JP3916553B2 - 熱接着フィルム貼付方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハなどの薄板基板上に熱接着シートを貼り付ける技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、加熱手段で熱接着フィルムを加熱して基板(例えば、半導体ウエハ、以下、単に「ウエハ」という)に熱接着した後に、冷却して次の工程に搬送する場合、例えば、次のようにして行なわれている。
【0003】
具体的には、貼付工程で熱可塑性の熱接着フィルムが裏面に貼り付けられたウエハが、その面を上向きにしてヒータを埋設した保持テーブル上に載置され吸着保持される。このウエハには、ヒータからの熱の伝達によりウエハ裏面に貼り付けられた熱接着フィルムが軟化して熱接着される。
【0004】
熱接着フィルムが接着されたウエハは、ウエハ中心部を保持する昇降部材やウエハを突き上げるピンなどにより保持テーブルから上昇させられて常温冷却される。冷却されたウエハは馬蹄形をしたロボットアーム先端がその下方に挿入され、ウエハの周縁を保持して次工程に搬送するようになっている。
【0005】
なお、熱接着フィルム(例えばダイボンドフィルム)を基板(例えば、半導体ウエハ)に貼り付ける装置としは、特許文献1、あるいは、特許文献2が知られている。
【0006】
【特許文献1】
特開平10−112494号公報
【特許文献2】
特開2002−134438号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような構成を有する従来装置の場合には、次のような問題がある。
近年、高密度実装の要求に伴い薄型加工を受けるウエハは、その機械的な剛性や強度が低下している。このように薄型加工したウエハに薄い熱接着フィルムを貼り付けても十分な剛性や強度を補うことはできないし、加熱して軟化状態にある粘着フィルムであればより一層に剛性や強度を補うことができない。
【0008】
すなわち、剛性や強度を有さないウエハを馬蹄形のロボットアームを用いて周縁を吸着保持しようとしても、ウエハが反り返って吸着不良が発生し、搬送過程でウエハを落下させて破損させてしまうといった問題がある。
【0009】
また、昇降部材でウエハを上昇させて保持し、熱接着フィルムを硬化させてウエハに固着するまで放置する場合、中心部分しか保持されていないウエハには自重により周縁が下方に反り、ウエハ自体に反り応力が作用する。また、この状態で熱接着フィルムが硬化してウエハに固着すると、熱接着フィルムの反り応力も直接に基板に作用する。
【0010】
したがって、ウエハの反りなどによりロボットアームによるウエハの吸着不良を解消することができない。また、ピンなどにより突き上げることにより、ウエハWを破損させてしまうといった問題もある。さらに、常温冷却する場合には、熱接着フィルムが硬化して固着するまでの時間が長く、作業効率の低下を招くといった不都合も生じている。
【0011】
この発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、基板に熱接着フィルムを精度よく貼り付ける熱接着フィルム貼付方法およびその装置を提供することを主たる目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
この発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、熱接着フィルムを基板に貼り付け後、その熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する熱接着フィルム貼付方法において、
物理的作用によって基板のフィルムの貼付面を第 1 搬送手段で引き付けて平面保持した状態で第2搬送手段に設けられた保持手段に受け渡し、第2搬送手段が保持手段に基板のフィルムの非貼付面を平面保持させたまま基板を加熱手段に搬入させ、加熱手段で基板を加熱処理する過程と、
加熱処理した前記基板を物理的作用によって基板のフィルムの貼付面を第2搬送手段の保持手段で引き付けて平面保持した状態で冷却手段に搬入し、基板の非貼付面を保持したまま基板を冷却処理する過程と、
冷却処理された前記基板を前記保持手段に平面保持した状態で次工程に搬出する過程と
を備えたことを特徴とするものである。
【0013】
(作用・効果)物理的作用によって基板面を引き付けて平面保持した状態で基板が加熱手段に搬入から搬出、および冷却手段に搬入から搬出までされる。したがって、薄型加工された基板を反らすことなく取り扱うことができる、結果、熱接着フィルムの接着・硬化時に発生していた基板や熱接着フィルムの反りを防止することができる。また、これらの反りを防止することで各搬送過程において、基板の反りによる吸着不良や吸着不良によって発生していた基板の落下などの問題を解消することができる。
【0014】
さらに、熱接着フィルムの状態、つまり、完全に硬化して固着する前であっても、反りを発生させること無く容易に基板を取り扱うこともできる。
【0015】
また、請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の熱接着フィルム貼付方法において、
前記加熱手段への基板の搬入および冷却手段から次工程への搬出は、基板面に貼り付けられた熱接着フィルム面を吸着保持しながら行うことを特徴とするものである。
【0016】
(作用・効果)熱接着フィルムが貼り付けられた基板面を吸着保持した状態で基板が搬送および搬出されるので、基板の取り扱いが容易となる。
【0017】
また、請求項3に記載の発明は、請求項1または請求項2に記載の熱接着フィルム貼付方法において、前記加熱手段では、基板面に貼り付けられた熱接着フィルムを上方から加熱することを特徴とするものである。
【0018】
(作用・効果)基板面に貼り付けられた熱接着フィルムが直接に加熱される。したがって、例えば、半導体ウエハのように、表面に保護テープが貼り付けられており、保護テープ面を下面にして保持テーブルを加熱して基板の反対面の熱接着フィルムを加熱する場合、保護テープ側の加熱温度が高くなり、保護テープの接着剤が溶け出して保持テーブルなどに接着するといった問題を防止することができる。
【0019】
また、請求項4に記載の発明は、熱接着フィルムを基板に貼り付けた後、その熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する熱接着フィルム貼付装置において、
前記基板を載置して保持する第1保持手段と、
前記第1保持手段に保持された基板に向けて熱接着フィルムを供給する熱接着フィルム供給手段と、
供給された前記熱接着フィルムを基板面に貼り付ける貼付手段と、
基板面に貼り付けた前記熱接着フィルムを基板の略周縁に沿って切断する切断手段と、
切断後の不要な前記熱接着フィルムを基板から剥離する剥離手段と、
剥離した不要な前記熱接着フィルムを回収する回収手段と、
前記基板の熱接着フィルムの貼付面を保持して搬送する搬送ロボットで構成された第1搬送手段と、
前記第1搬送手段によって搬送される基板をフィルムの非貼付面側から受け取り、その非貼付面を物理的作用によって引き付けて平面保持する第2保持手段が設けられ、この保持手段で半導体ウエハを平面保持したまま搬送する第2搬送手段と、
前記基板に貼り付けられた熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する加熱手段と、
熱接着フィルムが熱接着された前記基板を冷却処理する冷却手段とを備え、
かつ、前記第2搬送手段は、前記第2保持手段によって基板の非貼付面を吸着保持したまま、前記加熱手段への搬入から搬出および冷却手段への搬入から搬出までを行うように構成されたことを特徴とするものである。
【0020】
(作用・効果)したがって、熱接着フィルムが貼り付けられた基板が第1搬送手段により第2保持手段に受け渡される。第2保持手段は基板面を物理的作用により平面保持し、この状態で第2搬送手段が加熱手段への搬入から搬出および冷却手段への搬入から搬出を行う。したがって、熱接着フィルムが貼り付けられた基板は、その熱接着フィルムが基板に強固に熱接着するまでの間、基板に反りが発生するのを防止することができる。つまり、請求項1に記載の熱接着フィルム貼付方法を好適に実現することができる。
【0021】
また、請求項5に記載の発明は、請求項4に記載の熱接着フィルム貼付装置において、前記加熱手段は、熱接着フィルムを上方から加熱して熱接着フィルムを基板に熱接着するように構成したことを特徴とするものである。
【0022】
(作用・効果)加熱手段において、熱接着フィルムを上方から加熱することにより、請求項3に記載の熱接着フィルム貼付方法を好適に実現することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る熱接着フィルム貼付方法を実施する熱接着フィルム貼付装置の一実施例について、図面を参照して説明する。なお、本実施例においては、基板として半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」という)に熱接着フィルムを貼り付ける場合を例に採って説明する。
【0024】
図1は、熱接着フィルム貼付装置の全体構成を示す斜視図、図3は、その平面図、また、図4は、その一部の正面図がそれぞれ示されている。
【0025】
本実施例に係る熱接着フィルム貼付装置1は、図1および図3に示すように、基台2の上面に、基板搬入部3、基板位置決め用のアライメントステージ4、可動式のフィルム貼付ステージ5、フィルム貼付機構6、基板搬送機構7、および、フィルム加熱貼付機構8が配備されて構成されておいる。以下に各部の構成および機能について説明する。
【0026】
基板搬入部3には、水平に屈伸、旋回、および、昇降可能な搬送ロボット10が備えられており、この搬送ロボット10の先端部には、円盤形をした真空吸着式の基板保持部11が備えられている。この基板保持部11は、その吸着用の下面がフッ素樹脂コーティングされて非接着面に形成されている。この基板搬入部3には、バックグラインド装置で裏面を研磨処理されたウエハWが、その裏面を上向きにした姿勢で搬入されるようになっており、搬入されてきたウエハWの上向きの裏面が基板保持部11で吸着されてアライメントステージ4に搬送される。なお、基板搬入部3は、本発明の第1搬送手段に相当する。
【0027】
アライメントステージ4は、搬送ロボット10によって搬入載置されたウエハWを、その外周に形成されたオリエンテーションフラットやノッチに基づいて位置合わせを行うものである。なお、位置合わせの済んだウエハWは、再び搬送ロボット10で吸着されて、フィルム貼付ステージ5に供給される。
【0028】
フィルム貼付ステージ5は、水平移動式のアクチュエータ12、例えばロッドレスシリンダによって一定ストロークで水平に往復移動される可動台13に装着されており、ステージ上面は真空吸着面に構成されている。そして、可動台13の一方のストロークエンドに相当する待機位置にあるフィルム貼付ステージ5の上面に、搬送ロボット10によって搬送されてきたウエハWが位置決め状態で載置されて吸着保持される。フィルム貼付ステージ5にウエハWが装填されると、可動台13が他方のストロークエンドまで移動し停止し、ここで、ウエハWの上向き裏面に熱接着フィルムの貼付け処理が行われる。なお、フィルム貼付ステージ5は、本発明の第1保持手段に相当する。
【0029】
また、フィルム貼付ステージ5は、図4の鎖線に示すように、熱接着フィルムfをウエハWに貼り付けるときに粘着剤を軟化させて適度の接着力を発揮させるため、ステージ上を予備加熱しておくためのヒータ28を、その内部に埋設している。この加熱温度としては、使用する熱接着フィルムにもよるが、例えば110〜120℃に設定される。
【0030】
フィルム貼付機構6は、図4に示すように、貼付ユニット15、剥離ユニット16、および、フィルム切抜きユニット17等から構成されている。なお、貼付ユニット15は、本発明の貼付手段に、剥離ユニット16は剥離手段に、フィルム切抜きユニット17は切断手段にそれぞれ相当する。
【0031】
貼付ユニット15は、図3に示すガイド軸18で案内されるとともに、モータ駆動されるネジ軸19によって水平にネジ送り往復移動される可動枠20に貼付ローラ21を装備して構成されている。
【0032】
剥離ユニット16は、ガイド軸18で案内されるとともに、モータ駆動されるネジ軸22によって水平にネジ送り往復移動される可動枠23に剥離ローラ24を装備して構成されている。
【0033】
フィルム切抜きユニット17は、図2に示すように、固定フレーム25に対して昇降可能に装着された可動枠26に、縦軸支x周りに駆動回転されるカッタ27が装備された構造となっており、カッタ27の回転中心となる前記縦軸支xが、貼付け位置にセットされたウエハWの中心に合致するように設定されている。
【0034】
基板搬送機構7は、ロッドレスシリンダ29によって水平に往復移動される可動台30、この可動台30からフィルム加熱貼付機構8側に向けて片持ち状に延出された一対の支持アーム31、両支持アーム31の先端部間に架設された基板支持ステージ32から構成されている。なお、基板搬送機構7は、本発明の第2搬送手段に、基板支持ステージ32は第2保持手段にそれぞれ相当する。
【0035】
支持アーム31は、図1に示すように、その内壁面31bに断熱材などにより耐熱処理が施されている。
【0036】
基板支持ステージ32は、耐熱材から構成されるとともに、その上面には真空吸着溝33が形成されている。なお、耐熱材としては、例えば、耐熱アルミニウム、セラミック製のポーラス材などが使用される。
【0037】
フィルム加熱貼付機構8は、シリンダ34によって昇降される上部加熱盤35とシリンダ36によって昇降される下部加熱盤37とからなり、前進移動した前記基板搬送機構7の基板支持ステージ32によってウエハWが両加熱盤35,37の間に搬入されて、上下から挟持加熱されるようになっている。なお、フィルム加熱貼付機構8は、本発明の加熱手段に相当する。
【0038】
この熱接着フィルム貼付装置1を構成する各部の概略構成は以上のようであり、次に、ウエハWの上面(裏面)の全面に熱接着フィルムfを貼付け処理する工程をその手順に従って説明する。
【0039】
(1)フィルム貼付機構6においては、原反ロールFRから繰り出された熱接着フィルムfがガイドローラ26群を介して貼付ローラ21および剥離ローラ25に導かれており、図5に示すように、貼付ユニット15および剥離ユニット16が原点位置に待機している状態でウエハWが貼付け位置に搬入される。
【0040】
なお、原反ロールFRは、上セパレータs1と下セパレータs2とで挟まれた幅広の熱接着フィルムfがロール巻きされたものであり、上セパレータs1および下セパレータs2が剥離された状態の熱接着フィルムfが貼付ローラ21および剥離ローラ25に導かれ、上下の各セパレータs1,s2はそれぞれ回収ロールSR1,SR2に巻き取り回収されるようになっている。
【0041】
(2)フィルム貼付ステージ5に載置されて搬入されたウエハWが貼付け位置にセット固定されると、図6に示すように、先ず、貼付ユニット15が水平に前進移動(図6では右から左)してウエハWの上面に沿って移動することで、熱接着フィルムfが貼付ローラ21によってウエハWの上面に押圧され貼付けられてゆく。この場合、フィルム貼付ステージ5にはヒータ28が内装されており、熱接着フィルムfが適度な接着力を発揮するように加熱される。
【0042】
(3)フィルム貼付けが終了すると、図7に示すように、上方に待機していたフィルム切抜きユニット17のカッタ27が下降されて縦軸支x周りに回転移動し、熱接着フィルムfがウエハWの外周に沿って切り抜き切断される。
【0043】
(4)フィルム切抜きが終了すると、図8に示すように、カッタ27が待機位置に上昇復帰するとともに、剥離ユニット16が前進移動(図8では右から左)して剥離ローラ24がウエハWの上面に沿って前進移動することで、切り抜き箇所の周囲に残った残渣フィルムf’が剥離される。
【0044】
(5)ウエハWの上向き裏面へのフィルム貼付け処理が完了すると、可動台13が待機位置まで後退移動して、処理済みのウエハWを貼付け位置から搬出するとともに、貼付ユニット15および剥離ユニット16が原点位置まで復帰移動する。この時、残渣フィルムf’が回収ロールFR’に巻き取られるとともに、一定量の熱接着フィルムfが原反ロールFRから繰り出される。
【0045】
(6)フィルム処理済みのウエハWは再び搬送ロボット10によってフィルム貼付ステージ5から取り出され、フィルム加熱貼付機構8に持ち込まれ、図9に示すように、上下の大きく離間されている上部加熱盤35と下部加熱盤37の間に搬入される。この場合、図12に示すように、基板搬送機構7の基板支持ステージ32が上部加熱盤35と下部加熱盤37の間に進出移動して待機しており、搬入されたウエハWは、待機している基板支持ステージ32の上面に移載されて吸着固定される。
【0046】
(7)上下の加熱盤の間から搬送ロボット10が退避すると、上部加熱盤35が下降されるとともに下部加熱盤37が上昇され、図13に示すように、ウエハWを載置保持した基板支持ステージ32が加熱盤35,37で上下から挟まれる。
【0047】
ここで、上部加熱盤35は、図11および図12に示すように、断熱ブロック38の下面にプレートヒータ39を埋設してヒータ押さえ板40で支持した構造に構成されている。
【0048】
下部加熱盤37も、断熱ブロック41の上面にプレートヒータ42を埋設してヒータ押さえ板43で支持した構造に構成されている。また、下部加熱盤37における断熱ブロック41の上面には、支持アーム先端のステージ支持部31aを避けて基板支持ステージ32を周囲から囲む断熱壁41aが設けられており、上下の加熱盤35,37で挟まれた基板支持ステージ32およびこれに載置されたウエハWが全体的に囲まれて効率よく加熱され、貼付けられた熱接着フィルムfを所定温度にまで十分加熱して接着力を増加させる。なお、ここでの熱接着フィルムfをウエハWに強固に接着させるための温度としては使用する熱接着フィルムの種類にもよるが、例えば、180〜220℃の範囲に設定される。
【0049】
ここで、図14に示すように、上部加熱盤35のヒータ押さえ板40の下面は浅く凹入されて、基板支持ステージ上のウエハWを挟みつけて損傷させないように構成されている。なお、14図中のpfは、ウエハWの下向き表面に貼付けられた保護フィルムである。
【0050】
(8)所定時間の加熱処理が終了すると、上下の加熱盤35,37が開放昇降されるとともに、基板支持ステージ32がフィルム加熱貼付機構8から後退移動される。この場合、図9および図10に示すように、フィルム加熱貼付機構8を上方から覆う排気フード45の端部に冷却手段としてのエアーブローノズル46が設けられており、このエアーブローノズル46は、搬出されてきたウエハWに上方から空気を吹き付けて熱接着フィルムfおよびウエハWを速やかに冷却する。
【0051】
(9)加熱貼付け処理および冷却処理が終了したウエハWは、図示されない搬送ロボットによって基板支持ステージ32から取り出さて次の処理過程に送られる。
【0052】
以上で、1回の熱フィルム貼付け処理が完了し、上記手順の処理が順次行われることになる。
【0053】
上述のように、ウエハWに貼り付けられた熱接着フィルムfを加熱してウエハWに強固に固着させる加熱工程、加熱されたウエハWを冷却する冷却工程、および冷却処理後のウエハWを次工程に搬送するまでを、ウエハWの全面を覆うように基板支持ステージ32にウエハWを平面状態に吸着保持して搬送することにより、薄型加工されたウエハWへの反りの発生を防止することができる。
【0054】
ウエハWの反りの発生を防止することにより、熱接着フィルムfの硬化する過程での反りも防止でき、熱接着フィルムの硬化時に発生しがちなウエハWに対する反り応力の影響を防止できる。
【0055】
また、ウエハWは基板支持ステージ32に平面状態を維持した状態で終始搬送されるので、搬送過程でウエハWの搬送不良を防止することができるとともに、搬送過程でのウエハWの落下などによる破損も防止することができる。
【0056】
さらに、エアーノズル46によってウエハWを積極的に冷却することにより、冷却時間の短縮ができ、ひいては作業効率の向上を図ることができる。
【0057】
本発明は上述した実施例のものに限らず、次のように変形実施することもできる。
【0058】
(1)上記実施例では、フィルム貼付ステージ5から基板搬送機構7へのウエハWの搬送は、搬送ロボット10によってウエハWのみを吸着保持して搬送していたが、独立して搬送可能な基板支持ステージ32をフィルム貼付ステージ5で予め用いて、基板支持ステージ32にウエハWを保持した状態でフィルム貼付ステージ5から基板搬送機構7に搬送するようにしてもよい。
【0059】
この場合、例えば、搬送ロボット10と基板支持ステージ32とによりウエハWの両面を吸着して挟み込んだ状態で搬送してもよいし、基板支持ステージ32の下面を搬送ロボットにより支持し、ウエハWは基板支持ステージ32に吸着保持した状態で搬送するようにしてもよいし、ウエハWと基板支持ステージ32とを静電チャックによって保持して搬送してもよい。
【0060】
また、熱接着フィルムfの貼り付け処理をしたウエハWを次工程に搬送するときも同様に、独立搬送可能な基板支持ステージ32にウエハWを保持した状態で搬送するようにしてもよい。
【0061】
(2)上記実施例では、上下加熱盤35,37の両方により熱接着フィルムfの貼り付けられたウエハWを加熱していたが、上下いずれか一方から加熱するように構成してもよい。
【0062】
(3)上記実施例では、熱接着フィルムを接着したウエハWをエアーノズル46を利用して冷却していたが、この形態に限定されるものではなく、例えば、基板支持ステージ32上のウエハWに放熱または冷却プレートを密接させて冷却を行なってもよいし、冷却トンネルを設け、その中にウエハWを搬送させて冷却するようにしてもよい。
【0063】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、熱接着フィルムが貼り付けられた基板に対して、加熱手段で熱接着フィルムを基板に熱接着し、その後に冷却手段で冷却処理を施して搬出するまで、物理的作用によって基板面を引き付けて平面保持した状態を維持することにより、基板への反りの発生を防止することができる。したがって、搬送過程における基板の吸着不良による搬送ミスな破損などを防止することができる。
【0064】
また、加熱手段を分離した状態で熱接着フィルムの貼り付けられた基板を冷却することができるので、冷却時間を短縮することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る熱接着フィルム貼付装置の全体を示す斜視図である。
【図2】フィルム貼付機構の要部を示すの斜視図である。
【図3】熱接着フィルム貼付装置の概略平面図である。
【図4】フィルム貼付機構の概略正面図である。
【図5】フィルム貼付け工程を示す説明図である。
【図6】フィルム貼付け工程を示す説明図である。
【図7】フィルム貼付け工程を示す説明図である。
【図8】フィルム貼付け工程を示す説明図である。
【図9】フィルム加熱貼付け機構の側面図である。
【図10】加熱処理状態にあるフィルム加熱貼付け機構の側面図である。
【図11】フィルム加熱貼付け機構の拡大した縦断側面図である。
【図12】フィルム加熱貼付け機構の拡大した縦断正面図である。
【図13】フィルム加熱貼付け機構の加熱処理状態における拡大縦断図である。
【図14】加熱処理状態における要部の拡大縦断図である。
【符号の説明】
W … ウエハ
f … 熱接着フィルム
s1,s2 … セパレータ
3 … 基板搬入部
4 … アライメントステージ
6 … フィルム貼付機構
7 … 基板搬送機構
8 … フィルム加熱貼付機構
32 … 基板支持ステージ
Claims (5)
- 熱接着フィルムを基板に貼り付け後、その熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する熱接着フィルム貼付方法において、
物理的作用によって基板のフィルムの貼付面を第 1 搬送手段で引き付けて平面保持した状態で第2搬送手段に設けられた保持手段に受け渡し、第2搬送手段が保持手段に基板のフィルムの非貼付面を平面保持させたまま基板を加熱手段に搬入させ、加熱手段で基板を加熱処理する過程と、
加熱処理した前記基板を物理的作用によって基板のフィルムの貼付面を第2搬送手段の保持手段で引き付けて平面保持した状態で冷却手段に搬入し、基板の非貼付面を保持したまま基板を冷却処理する過程と、
冷却処理された前記基板を前記保持手段に平面保持した状態で次工程に搬出する過程と
を備えたことを特徴とする熱接着フィルム貼付方法。 - 請求項1に記載の熱接着フィルム貼付方法において、
前記加熱手段への基板の搬入および冷却手段から次工程への搬出は、基板面に貼り付けられた熱接着フィルム面を吸着保持しながら行うことを特徴とする熱接着フィルム貼付方法。 - 請求項1または請求項2に記載の熱接着フィルム貼付方法において、
前記加熱手段では、基板面に貼り付けられた熱接着フィルムを上方から加熱することを特徴とする熱接着フィルム貼付方法。 - 熱接着フィルムを基板に貼り付けた後、その熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する熱接着フィルム貼付装置において、
前記基板を載置して保持する第1保持手段と、
前記第1保持手段に保持された基板に向けて熱接着フィルムを供給する熱接着フィルム供給手段と、
供給された前記熱接着フィルムを基板面に貼り付ける貼付手段と、
基板面に貼り付けた前記熱接着フィルムを基板の略周縁に沿って切断する切断手段と、
切断後の不要な前記熱接着フィルムを基板から剥離する剥離手段と、
剥離した不要な前記熱接着フィルムを回収する回収手段と、
前記基板の熱接着フィルムの貼付面を保持して搬送する搬送ロボットで構成された第1搬送手段と、
前記第1搬送手段によって搬送される基板をフィルムの非貼付面側から受け取り、その非貼付面を物理的作用によって引き付けて平面保持する第2保持手段が設けられ、この保持手段で半導体ウエハを平面保持したまま搬送する第2搬送手段と、
前記基板に貼り付けられた熱接着フィルムを加熱処理して基板に熱接着する加熱手段と、
熱接着フィルムが熱接着された前記基板を冷却処理する冷却手段とを備え、
かつ、前記第2搬送手段は、前記第2保持手段によって基板の非貼付面を吸着保持したまま、前記加熱手段への搬入から搬出および冷却手段への搬入から搬出までを行うように構成されたことを特徴とする熱接着フィルム貼付装置。 - 請求項4に記載の熱接着フィルム貼付装置において、
前記加熱手段は、熱接着フィルムを上方から加熱して熱接着フィルムを基板に熱接着するように構成したことを特徴とする熱接着フィルム貼付装置。
Priority Applications (1)
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