JP2011110579A - レーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】保持テーブル18は、少なくとも多孔質材からなる被加工物のサイズと同一又は僅かに小さいサイズの吸引保持領域48と、該吸引保持領域を画成する内周壁50と、該内周壁と共にレーザビーム緩衝溝54を画成する外周壁52と、フレーム固定手段とを有し、該外周壁52は、該レーザビーム緩衝溝54に連通して該レーザビーム緩衝溝の内外で空気の往来を可能とする貫通部64を有する。
【選択図】図5
Description
波長 :1064nm
繰り返し周波数 :100kHz
平均出力 :1W
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/秒
18 チャックテーブル(保持テーブル)
24 レーザビーム照射ユニット
28 集光器
48 吸着部(吸引保持領域)
50 内壁
52 外壁
54 レーザビーム緩衝溝
64 貫通穴
Claims (1)
- 環状フレームの開口部に粘着シートを介して配設された被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物にレーザビームを照射するレーザビーム照射手段とを備えたレーザ加工装置であって、
該保持テーブルは、少なくとも多孔質材からなる被加工物のサイズと同一又は僅かに小さいサイズの吸引保持領域と、該吸引保持領域を画成する内周壁と、該内周壁と共にレーザビーム緩衝溝を画成する外周壁と、フレーム固定手段とを有し、
該外周壁は、該レーザビーム緩衝溝に連通して該レーザビーム緩衝溝の内外で空気の往来を可能とする貫通部を有することを特徴とするレーザ加工装置。
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