JP5897856B2 - シート製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート製造装置及び製造方法を提供することにある。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成する、という方法を採っている。
また、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献1の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、刃基板41を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる高刃部46の数を増やすことができる。
更に、前記実施形態では、高刃部46を切断刃40の円周方向に30°の角度範囲で形成したものを例示したが、30°以下の角度範囲で形成してもよいし、高刃部46が隣接する高刃部46と繋がらない範囲で30°以上の角度範囲で形成してもよい。
更に、切断刃40は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
また、高刃部46や低刃部48の高さは、原反RSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる上、高刃部46よりも高さが低く且つ低刃部48も高さが高い中間刃部を形成してもよい。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃40とプラテンローラ37との相対間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、
14 繰出手段
15 切断手段
18 剥離板(剥離手段)
19 押圧ローラ(押圧手段)
40 切断刃
46 高刃部
48 低刃部
AD 接着剤層
AS 接着シート
BS 基材シート
CU 切込
CU1 初期切込
CU2 次期切込
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
Sa 初期剥離領域(接着シートの繰出方向先端部)
Sb 次期剥離領域(接着シートの内側領域)
US 不要シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
WS 帯状シート
Claims (2)
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域における前記繰出方向先端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込および、前記接着シートの繰出方向後端部に対応する切込の深さが、前記接着シートの内側領域に対応する切込における前記繰出方向後端部以外の少なくとも一部分の深さに比べて深い切込のうち、少なくとも一方を形成することを特徴とするシート製造方法。
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