JP2011124480A - 粘着テープ剥離方法およびその装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイオード11によってウエハWに貼付けられた保護テープPTに紫外線が照射され、この紫外線照射と同時にヒータ71によって保護テープPTが設定された温度に加熱されるので、ダイオード11による紫外線の反応とヒータ71による加熱の反応とによって、重合反応が確実に促進され、紫外線のみでは硬化しきれない粘着剤を硬化させることができる。その結果、この保護テープPTの接着力は十分に弱まる。このダイオード11による紫外線照射およびヒータ71による加熱の後、保護テープ剥離機構が保護テープPTをウエハWから剥離するので、ウエハWに貼付けられた保護テープPTを精度よく剥離できる。
【選択図】図2
Description
すなわち、特許文献1に記載の従来の装置では、保護テープの粘着剤が硬化しきれておらず、ウエハから剥離しづらくウエハを破損させたり、あるいは保護テープが剥離されたウエハ表面に粘着剤が残渣させたりするといった問題がある。
すなわち、第1の発明は、半導体ウエハに貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープを剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記粘着テープに紫外線発光ダイオードから紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記粘着テープを加熱する加熱工程と、
前記紫外線照射工程および前記加熱工程の後に前記粘着テープを前記半導体ウエハから剥離する剥離工程と、を含むことを特徴とする。
前記半導体ウエハを保持する保持手段と、
前記粘着テープに紫外線を照射する紫外線発光ダイオードと、
前記粘着テープを加熱する加熱手段と、
前記紫外線照射手段による紫外線照射および前記加熱手段による加熱の後に前記粘着テープを前記半導体ウエハから剥離する剥離手段と、を備えたことを特徴とする。
先ず、半導体ウエハマウント装置1の各機構の条件を操作パネルなどの入力部57を介して制御装置56に設定入力する。例えば、本実施例の場合、ダイオード11の出力電圧、保護テープPTの重合温度、ダイオード11の照射時間およびヒータ71の加熱時間などを入力する。また、同時に、図2に示すように、照度センサ14の駆動機構を作動させて二点鎖線で示す測定位置に移動させる。
移動が完了すると保持テーブル8を回転させながら紫外線照射ユニット12を作動させて初期測定を行う。各ダイオード11と対向する位置の照度センサ14により測定された測定結果が、制御装置56に送られる。測定結果が設定された照度に満たない場合、出力電圧が調整される。測定結果が設定された照度に達した場合、測定が完了し、次のステップに進む。なお、測定が完了した照度センサ14は、測定領域から外れた上方の実線で示す待機位置に戻る。
紫外線照射条件が決まると、ロボットアーム4を作動させ、ウエハ保持部がカセットCの隙間に挿入される。ウエハWは下方から吸着保持されて1枚ずつ取り出される。取り出されたウエハWは、アライメントステージ7に搬送される。
ウエハWのオリエンテーションフラットやノッチを検出する際、保持テーブル8が回転する。
保持テーブル8の回転に伴って、ウエハWのオリエンテーションフラットやノッチを検出するときの保持テーブル8の回転動作時に、ダイオード11を備えた紫外線照射ユニット12から保護テープPTに向けて紫外線が照射される。
制御装置56は、設定された時間まで紫外線が保護テープPTに照射されたか否かを判定する。設定された時間未満であれば、さらに紫外線が照射される。設定された時間に達すれば、次のステップに進む。
制御装置56は、ダイオード11からの紫外線の照射を停止させる。
ステップS05において、ダイオード11によって保護テープPTに紫外線が照射されると同時に、制御装置56は、アライメントステージ7の保持テーブル8に内蔵されたヒータ71による加熱を開始させる。これにより、保護テープPTに載置されたウエハWを介して保護テープPTが加熱される。
制御装置56は、加熱上昇したヒータ71の温度が設定された温度に達しているかどうかを判定するとともに、その設定時間内でアンプ77によってヒータ71の出力電圧を調整し、検出された温度を重合温度の変化パターンに一致させるよう制御する。
設定時間に達すると、制御装置56は、ヒータ71による加熱を停止させる。
紫外線照射装置1のモータMの駆動を停止し、アライメントステージ7の保持テーブル8の回転を停止する。なお、この時点でアライメント処理も完了している。
ウエハWは保持テーブル8に吸着保持されたままアライメントステージ7ごと次のマウントフレーム作製部27へと搬送される。
マウントフレームMFが載置された剥離テーブルは、図5に示すように、剥離ユニット32の下方に向かって前進移動する。この過程において、光センサで保護テープPTの前端縁が検知され、この時の剥離テーブルの位置がパルスモータの予め判っている光センサからエッジ部材41の先端位置までの距離だけ剥離テーブルが検知位置から前進移動するようにパルスモータが作動制御される。ここで剥離テーブルの前進移動が一旦停止される。つまり、保護テープPTの前端縁がエッジ部材41の先端の直下位置に到達すると前進移動が自動的に一旦停止される。
先ず、図7に示すように、紫外線照射装置の各機構の設定条件を操作パネルなどの入力部57を介して制御装置56に設定入力する。例えば、本実施例の場合、ダイオード11の照度、粘着テープDTの重合温度、ダイオード11の照射時間および赤外線ランプ107の加熱時間などを入力する。また、同時に照度センサ14の駆動機構を作動させて、二点鎖線で示す測定位置に移動させる。
入力が完了すると、ダイオード11によって照度センサ14に紫外線が照射される。照度センサ14により測定された測定結果は制御装置56に送られる。測定結果が設定された照度に満たない場合、出力電圧が調整される。測定結果が設定された照度に達した場合、測定が完了する。なお、測定が完了した照度センサ14は、測定領域から外れた下方の実線で示す待機位置に戻される。
ワーク受け入れ部に搬入されたマウントフレームMFは、可動フレームに備えられたワーク吸着機構117に吸着支持され、紫外線照射処理部101に搬出される。ワーク吸着機構117は、紫外線照射処理部101の支持台103にマウントフレームMFのリングフレームf部分を載置する。
図10に示すように、紫外線照射ユニット12が回転し、ダイオード11によってマウントフレームMFの裏面に貼付けられた粘着テープDTに紫外線が照射される。
制御装置56は、設定された時間まで紫外線が粘着テープDTに照射されたか否かを判定する。設定された時間未満であれば、さらに紫外線が照射される。設定された時間に達すれば、次のステップに進む。
制御装置56は、アンプ76によってダイオード11の出力電圧を調整し、ダイオード11による紫外線照射を停止させる。
ステップS104において、ダイオード11によって粘着テープDTに紫外線が照射されると同時に、マウントフレームMFの下方に配設された赤外線ランプ107によって赤外線が照射され、粘着テープDTの裏面が加熱される。
支持用粘着テープDTの裏面の温度が設定された温度に達したか否かを判定するするとともに、その設定時間内で図示しないアンプによって赤外線ランプ107の出力電圧を調整し、検出された温度を重合温度の変化パターンに一致させる。
設定時間に達すると、制御装置56は、図示しないアンプによって赤外線ランプ107の出力電圧を調整し、赤外線ランプ107による赤外線照射を停止させる。
紫外線照射処理部101の支持台103に配置されたマウントフレームMFをワーク払い出し部に移動し、ワーク払い出し部から払い出されたマウントフレームMFをダイボンディング装置に搬送する。
図12に示すように、剥離機構135を下降させてチップ部品CPにヘッドを当接させて吸着する。吸着が確認されると、剥離機構135を上昇させるとともに、水平移動させて基板保持ステージ137へとチップ部品CPを搬送する。これにより、チップ部品CPは粘着テープDTから剥離される。なお、吸着機構135は本発明の剥離手段に相当する。
8 … 保持テーブル
9 … 紫外線照射装置
10 … 支持板
11 … 紫外線発光ダイオード
14 … 照度センサ
56 … 制御装置
57 … 入力部
71 … ヒータ
72 … 温度センサ
W … ウエハ
PT … 保護テープ
M … モータ
Claims (5)
- 半導体ウエハに貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープを剥離する粘着テープ剥離方法であって、
前記粘着テープに紫外線発光ダイオードから紫外線を照射する紫外線照射工程と、
前記粘着テープを加熱する加熱工程と、
前記紫外線照射工程および前記加熱工程の後に前記粘着テープを前記半導体ウエハから剥離する剥離工程と、
を含むことを特徴とする粘着テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の粘着テープ剥離方法において、
前記紫外線照射工程と前記加熱工程とを同時に行う
ことを特徴する保護テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の粘着テープ剥離方法において、
前記紫外線照射工程の後に前記加熱工程を行う
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。 - 請求項1に記載の粘着テープ剥離方法において、
前記加熱工程の後に前記紫外線照射工程を行う
ことを特徴とする粘着テープ剥離方法。 - 半導体ウエハに貼付けられた紫外線硬化型の粘着テープを剥離する粘着テープ剥離装置であって、
前記半導体ウエハを保持する保持手段と、
前記粘着テープに紫外線を照射する紫外線発光ダイオードと、
前記粘着テープを加熱する加熱手段と、
前記紫外線照射手段による紫外線照射および前記加熱手段による加熱の後に前記粘着テープを前記半導体ウエハから剥離する剥離手段と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ剥離装置。
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