KR101837133B1

KR101837133B1 - 시트 제조장치 및 제조방법

Info

Publication number: KR101837133B1
Application number: KR1020120100891A
Authority: KR
Inventors: 소 이시하라
Original assignee: 린텍 가부시키가이샤
Priority date: 2011-09-28
Filing date: 2012-09-12
Publication date: 2018-03-09
Also published as: TWI534942B; KR20130034591A; JP5897856B2; CN103035558B; CN103035558A; JP2013074098A; TW201316447A

Abstract

[과제] 박리 시트가 얇아진 경우에도, 접착 시트의 형성, 박리 및 첩부를 양호하게 행할 수 있게 하는 것.
[해결 수단] 띠 형상 시트(WS)가 띠 형상의 박리 시트(RL)에 가부착된 롤 시트(RS)를 풀어내는 풀어내기 수단(14)과, 띠 형상 시트(WS)에 칼자국(CU)을 형성하고 당해 칼자국(CU)의 내측에 접착 시트(AS)를 형성하는 절단 수단(15)과, 접착 시트(AS)를 초기 박리영역(풀어내기 방향 선단부)(Sa)으로부터 차기 박리영역(내측 영역)(Sb)를 향하여 박리하는 박리판(18)을 구비하여 시트 첩부장치(10)가 구성되어 있다. 절단 수단(15)은 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 초기 칼자국(CU1)의 깊이가 차기 박리영역(Sb)에 대응하는 차기 칼자국(CU2)의 깊이에 비해 깊은 칼자국을 형성 가능하게 설치되어 있다.

Description

시트 제조장치 및 제조방법{APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING SHEET}

본 발명은 시트 첩부장치와 첩부방법, 및 시트 제조장치와 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 띠 형상 시트에 칼자국을 형성하여 접착 시트를 형성할 수 있는 시트 첩부장치와 첩부방법, 및 시트 제조장치와 제조방법에 관한 것이다.

종래부터, 반도체 웨이퍼(이하, 단지 「웨이퍼」라고 칭하는 경우가 있음) 등의 피착체에 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부장치가 널리 이용되게 되었고, 이러한 시트 첩부장치로서는, 예를 들면, 특허문헌 1에 개시되어 있다. 특허문헌 1의 시트 첩부장치는 띠 형상 시트가 박리 시트에 가부착되어 이루어지는 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 수단과, 이 롤 시트를 풀어내는 과정에서 폐쇄 루프 형상의 칼자국을 형성하는 절단날과, 칼자국의 내측에 형성된 접착 시트를 박리 시트로부터 박리하는 필 플레이트와, 박리된 접착 시트를 웨이퍼 및 링 프레임에 눌러서 첩부할 수 있는 프레스 롤러를 구비하고 있다. 이러한 시트 첩부 장치로 칼자국을 형성하는 경우, 도 4(A)에 도시되어 있는 바와 같이, 절단날(HC)의 날끝이 20㎛ 전후 박리 시트(RL)에 들어가도록, 당해 절단날(HC)과 플래튼 롤러(PR)의 상대간격이 조정된다. 또한, 이러한 박리 시트(RL)는 통상 50㎛ 전후의 두께를 갖는 것이 채용된다. 동 도면 중 WS는 띠 형상 시트, BS는 기재 시트, AD는 접착제층, RS는 롤 시트를 나타낸다.

일본 특개 2005-116928호 공보

(발명의 개요)

(발명이 해결하고자 하는 과제)

그런데, 박리 시트(RL)에서는, 재료 비용을 저감하기 위하여, 25㎛ 전후의 비교적 얇은 것이 채용되는 기회가 많아지고 있다. 이러한 비교적 얇은 박리 시트(RL)가 채용된 롤 시트를 특허문헌 1의 장치에서 사용하면, 도 4(B)에 도시되는 바와 같이, 절단날(HC)의 날끝이 박리 시트(RL)에 들어가지 않게 되어, 필 플레이트에서 칼자국(CU)의 내측에 형성된 접착 시트와, 그 외측에 형성된 불필요 시트를 확실하게 떼어 낼 수 없어, 당해 접착 시트가 불필요 시트와 함께 권취되어 버림으로써, 접착 시트의 첩부를 행할 수 없게 된다고 하는 문제가 발생한다.

여기에서, 도 4(B)에 있어서, 절단날(HC)의 날끝이 박리 시트(RL)에 들어가도록 당해 절단날(HC)과 플래튼 롤러(PR)와의 상대간격을 재조정함으로써 접착 시트를 확실하게 불필요 시트로부터 떼어내도록 할 수 있다. 그런데, 이 경우, 칼자국(CU)이 형성된 위치에 있어서의 박리 시트(RL)의 두께가 지나치게 얇아져 버리므로, 약간의 외력을 받은 것만으로 접착 시트와 그것에 대응하는 박리 시트 부분이 롤 시트(RS)로부터 누락되거나, 필 플레이트로 접착 시트를 박리할 때에, 당해 접착 시트와 함께 대응하는 박리 시트 부분도 빠져버려, 박리 시트 부분이 부수된 상태의 접착 시트가 피착체에 첩부되어 버리거나 하는 것과 같은 접착 시트의 첩부 불량을 발생해 버린다고 하는 문제를 초래한다.

[발명의 목적]

본 발명의 목적은, 박리 시트가 얇아진 경우에도, 접착 시트의 형성, 박리 및 첩부를 양호하게 행할 수 있는 시트 첩부장치와 첩부방법, 및 시트 제조장치와 제조방법을 제공하는 것에 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 수단과, 상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하고 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 수단과, 상기 박리 시트에 가부착된 상기 접착 시트를 당해 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부로부터 당해 접착 시트의 내측 영역을 향하여 박리하는 박리 수단과, 상기 접착 시트를 피착체에 눌러서 첩부하는 누름 수단을 포함하는 시트 첩부장치로서,

상기 절단 수단은 상기 접착 시트에 있어서의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이에 비해 깊은 칼자국을 형성 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

본 발명에 있어서, 상기 절단 수단은 띠 형상 시트의 두께 방향에 높이를 갖는 절단날을 구비하고, 이 절단날은 상기 접착 시트에 있어서의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국을 형성 가능한 높은 칼날부와, 이 높은 칼날부보다 낮은 높이에 형성되어 상기 접착 시트의 내측 영역을 형성 가능한 낮은 칼날부를 포함한다고 하는 구성을 채용하는 것이 바람직하다.

또한 상기 높은 칼날부는 절단날의 복수 개소에 설치되고, 각 높은 칼날부는 상기 접착 시트에 있어서의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국을 형성할 수 있는 위치에 선택적으로 배치 가능하게 설치된다고 하는 구성도 바람직하게는 채용된다.

또한 상기 풀어내기 수단은, 상기 절단 수단과 연동하여 1장의 접착 시트 형성에 대하여, 상기 높은 칼날부에서의 절단을 복수회 행하면 좋다.

또한 상기 절단 수단으로 절단되는 영역의 롤 시트를 가열할 수 있는 에너지 부여 수단을 갖는다고 하는 구성을 채용할 수 있다.

또한 본 발명의 시트 첩부방법은 띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 공정과,

상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하고 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 공정과,

상기 박리 시트에 가부착된 상기 접착 시트를 당해 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부로부터 당해 접착 시트의 내측 영역을 향하여 박리하는 박리 공정과,

상기 접착 시트를 피착체에 눌러서 첩부하는 누름 공정을 구비하고, 상기 절단 공정에 있어서, 상기 접착 시트에서의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이에 비해 깊은 칼자국을 형성한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

또한 본 발명의 시트 제조장치는, 띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 수단과,

상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하고 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 수단을 포함하는 시트 제조장치로서,

상기 절단 수단은, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부 및 풀어내기 방향 후단부의 적어도 일방에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이에 비해 깊은 칼자국을 형성 가능하게 설치된다고 하는 구성을 채용하고 있다.

또한 본 발명의 시트 제조방법은, 띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 공정과,

상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하고 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 공정을 구비하고,

상기 절단 공정에 있어서, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부 및 풀어내기 방향 후단부의 적어도 일방에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이에 비해 깊은 칼자국을 형성한다고 하는 방법을 채용하고 있다.

본 발명에 의하면, 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이를 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이보다 깊게 형성할 수 있으므로, 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부를 확실하게 불필요 시트로부터 떼어낼 수 있다. 이것에 의해, 종래와 같이 접착 시트가 불필요 시트와 함께 권취되어 버림으로써 접착 시트의 첩부를 행할 수 없게 되는 것과 같은 문제를 해소할 수 있다. 이 때, 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국의 깊이는 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국에 비해 얕게 형성되어 있지만, 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부만 불필요 시트와 떼어낼 수 있다면, 접착 시트의 박리의 진행에 따라 당해 접착 시트는 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국을 따라 불필요 시트로부터 떼어진다.

또한 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 박리 시트의 칼자국의 깊이가 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 박리 시트의 칼자국의 깊이보다 얕아져 있으므로, 접착 시트와 그것에 대응하는 박리 시트 부분이 롤 시트로부터 누락되거나, 박리 시트 부분이 부수된 상태의 접착 시트가 피착체에 첩부되어 버리거나 한다고 하는 것과 같은 접착 시트의 첩부 불량을 억제할 수 있다. 이 때, 특허문헌 1의 장치와 같이, 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 박리 시트 부분이 필 플레이트에서 접착 시트와 함께 빠져 버리는 경우가 있지만, 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 박리 시트의 칼자국의 깊이가 얕으므로, 접착 시트와 함께 빠져버린 박리 시트 부분이 그것 이상 커지진 않아, 당해 박리 시트 부분은 박리 시트의 정규의 회수방향으로 잡아당겨서 회수되게 된다.

또한, 상기 시트 제조장치 및 제조방법에 의하면, 상기와 마찬가지로 칼자국이 형성된 롤 시트를 준비할 수 있어, 당해 롤 시트를 시트 첩부 장치나 첩부 방법에 사용한 경우, 전술한 바와 같이 접착 시트의 박리 및 첩부를 어렵지 않게 행할 수 있게 된다.

또한 절단 수단의 절단날이 낮은 칼날부 및 높은 칼날부를 갖는 경우, 상기한 바와 같은 칼자국 깊이의 칼자국을 간단하게 형성하는 것이 가능하게 된다.

또한 복수의 높은 칼날부가 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부를 형성할 수 있도록 선택적으로 배치 가능하게 되므로, 하나의 높은 칼날부의 높이가 마모 등에 의해 열화되어도, 각 높은 칼날부의 위치를 바꾸어 다른 높은 칼날부를 이용할 수 있다.

또한 높은 칼날부에서의 절단을 복수회 행함으로써, 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이를 안정하게 소정의 깊이로 하는 것이 가능하게 된다.

또한 에너지 부여 수단을 갖는 경우, 롤 시트에 에너지를 부여하고, 예를 들면, 기재 시트나 접착제층 등을 연화시켜 칼자국을 형성하기 쉽게 할 수 있어, 절단 불량을 양호하게 회피하는 것이 가능하게 된다.

도 1은 실시형태에 따른 시트 첩부장치의 개략 정면도.
도 2는 절단 수단의 개략 사시도.
도 3(A)는 칼날 기판 및 절단날의 전개도, 도 3(B)는 도 3(A)의 단면도.
도 4(A) 및 도 4(B)는 종래예에 따른 절단 요령을 나타내는 설명도.

(발명을 실시하기 위한 형태)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.

또한, 본 명세서에서, 특별히 명시하지 않는 한,「좌」,「우」,「상」,「하」는 도 1을 기준으로 하여 사용한다.

도 1 내지 도 3에서, 시트 첩부장치(10)는 피착체로서의 웨이퍼(WF) 및 링 프레임(RF)을 흡착 지지하는 테이블(11)과, 이 테이블(11)을 좌우방향으로 이동 가능한 구동 기기로서의 직동 모터(12)와,「띠 형상의 박리 시트(RL)와, 그 일방의 면에 가부착된 띠 형상 시트(WS)로 구성된 롤 시트(RS)를 풀어내기 가능한 풀어내기 수단(14)과, 이 풀어내기 수단(14)에 의해 풀어내진 롤 시트(RS)의 띠 형상 시트(WS)에 칼자국(CU)을 형성하고, 당해 칼자국(CU)의 내측에 접착 시트(AS)를 형성함과 아울러, 당해 칼자국(CU)의 외측에 불필요 시트(US)를 형성하는 절단 수단(15)과, 불필요 시트(US)를 권취 가능한 권취 수단(16)과, 박리 시트(RL)를 뒤집어 꺾어서 접착 시트(AS)를 박리 시트(RL)로부터 박리하는 박리 수단으로서의 박리판(18)과, 이 박리판(18)으로 박리된 접착 시트(AS)를 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF)에 눌러서 첩부하는 누름 수단으로서의 누름 롤러(19)를 구비하여 구성되어 있다. 띠 형상 시트(WS)는 기재 시트(BS)와, 이 기재 시트(BS)의 일방의 면에 적층된 접착제층(AD)을 구비하고, 당해 접착제층(AD)을 통하여 박리 시트(RL)에 가부착되어 있다. 또한, 웨이퍼(WF)의 하면에는 보호 시트(PS)가 첩부되어 있다.

상기 풀어내기 수단(14)은 롤 시트(RS)를 지지하는 지지축(25)과, 이 지지축(25)으로부터 풀어내어져 절단 수단(15)을 통과하기 전의 롤 시트(RS)를 사이에 끼는 제 1 구동 롤러(27) 및 제 1 핀치 롤러(28)와, 박리판(18)을 경과한 후의 박리 시트(RL)를 사이에 끼는 제 2 구동 롤러(31) 및 제 2 핀치 롤러(32)와, 이것들을 통과한 후의 박리 시트(RL)를 도시하지 않은 구동 기기에 의해 소정의 토크로 권취하는 권취축(34)을 구비하고 있다. 각 구동 롤러(27, 31)는 구동 기기로서의 회동 모터(DM1, DM2)를 통하여 회전 가능하게 설치되어 있다.

상기 절단 수단(15)은 풀어내진 롤 시트(RS)의 띠 형상 시트(WS)측에 배치되고, 회전축선(MC)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 다이컷 롤러(36)와, 롤 시트(RS)의 박리 시트(RL)측에 배치되고, 도시하지 않은 기구에 의해 다이컷 롤러(36)와 연동하여 회전축선(PC)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 플래튼 롤러(37)와, 다이컷 롤러(36)를 회전시키는 구동 기기로서의 회동 모터(DM3)와, 다이컷 롤러(36)와 플래튼 롤러(37)와의 상대간격을 조정하는 간격조정 수단이며 도시하지 않은 직동 모터 등의 구동 기기를 구비하고 있다.

상기 다이컷 롤러(36)는 띠 형상 시트(WS)를 절단하여 칼자국(CU)을 형성하는 절단날(40)과, 이 절단날(40)이 표면에 돌출 설치되는 칼날 기판(41)과, 이 칼날 기판(41)을 외주에 둘러 감기 가능한 원기둥 형상의 마그넷 실린더(43)를 구비하고 있다.

상기 절단날(40)은, 칼자국(CU)을 형성할 때에, 띠 형상 시트(WS)의 두께방향으로 높이를 갖도록 칼날 기판(41)으로부터 돌출 설치되어 있다. 절단날(40)은, 도 3(A)에 도시되어 있는 바와 같이, 칼날 기판(41)을 평면으로 전개했을 때에, 대략 원형이 되는 형상으로 설치되고, 띠 형상 시트(WS)에 링 프레임(RF)의 내경 치수보다도 크고, 외형 치수보다도 작은 대략 원형의 칼자국(CU)을 형성 가능하게 설치되어 있다. 절단날(40)은 그 원 형상의 둘레방향으로 90°간격마다 4개 형성된 높은 칼날부(46)와, 서로 이웃하는 높은 칼날부(46) 사이에 각각 위치함과 아울러, 높은 칼날부(46)보다 낮은 높이가 되는 낮은 칼날부(48)를 구비하고 있다. 각 높은 칼날부(46)는 절단날(40)의 원주방향으로 30°의 각도 범위에서 각각 형성되어 있다. 본 실시형태의 경우, 칼날 기판(41)을 에칭 가공하여 절단날(40)이 형성되고, 높은 칼날부(46)의 높이는 450㎛로 설정되고, 낮은 칼날부(48)의 높이는 435㎛로 설정되어 있다.

상기 칼날 기판(41)은 마그넷 실린더(43)에 자력을 통하여 착탈 가능하게 설치되어 있다. 칼날 기판(41)은, 평면으로 전개했을 때에, 대략 정방 형상으로 형성되고, 그 4변을 따르도록 각각 높은 칼날부(46)가 설치되어 있다. 또한 칼날 기판(41)은 1변의 길이가 마그넷 실린더(43)의 외주 길이 이하로 설치되고, 전개한 상태로부터 마주 대하는 2변이 대향하는 상태에서 마그넷 실린더(43)에 둘러 감기 가능하게 되어 있다. 따라서, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이, 칼날 기판(41)을 마그넷 실린더(43)에 장착했을 때에, 절단날(40)에 있어서의 높은 칼날부(46)는 마그넷 실린터(43)의 축방향 양측 및 둘레방향 양측에 위치하게 된다. 여기에서, 절단날(40)에 의해 형성된 접착 시트(AS)는 띠 형상 시트(WS)의 풀어내기 방향(롤 시트(RS)가 지지축(25)으로부터 권취축(34)을 향하는 방향) 선단 영역이 높은 칼날부(46)에 의해 형성된다. 이 높은 칼날부(46)에 의해 형성된 접착 시트(AS) 부분이 박리판(18)에 의해 박리 시트(RL)로부터 최초로 박리되는 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부로서의 초기 박리영역(Sa)이 되고, 이 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 칼자국(CU) 부분이 초기 칼자국(CU1)으로 된다. 또한 초기 박리영역(Sa)에 인접하여 낮은 칼날부(48)에 의해 형성되는 접착 시트(AS) 부분이, 초기 박리영역(Sa)의 박리의 후에 박리되는 접착 시트의 내측 영역으로서의 차기 박리영역(Sb)이 되고, 이 차기 박리영역(Sb)에 대응하는 칼자국(CU) 부분이 차기 칼자국(CU2)으로 된다. 또한, 칼날 기판(41)은, 마그넷 실린더(43)에 둘러 감을 때에, 대향하는 2변을 다른 2변으로 변경하거나, 마그넷 실린더(43)의 축방향에 대한 방향을 반대로 하거나 해도 된다. 이것에 의해, 4개의 높은 칼날부(46)의 어느 것도 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 초기 칼자국(CU1)을 형성 가능하게 되어, 높은 칼날부(46)의 열화 상태 등에 따라 어느 하나의 높은 칼날부(46)를 선택적으로 이용하는 것이 가능하게 된다.

여기에서, 절단 수단(15)에는 도시하지 않은 에너지 부여 수단이 설치되고, 이 에너지 부여 수단에 의해 롤 시트(RS)에 에너지를 부여하면서 칼자국(CU)을 형성 가능하게 되어 있다. 에너지 부여 수단으로서는, 예를 들면, 다이컷 롤러(36) 및 플래튼 롤러(37)의 적어도 일방에 내장되는 코일 히터 외에, 이들 롤러(36, 37)로부터 떨어진 위치로부터 칼자국(CU)의 형성 위치에 온풍을 송풍하는 송풍기기나 자외선, 적외선, 마이크로파 등의 에너지선 등을 조사하는 조사장치 등을 예시할 수 있다.

상기 권취 수단(16)은 절단 수단(15)에 의해 칼자국(CU)을 형성한 후의 불필요 시트(US)에 둘러 걸쳐져서 당해 불필요 시트(US)를 박리 시트(RL)로부터 박리하는 박리 롤러(50)와, 박리 롤러(50)를 경과한 후의 불필요 시트(US)를 권취하는 권취축(51)을 구비하여 구성되어 있다. 권취축(51)은 구동 기기로서의 회동 모터(DM4)를 통하여 회전 가능하게 설치되고, 소정의 토크로 불필요 시트(US)를 권취 가능하게 되어 있다.

다음에 본 실시형태에 있어서의 접착 시트(AS)의 첩부방법에 대하여 설명한다.

우선, 지지축(25)에 지지된 롤 시트(RS)를 제 1 구동 롤러(27)와 제 1 핀치 롤러(28) 사이, 및, 다이컷 롤러(36)와 플래튼 롤러(37) 사이를 통과시킨다. 그리고, 박리 시트(RL)로부터 띠 형상 시트(WS)를 박리하고, 당해 띠 형상 시트(WS)를 박리 롤러(50)에 둘러 걸친 후, 그 리드단을 권취축(51)에 고정한다. 또한 박리 시트(RL)는 박리판(18)의 선단에서 뒤집어 꺾어서 제 2 구동 롤러(31)와 제 2 핀치 롤러(32) 사이를 통과시키고, 그 리드단을 권취축(34)에 고정한다. 또한, 본 실시형태에서는, 띠 형상 시트(WS)의 두께는 100㎛, 박리 시트(RL)의 두께는 25㎛의 것이 채용되었다. 또한 절단날(40)은 마그넷 실린더(43)의 외주에 둘러감기고, 높은 칼날부(46)와 플래튼 롤러(37)와의 상대간격이 5㎛가 되도록, 도시하지 않은 간격 조정 수단에 의해 조정되어 있다. 이것에 의해, 낮은 칼날부(48)와 플래튼 롤러(37)와의 상대간격은 20㎛로 되어 있다. 본 실시형태에서는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 다이컷 롤러(36)의 회전방향에 있어서의 절단날(40)이 형성되어 있지 않은 영역의 중앙을 다이컷 롤러(36)의 스타트 위치(St)로 하고, 당해 스타트 위치(St)가 플래튼 롤러(37)에 재접근한 상태에서, 다이컷 롤러(36)의 회전을 정지시켜 둔다.

그리고, 회동 모터(DM1∼DM4)를 연동시켜 롤 시트(RS)를 풀어내면, 절단날(40)에 의해 기재 시트(BS)측으로부터 박리 시트(RL)측을 향하여 칼자국(CU)이 형성되고, 띠 형상 시트(WS)는 칼자국(CU)의 내측의 접착 시트(AS)와, 칼자국(CU)의 외측의 불필요 시트(US)로 구분된다. 여기에서, 접착 시트(AS)에는, 높은 칼날부(46)에 의해 초기 칼자국(CU1)이 형성되어 초기 박리영역(Sa)이 형성된 후, 낮은 칼날부(46)에 의해 차기 칼자국(CU2)이 형성되어 차기 박리영역(Sb)이 형성된다. 이것에 의해 초기 칼자국(CU1)에 대응하는 박리 시트(RL)에는, 높은 칼날부(46)가 20㎛ 들어감으로써, 초기 칼자국(CU1)이 확실하게 박리 시트(RL)에 들어가, 초기 박리영역(Sa)이 불필요 시트(US)와 떼어내기 쉬워진다. 또한 차기 칼자국(CU2)에 대응하는 박리 시트(RL)에는, 낮은 칼날부(48)가 5㎛밖에 들어가지 않으므로, 차기 박리영역(Sb)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분은 절단되기 어려워진다.

칼자국(CU)의 형성 후, 풀어내진 롤 시트(RS)는 박리 롤러(50)로 박리 시트(RL)로부터 불필요 시트(US)가 박리되고, 불필요 시트(US)가 권취축(51)에 권취된다. 이 때, 박리영역(Sa)이 불필요 시트(US)와 떼어내기 쉽게 되어 있으므로, 접착 시트(AS)가 불필요 시트(US)와 함께 권취축(51) 방향으로 함께 올라가는 일은 없다. 이어서, 불필요 시트(US)가 권취된 롤 시트(RS)의 접착 시트(AS)가 박리판(18)의 선단으로부터 소정량 박리되어 빠져나오면, 도시하지 않은 센서에서 당해 접착 시트(AS)의 선단이 검출되어 정지하고, 스탠바이 상태가 된다. 또한, 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분도 접착 시트(AS)와 함께 박리판(18)으로부터 빠져나오는 경우가 있다. 그러나, 차기 박리 영역(Sb)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분이 절단되기 어렵게 되어 있으므로, 롤 시트(RS)의 풀어내기에 따라 접착 시트(AS)와 함께 빠져나온 박리 시트 부분이 그것 이상 커지지는 않고, 이 접착 시트(AS)와 함께 빠져나온 박리 시트 부분에 박리판(18)의 선단으로부터 제 2 구동 롤러(31) 방향으로 잡아당기는 힘이 작용하여, 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분을 확실하게 접착 시트(AS)로부터 박리할 수 있다. 또한, 스탠바이 상태일 때, 다이컷 롤러(36)는, 도 1에 도시되어 있는 바와 같이, 절단날(40)이 없는 위치가 플래튼 롤러(37)측에 위치하도록 설정되어, 도시하지 않은 구동 기기인 칼자국 위치 조정 수단에 의해, 다이컷 롤러(36) 및 플래튼 롤러(37)의 위치를 상하방향으로 변위할 수 있게 구성되어 있다. 이것에 의하면 각 접착 시트(AS)의 간격을 임의로 조정할 수 있는데다, 접착 시트(AS)의 풀어내기 방향에 있어서의 길이에 따라, 그것들의 위치를 상하방향으로 변경할 수 있다. 그 후, 도시하지 않은 반송 수단을 통하여 링 프레임(RF)과 웨이퍼(WF)가 테이블(11) 위에 재치되고, 흡착하여 지지된다. 이어서, 직동 모터(12)를 통하여 테이블(11)이 박리판(18)의 하방을 우측에서 좌측으로 반송시킨다. 테이블(11)이 소정의 위치에서 도시하지 않은 센서에 의해 검지되면, 테이블(11)의 반송에 동기하여 제 1 및 제 2 구동 롤러(27, 31)가 회전하여 롤 시트(RS)가 풀어내어져, 박리판(18)의 선단에서 접착 시트(AS)가 박리된다. 그리고, 박리된 접착 시트(AS)가 누름 롤러(19)에 의한 압력을 받아, 링 프레임(RF) 및 웨이퍼(WF)의 각 상면에 첩부되고, 접착 시트(AS)를 통하여 웨이퍼(WF)와 링 프레임(RF)이 일체화된다. 이 때, 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분이 확실하게 접착 시트(AS)로부터 박리되어 있으므로, 박리 시트(RL) 부분이 부수된 상태의 접착 시트(AS)가 피착체에 첩부되는 것과 같은 경우는 없다.

따라서, 이러한 실시형태에 의하면, 절단날(40)에 의한 절단에서 초기 박리영역(Sa)이 차기 박리영역(Sb)보다 칼자국 깊이를 깊게 할 수 있으므로, 접착 시트(AS)가 불필요 시트(US)와 함께 박리되어, 당해 접착 시트(AS)가 첩부 불능으로 되는 것을 방지하는 것이 가능하게 된다. 게다가, 차기 박리영역(Sb)에 대응하는 박리 시트(RL) 부분에의 낮은 칼날부(48)의 칼자국 깊이가 얕으므로, 절단 수단(15)을 거친 후의 롤 시트(RS)로부터, 접착 시트(AS)가 누락되어, 당해 접착 시트(AS)의 첩부를 행할 수 없게 되는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 상기 실시형태에 의하면, 박리 시트(RL)가 얇아져도, 이것에 대응하여 접착 시트(AS)의 형성, 박리 및 첩부를 양호하게 행할 수 있어, 얇아짐에 따른 비용 절감의 요구에 부응할 수 있다.

이상과 같이, 본 발명을 실시하기 위한 최량의 구성, 방법 등은 상기 기재에서 개시되어 있지만, 본 발명은 이것에 한정되는 것은 아니다.

즉, 본 발명은 주로 특정 실시형태에 관하여 특별히 도시, 설명되어 있지만, 본 발명의 기술적 사상 및 원하는 범위로부터 일탈하지 않고, 이상에서 설명한 실시형태에 대하여, 형상, 위치 혹은 배치 등에 관하여, 필요에 따라 당업자가 여러 변경을 가할 수 있는 것이다.

따라서, 상기에 개시한 형상 등을 한정한 기재는, 본 발명의 이해를 쉽게 하기 위하여 예시적으로 기재한 것으로, 본 발명을 한정하는 것은 아니므로, 그것들의 형상 등의 한정의 일부 혹은 전부의 한정을 벗어난 부재의 명칭에서의 기재는 본 발명에 포함되는 것이다.

예를 들면, 상기 권취 수단(16)을 생략하고, 박리 시트(RL)로부터 불필요 시트(US)를 박리하지 않고, 박리판(18)으로 접착 시트(AS)를 박리하여, 박리 시트(RL)와 불필요 시트(US)를 권취축(34)으로 권취하도록 해도 된다. 이러한 경우에도, 박리판(18)으로 초기 박리영역(Sa)을 박리할 수 없어, 접착 시트(AS)가 불필요 시트(US)와 함께 제 2 구동 롤러(31) 방향으로 권취되어 버리는 것을 방지할 수 있다.

또한 칼자국(C)의 형성에서는, 각 회동 모터(DM1∼DM4)를 연동시켜 롤 시트(RS)를 풀어내기 방향으로 왕복운동시키고, 1장의 접착 시트(AS) 형성에 대하여, 초기 박리영역(Sa)에 대응하는 높은 칼날부(46)에서의 절단을 복수회 행해도 된다.

또한 상기 시트 첩부장치(10)의 박리판(18) 및 누름 롤러(19)를 생략함으로써, 시트 제조장치를 구성해도 된다. 동 장치에 의하면, 상기 실시형태와 마찬가지로 절단 수단(15)에 의해 접착 시트(AS)를 형성한 후, 당해 접착 시트(AS)가 박리 시트(RL)에 가부착된 롤 시트(RS)가 권취축(34)에 권취된다. 권취축(34)에 권취된 롤 시트(RS)는 별도 반송, 보관하거나, 절단 수단을 갖지 않는 시트 첩부장치 등으로 이용하거나 할 수 있다. 이와 같이, 권취축(34)에 권취된 롤 시트(RS)를 그 상태 그대로 절단 수단을 갖지 않는 시트 첩부장치 등에서 이용하는 경우, 풀어내기 수단(14)의 풀어내기 방향 후단부가 당해 시트 첩부장치 등의 초기 박리영역(Sa)이 되므로, 적어도 접착 시트(AS)에 있어서의 풀어내기 수단(14)의 풀어내기 방향 후단부의 칼자국(CU)이 다른 영역에 비해 깊어지도록, 절단 수단(15)의 높은 칼날부(46)를 설치하면 된다.

또한 절단날(40)의 평면 형상은 띠 형상 시트(WS)에 칼자국(CU)을 형성하여 당해 칼자국(CU)의 내측을 접착 시트(AS)로서 형성할 수 있는 한에 있어서, 다각 형상, 타원, 장원, 마름모형, 직선과 곡선을 조합시킨 형상 등, 여러 변경이 가능하며, 칼날의 높이도 임의로 변경할 수 있다.

또한 상기 실시형태에 있어서, 초기 박리영역(Sa)을 형성하는 높은 칼날부(46) 이외의 적어도 하나의 높은 칼날부(46)를 생략해도 된다.

또한 칼날 기판(41)을 원형이나 다각형으로 형성함으로써 선택적으로 이용할 수 있는 높은 칼날부(46)의 수를 늘릴 수 있다.

또한 상기 실시형태에서는, 높은 칼날부(46)를 절단날(40)의 원주방향으로 30°의 각도 범위에서 형성한 것을 예시했지만, 30°이하의 각도 범위에서 형성해도 되고, 높은 칼날부(46)가 인접하는 높은 칼날부(46)와 연결되지 않는 범위에서 30°이상의 각도 범위에서 형성해도 된다.

또한 절단 수단(15)은 상기 초기 칼자국(CU1)이나 차기 칼자국(CU2)을 형성 가능한 한에 있어서, 레이저 광선 등의 다른 절단 수단을 사용해도 된다.

또한 절단날(40)은 에칭 가공에 의해 형성되는 것 이외에, 기계 가공에 의해 형성되는 조각칼이나, 로터리 다이 이외에, 평평한 판 위에 칼날이 형성된 평날이나, 톰슨날 등을 사용해도 된다.

또한 높은 칼날부(46)나 낮은 칼날부(48)의 높이는 롤 시트(RS)의 두께나 성질 등을 고려하여 적당히 변경할 수 있는데다, 높은 칼날부(46)보다도 높이가 낮고 또한 낮은 칼날부(48)도 높이가 높은 중간 칼날부를 형성해도 된다.

또한 풀어내기 수단(14)이나 박리판(18), 누름 롤러(19)는 여러 설계 변경이 가능하다. 또한 간격 조정 수단을 소위 베어러로 구성해도 되고, 간격 조정 수단에 의한 절단날(40)과 플래튼 롤러(37)와의 상대간격은 롤 시트(RS)의 두께나 성질, 특히 박리 시트(RS)의 두께나 성질 등을 고려하여 적당하게 변경할 수 있다. 또한 롤 시트(RS)를 구성하는 부재의 두께는 상기 실시형태에서 예시한 것에 조금도 한정되지는 않는다.

또한 시트 첩부장치(10)를 이동시키는 구동 기기를 설치하고, 테이블(11)을 정지시킨 상태에서, 시트 첩부장치(10)를 도 1 중 우측방향으로 이동시키거나, 테이블(11)을 좌측 방향으로 이동시킴과 아울러, 시트 첩부장치(10)를 우측방향으로 이동시키거나 하여 접착 시트(AS)를 피착체에 첩부하도록 구성해도 된다.

또한 상기 실시형태에 있어서의 구동 기기는 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 다관절 로봇 등의 전동기기, 에어실린더, 유압실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린터 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는데다, 그것들을 직접적 또는 간접적으로 조합시킨 것을 채용할 수도 있다(실시형태에서 예시한 것과 중복하는 것도 있음).

또한 피착체는, 웨이퍼(WF)나 링 프레임(RF) 대신에 유리판, 강판, 또는, 수지판 등 또한 링 프레임(RF) 대신에 C자 형상이나 U자 형상 등의 다른 형상의 프레임을 사용해도 되고, 링 프레임(RF) 없이 단독의 피착체를 접착 시트(AS)의 첩부 대상으로 해도 된다.

10 시트 첩부장치
14 풀어내기 수단
15 절단 수단
18 박리판(박리 수단)
19 누름 롤러(누름 수단)
40 절단날
46 높은 칼날부
48 낮은 칼날부
AD 접착제층
AS 접착 시트
BS 기재 시트
CU 칼자국
CU1 초기 칼자국
CU2 차기 칼자국
RF 링 프레임(피착체)
RL 박리 시트
RS 롤 시트
Sa 초기 박리영역(접착 시트의 풀어내기 방향 선단부)
Sb 차기 박리영역(접착 시트의 내측 영역)
US 불필요 시트
WF 반도체 웨이퍼(피착체)
WS 띠 형상 시트

Claims

띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 수단과,
상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하여 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 수단을 포함하는 시트 제조장치로서,
상기 절단 수단은, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국에 있어서의 상기 풀어내기 방향 선단부 이외의 적어도 일부분의 깊이에 비해 깊은 칼자국 및, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 후단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국에 있어서의 상기 풀어내기 방향 후단부 이외의 적어도 일부분의 깊이에 비해 깊은 칼자국 중, 적어도 일방을 형성 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 시트 제조장치.
띠 형상의 기재 시트의 일방의 면에 접착제층을 갖는 띠 형상 시트가 당해 접착제층을 통하여 띠 형상의 박리 시트에 가부착된 롤 시트를 풀어내는 풀어내기 공정과,
상기 띠 형상 시트에 소정 형상의 칼자국을 형성하고 당해 칼자국의 내측에 접착 시트를 형성함과 아울러, 당해 칼자국의 외측에 불필요 시트를 형성하는 절단 공정을 구비하고,
상기 절단 공정에서, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 선단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국에 있어서의 상기 풀어내기 방향 선단부 이외의 적어도 일부분의 깊이에 비해 깊은 칼자국 및, 상기 접착 시트의 풀어내기 방향 후단부에 대응하는 칼자국의 깊이가 상기 접착 시트의 내측 영역에 대응하는 칼자국에 있어서의 상기 풀어내기 방향 후단부 이외의 적어도 일부분의 깊이에 비해 깊은 칼자국 중, 적어도 일방을 형성하는 것을 특징으로 하는 시트 제조방법.
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