JP6087669B2 - 基板処理装置、リソグラフィ装置および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の第1実施形態の露光装置100とそれに含まれる基板処理装置50とについて、図1および図2を参照しながら説明する。まず、第1実施形態の露光装置100について図1を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態の露光装置100の概略構成を示す図である。図1では、後述する基板処理装置50については記載を省略している。図1に示すように、露光装置100は、光源およびシャッタを有する照明系1と、回路パターンが形成されたマスク2を保持するマスクステージ3と、投影光学系(投影露光レンズ)5と、ウエハ(基板9)を基板チャック8を介して保持する基板ステージ6とを含む。基板ステージ6は、露光する対象となる基板9を搭載してX方向およびY方向に移動可能に構成されている。また、露光装置100は、マスク位置計測器4と、レーザ干渉計7と、オートフォーカスユニット10と、アライメントスコープ26と、ウエハZ駆動機構(不図示)とを含む。マスク位置計測器4は、マスクステージ3に保持されたマスク2の位置を計測する。レーザ干渉計7は、レーザ光を基板ステージ6に設けられた反射板(不図示)に照射し、反射板で反射されたレーザ光を検出することにより、基板ステージ6とレーザ干渉計7との距離から基板ステージ6の位置を計測する。オートフォーカスユニット10は、基板9の被露光面に光を照射し、反射された光を検出することにより基板9の被露光面におけるピント位置を計測する。アライメントスコープ26は、マスク2に形成されたパターンと基板上に形成されたパターンとの位置合わせ(アライメント)を行うため、基板上のパターンが形成された領域における複数のマーク(アライメントマーク)の各々を検出する。
本発明の実施形態にかける物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、基板に塗布された感光剤に上記のリソグラフィ装置(露光装置)を用いてパターンを形成する工程(基板を露光する工程)と、かかる工程でパターンが形成された基板を加工(現像)する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (11)
- 基板の反りを低減させる処理を行う基板処理装置であって、
前記基板を保持する基板ステージと、
前記基板の周辺部を前記基板ステージに押圧するように形成された部分を有する押圧部材と、
基板上のパターンが形成された領域の中心と前記基板の中心とのずれを示す情報を取得する取得部と、
制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記押圧部材の前記部分が前記基板の周辺部を押圧するように、前記取得部により取得された前記情報に基づいて前記基板ステージと前記押圧部材との相対位置を制御する、ことを特徴とする基板処理装置。 - 前記基板は、前記領域の中心が前記基板ステージの基準点に一致するように前記基板ステージに配置されている、ことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板ステージが前記基板を保持する際の吸着力を計測する計測部を含み、
前記制御部は、前記計測部により計測された吸着力が許容範囲内にないときに、前記押圧部材の前記部分が前記基板の周辺部を押圧するように、前記取得部により取得された前記情報に基づいて前記基板ステージと前記押圧部材との相対位置を制御する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理装置。 - 前記基板を回転させて当該基板の中心を検出する検出部を含み、
前記取得部は、前記検出部における検出結果を用いて前記情報を取得する、ことを特徴とする請求項1乃至3のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記領域に形成された複数のマークを検出して、当該領域の中心を計測する計測部を含み、
前記取得部は、前記計測部における計測結果を用いて前記情報を取得する、ことを特徴とする請求項1乃至4のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。 - 前記情報は、前記基板上に前記パターンを形成する際に前記取得部により取得され、前記制御部に蓄積される、ことを特徴とする請求項1乃至5のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記制御部は、前記基板上に形成された第1パターンに重ねて第2パターンを形成する際に、前記基板上に前記第1パターンを形成する際に前記取得部により取得された前記情報に基づいて、前記押圧部材の前記部分が前記基板の周辺部を押圧するように前記基板ステージと前記押圧部材との相対位置を制御する、ことを特徴とする請求項1乃至6のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記押圧部材の前記部分は、前記基板の周辺部を押圧するようにリング状に形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記押圧部材の前記部分は、前記基板の周辺部の複数箇所を押圧するように形成されている、ことを特徴とする請求項1乃至7のうちいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 基板にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の基板処理装置を含み、
前記基板は、前記基板処理装置により反りが低減されている、ことを特徴とするリソグラフィ装置。 - 請求項10に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを前記基板に形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法。
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