JP2013074098A - シート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状シートWSが帯状の剥離シートRLに仮着された原反RSを繰り出す繰出手段14と、帯状シートWSに切込CUを形成して当該切込CUの内側に接着シートASを形成する切断手段15と、接着シートASを初期剥離領域(繰出方向先端部)Saから次期剥離領域(内側領域)Sbに向かって剥離する剥離板18とを備えてシート貼付装置10が構成されている。切断手段15は、初期剥離領域Saに対応する初期切込CU1の深さが次期剥離領域Sbに対応する次期切込CU2の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられている。
【選択図】図2
Description
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート貼付装置及び貼付方法、並びに、シート製造装置及び製造方法を提供することにある。
前記切断手段は、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられる、という構成を採っている。
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成する、という方法を採っている。
また、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シートの切込の深さより浅くなっているので、接着シートとそれに対応する剥離シート部分が原反から抜け落ちてしまったり、剥離シート部分が付随した状態の接着シートが被着体に貼付されてしまったりするといった接着シートの貼付不良を抑制することができる。このとき、特許文献1の装置のように、接着シートの繰出方向先端部に対応する剥離シート部分が、ピールプレートで接着シートと一緒に抜けてしまうことがあるが、接着シートの内側領域に対応する剥離シートの切込の深さが浅いので、接着シートと一緒に抜けてしまった剥離シート部分がそれ以上大きくなることはなく、当該剥離シート部分は剥離シートの正規の回収方向に引っ張って回収されるようになる。
なお、前記シート製造装置及び製造方法によれば、前述と同様に切込が形成された原反を準備でき、当該原反をシート貼付装置や貼付方法に用いた場合、前述したように接着シートの剥離及び貼付を難なく行えるようになる。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、刃基板41を円形や多角形に形成することで、選択的に利用できる高刃部46の数を増やすことができる。
更に、前記実施形態では、高刃部46を切断刃40の円周方向に30°の角度範囲で形成したものを例示したが、30°以下の角度範囲で形成してもよいし、高刃部46が隣接する高刃部46と繋がらない範囲で30°以上の角度範囲で形成してもよい。
更に、切断刃40は、エッチング加工により形成されるもの以外に、機械加工によって形成される彫刻刃や、ロータリダイの他、平らな板上に刃が形成された平刃や、トムソン刃等を使用してもよい。
また、高刃部46や低刃部48の高さは、原反RSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる上、高刃部46よりも高さが低く且つ低刃部48も高さが高い中間刃部を形成してもよい。
また、間隔調整手段を所謂ベアラで構成してもよいし、間隔調整手段による切断刃40とプラテンローラ37との相対間隔は、原反RSの厚みや性質、特に剥離シートRSの厚みや性質等を考慮して適宜変更することができる。
更に、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよいし、
14 繰出手段
15 切断手段
18 剥離板(剥離手段)
19 押圧ローラ(押圧手段)
40 切断刃
46 高刃部
48 低刃部
AD 接着剤層
AS 接着シート
BS 基材シート
CU 切込
CU1 初期切込
CU2 次期切込
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
Sa 初期剥離領域(接着シートの繰出方向先端部)
Sb 次期剥離領域(接着シートの内側領域)
US 不要シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
WS 帯状シート
Claims (8)
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含むシート貼付装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記切断手段は、帯状シートの厚み方向に高さを有する切断刃を備え、この切断刃は、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込を形成可能な高刃部と、この高刃部より低い高さに形成され前記接着シートの内側領域を形成可能な低刃部とを含むことを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記高刃部は、切断刃の複数箇所に設けられ、各高刃部は、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込を形成できる位置に選択的に配置可能に設けられていることを特徴とする請求項2記載のシート貼付装置。
- 前記繰出手段は、前記切断手段と連動して1枚の接着シート形成に対し、前記高刃部での切断を複数回行うことを特徴とする請求項2又は3記載のシート貼付装置。
- 前記切断手段で切断される領域の原反を加熱可能なエネルギー付与手段を有することを特徴とする請求項1ないし4の何れかに記載のシート貼付装置。
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記剥離シートに仮着された前記接着シートを当該接着シートの繰出方向先端部から当該接着シートの内側領域に向かって剥離する剥離工程と、
前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートにおける繰出方向先端部に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート貼付方法。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方に対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成可能に設けられていることを特徴とするシート製造装置。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出工程と、
前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程とを備え、
前記切断工程において、前記接着シートの繰出方向先端部及び繰出方向後端部の少なくとも一方対応する切込の深さが前記接着シートの内側領域に対応する切込の深さに比べて深い切込を形成することを特徴とするシート製造方法。
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