JP6957108B2 - 加工装置 - Google Patents

Description

本発明は、板状の被加工物を加工する際に用いられる加工装置に関する。

半導体ウェーハやパッケージ基板に代表される板状の被加工物を加工し、複数のチップへと分割する際には、例えば、環状の切削ブレードが装着された切削装置やレーザー発振器を備えるレーザー加工装置等の加工装置が使用される。回転させた切削ブレードを被加工物に切り込ませながら、又は、被加工物にレーザービームを照射しながら、この被加工物を移動させることで、移動の経路に沿って被加工物を加工し、複数のチップへと分割できる（例えば、特許文献１参照）。

ところで、上述のような加工装置で被加工物を加工する前には、通常、被加工物よりも径の大きい粘着テープ（ダイシングテープ）を被加工物に貼付し、また、この粘着テープの外周部分に環状のフレームを固定する。これにより、加工や搬送等の際に加わる衝撃から被加工物を保護できる。また、被加工物を分割して得られる複数のチップが散らばらないので、これら複数のチップを簡単に搬送できる（例えば、特許文献２参照）。

被加工物に貼付される粘着テープには、加工の際に被加工物の位置がずれないような強い粘着力が求められる。一方で、この粘着テープは、加工によって得られる複数のチップを剥離し易いように、必要に応じて粘着力を弱められるように構成されていることが望ましい。このような粘着テープとしては、紫外線を照射すると硬化し粘着力が低下する紫外線硬化型の粘着層を持つ粘着テープ（ＵＶテープ）等が知られている。

粘着テープの粘着力を低下させる際に用いられる紫外線照射ユニットは、例えば、粘着テープに向けて紫外線を放射するＵＶランプと、ＵＶランプから放射される紫外線を被加工物の形状や大きさ等に応じて遮るマスクと、を備えている。マスクとしては、ＵＶランプから放射される紫外線を透過させない材質のプレート（平板）に、被加工物に対応する開口を形成したものが使用される。

近年では、粘着テープの全体に紫外線を照射できるＵＶランプの代わりに、ライン状（直線状）に配列された複数のＬＥＤを備える省電力タイプの紫外線照射ユニットも提案されている（例えば、特許文献３参照）。この紫外線照射ユニットでは、複数のＬＥＤと粘着テープとをＬＥＤの配列方向に対して垂直な方向に相対的に移動させながら、選択的にＬＥＤを点灯させる。これにより、粘着テープの点灯させたＬＥＤに対応する領域に紫外線を照射して、この領域の粘着力を低下させることができる。

特開２０１２−８４７２０号公報 特開平９−２７５４３号公報 特開２００７−３２９３００号公報

しかしながら、上述した紫外線照射ユニットで複数のＬＥＤを選択的に点灯させたとしても、紫外線はＬＥＤの周りのある程度の領域にまで拡がる。そのため、粘着テープの紫外線を照射したくない領域にも紫外線が照射され、その領域の粘着力が低下してしまうことがあった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、粘着テープの被加工物に対応する適切な領域に紫外線を照射できる紫外線照射ユニットを備える加工装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、開口を有する環状のフレームと、該開口を塞ぐように該フレームに貼付された紫外線硬化型の粘着テープと、該開口の内側で該粘着テープに貼付された被加工物と、を含むフレームユニットを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該フレームユニットの該粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、複数の該フレームユニットが収容されるカセットを支持するカセット支持部と、該カセット支持部に支持された該カセットと、該チャックテーブルと、該紫外線照射ユニットと、の間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、を含み、該紫外線照射ユニットは、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの通過を許容する搬出入口を備えるチャンバーと、該チャンバー内に収容され、該フレームユニットを支持する一対のガイドレールと、該チャンバー内に収容され、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動方向に対して垂直な方向に長いライン状の光源と、該光源から放射される紫外線の通過を許容する通過部を備えるマスクと、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動に合わせて該マスクを移動させるマスク移動ユニットと、を含み、該マスクの該通過部は、該粘着テープに貼付された該被加工物の形状を該フレームユニットの該移動方向に縮めてなる形状に形成されており、該マスク移動ユニットは、該移動方向における該被加工物と該通過部との長さの比に応じて、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動速度を減速した速度で該マスクを移動させる加工装置が提供される。

本発明の一態様において、該通過部は、第１の大きさの第１通過部と、第２の大きさの第２通過部と、を含み、該紫外線照射ユニットは、該第１通過部又は該第２通過部のいずれかを該光源に対応する位置に位置付ける位置付けユニットを更に含んでも良い。

本発明の一態様に係る加工装置の紫外線照射ユニットは、搬送ユニットによって搬送されるフレームユニットの移動方向に対して垂直な方向に長いライン状の光源と、光源から放射される紫外線の通過を許容する通過部を備えるマスクと、フレームユニットの移動に合わせてマスクを移動させるマスク移動ユニットと、を含み、マスクの通過部は、被加工物の形状をフレームユニットの移動方向に縮めてなる形状に形成されている。

そのため、フレームユニットの移動方向における被加工物と通過部との長さの比に応じて、搬送ユニットによって搬送されるフレームユニットの移動速度を減速した速度でマスクを移動させることにより、粘着テープの被加工物に対応する適切な領域に紫外線を照射して、粘着テープの粘着力を弱めることができる。

切削装置の構成例を模式的に示す斜視図である。 紫外線照射ユニットの外観等を模式的に示す斜視図である。 紫外線照射ユニットの内部の構造等を模式的に示す斜視図である。 図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）は、粘着テープに紫外線が照射される様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図５（Ａ）は、紫外線の照射に用いられる通過部を切り替える様子を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、紫外線の照射に用いられる通過部を切り替える様子を模式的に示す一部断面側面図である。 図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、一対のガイドレールに対して冶具が取り付けられる様子を模式的に示す斜視図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２の構成例を模式的に示す斜視図である。図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。

基台４の前方の角部には、段４ａが形成されており、この段４ａの底には、昇降機構（不図示）によって昇降する支持台（カセット支持部）６が設けられている。支持台６には、紫外線照射ユニット８が配置されている。また、紫外線照射ユニット８の上面には、複数の被加工物１１を収容するカセット１０が載せられる。紫外線照射ユニット８の詳細については、後述する。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面側は、交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイス１３が形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きい紫外線硬化型の粘着テープ（ダイシングテープ）１５が貼付されている。この粘着テープ１５には、紫外線を照射すると硬化する粘着層が設けられている。粘着テープ１５の外周部分は、環状のフレーム１７に固定されている。すなわち、開口を有する環状のフレーム１７と、この開口を塞ぐようにフレーム１７に貼付された紫外線硬化型の粘着テープ１５と、開口の内側で粘着テープ１５に貼付された被加工物１１と、によってフレームユニットが形成されている。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を被加工物１１とすることもできる。また、デバイス１３の種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイス１３が形成されていなくても良い。粘着テープ１５は、被加工物１１の表面１１ａ側に貼付されても良い。

図１に示すように、段４ａの側方には、Ｘ軸方向（前後方向、加工送り方向）に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、ボールねじ式のＸ軸移動機構１２と、Ｘ軸移動機構１２の上部を覆うテーブルカバー１４及び防塵防滴カバー１６と、が配置されている。Ｘ軸移動機構１２は、テーブルカバー１４によって覆われるＸ軸移動テーブル（不図示）を備えており、このＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動させる。

Ｘ軸移動テーブル及びテーブルカバー１４の上方には、被加工物１１を吸引、保持するチャックテーブル１８が配置されている。このチャックテーブル１８は、モータ等の回転駆動源（不図示）に連結されており、Ｚ軸方向（鉛直方向）に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１８は、上述したＸ軸移動機構１２によってＸ軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル１８の上面は、被加工物１１を吸引、保持する保持面１８ａになっている。保持面１８ａは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向（左右方向、割り出し送り方向）に対して概ね平行に形成されており、チャックテーブル１８の内部に設けられた吸引路（不図示）等を介してエジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１８の周囲には、被加工物１１を支持する環状のフレーム１７を四方から固定するための４個のクランプ２０が設けられている。

開口４ｂに隣接する領域には、上述したフレームユニット（被加工物１１等）を紫外線照射ユニット８やチャックテーブル１８等へと搬送するための搬送ユニット２２が配置されている。搬送ユニット２２でカセット１０から搬出された被加工物１１は、例えば、表面側が上方に露出するように紫外線照射ユニット８やチャックテーブル１８等へ搬入される。

基台４の上面には、２組の切削ユニット（加工ユニット）２４を支持するための門型の支持構造２６が、開口４ｂを跨ぐように配置されている。支持構造２６の前面上部には、各切削ユニット２４をＹ軸方向及びＺ軸方向に移動させる２組の切削ユニット移動機構２８が設けられている。

各切削ユニット移動機構２８は、支持構造２６の前面に配置されＹ軸方向に長い一対のＹ軸ガイドレール３０を共通に備えている。すなわち、Ｙ軸ガイドレール３０は、その長手方向がＹ軸方向に対して平行になるように配置されている。また、Ｙ軸ガイドレール３０には、各切削ユニット移動機構２８を構成するＹ軸移動プレート３２がスライド可能に取り付けられている。

各Ｙ軸移動プレート３２の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｙ軸ガイドレール３０に対して概ね平行なＹ軸ボールネジ３４がそれぞれ螺合されている。各Ｙ軸ボールネジ３４の一端部には、Ｙ軸パルスモータ３６が連結されている。Ｙ軸パルスモータ３６でＹ軸ボールネジ３４を回転させれば、Ｙ軸移動プレート３２は、Ｙ軸ガイドレール３０に沿ってＹ軸方向に移動する。

各Ｙ軸移動プレート３２の表面（前面）には、Ｚ軸方向に長い一対のＺ軸ガイドレール３８が設けられている。すなわち、Ｚ軸ガイドレール３８は、その長手方向がＺ軸方向に対して平行になるように配置されている。また、Ｚ軸ガイドレール３８には、Ｚ軸移動プレート４０がスライド可能に取り付けられている。

各Ｚ軸移動プレート４０の裏面側（後面側）には、ナット部（不図示）が設けられており、このナット部には、Ｚ軸ガイドレール３８に対して概ね平行なＺ軸ボールネジ４２がそれぞれ螺合されている。各Ｚ軸ボールネジ４２の一端部には、Ｚ軸パルスモータ４４が連結されている。Ｚ軸パルスモータ４４でＺ軸ボールネジ４２を回転させれば、Ｚ軸移動プレート４０は、Ｚ軸ガイドレール３８に沿ってＺ軸方向に移動する。

各Ｚ軸移動プレート４０の下部には、切削ユニット２４が設けられている。この切削ユニット２４は、Ｙ軸方向に概ね平行な軸心を持つスピンドル（不図示）を含んでいる。スピンドルの一端部（先端部）には、円環状の切削ブレード４６が装着されている。各切削ユニット２４に隣接する位置には、チャックテーブル１８によって吸引、保持された被加工物１１等を撮像するためのカメラ（撮像ユニット）４８が設けられている。

各切削ユニット移動機構２８でＹ軸移動プレート３２をＹ軸方向に移動させれば、切削ユニット２４及びカメラ４８は、Ｙ軸方向に移動する（割り出し送り）。また、各切削ユニット移動機構２８でＺ軸移動プレート４０をＺ軸方向に移動させれば、切削ユニット２４及び撮像ユニット４８は、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。

開口４ｂに対して段４ａと反対側の位置には、開口４ｃが形成されている。開口４ｃ内には、切削ユニット２４で切削された後の被加工物１１等を洗浄するための洗浄ユニット５０が配置されている。また、支持台６を昇降させる昇降機構、紫外線照射ユニット８、Ｘ軸移動機構１２、チャックテーブル１８、搬送ユニット２２、切削ユニット２４、切削ユニット移動機構２８、カメラ４８、洗浄ユニット５０等の構成要素には、制御ユニット（不図示）が接続されている。各構成要素は、この制御ユニットで制御される。

図２は、紫外線照射ユニット８の外観等を模式的に示す斜視図であり、図３は、紫外線照射ユニット８の内部の構造等を模式的に示す斜視図である。図２に示すように、紫外線照射ユニット８は、概ね直方体状に構成されたチャンバー５２を含む。チャンバー５２の側面には、フレームユニット（被加工物１１等）の通過を許容する搬出入口５２ａが設けられている。

図２及び図３に示すように、チャンバー５２の内部の空間には、Ｙ軸方向に長い一対のガイドレール５４ａ，５４ｂが収容されている。この一対のガイドレール５４ａ，５４ｂは、搬送ユニット２２によって搬送されるフレームユニットのフレーム１７を支持するとともに、このフレームユニットの移動方向を規定している。本実施形態では、これら一対のガイドレール５４ａ，５４ｂに沿って、フレームユニットがＹ軸方向に移動する。

一対のガイドレール５４ａ，５４ｂの一端側（搬出入口５２ａ側）の下方には、搬送ユニット２２によって搬送されるフレームユニットの移動方向に対して垂直な方向に長いライン状の光源５６が設けられている。この光源５６は、例えば、上方に紫外線を放射できる複数のＬＥＤをライン状に並べて構成されており、被加工物１１の形状等に応じて選択されたＬＥＤが点灯する。このようなライン状の光源５６を用いることで、紫外線照射ユニット８の消費電力を低く抑えられる。

光源５６の近傍には、移動ユニット（マスク移動ユニット、位置付けユニット）５８が配置されている。移動ユニット５８は、Ｙ軸方向に長いガイドレール６０を備えている。すなわち、ガイドレール６０は、その長手方向がＹ軸方向に対して平行になるように配置されている。ガイドレール６０には、Ｘ軸方向に長い移動部材６２の一端側がスライド可能に取り付けられている。

移動部材６２の他端側には、ナット部６２ａが設けられており、このナット部６２ａには、ガイドレール６０に対して概ね平行なボールネジ６４が螺合されている。ボールネジ６４の一端部には、パルスモータ６６が連結されている。パルスモータ６６でボールネジ６４を回転させれば、移動部材６２は、ガイドレール６０に沿ってＹ軸方向に移動する。

移動部材６２の上部には、光源５６から放射される紫外線を被加工物１１の形状に合わせて遮るマスク６８が設けられている。このマスク６８は、光源５６から放射される紫外線を透過させない材質のプレート７０と、プレート７０に形成された開口でなる通過部７２ａ，７２ｂと、を含む。

通過部７２ａは、例えば、上方を通過する被加工物１１の形状を、フレームユニットの移動方向（すなわち、Ｙ軸方向）に縮めてなる形状（本実施形態では、楕円状）に形成されている。一方で、通過部７２ｂは、例えば、被加工物１１より小さい別の被加工物の形状を、フレームユニットの移動方向に縮めてなる形状（本実施形態では、楕円状）に形成されている。

マスク６８は、Ｚ軸方向に平行な回転軸（位置付けユニット）６８ａの周りに回転できるように、移動部材６２に連結されている。これにより、通過部７２ａ，７２ｂの一方のみを選択的に光源５６の上方（光源５６に対応する位置）に配置して、紫外線の照射領域を選択できる。なお、本実施形態では、プレート７０に形成された開口を通過部７２ａ，７２ｂとして用いるが、通過部７２ａ，７２ｂは、光源５６から放射される紫外線を透過させる材質等で構成されても良い。

この紫外線照射ユニット８では、光源５６から紫外線を放射しながらフレームユニットを移動させるとともに、このフレームユニットの移動速度を減速した速度でマスク６８を移動させることで、粘着テープ１５の被加工物１１等に対応する領域に紫外線を照射できる。

例えば、光源５６の上方に通過部７２ａを配置する場合、移動ユニット５８は、Ｙ軸方向における被加工物１１と通過部７２ａとの長さの比に応じて、搬送ユニット２２で搬送されるフレームユニットの移動速度を減速した速度でマスク６８を移動させる。一方で、光源５６の上方に通過部７２ｂを配置する場合、移動ユニット５８は、通過部７２ｂが対象とする被加工物と通過部７２ｂとのＹ軸方向の長さの比に応じて、搬送ユニット２２で搬送されるフレームユニットの移動速度を減速した速度でマスク６８を移動させる。

次に、上述した紫外線照射ユニット８を用いて粘着テープ１５に紫外線を照射する方法について説明する。図４（Ａ）、図４（Ｂ）及び図４（Ｃ）は、粘着テープ１５に紫外線が照射される様子を模式的に示す一部断面側面図である。例えば、被加工物１１を切削ユニット２４で切削し、洗浄ユニット５０で洗浄した後には、搬送ユニット２２が備える把持部２２ａでフレームユニット（フレーム１７）を把持し、これを紫外線照射ユニット８へと搬送する。

具体的には、図４（Ａ）及び図４（Ｂ）に示すように、搬送ユニット２２をＹ軸方向に移動させ、搬出入口５２ａからフレームユニットをチャンバー５２内に搬入する。また、搬送ユニット２２の移動に合わせて、光源５６から紫外線を放射するとともに、移動ユニット５８でマスク６８をＹ軸方向に移動させる。なお、本実施形態では、被加工物１１に対応する通過部７２ａを通過した紫外線が粘着テープ１５に照射されるように、通過部７２ａを予め光源５６の上方に位置付けておく。

また、マスク６８の移動速度は、Ｙ軸方向における被加工物１１と通過部７２ａとの長さの比に応じて、搬送ユニット２２で搬送されるフレームユニットの移動速度を減速した速度に設定される。これにより、粘着テープ１５の被加工物１１が貼付されている領域に紫外線を照射して、この領域の粘着力を低下させることができる。図４（Ｃ）に示すように、チャンバー５２内にフレームユニットが完全に搬入されると、紫外線の照射は完了する。

図５（Ａ）は、紫外線の照射に用いられる通過部７２ａ，７２ｂを切り替える様子を模式的に示す斜視図であり、図５（Ｂ）は、紫外線の照射に用いられる通過部７２ａ，７２ｂを切り替える様子を模式的に示す一部断面側面図である。例えば、被加工物１１より小さい別の被加工物が貼付された粘着テープ１５に紫外線を照射する場合には、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）に示すように、マスク６８を回転軸６８ａの周りに回転させて、通過部７２ｂを光源５６の上方に位置付ける。

ところで、被加工物１１より小さい別の被加工物を加工する場合には、フレーム１７より小さい別のフレームを使用してフレームユニットを形成することがある。そのような場合には、小さいフレームを適切に支持できるように、一対のガイドレール５４ａ，５４ｂに対して冶具を取り付けることが望ましい。

図６（Ａ）及び図６（Ｂ）は、一対のガイドレール５４ａ，５４ｂに対して冶具７４が取り付けられる様子を模式的に示す斜視図である。図６（Ａ）及び図６（Ｂ）に示すように、冶具７４は、一対のガイドレール７４ａ，７４ｂと、一対のガイドレール７４ａ，７４ｂを固定する矩形状のプレート７４ｃとで構成されている。

プレート７４ｃは、取り付けの対象となる一対のガイドレール５４ａ，５４ｂの間隔に対応する大きさに形成されている。図６（Ｂ）に示すように、このプレート７４ｃが一対のガイドレール５４ａ，５４ｂによって支持されるように冶具７４を取り付けることで、冶具７４が備える一対のガイドレール７４ａ，７４ｂによって小さいフレームを適切に支持できるようになる。

以上のように、本実施形態に係る切削装置（加工装置）２の紫外線照射ユニット８は、搬送ユニット２２によって搬送されるフレームユニットの移動方向に対して垂直な方向に長いライン状の光源５６と、光源５６から放射される紫外線の通過を許容する通過部７２ａ，７２ｂを備えるマスク６８と、フレームユニットの移動に合わせてマスク６８を移動させる移動ユニット（マスク移動ユニット）５８と、を含み、マスク６８の通過部７２ａ，７２ｂは、被加工物１１等の形状をフレームユニットの移動方向に縮めてなる形状に形成されている。

そのため、フレームユニットの移動方向における被加工物１１等と通過部７２ａ，７２ｂとの長さの比に応じて、搬送ユニット２２によって搬送されるフレームユニットの移動速度を減速した速度でマスク６８を移動させることにより、粘着テープ１５の被加工物１１等に対応する適切な領域に紫外線を照射して、粘着テープ１５の粘着力を弱めることができる。

なお、本発明は、上記実施形態等の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態では、切削ブレード４６で被加工物１１等を切削する切削装置２を例示しているが、本発明の加工装置は、被加工物１１等をレーザービームで加工するレーザー加工装置でも良い。

また、上記実施形態では、使用される通過部７２ａ，７２ｂを切り替える際にマスク６８を回転させているが、移動ユニット５８によってマスク６８を移動させることで通過部７２ａ，７２ｂを切り替えることもできる。マスク６８が備える通過部の数にも特段の制限はなく、１種類、又は３種類以上の通過部を備えるマスク６８を用いても良い。

また、上記実施形態では、フレームユニットをチャンバー５２へと搬入しながら紫外線を照射する態様を例示しているが、フレームユニットをチャンバーから搬出しながら紫外線を照射することもできる。もちろん、これらを組み合わせても良い。

その他、上記実施形態や変形例に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２ 切削装置（加工装置）
４ 基台
４ａ 段
４ｂ，４ｃ 開口
６ 支持台（カセット支持部）
８ 紫外線照射ユニット
１０ カセット
１２ Ｘ軸移動機構
１４ テーブルカバー
１６ 防塵防滴カバー
１８ チャックテーブル
１８ａ 保持面
２０ クランプ
２２ 搬送ユニット
２４ 切削ユニット（加工ユニット）
２６ 支持構造
２８ 切削ユニット移動機構
３０ Ｙ軸ガイドレール
３２ Ｙ軸移動プレート
３４ Ｙ軸ボールネジ
３６ Ｙ軸パルスモータ
３８ Ｚ軸ガイドレール
４０ Ｚ軸移動プレート
４２ Ｚ軸ボールネジ
４４ Ｚ軸パルスモータ
４６ 切削ブレード
４８ カメラ（撮像ユニット）
５０ 洗浄ユニット
５２ チャンバー
５２ａ 搬出入口
５４ａ，５４ｂ ガイドレール
５６ 光源
５８ 移動ユニット（マスク移動ユニット、位置付けユニット）
６０ ガイドレール
６２ 移動部材
６２ａ ナット部
６４ ボールネジ
６６ パルスモータ
６８ マスク
６８ａ 回転軸（位置付けユニット）
７０ プレート
７２ａ，７２ｂ 通過部
７４ 冶具
７４ａ，７４ｂ ガイドレール
７４ｃ プレート
１１ 被加工物
１３ デバイス
１５ 粘着テープ（ダイシングテープ）
１７ フレーム

Claims (2)

1. 開口を有する環状のフレームと、該開口を塞ぐように該フレームに貼付された紫外線硬化型の粘着テープと、該開口の内側で該粘着テープに貼付された被加工物と、を含むフレームユニットを保持するチャックテーブルと、
   該チャックテーブルに保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、
   該フレームユニットの該粘着テープに紫外線を照射する紫外線照射ユニットと、
   複数の該フレームユニットが収容されるカセットを支持するカセット支持部と、
   該カセット支持部に支持された該カセットと、該チャックテーブルと、該紫外線照射ユニットと、の間で該フレームユニットを搬送する搬送ユニットと、を含み、
   該紫外線照射ユニットは、
   該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの通過を許容する搬出入口を備えるチャンバーと、
   該チャンバー内に収容され、該フレームユニットを支持する一対のガイドレールと、
   該チャンバー内に収容され、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動方向に対して垂直な方向に長いライン状の光源と、
   該光源から放射される紫外線の通過を許容する通過部を備えるマスクと、
   該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動に合わせて該マスクを移動させるマスク移動ユニットと、を含み、
   該マスクの該通過部は、該粘着テープに貼付された該被加工物の形状を該フレームユニットの該移動方向に縮めてなる形状に形成されており、
   該マスク移動ユニットは、該移動方向における該被加工物と該通過部との長さの比に応じて、該搬送ユニットによって搬送される該フレームユニットの移動速度を減速した速度で該マスクを移動させることを特徴とする加工装置。
2. 該通過部は、第１の大きさの第１通過部と、第２の大きさの第２通過部と、を含み、
   該紫外線照射ユニットは、該第１通過部又は該第２通過部のいずれかを該光源に対応する位置に位置付ける位置付けユニットを更に含むことを特徴とする請求項１に記載の加工装置。

Images