JP2020068327A - シート貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】押し跡が形成されることのない第１シートおよび第２シートの両方を被着体に貼付することができるシート貼付方法を提供する。【解決手段】第１剥離シートＲＬ１に第１シート基材ＢＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を繰り出し、第１シート基材ＢＳ１に閉ループ状の第１切込ＣＵ１を形成し、所定形状の第１シートＡＳ１を形成する。第１剥離シートＲＬ１から第１シートＡＳ１を剥離し、被着体の一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を押圧して貼付する。第２剥離シートＲＬ２に第２シート基材ＢＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を繰り出し、第２シート基材ＢＳ２に第２切込ＣＵ２を形成し、第２切込ＣＵ２で仕切られた領域に所定形状の第２シートＡＳ２を形成する。第２剥離シートＲＬ２から第２シートＡＳ２を剥離し、被着体ＷＫに貼付された第１シートＡＳ１または、被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に第２シートＡＳ２を押圧して貼付する。【選択図】図１

Description

本発明は、シート貼付方法に関する。

従来、剥離シートの一方の面に仮着されたシート基材に、閉ループ状の切込を形成して所定形状のシートを形成し、当該シートを被着体に貼付するシート貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００７−１６５３６３号公報

しかしながら、特許文献１に記載された従来のマウント方法（シート貼付方法）では、テープ基材ＴＢ（第２シート基材）に、閉ループ状の切り込みＣ（第２切込）を形成して所定形状の貼付用テープＤＤＴ（第２シート）を形成するものの、原反Ｌが巻回されて重なり合った状態とされている期間において、ダイボンディングシート部ＤＳ（第１シート）の段差上に位置する原反Ｌに当該段差起因の押し跡が形成され、当該押し跡が形成された第１シートや第２シートがウエハＷ（被着体）に貼付されるという不都合を発生する。

本発明の目的は、押し跡が形成されることのない第１シートおよび第２シートの両方を被着体に貼付することができるシート貼付方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、段差のない第１、第２シート基材を繰り出し、各第１、第２シート基材それぞれに第１、第２シートを形成し、それら第１、第２シートを被着体に貼付するので、第１、第２原反を重なり合った状態から繰り出しても、押し跡が形成されることのない第１シートおよび第２シートの両方を被着体に貼付することができる。

本発明の実施形態に係るシート貼付方法の説明図。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１中手前方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸と平行な図１中手前方向で「後」がその逆方向とする。

本発明のシート貼付方法は、例えば、以下のシート貼付装置ＥＡによって実施することができる。
すなわち、シート貼付装置ＥＡは、第１剥離シートＲＬ１に第１シート基材ＢＳ１が仮着された第１原反ＲＳ１を、重なり合った状態から繰り出すことで第１繰出工程を実施する第１繰出手段１０と、第１シート基材ＢＳ１に閉ループ状の第１切込ＣＵ１を形成し、当該第１切込ＣＵ１で仕切られた領域に所定形状の第１シートＡＳ１を形成するとともに、当該第１シートＡＳ１以外の領域に第１不要シートＵＳ１を形成する第１切断工程を実施する第１切断手段２０と、第１剥離シートＲＬ１から第１シートＡＳ１を剥離する第１剥離工程を実施する第１剥離手段としての第１剥離板３０と、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を押圧して貼付する第１貼付工程を実施する第１貼付手段としての第１押圧ローラ４０と、第２剥離シートＲＬ２に第２シート基材ＢＳ２が仮着された第２原反ＲＳ２を、重なり合った状態から繰り出す第２繰出工程を実施する第２繰出手段５０と、第２シート基材ＢＳ２に閉ループ状の第２切込ＣＵ２を形成し、当該第２切込ＣＵ２で仕切られた領域に所定形状の第２シートＡＳ２を形成するとともに、当該第２シートＡＳ２以外の領域に第２不要シートＵＳ２を形成する第２切断工程を実施する第２切断手段６０と、第２剥離シートＲＬ２から第２シートＡＳ２を剥離する第２剥離工程を実施する第２剥離手段としての第２剥離板７０と、被着体ＷＫに貼付された第１シートＡＳ１に第２シートＡＳ２を押圧して貼付する第２貼付工程を実施する第２貼付手段としての第２押圧ローラ８０とを備え、被着体ＷＫを搬送する運搬工程を実施する運搬手段９０の近傍に配置されている。
なお、本実施形態の場合、第２貼付工程では、被着体ＷＫに貼付された第１シートＡＳ１と、フレーム部材としてのリングフレームとに第２シートＡＳ２を押圧して貼付し、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を介して被着体ＷＫがリングフレームＲＦと一体化された一体物ＵＰを形成するようになっている。

第１繰出手段１０は、巻回されることで巻き重なった第１原反ＲＳ１を支持する支持ローラ１１と、第１原反ＲＳ１を案内するガイドローラ１２と、第１不要シートＵＳ１が掛け回される剥離ローラ１３と、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、剥離ローラ１３との間に存在する第１不要シートＵＳ１に常に所定の張力を付与し、当該第１不要シートＵＳ１を回収する回収手段としての不要シート回収ローラ１４と、駆動機器としての回動モータ１５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ１５Ｂとで第１剥離シートＲＬ１を挟み込む駆動ローラ１５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ１５Ｂとの間に存在する第１剥離シートＲＬ１に常に所定の張力を付与し、当該第１剥離シートＲＬ１を回収する回収手段としての回収ローラ１６とを備えている。

第１切断手段２０は、駆動機器としての回動モータ２１の出力軸２１Ａに支持されたダイカットローラ２２と、その円周面２２Ａに支持された平ループ状の切断部材としての切断刃２３と、ダイカットローラ２２と同期回転するアンビルローラ２４とを備えている。

第２繰出手段５０は、巻回されることで巻き重なった第２原反ＲＳ２を支持する支持ローラ５１と、第２原反ＲＳ２を案内するガイドローラ５２と、第２不要シートＵＳ２が掛け回される剥離ローラ５３と、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、剥離ローラ５３との間に存在する第２不要シートＵＳ２に常に所定の張力を付与し、当該第２不要シートＵＳ２を回収する回収手段としての不要シート回収ローラ５４と、駆動機器としての回動モータ５５Ａの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ５５Ｂとで第２剥離シートＲＬ２を挟み込む駆動ローラ５５と、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート貼付装置ＥＡの自動運転が行われている間、ピンチローラ５５Ｂとの間に存在する第２剥離シートＲＬ２に常に所定の張力を付与し、当該第２剥離シートＲＬ２を回収する回収手段としての回収ローラ５６とを備えている。

第２切断手段６０は、駆動機器としての回動モータ６１の出力軸６１Ａに支持されたダイカットローラ６２と、その円周面６２Ａに支持された平ループ状の切断部材としての切断刃６３と、ダイカットローラ６２と同期回転するアンビルローラ６４とを備えている。

運搬手段９０は、駆動機器としてのリニアモータ９１のスライダ９１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段（保持手段）によって吸着保持が可能な保持面９２Ａを有する保持テーブル９２を備えている。

以上のシート貼付装置ＥＡによる本発明のシート貼付方法を説明する。
先ず、図１（Ａ）中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート貼付装置ＥＡに対し、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下、単に「使用者」という）が同図のように第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２をセットした後、操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して運転開始の信号を入力する。すると、第１、第２繰出手段１０、５０および、第１、第２切断手段２０、６０が回動モータ１５Ａ、５５Ａおよび２１、６１を駆動し、ダイカットローラ２２、６２を回転させ、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成して第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２および、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を形成しつつ、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を繰り出す。この際、第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２は、剥離ローラ１３、５３で第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から剥離され、不要シート回収ローラ１４、５４に巻回されて回収される（以降も同様）。次いで、図１に示すように、先頭の第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２の繰出方向先端部が第１、第２剥離板３０、７０の剥離縁３０Ａ、７０Ａで第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から所定長さ剥離されると、第１、第２繰出手段１０、５０および、第１、第２切断手段２０、６０が回動モータ１５Ａ、５５Ａおよび２１、６１の駆動を停止する。

その後、当該シート貼付装置ＥＡの使用者（以下単に「使用者」という）または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図１に示すように、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１内に被着体ＷＫが位置するように、それらを保持テーブル９２上に載置すると、運搬手段９０が図示しない減圧手段を駆動し、保持面９２ＡでのリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫの吸着保持を開始する。次に、運搬手段９０がリニアモータ９１を駆動し、保持テーブル９２を左方に移動させ、被着体ＷＫが第１剥離板３０に対する所定の位置に到達すると、第１繰出手段１０および第１切断手段２０が回動モータ１５Ａ、２１を駆動し、第１シート基材ＢＳ１に新たな第１切込ＣＵ１を形成しつつ、保持テーブル９２の移動速度に合わせて第１原反ＲＳ１を繰り出す。これにより、第１シートＡＳ１が第１剥離シートＲＬ１から剥離され、当該第１剥離シートＲＬ１から剥離された第１シートＡＳ１は、図１中二点鎖線で示すように、第１押圧ローラ４０によって被着体ＷＫに押圧されて貼付される。そして、先頭の第１シートＡＳ１に次ぐ次の第１シートＡＳ１の繰出方向先端部が、第１剥離板３０の剥離縁３０Ａで所定長さ剥離されると、第１繰出手段１０および第１切断手段２０が回動モータ１５Ａ、２１の駆動を停止する。

次いで、運搬手段９０による保持テーブル９２の左方への移動が続行され、リングフレームＲＦが第２剥離板７０に対する所定の位置に到達すると、第２繰出手段５０および第２切断手段６０が回動モータ５５Ａ、６１を駆動し、第２シート基材ＢＳ２に新たな第２切込ＣＵ２を形成しつつ、保持テーブル９２の移動速度に合わせて第２原反ＲＳ２を繰り出す。これにより、第２シートＡＳ２が第２剥離シートＲＬ２から剥離され、当該第２剥離シートＲＬ２から剥離された第２シートＡＳ２は、図１中二点鎖線で示すように、第２押圧ローラ８０によってリングフレームＲＦおよび第１シートＡＳ１に押圧されて貼付され、一体物ＵＰを形成する。その後、先頭の第２シートＡＳ２に次ぐ次の第２シートＡＳ２の繰出方向先端部が、第２剥離板７０の剥離縁７０Ａで所定長さ剥離されると、第２繰出手段５０および第２切断手段６０が回動モータ５５Ａ、６１の駆動を停止する。

次に、リングフレームＲＦに第２シートＡＳ２全体が貼付され、保持テーブル９２が第２押圧ローラ８０の左方所定位置に到達すると、運搬手段９０がリニアモータ９１の駆動を停止した後、図示しない減圧手段の駆動を停止し、保持面９２ＡでのリングフレームＲＦおよび被着体ＷＫの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が一体物ＵＰを次工程に搬送すると、運搬手段９０がリニアモータ９１を駆動し、保持テーブル９２を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、段差のない第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２を繰り出し、各第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２それぞれに、第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成して第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を形成し、それら第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに貼付するので、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を重なり合った状態から繰り出しても、押し跡が形成されることのない第１シートＡＳ１および第２シートＡＳ２の両方を被着体ＷＫに貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、第１繰出工程は、第１剥離シートに第１シート基材が仮着された第１原反を、重なり合った状態から繰り出すことが可能であれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

第１、第２繰出工程は、第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を、ファンフォールド折りによって折り重なった状態から繰り出してもよいし、複数の第１、第２原反ＲＳ１、ＲＳ２を、それぞれ積み重ねることによって積み重なった状態から繰り出してもよいし、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２や第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を巻回することなく、例えば、ファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだりして回収してもよいし、巻回したりファンフォールド折りにしたりすることなく単に集積して回収してもよいし、第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２から第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２を剥離しなくてもよい。

第１、第２切断工程は、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に短寸幅方向全体の第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成することで、その第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２で仕切られた領域を第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２とし、その他の領域を第１、第２不要シートＵＳ１、ＵＳ２としてもよいし、第１、第２原反ＲＳ１、２を移動させずにまたは移動させつつ切断部材を移動させ、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよいし、例えば、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に離間接近する切断部材としての所謂平刃で、当該第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよいし、ダイカットローラ２２、６２に対して着脱可能または着脱不能な切断刃２３、６３で、第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２に第１、第２切込ＣＵ１、ＣＵ２を形成してもよい。

第１、第２貼付工程は、第１、第２押圧ローラ４０、８０を被着体ＷＫに離間接近させ、被着体ＷＫにストレスがかかったり損傷したりすることを防止するようにして、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに貼付してもよいし、第１、第２押圧ローラ４０、８０の代わりに、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材で第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を保持し、当該保持部材で保持した第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を被着体ＷＫに押圧して貼付してもよい。

運搬工程は、被着体ＷＫを移動させることなくまたは移動させつつ、第１、第２繰出手段１０、５０や第１、第２貼付手段等を移動させて当該被着体ＷＫに第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を貼付してもよいし、保持テーブル９２で被着体ＷＫやリングフレームＲＦ等を吸着保持しなくてもよいし、フレーム部材をなくし、被着体ＷＫのみを保持してもよいし、他の装置で搬送工程を実施する場合、本発明のシート貼付方法において実施しなくてもよい。

本発明のシート貼付方法では、一体物ＵＰを形成する方法に限らず、例えば、被着体ＷＫのみに第１シートＡＳ１および第２シートＡＳ２を貼付してもよいし、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ１に第１シートＡＳ１を貼付し、当該被着体ＷＫの他方の面ＷＫ２に第２シートＡＳ２を貼付してもよい。
第１、第２剥離シートＲＬ１、ＲＬ２や第１、第２シート基材ＢＳ１、ＢＳ２は、帯状であってもよいし、枚葉であってもよい。
フレーム部材は環状でもよいし、環状でなくてもよい。
本発明のシート貼付方法は、シート貼付装置ＥＡ以外の装置や人手によって実施されてもよい。

本発明における第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２および被着体ＷＫの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２の場合は、当該第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２を加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＷＫとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、第１、第２シートＡＳ１、ＡＳ２は、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、２軸または３軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等の部材を採用したり、大気やガス等の気体の吹き付けにより押圧する構成を採用したりしてもよいし、押圧するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持（保持）手段や支持（保持）部材等の被支持部材（被保持部材）を支持（保持）するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤（接着シート、接着テープ）、粘着剤（粘着シート、粘着テープ）、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持（保持）する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。

ＡＳ１…第１シート
ＡＳ２…第２シート
ＢＳ１…第１シート基材
ＢＳ２…第２シート基材
ＣＵ１…第１切込
ＣＵ２…第２切込
ＲＬ１…第１剥離シート
ＲＬ２…第２剥離シート
ＲＳ１…第１原反
ＲＳ２…第２原反
ＷＫ…被着体
ＷＫ１…一方の面
ＷＫ２…他方の面

Claims (1)

1. 第１剥離シートに第１シート基材が仮着された第１原反を、重なり合った状態から繰り出す第１繰出工程と、
   前記第１シート基材に閉ループ状の第１切込を形成し、当該第１切込で仕切られた領域に所定形状の第１シートを形成する第１切断工程と、
   前記第１剥離シートから前記第１シートを剥離する第１剥離工程と、
   被着体の一方の面に前記第１シートを押圧して貼付する第１貼付工程と、
   第２剥離シートに第２シート基材が仮着された第２原反を、重なり合った状態から繰り出す第２繰出工程と、
   前記第２シート基材に閉ループ状の第２切込を形成し、当該第２切込で仕切られた領域に所定形状の第２シートを形成する第２切断工程と、
   前記第２剥離シートから前記第２シートを剥離する第２剥離工程と、
   前記被着体に貼付された前記第１シートまたは、前記被着体の他方の面に前記第２シートを押圧して貼付する第２貼付工程とを実施することを特徴とするシート貼付方法。