JP5789463B2 - シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法 - Google Patents
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本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献1の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図1(A)を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、前記次期剥離領域Sbは、初期剥離領域Sa以外の全領域に限られず、初期剥離領域Saに隣接して当該初期剥離領域Saの剥離の次に剥離される接着シートASの一部領域としてもよい。例えば、前期実施形態のベアラ38における浅切込領域44中間部に深切込領域42より小さい径寸法となる領域を形成し、次期剥離領域Sbの次に剥離される接着シートAS部分の切込CUの深さを、次期切込CU2や初期切込CU1より深く形成してもよい。
また、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
更に、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、
また、上記実施形態と同様のベアラ38をプラテンローラ37側にも装着し、ダイカットローラ36に装着したベアラ38に当接させ、切込CUの深さを変更するように構成したり、ダイカットローラ36にはベアラ38を装着せずに、プラテンローラ37に装着したベアラ38をダイカットローラ36の外周面36Aに当接させ、切込CUの深さを変更するように構成したりしてもよい。
14 繰出手段
15 切断手段
18 剥離板(剥離手段)
19 押圧ローラ(押圧手段)
36 ダイカットローラ
37 プラテンローラ
38 ベアラ
40 切断刃
54 除去手段
57 変位手段
AD 接着剤層
AS 接着シート
BS 基材シート
CU 切込
CU1 初期切込
CU2 次期切込
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
Sa 初期剥離領域(接着シートの繰出方向先端部)
Sb 次期剥離領域(接着シートの内側領域)
US 不要シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
WS 帯状シート
Claims (7)
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記ベアラの接触面、ダイカットローラの外周面又はプラテンローラの外周面の付着物を除去可能な除去手段を有することを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記除去手段を変位可能な変位手段を有することを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記接着シートの繰出方向先端部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項1、2又は3記載のシート貼付装置。
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラと、前記ダイカットローラ及びプラテンローラの少なくとも一方の外周面に装着されるとともに、これらダイカットローラとプラテンローラとの間に挟まれてそれらを間接的に接触させることで所定の間隔を維持可能なベアラとを備え、
前記ベアラは、装着されるダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられ、前記切込の形成にあたり、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
所定形状の切込を形成可能な切断刃を有するダイカットローラと、前記原反を間に挟んで前記ダイカットローラと対向配置されて当該ダイカットローラの押圧力を受け止めるプラテンローラとにより、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、装着される前記ダイカットローラの外周面又は、プラテンローラの外周面から接触面までの距離が不均一に設けられたベアラをダイカットローラとプラテンローラとの間に挟んでそれらを間接的に接触させておき、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。
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