JP2016066754A - 光源装置 - Google Patents
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Abstract
Description
次に、本発明の実施形態に係る光源装置1を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態に係る光源装置を備えた紫外線照射装置の概略の構成を示す図、図2は、実施形態に係る光源装置の概略の構成を下方から示す平面図、図3は、実施形態に係る光源装置の各発光素子が放出する紫外線の波長に対する相対放射強度を示す図、図4は、実施形態に係る光源装置が放出する紫外線の波長に対する相対放射強度の一例を示す図、図5は、図1に示された紫外線照射装置のステージ上の相対照度と光源装置が放出する紫外線の相対照度を示す図である。
次に、本発明の実施形態の変形例1に係る光源装置1−1を図面に基づいて説明する。図6は、実施形態の変形例1に係る光源装置の概略の構成を下方から示す平面図である。図6において、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
次に、本発明の実施形態の変形例2に係る光源装置1−2を図面に基づいて説明する。図7は、実施形態の変形例2に係る光源装置の概略の構成の要部を下方から示す平面図である。図7において、前述した実施形態と同一部分には、同一符号を付して説明を省略する。
21 第1の発光素子
22 第2の発光素子
41 拡散板(光学部品)
50 制御手段(調整手段)
P1 第1のピーク波長
P2 第2のピーク波長
Claims (3)
- 第1のピーク波長の紫外線を放出する複数の第1の発光素子と、前記第1のピーク波長と異なる第2のピーク波長の紫外線を放出し、前記第1の発光素子の周りに配置した、複数の第2の発光素子と、を有し、前記第1の発光素子の周りに前記第2の発光素子が少なくとも一つ位置するように、前記複数の第1の発光素子及び前記複数の第2の発光素子を面状もしくは直線状に配置する発光部と;
前記発光部のうちの中央に位置する発光部の相対照度よりも、外縁に位置する発光部の相対照度を大きくする調整手段と;
前記第1の発光素子と前記第2の発光素子が放出した紫外線を拡散させて被照射物に照射する光学部品と;
を具備する光源装置。 - 前記第1の発光素子及び前記第2の発光素子は、ピーク波長が240nm以上405nm以下の紫外線を放出する請求項1に記載の光源装置。
- 前記拡散板は、ガラスで構成される
請求項1又は請求項2に記載の光源装置。
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