JP2009152386A - 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 - Google Patents
紫外線照射装置及び紫外線照射方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009152386A JP2009152386A JP2007328848A JP2007328848A JP2009152386A JP 2009152386 A JP2009152386 A JP 2009152386A JP 2007328848 A JP2007328848 A JP 2007328848A JP 2007328848 A JP2007328848 A JP 2007328848A JP 2009152386 A JP2009152386 A JP 2009152386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting diode
- light
- illuminance
- ultraviolet
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】半導体ウエハWに貼付された紫外線硬化型接着剤層Aを有する接着シートSを被照射体として紫外線を照射する発光ダイオード23と、当該発光ダイオード23の温度を検知する温度センサ27と、前記発光ダイオード23の電流値Iを制御する制御手段28とを備えて紫外線照射装置10が構成されている。制御手段28は温度センサ27からの温度データTDに基づいて電流値Iを下げる制御を行うことで、発光ダイオード23自体の発熱を抑制して必要照度を維持するようになっている。
【選択図】図1
Description
このような発熱を防止する場合、特許文献1に記載されるような冷却装置を用いることも可能であるが、同文献1の紫外線照射装置は、発光ダイオードを支持する筐体に空気を送風して雰囲気温度を下げるものであり、光源自体の発熱を抑制するものではない点で根本的な解決策とはならない。特に、被照射体が貼付されるウエハは近年大型化してきており、400mmを超える直径を備えたものが照射対象となる。そのため、1枚のウエハに必要となる紫外線照射時間も長くなるため、特許文献1の装置では対応できず、必要な紫外線照射時間の経過前に必要照度を下回ってしまう、という不都合は解消し得ないものとなる。
本発明は、前述した不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、発光ダイオード自体の発熱を抑制して必要照度を維持することのできる紫外線照射装置を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、冷却装置を設けることなく発光ダイオードの発熱を抑制しつつ要求照度を維持することができ、装置構成の簡易化を達成することのできる紫外線照射装置を提供することにある。
更に、照度検知手段を含む構成とすれば、必要とされる紫外線の照度をリアルタイムで検知できるため、必要照度を下回って被照射体に紫外線が照射されたとき、それを検知することができる。
また、紫外線発光ダイオードによって複数の発光帯を備えた構成によれば、照度検知手段のデータを基に、紫外線照射を行うべき発光帯を順次切り替えて照射することが可能となり、被照射体が大型化しても必要照度を保って紫外線照射を行うことが可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
16 照度センサ(照度検知手段)
23 発光ダイオード
27 温度センサ(温度検知手段)
28 制御手段
30 第1発光帯(発光帯)
31 第2発光帯(発光帯)
A 紫外線硬化型接着剤層(被照射体)
I 電流値
S 接着シート(被照射体)
Claims (6)
- 被照射体に紫外線を照射する発光ダイオードと、当該発光ダイオードの温度を検知する温度検知手段と、前記発光ダイオードを制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、前記温度検知手段からの温度データに基づいて前記発光ダイオードの電流値を制御することを特徴とする紫外線照射装置。 - 前記発光ダイオードの照度を検知する照度検知手段を更に含むことを特徴とする請求項1記載の紫外線照射装置。
- 前記発光ダイオードは、相互に独立制御される複数の発光帯を形成し、前記制御装置は、前記複数の発光帯からの紫外線照射を選択的に行うように制御するとともに、紫外線照射が行われている発光帯の照度が所定照度に達したときに当該発光帯の発光を停止して別異の発光帯を発光させることを特徴とする請求項2記載の紫外線照射装置。
- 発光ダイオードによって被照射体に紫外線を照射する紫外線照射方法において、
前記紫外線を照射しているときの発光ダイオードの温度を検知し、当該検知された温度データに基づいて前記発光ダイオードに対する電流値を制御することを特徴とする紫外線照射方法。 - 前記発光ダイオードの照度を更に検知し、当該照度データに基づいて制御されることを特徴とする請求項4記載の紫外線照射方法。
- 前記紫外線照射は、複数の発光ダイオードからなる複数の発光帯を選択的に発光させることにより行われ、紫外線を照射している1の発光帯の照度が所定照度に達したときに、当該発光帯からの紫外線照射を停止し、他の発光帯から紫外線を照射することを特徴とする請求項5記載の紫外線照射方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007328848A JP5307389B2 (ja) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007328848A JP5307389B2 (ja) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009152386A true JP2009152386A (ja) | 2009-07-09 |
JP5307389B2 JP5307389B2 (ja) | 2013-10-02 |
Family
ID=40921193
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007328848A Active JP5307389B2 (ja) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5307389B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011124480A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ剥離方法およびその装置 |
KR102545699B1 (ko) * | 2021-12-23 | 2023-06-20 | 전범식 | Uv를 이용한 제동 제어 보조장치 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005328883A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Olympus Corp | 内視鏡装置 |
JP2006051425A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Harison Toshiba Lighting Corp | 光照射装置 |
JP2006223688A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Morita Mfg Co Ltd | 歯科用光照射器 |
JP2007027295A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
-
2007
- 2007-12-20 JP JP2007328848A patent/JP5307389B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005328883A (ja) * | 2004-05-18 | 2005-12-02 | Olympus Corp | 内視鏡装置 |
JP2006051425A (ja) * | 2004-08-10 | 2006-02-23 | Harison Toshiba Lighting Corp | 光照射装置 |
JP2006223688A (ja) * | 2005-02-18 | 2006-08-31 | Morita Mfg Co Ltd | 歯科用光照射器 |
JP2007027295A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Ushio Inc | 紫外線照射装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011124480A (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | Nitto Denko Corp | 粘着テープ剥離方法およびその装置 |
KR102545699B1 (ko) * | 2021-12-23 | 2023-06-20 | 전범식 | Uv를 이용한 제동 제어 보조장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5307389B2 (ja) | 2013-10-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5117709B2 (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 | |
US20080023639A1 (en) | Ultraviolet Irradiation Apparatus | |
JP2009188378A5 (ja) | ||
JP2008006492A (ja) | サファイア基板の加工方法 | |
US9899628B2 (en) | Ultraviolet LED light source and curing and packaging device and method for OLED device | |
JP4624931B2 (ja) | ピックアップ装置及びピックアップ方法 | |
JP2007329300A (ja) | 紫外線照射装置および紫外線照射装置を備えた切削機 | |
JP6622806B2 (ja) | ワークピース処理システム及びワークピース処理方法 | |
JP5962921B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
JPWO2008142975A1 (ja) | ダイシング装置およびダイシング方法 | |
JP5307389B2 (ja) | 紫外線照射装置及び紫外線照射方法 | |
US8748850B2 (en) | Energy application device and energy application method | |
KR101560874B1 (ko) | 기판 급속 열적 가열 시스템 및 방법 | |
JP5468835B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP2009283585A (ja) | 光照射装置及びこれに用いられる発光ダイオードの照度補正方法 | |
TW200730584A (en) | Method for curing ultraviolet ray-curable resin, method for manufacturing flat panel and ultraviolet ray radiating apparatus | |
JP2009136796A (ja) | 紫外線照射装置 | |
JP2010171075A (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP5567912B2 (ja) | 光照射装置及び光照射方法 | |
JP6957108B2 (ja) | 加工装置 | |
JP5934939B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
KR102307596B1 (ko) | 노광 장치, 기판 처리 장치, 기판의 노광 방법 및 기판 처리 방법 | |
JP5313778B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
JP5457730B2 (ja) | 光照射装置および光照射方法 | |
KR20170008370A (ko) | 반도체 장치를 위한 광 조사 시스템 및 그 제어 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100916 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120523 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121204 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130625 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130627 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5307389 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |