JP2010171075A - 光照射装置及び光照射方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウエハWに貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートSに光を照射する光照射装置10であって、前記半導体ウエハWを支持するテーブル11と、このテーブル11の上方に配置された複数の発光ダイオード16を有する発光手段12と、当該発光手段12から発せられる光を拡散させて接着シートSに照射する拡散手段13とを備えて構成されている。
【選択図】図1
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、複数の発光源を有する発光手段において、その一部の発光源の照度が低下したり、発光しなくなったりしても、他の発光源からの光で補填できるようにし、光反応型の接着剤層が部分的に未反応となることを回避することのできる光照射装置及び光照射方法を提供することにある。
また、前記光の照度センサを更に含み、当該照度センサの出力に基づいて前記発光手段が所定制御される、という構成を採ることができる。
また、集光手段を併設した構成では、複数の発光源から発せられる光を一旦集光させて拡散手段に導光することで、照射不良領域が収束した状態で拡散手段に導光されるため、拡散手段から発光される光に斑を生じさせることを防止することができる。
更に照度センサを含む構成とした場合には、発光手段の照度低下を検知することができる上、発光手段と接着シートとの相対距離を変化させた場合等の装置レイアウトの変更等に難なく対応させることができる。
図1において、光照射装置10は、上面側(デバイス形成面)に被照射体としての接着シートSが貼付され、下面側からマウントテープTを介してリングフレームRFに一体化された被着体としてのウエハWを支持するテーブル11(支持手段)と、このテーブル11の図中上方に相対配置されて光(紫外線)を発光する発光手段12と、この発光手段12から発せられる紫外線を拡散させる拡散手段13とを備えて構成されている。接着シートSは、紫外線によって硬化してその接着力が低下する光反応型の接着剤層を備えたものが用いられている。なお、光照射装置10は、窒素ガスのような不活性ガス雰囲気を形成可能なケース内に配置することが好ましく、これにより、大気中に含まれる酸素によって、その硬化阻害を未然に防止することができる。
第2実施形態は、図2に示されるように、発光手段12と拡散手段13との間に凸レンズからなる集光手段20を設け、発光ダイオード16からの光を集光した状態で拡散手段13に導光させるようになっている。
このような実施形態によれば、例えば、1の発光ダイオード16aの照度が低下したり、発光しなくなったりして照射不良領域Nが発生した場合、この照射不良領域Nは、集光手段20を通過することでその領域が小さくなって拡散手段13に到達する。これにより、発光ダイオード16aの左右、若しくは、紙面直交方向に位置する複数の発光ダイオード16による照射不良領域Nの補填効果を高めることができる。
第3実施形態は、図3に示されるように、基板15を円弧形状に形成することによって集光手段30とし、当該集光手段30の曲面の内側に取り付けられた発光ダイオードから発せられる光を集光して拡散手段13に導くようにしたもので、照度が低下したり、発光しなくなったりした発光ダイオード16aの左右若しくは紙面直交方向に位置する複数の発光ダイオード16から発せられる光によって照射不良領域Nを補填しやすくなっている。
このような第3実施形態では、第2実施形態に比べて部品点数の削減と装置の小型化を達成することが可能となる。なお、集光手段30は、図3のような2次曲面だけでなく、紙面直行方向への曲面も有する3次曲面としてもよい。
第4実施形態は、図4に示されるように、中空の筒状部材の内側表面を光が乱反射するコート材、ガラス、金属等で被覆した拡散手段40を設けたところに特徴を有する。
このような構成によっても、第1実施形態と同様に、照度が低下したり、発光しなくなったりした発光ダイオード16があっても、それ以外の複数の発光ダイオード16から発せられる光によって照射不良を解消することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
11 テーブル(支持手段)
12 発光手段
13、40 拡散手段
16 発光ダイオード(発光源)
18 照度センサ
20、30 集光手段
S 接着シート(被照射体)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (5)
- 被照射体に光を照射する光照射装置において、
前記被照射体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置された複数の発光源を有する発光手段と、この発光手段から発せられる光を拡散させて前記被照射体に照射する拡散手段とを備えたことを特徴とする光照射装置。 - 被着体に貼付された光反応型の接着剤層を有する接着シートに光を照射する光照射装置において、
前記被着体を支持する支持手段と、当該支持手段に相対配置された複数の発光源を有する発光手段と、この発光手段から発せられる光を拡散させて前記接着シートに照射する拡散手段とを備えたことを特徴とする光照射装置。 - 前記発光手段に集光手段が併設され、前記発光手段から発せられる光は集光手段を介して拡散手段に導光されることを特徴とする請求項1又は2記載の光照射装置。
- 前記光の照度センサを更に含み、当該照度センサの出力に基づいて前記発光手段が所定制御されることを特徴とする請求項1ないし3に記載の光照射装置。
- 被照射体に光を照射する光照射方法において、
複数の発光源を有する発光手段を用いるとともに、当該発光手段から発せられる光を拡散させて前記被照射体に照射することを特徴とする光照射方法。
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2009
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