JP5075084B2 - 保護テープ貼付け方法および保護テープ貼付け装置 - Google Patents
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Description
常温より低い温度で前記保護テープを冷却し、当該保護テープを熱収縮させた状態で半導体ウエハの表面に貼り付ける
ことを特徴とする。
前記半導体ウエハを保持するチャックテーブルを冷却し、冷却された半導体ウエハを介して保護テープを冷却することを特徴とする。
前記保護テープに冷却された気体を吹き付けながら半導体ウエハに保護テープを貼付けることを特徴とする。
保冷容器に収納されたロール原反から帯状の前記保護テープを繰り出しながら半導体ウエハに貼付けることを特徴とする。
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持された半導体ウエハの表面上に保護テープを供給するテープ供給手段と、
供給された前記保護テープに貼付けローラを押圧転動させながら半導体ウエハの表面に貼付けるテープ貼付け手段と、
貼付けられた前記保護テープを半導体ウエハの外周に沿って切り抜くテープ切断手段と、
切断後の不要テープを回収するテープ回収手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼付けられる保護テープを冷却するテープ冷却手段とを備え、
常温よりも低い温度で前記保護テープを冷却し、当該保護テープを熱収縮させた状態で半導体ウエハの表面に貼り付けるように構成した
ことを特徴とする。
前記テープ冷却手段は、前記チャックテーブルを冷却するものである。
前記テープ冷却手段は、保持テーブル内に設けられた循環パイプに冷媒を循環させる構成である。
前記テープ冷却手段は、前記保持テーブルに内装したペルチェ素子である。
前記テープ冷却手段は、冷却された気体を吹き付けるノズルである。
22 … 冷却プレート
23 … 冷却パイプ
24 … 冷却装置
25 … 循環ポンプ
26 … ペルチェ素子
27 … エアー源
28 … ノズル
T … 保護テープ
W … 半導体ウエハ
Claims (10)
- 回路パターンの形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼付ける保護テープ貼付け方法であって、
常温より低い温度で前記保護テープを冷却し、当該保護テープを熱収縮させた状態で半導体ウエハの表面に貼り付ける
ことを特徴とする保護テープ貼付け方法。 - 請求項1に記載の保護テープ貼付け方法において、
前記半導体ウエハを保持するチャックテーブルを冷却し、冷却された半導体ウエハを介して保護テープを冷却する
ことを特徴とする保護テープ貼付け方法。 - 請求項1または請求項2に記載の保護テープ貼付け方法において、
前記保護テープに冷却された気体を吹き付けながら半導体ウエハに保護テープを貼付ける
ことを特徴とする保護テープ貼付け方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の保護テープ貼付け方法において、
保冷容器に収納されたロール原反から帯状の前記保護テープを繰り出しながら半導体ウエハに貼付ける
ことを特徴とする保護テープ貼付け方法。 - 回路パターンの形成された半導体ウエハの表面に保護テープを貼付ける保護テープ貼付け装置であって、
前記半導体ウエハを載置保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルに保持された半導体ウエハの表面上に保護テープを供給するテープ供給手段と、
供給された前記保護テープに貼付けローラを押圧転動させながら半導体ウエハの表面に貼付けるテープ貼付け手段と、
貼付けられた前記保護テープを半導体ウエハの外周に沿って切り抜くテープ切断手段と、
切断後の不要テープを回収するテープ回収手段と、
前記半導体ウエハの表面に貼付けられる保護テープを冷却するテープ冷却手段とを備え、
常温よりも低い温度で前記保護テープを冷却し、当該保護テープを熱収縮させた状態で半導体ウエハの表面に貼り付けるように構成した
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。 - 請求項5に記載の保護テープ貼付け装置において、
前記テープ冷却手段は、前記チャックテーブルを冷却するものである
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。 - 請求項6に記載の保護テープ貼付け装置において、
前記テープ冷却手段は、保持テーブル内に設けられた循環パイプに冷媒を循環させる構成である
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。 - 請求項6に記載の保護テープ貼付け装置において、
前記テープ冷却手段は、前記保持テーブルに内装したペルチェ素子である
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。 - 請求項5ないし請求項8のいずれかに記載の保護テープ貼付け装置において、
前記テープ冷却手段は、冷却された気体を吹き付けるノズルである
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。 - 請求項5ないし請求項9のいずれかに記載の保護テープ貼付け装置において、
前記テープ冷却手段は、テープ供給手段において帯状の保護テープをロール巻きにした原反ロールを収納する保冷容器である
ことを特徴とする保護テープ貼付け装置。
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