JP6054466B2 - シート製造装置 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、剥離シートが薄厚化した場合でも、接着シートの形成、剥離及び貼付を良好に行うことができるシート製造装置を提供することにある。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「左」、「右」、「上」、「下」は、図1を基準として用いる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
また、帯状シートWSに切込CUを形成する前の段階で、原反RSに線状若しくは点状のテスト用切込TC(図2参照)を形成するテスト切断を行うように構成してもよい。この場合、上記と同様に、原反RSの繰出を停止させた状態で、切断刃40とプラテンローラ37とを接近させてそれらが接触すると、図示しない制御手段がその接触位置を記憶する。その後、調整手段38によって、切断刃40の頂点が原反RSに接触しない位置とされた後に、各回動モータDM1〜DM4を連動させて原反RSの繰出を行い、切込CUを形成する。この切込CUを形成するとき、制御手段は、先に記憶した接触位置を基に、切断刃40の先端40aがプラテンローラ37に対して10μm左方向に位置するように制御を行う。なお、このようなテスト用切込TCを形成する動作は、1枚の接着シートASを形成する毎に行ってもよいし、複数枚の接着シートAS形成毎に行ったり、ダイカットローラ36や切断刃40を交換する毎に、1回或いは複数回行ったりしてもよい。
また、原反RSを構成する部材の厚みは、上記実施形態で例示したものに何ら限定されることはない。
また、シート貼付装置10を移動させる駆動機器を設け、テーブル11を停止させた状態で、シート貼付装置10を図1中右方向に移動させたり、テーブル11を左方向に移動させるとともに、シート貼付装置10を右方向に移動させたりして接着シートASを被着体に貼付するように構成してもよい。
更に、上記実施形態と同様の調整手段38をプラテンローラ37側にも設け、ダイカットローラ36を停止させた状態で、プラテンローラ37をダイカットローラ36に対して離間接近させたり、ダイカットローラ36及びプラテンローラ37を相互に離間接近させたりして切断刃40とプラテンローラ37との間隔を調整するようにしてもよい。
14 繰出手段
15 切断手段
18 剥離板(剥離手段)
19 押圧ローラ(押圧手段)
36 カッター部(ダイカットローラ)
37 受圧部(プラテンローラ)
38 調整手段
39 接触検知手段
40 切断刃
AD 接着剤層
AS 接着シート
BS 基材シート
CU 切込
RF リングフレーム(被着体)
RL 剥離シート
RS 原反
TC テスト用切込
US 不要シート
WF 半導体ウエハ(被着体)
WS 帯状シート
Claims (3)
- 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、前記カッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段と、
前記カッター部と受圧部とが接触した位置を記憶可能な制御手段とを有し、
前記調整手段は、前記切込を形成する前の段階で、前記カッター部と受圧部とを相対的に接近させてテスト用切込を形成し、それらが接触したことが前記接触検知手段によって検知されると、前記制御手段がその接触位置を記憶し、当該制御手段に記憶した前記接触位置を基にして、前記カッター部と受圧部とを相対的に離間させ、前記切込の深さが所定の深さとなるように調整し、
前記切断手段は、前記調整手段の調整の後、前記テスト用切込とは異なる位置に前記所定の深さの前記切込を形成することを特徴とするシート製造装置。 - 帯状の基材シートの一方の面に接着剤層を有する帯状シートが当該接着剤層を介して帯状の剥離シートに仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記帯状シートに所定形状の切込を形成して当該切込の内側に接着シートを形成するとともに、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段とを含むシート製造装置であって、
前記切断手段は、前記原反の帯状シート側に配置されて前記切込を形成可能な切断刃を有するカッター部と、前記原反を間に挟んで前記カッター部と対向配置されて当該カッター部の押圧力を受け止める受圧部と、前記カッター部と受圧部との接触を検知可能な接触検知手段とを備え、
前記カッター部と受圧部との間隔を調整可能な調整手段を有し、
前記調整手段は、前記カッター部と受圧部とを相対的に接近させて前記切込の一部を形成しつつ、それらが接触したことが前記接触検知手段によって検知されると、前記カッター部と受圧部とを相対的に離間させ、前記切込の深さが所定の深さとなるように調整し、
前記切断手段は、前記調整手段の調整時に形成された前記切込の一部に続く当該切込の残りの部分を形成することを特徴とするシート製造装置。 - 前記剥離シートに仮着された前記接着シートを剥離する剥離手段と、前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段とを含む請求項1または2に記載のシート製造装置。
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