JP5324319B2 - ウエハマウント方法とウエハマウント装置 - Google Patents
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Description
すなわち、第1の発明は、支持用の粘着テープを介してリングフレームに半導体ウエハを接着保持するウエハマウント装置であって、
両面粘着テープを介して支持基板に接着保持された半導体ウエハを保持する分離テーブルと、
前記半導体ウエハに両面粘着テープを残して支持基板を分離する基板分離装置と、
前記分離テーブルに保持された半導体ウエハを平面保持状態で搬出するウエハ搬送機構と、
前記ウエハ搬送機構によって搬送された半導体ウエハを平面保持状態で位置合わせするアライナーと、
前記アライナーごと搬送される半導体ウエハを平面保持状態で受け取るチャックテーブルと、
前記チャックテーブルの保持された半導体ウエハとリングフレームとに亘って支持用の粘着テープを貼付ける貼付け機構と、
前記粘着テープを介してリングフレームに一体化された半導体ウエハから両面粘着テープを剥離するテープ剥離機構と、
を備えたことを特徴とする。
前記ウエハ搬送機構は、半導体ウエハに作用する押圧プレートを備え、
前記アライナーは、半導体ウエハの裏面吸着状態を検出する検出手段を備え、
前記検出手段による検出情報と予め設定した基準情報とに基づいて半導体ウエハの平坦度を判別する判別手段とを備え、
前記判別手段によって半導体ウエハの反りが検出されると、ウエハ搬送機構の押圧プレートを半導体ウエハに押圧作用させて平面状態に矯正するよう構成した
ことを特徴とする。
前記両面粘着テープの少なくとも一方の粘着層を熱発泡性の粘着剤で構成し、
前記基板分離手段には、両面粘着テープを加熱するヒータを備えた
ことを特徴とする。
6 … 押圧プレート
7 … アライナー
15 … チャックテーブル
41 … 分離テーブル
48 … ヒータ
a … 分離処理位置
b … ウエハ授受位置
f … リングフレーム
P … 支持基板
DT … 支持テープ
RT … 両面粘着テープ
n1 … 粘着層
n2 … 粘着層
W … 半導体ウエハ
Claims (3)
- 支持用の粘着テープを介してリングフレームに半導体ウエハを接着保持するウエハマウント装置であって、
支持基板を分離する分離処理位置と、半導体ウエハをウエハ搬送機構に受け渡すウエハ受渡し位置とに亘って、両面粘着テープを介して支持基板に接着保持された半導体ウエハを吸着保持して移動可能にする分離テーブルと、
前記半導体ウエハのパターン面に両面粘着テープを残して支持基板を分離する基板分離装置と、
前記分離テーブルに保持された半導体ウエハを平面保持状態で搬出するウエハ搬送機構と、
前記ウエハ搬送機構によって搬送された半導体ウエハを平面保持状態で位置合わせするアライナーと、
前記アライナーごと搬送される半導体ウエハを平面保持状態で受け取るチャックテーブルと、
前記チャックテーブルに保持された半導体ウエハとリングフレームとに亘って支持用の粘着テープを貼付ける貼付け機構と、
前記粘着テープを介してリングフレームに一体化された半導体ウエハ上の両面粘着テープに剥離テープを貼り付け、当該剥離テープと一緒に両面粘着テープを剥離するテープ剥離機構と、
を備えたことを特徴とするウエハマウント装置。 - 請求項1に記載のウエハマウント装置において、
前記ウエハ搬送機構は、半導体ウエハに作用する押圧プレートを備え、
前記アライナーは、半導体ウエハの裏面吸着状態を検出する検出手段を備え、
前記検出手段による検出情報と予め設定した基準情報とに基づいて半導体ウエハの平坦度を判別する判別手段とを備え、
前記判別手段によって半導体ウエハの反りが検出されると、ウエハ搬送機構の押圧プレートを半導体ウエハに押圧作用させて平面状態に矯正するよう構成した
ことを特徴とするウエハマウント装置。 - 請求項1または請求項2に記載のウエハマウント装置において、
前記両面粘着テープの少なくとも一方の粘着層を熱発泡性の粘着剤で構成し、
前記基板分離手段には、両面粘着テープを加熱するヒータを備えた
ことを特徴とするウエハマウント装置。
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