)를 지지하는 지지 롤러(20)와, 원재료 시트(R)를 풀어내는 도중에 당해 원재료 시트(R)로부터 제 1 박리 시트(RL1)를 박리하는 필 플레이트(22)와, 제 1 박리 시트(RL1)를 권취하는 권취 롤러(23)와, 지지 롤러(20)와 권취 롤러(23) 사이에 배치된 복수의 가이드 롤러(25∼32)와, 가이드 롤러(27, 28) 사이에 배치되고, 로드셀(39)에 지지된 장력 측정 롤러(40)를 구비하여 구성되어 있다. 필 플레이트(22)와 가이드 롤러(27, 28, 29)와 장력 측정 롤러(40)는 첩부각도 유지 수단(37)으로서 일체적으로 지지되고, 상기 첩부 유닛(12)과의 동기 이동에 의해 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 피착체(W)에 첩부 가능하게 되어 있다.
상기 첩부 유닛(12)은 문형(門型) 프레임(57)에 지지됨과 아울러, 실린더(59)에 의해 승강 가능하게 설치된 누름 롤러(14)로 구성되어 있다.
또한, 상기 공급 유닛(11) 및 첩부 유닛(12)은 본 출원인에 의해 출원된 일본 특원 2005-198806호에 개시된 것과 동일하며, 여기에서는, 그것들의 상세한 설명을 생략한다.
상기 로봇(15)은, 도 3에 도시되는 바와 같이, 로봇 본체(62)와, 당해 로봇 본체(62)의 자유단측에 지지되는 커터날(63)을 구비하여 구성되어 있다. 로봇 본체(62)는 베이스부(64)와, 당해 베이스(64)부의 상면측에 배치되어 화살표(A∼F) 방향으로 회전 가능하게 설치된 제 1 암(65A)∼제 6 암(65F)과, 제 6 암(65F)의 선단측에 부착된 공구유지 척(69)을 포함한다. 제 2, 제 3 및 제 5 암(65B, 65C, 65E)은, 도 3 중 Y×Z면 내에서, 각각 화살표(B, C, E) 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있음과 아울러, 제 1, 제 4 및 제 6 암(65A, 65D, 65F)은 그 축 주위에 각각 화살표(A, D, F) 방향으로 회전 가능하게 설치되어 있다. 이것에 의해, 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 각 피착면(WS)의 크기에 맞추어 절단이 가능하게 되어 있다. 또한, 이 절단으로 피착면(WS)의 외측에 생긴 제 2 박리 시트(RL2) 및 양면 접착 시트(A)를 불필요 접착 시트(S1)라고 한다.
상기 회수 수단(19)은 이동 프레임(F)에 지지된 롤러(80, 81)로 이루어지는 박리 롤러부(18)와, 모터(M)의 구동에 의해 회전하는 구동 롤러(90)와, 회전암(91)의 자유단측에 지지되고, 스프링(92)을 통하여 구동 롤러(90)의 외주면에 압접하는 회수 롤러(93)에 의해 구성되어 있다. 이동 프레임(F)은 전방부 프레임(F1)과, 연결 부재(83)를 통하여 연결된 후방부 프레임(F2)으로 이루어지고, 단축 로봇(85)과 가이드 레일(61)에 지지되어 X축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이것에 의해, 단축 로봇(85)과 모터(M)가 동기 구동함으로써, 이동 프레임(F)이 도 1 중 좌측 방향으로 이동되고, 박리 롤러부(18)로 불필요 접착 시트(S1)를 피착체(W)로부터 박리하고 회수 롤러(93)로 권취하여 회수하도록 되어 있다.
다음에 본 실시형태의 동작에 대하여 설명한다. 또한, 양면 접착 시트(A)의 첩부동작은 실질적으로 일본 특원 2005-198806호와 동일하기 때문에, 설명을 간략하게 한다.
(지지 공정)
로봇(15)이 공구유지 척(69)으로 흡착 암(100)(도 2 참조)을 지지하고, 피착체(W)를 내측 테이블(52) 위에 옮겨싣는다. 그 후, 로봇(15)은 공구유지 척(69)으로 흡착 암(100)으로부터 커터날(63)로 바꿔 들고 지지하여, 절단에 대비하게 된다.
(공급 공정)
도 1에 도시되는 바와 같이, 지지 롤러(20)에 지지된 원재료 시트(R)로부터 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)가 피착체(W)의 각 피착면(WS)에 면하는 위치에 공급된다. 또한, 이 공급은 앞에 행해진 일련의 시트 첩부동작에 있어서의 회수 공정에 의해 이미 행해졌다(후술의 회수 공정 참조).
(첩부 공정)
첩부각도 유지 수단(37)이 도 1 중 좌측 하방으로 이동하는 한편, 그 이동에 동기하여 첩부 유닛(12)이 동 도면 중 좌측으로 이동함으로써, 누름 롤러(14)가 제 2 박리 시트(RL2)에 가부착된 양면 접착 시트(A)를 눌러 피착면(WS)에 첩부하게 된다.
(절단 공정)
피착체(W)의 각 피착면(WS)에 첩부된 양면 접착 시트(A)는, 로봇(15)에 의해, 제 2 박리 시트(RL2)와 함께 피착면(W)의 크기에 맞추어 절단된다.
(회수 공정)
회수 수단(19)이 도 1 중 좌측으로 이동함과 아울러, 박리 롤러부(18)와 모터(M)의 구동에 의해, 피착면(WS)의 외측에 생긴 불필요 접착 시트(S1)를 회수 롤러(93)로 권취하여 회수한다. 그 후, 첩부각도 유지 수단(37)이 상방으로 이동하는 한편, 그 이동에 동기하여 첩부 유닛(12)과 회수 수단(19)이 도 1에 도시되는 위치로 복귀한다. 이 복귀 동작 중, 모터(M)가 로킹 상태로 됨으로써 공급 유닛(11)으로부터 새로운 양면 접착 시트(A)가 소정 길이 끌어내지게 된다.
(제거 공정)
이상의 동작이 행해진 후, 피착면(WS) 위에는, 제 2 박리 시트(RL2)가 양면 접착 시트(A)에 가부착된 상태로 남겨져 있게 된다. 이 남겨진 제 2 박리 시트(RL2)는 다시 (공급 공정), (첩부 공정) 및 (회수 공정)과 동일한 동작을 행함으로써 제거할 수 있다. 즉, (공급 공정) 새롭게 제 2 박리 시트(RL2)가 가부착된 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 면하는 위치에 공급한다. (첩부 공정) 첩부각도 유지 수단(37)과 첩부 유닛(12)과의 동기 구동에 의해, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부한다. (회수 공정) 회수 수단(19)이 도 1 중 좌측으로 이동하고, 새롭게 끌어내진 양면 접착 시트(A)를 피착체(W)로부터 박리하여 회수 롤러(93)로 회수한다. 이들 동작에 의해, 도 4에 도시되는 바와 같이, 피착면(WS) 위에 남겨진 제 2 박리 시트(RL2)는 양면 접착 시트(A)에 첩부되고 피착면(WS) 위에서 제거되게 된다. 그 후, 첩부각도 유지 수단(37), 첩부 유닛(12) 및 회수 수단(19)이 동기 구동하여 도 1에 도시되는 위치로 복귀할 때, 새로운 양면 접착 시트(A)가 소정 길이 끌어내진다.
이렇게 하여, 피착면(WS) 위에 양면 접착 시트(A)만이 첩부된 피착체(W)는 흡착 암(100)을 지지한 로봇(15)에 의해 후공정에 반송되고, 소정의 처리가 행해지게 된다. 그리고, 이후 동일한 동작을 반복한다.
따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 단일 피착체(W)에 있어서, 복수의 피착면(WS)을 갖는 것이어도, 일체적인 옮겨싣기 혹은 반송을 가능하게 하여, 대략 동시에 양면 접착 시트(A)를 첩부할 수 있다.
또, 양면 접착 시트(A)를 첩부해야 할 면이 복수이더라도, 피착체(W)는 단일의 판상체이기 때문에, 그 옮겨싣기 혹은 반송을 신속하게 행할 수 있어, 피착체(W)를 지지하는 테이블도 간이하게 구성할 수 있다.
이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최선의 구성, 방법 등은, 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.
즉, 본 발명은, 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 가지 변경을 가할 수 있는 것이다.
예를 들면, 상기 실시형태에서는, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부하는 경우를 도시, 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니고, 기재 시트의 일방의 면에 접착제층이 설치된 접착 시트(S)를 피착면(WS)에 첩부하는 시트 첩부 장치(10)로 해도 된다. 이 경우, 제 2 박리 시트(RL2)를 기재 시트로 하고, 양면 접착 시트(A)를 접착제층으로 하여 접착 시트(S)를 구성하고, 제거 공정을 생략하면 된다.
또, 상기 실시형태에서는, 양면 접착 시트(A)를 피착면(WS)에 첩부할 때와 동일한 동작으로 제 2 박리 시트(RL2)를 양면 접착 시트(A)로부터 제거하는 경우를 설명했지만, 제 2 박리 시트(RL2)를 박리하지 않고 테이블(13)로부터 후공정에 반송해도 된다.
또한, 상기 제 1 박리 시트(RL1)를 갖지 않는 원재료 시트를 사용할 수도 있고, 이 경우에는, 가이드 롤러(30, 31) 및 권취 롤러(23) 등은 불필요하게 된다.
또, 피착면의 평면 형상은 도시 구성예에 한정되는 것은 아니고, 원형, 타원형, 다각형 등이어도 되고, 그것들의 조합이어도 된다.
또한, 본 발명의 시트 첩부 장치(10)는 반도체 웨이퍼의 회로면에 보호 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치나, 접착 시트를 통하여 반도체 웨이퍼와 링 프레임을 일체화하는 마운트 장치로서 채용할 수 있다.
10 시트 첩부 장치
11 공급 유닛(공급 수단)
12 첩부 유닛(첩부 수단)
13 테이블(지지 수단)
15 로봇(절단 수단)
19 회수 수단
A 양면 접착 시트(접착제층)
RL1 제 1 박리 시트
RL2 제 2 박리 시트(기재 시트)
S 접착 시트
S1 불필요 접착 시트
W 피착체
WS 피착면

Claims (4)

  1. 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치에 있어서,
    상기 피착체를 지지하는 지지 수단과,
    일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 수단과,
    상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 수단과,
    상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 수단과,
    상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 수단을 구비하고,
    상기 공급 수단과 첩부 수단과 회수 수단은 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 기능도 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
  2. 복수 개소에 피착면을 갖는 피착체에 양면 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 방법에 있어서,
    상기 피착체를 지지하는 지지 공정과,
    일방의 면에 박리 시트가 가부착된 양면 접착 시트를 상기 각 피착면에 면하는 위치에 공급하는 공급 공정과,
    상기 양면 접착 시트를 각 피착면에 첩부하는 첩부 공정과,
    상기 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트를 각 피착면의 크기에 맞추어 절단하는 절단 공정과,
    상기 절단에 의해 각 피착면의 외측에 생기는 불필요 접착 시트를 회수하는 회수 공정과,
    상기 공급 공정, 첩부 공정 및 회수 공정과 동일한 공정을 반복하여 각 피착면에 첩부된 양면 접착 시트에 가부착되어 있는 상기 박리 시트를 제거하는 제거 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.
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