JP4723216B2 - テープ貼付装置、マウント装置及びマウント方法 - Google Patents
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Description
他の貼付方法としては、例えば、特許文献1に示されるように、ベースシートの一方の面にテープ基材を仮着した帯状の原反を用い、前記テープ基材にリングフレームの形状に対応する閉ループ状の切り込みを設けてその内側にダイシングテープを形成し、その後にダイシングテープを一枚ずつ剥離してリングフレームに貼付する、という方法も採用されている。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、ベースシートに仮着されたベース基材に切り込みを形成して貼付用のテープを形成する際に、テープ基材に異常があるか否かを検査し、異常が検出された場合に当該異常箇所を除く領域に切り込みを形成して貼付用のテープを形成し、その後に、貼付用のテープを被着体に貼付することのできるテープ貼付装置を提供することにある。
前記カット装置は、前記貼付用テープ形成後に当該貼付用テープが前記被着体に貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に切り込みを形成可能に設けられるとともに、前記剥離装置は、前記貼付用テープにおける前記被着体に貼付される面を前記ベースシートから剥離可能に設けられ、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側にテープ基材の検査装置が配置され、この検査装置がテープ基材の異常を検出したときに、当該異常箇所をカット装置に素通りさせて貼付用テープを形成する、という構成を採っている。
ベースシートの一方の面にテープ基材が仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上で前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成してダイシングテープを形成するカット装置と、前記ダイシングテープを前記ベースシートから剥離する剥離装置と、前記テーブルと前記剥離装置とを相対移動させて前記ダイシングテープをリングフレーム及び半導体ウエハに貼付する貼付装置と、前記剥離装置でダイシングテープを剥離した後の原反を巻き取る巻取装置とを備え、
前記カット装置は、前記ダイシングテープ形成後に当該ダイシングテープが前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に切り込みを形成可能に設けられるとともに、前記剥離装置は、前記貼付用テープにおける前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面を前記ベースシートから剥離可能に設けられ、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側にテープ基材の検査装置が配置され、この検査装置がテープ基材の異常を検出したときに、当該異常箇所をカット装置に素通りさせてダイシングテープを形成する、という構成を採っている。
ベースシートの一方の面にテープ基材が仮着された帯状の原反を繰り出す途中でテープ基材に異常があるか否かを検査する工程と、
前記検査工程を経た原反に対し、前記ダイシングテープ形成後に当該ダイシングテープが前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成してダイシングテープを形成するカット工程と、
前記ダイシングテープにおける前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面を前記ベースシートから剥離してダイシングテープをリングフレーム及び半導体ウエハに貼付する工程と、
前記剥離装置でダイシングテープを剥離した後の原反を巻き取る工程とを含み、
前記検査工程でテープ基材の異常が検出されたときに、当該異常箇所を除外して前記切り込みを形成する、という方法を採っている。
また、前記カット装置による切り込みを形成する前の段階でテープ基材にゴミの付着や傷の有無等の異常を検出し、異常が検出された場合に当該異常箇所を除いた領域に前記切り込みが形成されるので、貼付後にダイシングテープと半導体ウエハとの間に空気が混入して貼付不良を生ずる原因も回避することができる。
なお、本明細書において、「閉ループ」とは無端状であれば足り、円形に閉じられた場合の他、楕円形、多角形等も含むものである。
図1には、本実施形態に係るマウント装置の概略正面図が示されている。この図において、マウント装置10は、下部ユニット10Aと上部ユニット10Bとにより構成されている。下部ユニット10Aは、図1中紙面直交方向(図2中上下方向)に相対配置された一対のフレーム板F1からなる下部フレームLFと、この下部フレームLFの領域内に配置されるとともに、ベースシートSの一方の面にテープ基材TBが仮着された帯状の原反Lを繰り出す繰出装置11と、前記原反Lの繰り出し経路上で前記テープ基材TBに閉ループ状の切り込みC(図3参照)を形成して貼付用テープとしてのダイシングテープDTを形成するカット装置としてのダイカット装置13と、このダイカット装置13に対して原反Lの繰出方向上流側に配置されたテープ基材TBの検査装置14とを備えて構成されている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、材料、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それら形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 繰出装置
13 ダイカット装置(カット装置)
14 検査装置
15 剥離装置
16 貼付装置
17 巻取装置
C 切り込み
L 原反
RF リングフレーム(被着体)
S ベースシート
TB テープ基材
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (3)
- ベースシートの一方の面にテープ基材が仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上で前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成して貼付用テープを形成するカット装置と、前記貼付用テープを前記ベースシートから剥離する剥離装置と、所定の被着体を支持する支持体と前記剥離装置とを相対移動させて前記貼付用テープを被着体に貼付する貼付装置と、前記剥離装置で貼付用テープを剥離した後の原反を巻き取る巻取装置とを備え、
前記カット装置は、前記貼付用テープ形成後に当該貼付用テープが前記被着体に貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に切り込みを形成可能に設けられるとともに、前記剥離装置は、前記貼付用テープにおける前記被着体に貼付される面を前記ベースシートから剥離可能に設けられ、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側にテープ基材の検査装置が配置され、この検査装置がテープ基材の異常を検出したときに、当該異常箇所をカット装置に素通りさせて貼付用テープを形成することを特徴とするテープ貼付装置。 - テーブル上にリングフレームを配置するとともに当該リングフレームの内側に半導体ウエハを配置し、前記リングフレームにダイシングテープを貼付して前記半導体ウエハをリングフレームに固定するマウント装置において、
ベースシートの一方の面にテープ基材が仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反の繰り出し経路上で前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成してダイシングテープを形成するカット装置と、前記ダイシングテープを前記ベースシートから剥離する剥離装置と、前記テーブルと前記剥離装置とを相対移動させて前記ダイシングテープをリングフレーム及び半導体ウエハに貼付する貼付装置と、前記剥離装置でダイシングテープを剥離した後の原反を巻き取る巻取装置とを備え、
前記カット装置は、前記ダイシングテープ形成後に当該ダイシングテープが前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に切り込みを形成可能に設けられるとともに、前記剥離装置は、前記貼付用テープにおける前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面を前記ベースシートから剥離可能に設けられ、
前記カット装置に対して原反の繰出方向上流側にテープ基材の検査装置が配置され、この検査装置がテープ基材の異常を検出したときに、当該異常箇所をカット装置に素通りさせてダイシングテープを形成することを特徴とするマウント装置。 - テーブル上にリングフレームを配置するとともに、当該リングフレームの内側に半導体ウエハを配置し、前記リングフレームにダイシングテープを貼付して半導体ウエハをリングフレームに固定するマウント方法において、
ベースシートの一方の面にテープ基材が仮着された帯状の原反を繰り出す途中でテープ基材に異常があるか否かを検査する工程と、
前記検査工程を経た原反に対し、前記ダイシングテープ形成後に当該ダイシングテープが前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面の反対の面側から前記テープ基材に閉ループ状の切り込みを形成してダイシングテープを形成するカット工程と、
前記ダイシングテープにおける前記リングフレーム及び半導体ウエハに貼付される面を前記ベースシートから剥離してダイシングテープをリングフレーム及び半導体ウエハに貼付する工程と、
前記剥離装置でダイシングテープを剥離した後の原反を巻き取る工程とを含み、
前記検査工程でテープ基材の異常が検出されたときに、当該異常箇所を除外して前記切り込みを形成することを特徴とするマウント方法。
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