JP6920113B2 - テープ形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、ウェーハとリングフレームとを一体化させるための円形粘着テープを形成するテープ形成装置に関する。

半導体装置の製造過程においては、集積回路が形成されたウェーハを研削によって所定の厚みに薄化した後、切削ブレードで切断することにより複数のチップに分割する。その際、切断後のチップがバラバラになるのを防止する等のために、粘着テープを介してウェーハをリングフレームと一体化させた状態としている。

粘着テープを形成する方式には、貼着するリングフレームのサイズに合わせて粘着テープを予め円形に切断（プリカット）しておくプリカット方式と、リングフレームに貼着する際に、そのリングフレームのサイズに合わせて粘着テープを円形に切断（バッチカット）するバッチカット方式とがある。プリカット方式では、粘着テープが既に一定サイズに形成されているため、リングフレームのサイズが変更されると、テープユニットを交換する必要がある。これに対しバッチカット方式は、切断に使用する刃を取り替えることで、種々のサイズの粘着テープを形成することができるので、リングフレームのサイズが変更されても、同じテープで対応できる。

特開２００７−１６５３６４号公報

バッチカット方式の場合、粘着テープを円形に切断した後に、その外側の不要部分を保護フィルムから剥がして、円形の粘着テープだけを保護フィルムに配列させておき、その円形の粘着テープをリングフレームに貼着する。

しかし、粘着テープの基材がポリウレタンなど軟らかい材質で形成されていると、基材の切断が不完全になりやすく、バッチカットした粘着テープの円形部分とその外側の不要部分とが切り離されにくい。このため、保護フィルムから不要部分の粘着テープを剥がす際に、円形の粘着テープもいっしょに剥がされてしまうという問題が生じうる。この問題は、粘着テープの粘着剤層が厚く完全には切断しにくい場合にも同様に生じる。

本発明は、このような問題にかんがみてなされたものであり、円形に切断した粘着テープを確実に保護フィルムに残し、その外側の不要な粘着テープだけを保護フィルムから剥がすことができるようにすることを課題とする。

上記課題を解決するために本発明のテープ形成装置は、基材と粘着剤とが積層されて長尺状に形成され保護フィルムが該粘着剤に貼着された粘着テープを円形にカットして、該保護フィルムの長尺方向に配列させた円形粘着テープを形成するテープ形成装置であって、該保護フィルムに接触する押し付けローラと、該保護フィルムに貼着した該粘着テープに接触し該粘着テープを円形にカットするカットローラとを有し、該押し付けローラ及び該カットローラの２つのローラで該テープユニットを挟んで該２つのローラを互いに反対向きに回転させて該テープユニットを該長尺方向に送り出すとともに該粘着テープを円形にカットするカット手段と、該カット手段によってカットされた該円形粘着テープの外側の不要粘着テープを該保護フィルムから剥離する剥離手段と、を備え、該剥離手段は、該２つのローラによって送り出された該円形粘着テープの先端部を該保護フィルムに向かって押す押しプレートを有する押し付け手段と、該２つのローラによって送り出された該不要粘着テープを該保護フィルムから剥離させて巻き取るカス巻きローラと、該押しプレートと該カス巻きローラとの間に配設され該粘着テープの粘着剤層を備えない面側に接触する剥離ローラと、該カス巻きローラを該剥離ローラに押し当てるテンショナと、を備える。
テープ形成装置は、該押しプレートを該保護フィルムの該粘着テープを貼着していない面に接近および離間させる押しプレート移動手段を備えてもよいし、該剥離ローラを該保護フィルムの該粘着テープを貼着していない面に接近および離間させる剥離ローラ移動手段を備えてもよい。

本発明に係るテープ形成装置は、円形粘着テープの先端部を保護フィルムに向かって押しながら不要粘着テープを保護フィルムから剥離させるので、円形粘着テープを確実に保護フィルムに残し、その外側の不要粘着テープだけを保護フィルムから剥がすことができる。

第１の実施形態のテープ形成装置を示す要部斜視図である。 第１の実施形態のテープ形成装置を示す側面図である。 第１の実施形態のテープ形成装置の別の状態を示す要部斜視図である。 第１の実施形態のテープ形成装置の別の状態を示す側面図である。 第２の実施形態のテープ形成装置を示す側面図である。 第２の実施形態のテープ形成装置の別の状態を示す側面図である。 第３の実施形態のテープ形成装置を示す側面図である。 第３の実施形態のテープ形成装置の別の状態を示す側面図である。

１ 第１の実施形態
図１に示すテープ形成装置１０は、保護フィルムＦに貼着した粘着テープＴ１を円形にカットして、保護フィルムＦの長尺方向に配列させた円形粘着テープＴ２を形成するテープ形成装置の第１例である。粘着テープＴ１は、基材と粘着剤とを積層して長尺状に形成したものである。以下では、粘着テープＴ１の粘着剤に保護フィルムＦが貼着されて構成されるものをテープユニットＴＵと称する。

図２に示すように、テープ形成装置１０は、テープユニットＴＵを送り出すテープユニット供給手段１１０と、粘着テープＴ１を円形にカットするカット手段１２０と、粘着テープＴ１のうち円形にカットされた部分以外である不要粘着テープＴ３（図１参照）を保護フィルムＦから剥離する剥離手段１３０と、テープユニットＴＵの保護フィルムＦに円形にカットされた円形粘着テープＴ２が貼着されて構成されるテープユニットＴＵ２を送り出すテープユニット送出手段１４０とを備える。

図２に示すように、テープユニット供給手段１１０は、テープロールＴＲを回転自在に支持する支持柱１１１を有する。テープロールＴＲは、テープユニットＴＵをロール状に巻回したものである。このテープユニットＴＵが、テープロールＴＲから巻出されつつカット手段１２０に供給される。

カット手段１２０は、保護フィルムＦに接触する押し付けローラ１２１と、粘着テープＴ１に接触するカットローラ１２２と、テープロールＴＲから巻出されたテープユニットＴＵを押し付けローラ１２１に沿わせるべく案内するガイドローラ１２３とを有する。図１に示すように、カットローラ１２２の表面には切り出そうとする円形粘着テープＴ２のサイズに合わせた円形の刃１２２ａが突出形成されている。カット手段１２０は、押し付けローラ１２１とカットローラ１２２とをテープユニットＴＵを挟んでこれら２つのローラを互いに反対向きに回転させることにより、テープユニットＴＵを長尺方向に送り出しつつ、カットローラ１２２の刃１２２ａで粘着テープＴ１を円形にカットする。この円形にカットされた部分が円形粘着テープＴ２となる。

図２に示すように、剥離手段１３０は、押しプレート１３１とカス巻きローラ１３２と剥離ローラ１３３とを備える。

押しプレート１３１は、押し付けローラ１２１とカットローラ１２２とにより送り出された円形粘着テープＴ２（カットローラ１２２の刃１２２ａによって円形にカットされた部分）の先端部を保護フィルムＦに向かって押圧する押し付け手段である。押しプレート１３１の下流側（テープユニットＴＵの送り方向下流側）の端部の縁１３１ａは、例えば円形粘着テープＴ２の半径よりも若干小さい曲率半径を有する円弧状に形成されている。押しプレート１３１は、テープユニットＴＵの粘着テープＴ１に対して平行かつ近接した状態で対面して押し付けローラ１２１の下流側の所定位置に支持されている。

カス巻きローラ１３２は、押し付けローラ１２１とカットローラ１２２とにより送り出され保護フィルムＦから剥離された不要粘着テープＴ３を巻き取るローラである。ここで、不要粘着テープＴ３は、粘着テープＴ１から円形粘着テープＴ２以外のものを剥離することにより生じたものである。カス巻きローラ１３２は、回動アーム１３４の先端部に回転可能に支持されて、押しプレート１３１の下流側に設けられている。

剥離ローラ１３３は、保護フィルムＦから剥離されカス巻きローラ１３２に巻き取られる途中の不要粘着テープＴ３にテンションを与えることにより、保護フィルムＦからの不要粘着テープＴ３の剥離を促進するローラである。剥離ローラ１３３は、押しプレート１３１とカス巻きローラ１３２との間に設けられており、剥離ローラ移動手段１３６によって粘着テープＴ１に対して接近及び離反可能に支持されている。

剥離ローラ移動手段１３６は、その先端部に剥離ローラ１３３を回転可能に支持したスライドアーム１３７と、スライドアーム１３７をテープユニットＴＵの面方向に対して垂直な方向に移動させる移動機構１３８とを有する。スライドアーム１３７は、移動機構１３８がスライドアーム１３７を移動させることにより、剥離ローラ１３３を、図１及び図２に示す第１の位置（円形粘着テープＴ２から離れた位置）と図３及び図４に示す第２の位置（円形粘着テープＴ２に接した位置）との間で進退移動させることが可能である。

カス巻きローラ１３２を回転可能に支持している回動アーム１３４の基端部はテンショナ１３９に連結されている。テンショナ１３９は、回動アーム１３４を介してカス巻きローラ１３２を剥離ローラ１３３に向けて付勢している。このため、カス巻きローラ１３２と剥離ローラ１３３とは、テープユニットＴＵから剥離された不要粘着テープＴ３を挟んで圧接している。剥離ローラ移動手段１３６が剥離ローラ１３３を移動させると、剥離ローラ１３３とカス巻きローラ１３２とが、両者間に不要粘着テープＴ３を挟んだ状態を保ちながら共に移動する。

テープユニット送出手段１４０は、テープユニットＴＵから不要粘着テープＴ３が剥離されて構成されるテープユニットＴＵ２を図示しないテープ貼着装置へ送り出すべく、剥離手段１３０の下流に設けられている。テープユニット送出手段１４０は、テープユニットＴＵ２を挟んで互いに反対向きに回転することによりテープユニットＴＵをテープ貼着装置に送り出す一対の送りローラ１４１、１４２を有する。

上記のように構成されたテープ形成装置１０では、テープユニットＴＵがテープロールＴＲから巻出されてカット手段１２０に送り込まれる。図３に示すように、カット手段１２０は、テープユニットＴＵを押し付けローラ１２１とカットローラ１２２との間で挟んで送り出しつつ、カットローラ１２２の刃１２２ａでテープユニットＴＵの粘着テープＴ１を円形にカットする。カット手段１２０から送り出されたテープユニットＴＵは、図４に示すように、剥離手段１３０に送り込まれる。剥離手段１３０は、保護フィルムＦから不要粘着テープＴ３を剥離してカス巻きローラ１３２に巻き取る。

その際、テープ形成装置１０は、カットローラ１２２の刃１２２ａによって円形にカットされた部分の先端部（下流側の端部）が押しプレート１３１の先端部と重なる位置に位置すると、図２に示すように、剥離ローラ１３３を第１の位置に移動させる。これにより、押しプレート１３１とカス巻きローラ１３２との間の不要粘着テープＴ３が双方によって引っ張られるとともに、円形粘着テープＴ２の先端部が保護フィルムＦに向かって押された状態になる。その結果、カットローラ１２２の刃１２２ａによる粘着テープＴ１の切断が不完全であっても、押しプレート１３１の円弧状の縁１３１ａに沿って、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離される。

その後、テープ形成装置１０は、図３及び図４に示すように、剥離ローラ１３３を第２の位置に移動させるとともに、テープユニットＴＵを送り込む。そして、円形粘着テープＴ２の外側の不要粘着テープＴ３を保護フィルムＦから剥離してカス巻きローラ１３２に巻き取っていく。このとき、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離されているため、円形粘着テープＴ２が不要粘着テープＴ３につれられて保護フィルムＦから剥がされるのを防止することができる。その結果、円形粘着テープＴ２は保護フィルムＦ上に残り、その外側の不要粘着テープＴ３のみが保護フィルムＦから剥離されてカス巻きローラ１３２に巻き取られる。

剥離手段１３０を通過することによりテープユニットＴＵから不要粘着テープＴ３が除去されると、保護フィルムＦの長尺方向に円形粘着テープＴ２が配列されたテープユニットＴＵ２となる。そのテープユニットＴＵ２がテープユニット送出手段１４０からテープ貼着装置に供給され、円形粘着テープＴ２が図示しないリングフレームに貼着される。

以上のように、テープ形成装置１０は、円形粘着テープＴ２の先端部を保護フィルムＦに向かって押しながら不要粘着テープＴ３を保護フィルムＦから剥離させるように構成したので、カットローラ１２２の刃１２２ａによる粘着テープＴ１の切断が不完全であっても、円形粘着テープＴ２を確実に保護フィルムＦに残し、その外側の不要粘着テープＴ３だけを保護フィルムＦから剥がすことができる。

したがって、粘着テープＴ１の基材がポリウレタンなど軟らかい材質で形成されている場合や、粘着テープＴ１の粘着剤層が厚く完全には切断しにくい場合でも、バッチカット方式による円形粘着テープＴ２の形成が可能となる。

２ 第２の実施形態
図５に示すテープ形成装置２０は、保護フィルムＦに貼着した粘着テープＴ１を円形にカットして、保護フィルムＦの長尺方向に配列させた円形粘着テープＴ２を形成するテープ形成装置の第２例である。粘着テープＴ１は、基材と粘着剤とを積層して長尺状に形成したものである。第１の実施形態と同様に、粘着テープＴ１の粘着剤に保護フィルムＦが貼着されて構成されるものをテープユニットＴＵと称する。

テープ形成装置２０は、第１の実施形態においては存在した剥離ローラ１３３をテープユニットＴＵに向かって進退移動させる剥離ローラ移動手段１３６の代わりに、押しプレート１３１をテープユニットＴＵに向かって進退移動させる押しプレート移動手段２１０を備えている。その他の構成は第１の実施形態と同様である。

押しプレート移動手段２１０は、その先端部に押しプレート１３１が固定されたスライドアーム２１１と、スライドアーム２１１をテープユニットＴＵの面方向に対して垂直な方向（図示左右方向）に移動させる移動機構２１２とを有する。押しプレート１３１は、その先端側をテープユニットＴＵ側に傾倒させてスライドアーム２１１に支持されている。移動機構２１２がスライドアーム２１１を移動させることにより、押しプレート１３１を図５に示す第１の位置（円形粘着テープＴ２に接した位置）と図６に示す第２の位置（円形粘着テープＴ２から離れた位置）との間で移動させることが可能である。押しプレート１３１が第１の位置にあるとき、テープユニットＴＵは、押しプレート１３１に押されて保護フィルムＦ側に若干撓んだ状態になる。

カット手段１２０から送り出されたテープユニットＴＵが剥離手段１３０に送り込まれると、剥離手段１３０は、保護フィルムＦから不要粘着テープＴ３を剥離してカス巻きローラ１３２に巻き取る。図６に示すように、押しプレート１３１を第２の位置に待避させておき、カットローラ１２２の刃１２２ａによって円形にカットされた部分の先端部（下流側の端部）が押しプレート１３１の先端部と重なる位置に位置すると、図５に示すように、押しプレート１３１を第１の位置に移動させる。これにより、押しプレート１３１とカス巻きローラ１３２との間の不要粘着テープＴ３が双方によって引っ張られるとともに、円形粘着テープＴ２の先端部が保護フィルムＦに向かって押された状態になる。その結果、カットローラ１２２の刃１２２ａによる粘着テープＴ１の切断が不十分であっても、押しプレート１３１の円弧状の縁１３１ａに沿って、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離される。

その後、テープ形成装置２０は、図６に示したように、押しプレート１３１を第２の位置に移動させるとともに、テープユニットＴＵを送り込む。そして、円形粘着テープＴ２の外側の不要粘着テープＴ３を保護フィルムＦから剥離させカス巻きローラ１３２に巻き取っていく。このとき、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離されているため、円形粘着テープＴ２が不要粘着テープＴ３につれられて保護フィルムＦから剥がされることがない。その結果、円形粘着テープＴ２は保護フィルムＦに残され、その外側の不要粘着テープＴ３のみ保護フィルムＦから剥離されカス巻きローラ１３２に巻き取られる。

以上のように、第２の実施形態のテープ形成装置２０によっても、円形粘着テープＴ２を確実に保護フィルムＦに残し、その外側の不要粘着テープＴ３だけを保護フィルムＦから剥がすことができる。

３ 第３の実施形態
図７及び図８に示すテープ形成装置３０は、保護フィルムＦに貼着した粘着テープＴ１を円形にカットして、保護フィルムＦの長尺方向に配列させた円形粘着テープＴ２を形成するテープ形成装置の第３例である。粘着テープＴ１は、基材と粘着剤とを積層して長尺状に形成したものであり、粘着剤に保護フィルムＦが貼着されている。第１の実施形態と同様に、粘着テープＴ１の粘着剤に保護フィルムＦが貼着されて構成されるものをテープユニットＴＵと称する。

テープ形成装置３０は、第２の実施形態における押しプレート移動手段２１０の代わりに、押しプレート昇降手段３１０を備えている。その他の構成は第２の実施形態と同様である。

押しプレート昇降手段３１０は、その先端部に押しプレート１３１が固定された昇降アーム３１１と、昇降アーム３１１をテープユニットＴＵの面方向に沿って移動（図示上下移動）させる移動機構３１２とを有する。押しプレート１３１は、テープユニットＴＵの粘着テープＴ１に対して平行かつ近接した状態で対面して剥離ローラ１３３の上流側に設けられている。移動機構３１２が昇降アーム３１１を移動させることにより、押しプレート１３１を図７に示す第１の位置（上昇位置）と図８に示す第２の位置（下降位置）との間で移動させることが可能である。第１の位置は、押しプレート１３１がテープユニットＴＵと剥離ローラ１３３との間に入り込んだ位置であり、第２の位置は、押しプレート１３１がテープユニットＴＵと剥離ローラ１３３との間から待避した位置である。

カット手段１２０から送り出されたテープユニットＴＵが剥離手段１３０に送り込まれると、剥離手段１３０は、保護フィルムＦから不要粘着テープＴ３を剥離してカス巻きローラ１３２に巻き取る。図８に示すように、押しプレート１３１を第２の位置に待避させておき、カットローラ１２２の刃１２２ａによって円形にカットされた部分の先端部（下流側の端部）が押しプレート１３１の先端部と重なる位置に位置すると、図７に示すように、押しプレート１３１を第１の位置に移動させる。これにより、押しプレート１３１とカス巻きローラ１３２との間の不要粘着テープＴ３が双方によって引っ張られるとともに、円形粘着テープＴ２の先端部が保護フィルムＦに向かって押された状態になる。その結果、カットローラ１２２の刃１２２ａによる粘着テープＴ１の切断が不十分であっても、押しプレート１３１の円弧状の縁１３１ａに沿って、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離される。

その後、テープ形成装置３０は、図８に示すように、押しプレート１３１を第２の位置に移動させるとともに、テープユニットＴＵを送り込む。そして、円形粘着テープＴ２の外側の不要粘着テープＴ３を保護フィルムＦから剥離させカス巻きローラ１３２に巻き取っていく。このとき、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とが完全に切り離されているため、円形粘着テープＴ２が不要粘着テープＴ３につれられて保護フィルムＦから剥がされることがない。その結果、円形粘着テープＴ２は保護フィルムＦに残され、その外側の不要粘着テープＴ３のみ保護フィルムＦから剥離されカス巻きローラ１３２に巻き取られる。

以上のように、第３の実施形態のテープ形成装置３０によっても、円形粘着テープＴ２を確実に保護フィルムＦに残し、その外側の不要粘着テープＴ３だけを保護フィルムＦから剥がすことができる。

なお、本発明の実施形態は上記３つの実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想の趣旨を逸脱しない範囲において様々に変更、置換、変形されてもよい。

例えば、第１の実施形態では、剥離ローラ移動手段１３６がスライドアーム１３７を直線的に移動させることにより、剥離ローラ１３３がテープユニットＴＵに接離する構成としたが、スライドアーム１３７に代えて回動アームを使用し、回動アームの回動により剥離ローラ１３３がテープユニットＴＵに接離する構成としてもよい。

また、第２の実施形態では、押しプレート移動手段２１０がスライドアーム２１１を直線的に移動させることにより、押しプレート１３１がテープユニットＴＵを押したり離れたりする構成としたが、スライドアーム２１１に代えて回動アームを使用し、回動アームの回動により押しプレート１３１がテープユニットＴＵを押したり離れたりする構成としてもよい。

さらに、第２の実施形態において、第１の実施形態における剥離ローラ移動手段１３６と同様の手段を更に備えた構成とすることも可能である。この構成によれば、押しプレート１３１が円形粘着テープＴ２の先端部を押すと共にカス巻きローラ１３２で円形粘着テープＴ２を引っ張ることができるので、押しプレート１３１の円弧状の縁１３１ａに沿って、円形粘着テープＴ２の先端部とその外側部分の不要粘着テープＴ３とを完全に切り離すことができる。これにより、粘着テープＴ１の基材や粘着剤層がより切断しにくい場合でも、バッチカット方式による円形粘着テープＴ２の形成が可能となる。

また、第１の実施形態及び第３の実施形態においては、押しプレート１３１がテープユニットＴＵに近接し対面して配置されているが、押しプレート１３１がテープユニットＴＵに常時接していてもよい。その場合、押しプレート１３１とテープユニットＴＵとの間の摩擦抵抗を小さくするべく、押しプレート１３１のテープユニットＴＵとの接触面に潤滑性の高い層等をコーティングしておくことが好ましい。

ＴＵ、ＴＵ２：テープユニット
Ｔ１：粘着テープ Ｔ２：円形粘着テープ Ｔ３：不要粘着テープ Ｆ：保護フィルム
１０，２０，３０：テープ形成装置
１１０：テープユニット供給手段 １１１：支持柱
１２０：カット手段
１２１：押し付けローラ １２２：カットローラ １２２ａ：刃 １２３：ガイドローラ
１３０：剥離手段 １３１：押しプレート １３２：カス巻きローラ
１３３：剥離ローラ １３４：回動アーム
１３６：剥離ローラ移動手段 １３７：スライドアーム １３８：移動機構
１４０：テープユニット送出手段 １４１，１４２：送りローラ
２１０：押しプレート移動手段 ２１１：スライドアーム ２１２：移動機構
３１０：押しプレート昇降手段 ３１１：昇降アーム ３１２：移動機構

Claims (3)

1. 基材と粘着剤とが積層されて長尺状に形成された粘着テープの該粘着剤に保護フィルムが貼着されて構成されるテープユニットの該粘着テープを円形にカットして、該保護フィルムの長尺方向に配列させた円形粘着テープを形成するテープ形成装置であって、
   該保護フィルムに接触する押し付けローラと、該保護フィルムに貼着した該粘着テープに接触し該粘着テープを円形にカットするカットローラとを有し、該押し付けローラ及び該カットローラの２つのローラで該テープユニットを挟んで該２つのローラを互いに反対向きに回転させて該テープユニットを該長尺方向に送り出すとともに該粘着テープを円形にカットするカット手段と、
   該カット手段によってカットされた該円形粘着テープの外側の不要粘着テープを該保護フィルムから剥離する剥離手段と、を備え、
   該剥離手段は、該２つのローラによって送り出された該円形粘着テープの先端部を該保護フィルムに向かって押す押しプレートを有する押し付け手段と、該２つのローラによって送り出された該不要粘着テープを該保護フィルムから剥離させて巻き取るカス巻きローラと、該押しプレートと該カス巻きローラとの間に配設され該粘着テープの粘着剤層を備えない面側に接触する剥離ローラと、該カス巻きローラを該剥離ローラに押し当てるテンショナと、を備えるテープ形成装置。
2. 該押しプレートを該保護フィルムの該粘着テープを貼着していない面に接近および離間させる押しプレート移動手段を備える、請求項１記載のテープ形成装置。
3. 該剥離ローラを該保護フィルムの該粘着テープを貼着していない面に接近および離間させる剥離ローラ移動手段を備える、請求項１記載のテープ形成装置。

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