JP2014017357A - 粘着テープ、粘着テープの貼付け方法および粘着テープ貼付け装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープTRを原反ロールから繰り出し、原反テープTRの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で粘着テープTをキャリアテープ上で粘着テープ片taにハーフカットし、キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、粘着テープ片taをキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片taを貼付ける。
【選択図】図1
Description
すなわち、リングフレームと半導体ウエハとに亘って貼り付ける粘着テープであって、
対向する直線状の端辺と直線状の当該両端辺と連結した円弧状の端辺を有する複数枚の粘着テープ片を、互いの直線状の端辺を近接対向させて長尺のキャリアテープ上に整列配備して構成したことを特徴とする。
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記原反テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で前記粘着テープをキャリアテープ上で粘着テープ片にハーフカットする切断過程と、
前記キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、前記粘着テープ片をキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片を貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする。
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させエッジ部材に導くテープ走行案内機構と、
前記テープ搬送経路に配備された粘着テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材によりキャリアテープ上で粘着テープを粘着テープ片にハーフカットするテーププリカット機構と、
前記キャリアテープを折り返して粘着テープ片を剥離するエッジ部材と、
前記リングフレームを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと貼付けローラをテープ走行速度に同調させて相対的に移動させながら前記エッジ部材によりキャリアテープから剥離された粘着テープ片を当該貼付ローラで押圧して保持テーブル上のリングフレームに貼り付けるテープ貼付機構と、
前記粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする。
本実施例では、半導体ウエハをリングフレームに接着保持する粘着テープ片を備えた帯状の粘着テープについて詳述する。
図5に本発明に係る粘着テープ貼付け装置の正面が、また、図6はこの装置の側面がそれぞれ示されている。
2 … テーププリカット機構
3 … テープ貼付け部
4 … 粘着テープ回収部
5 … テープ貼付け部
6 … キャリアテープ回収部
7 … 切断ローラ
8 … 受けローラ
15 … 第1貼付けユニット
17 … 貼付けテーブル
18 … エッジ部材
20 … 貼付けローラ
f … リングフレーム
T … 粘着テープ
ta … 粘着テープ片
ct … キャリアテープ
W … 半導体ウエハ
Claims (5)
- リングフレームと半導体ウエハとに亘って貼り付ける粘着テープであって、
対向する直線状の端辺と直線状の当該両端辺と連結した円弧状の端辺を有する複数枚の粘着テープ片を、互いの直線状の端辺を近接対向させて長尺のキャリアテープ上に整列配備して構成した
ことを特徴とする粘着テープ。 - 請求項1に記載の粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け方法であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから繰り出す繰り出し過程と、
前記原反テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材で前記粘着テープをキャリアテープ上で粘着テープ片にハーフカットする切断過程と、
前記キャリアテープをエッジ部材で折り返し走行させることにより、前記粘着テープ片をキャリアテープから剥離しつつ、剥離速度と同調して相対的に移動されるリングフレームに粘着テープ片を貼付ける貼付け過程と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。 - 請求項2に記載の粘着テープ貼付け方法において、
前記切断部材は、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラである
ことを特徴とする粘着テープ貼付け方法。 - 請求項1に記載の粘着テープをリングフレームに貼り付ける粘着テープ貼付け装置であって、
長尺のキャリアテープに長尺の粘着テープを貼り合わせた原反テープを原反ロールから送り出すテープ供給部と、
前記テープ供給部から繰り出された原反テープを所定のテープ搬送経路に沿って走行させエッジ部材に導くテープ走行案内機構と、
前記テープ搬送経路に配備された粘着テープの幅方向の両側で円弧形状を有し、かつ、長手方向の前後で直線形状を有する環状の切断部材によりキャリアテープ上で粘着テープを粘着テープ片にハーフカットするテーププリカット機構と、
前記キャリアテープを折り返して粘着テープ片を剥離するエッジ部材と、
前記リングフレームを保持する保持テーブルと、
前記保持テーブルと貼付けローラをテープ走行速度に同調させて相対的に移動させながら前記エッジ部材によりキャリアテープから剥離された粘着テープ片を当該貼付ローラで押圧して保持テーブル上のリングフレームに貼り付けるテープ貼付機構と、
前記粘着テープ片が剥離されたキャリアテープを回収するキャリアテープ回収部と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。 - 請求項4に記載の粘着テープ貼付け装置において、
前記切断部材は、円弧形状と直線形状を連ねた環状の切断刃を有する切断ローラである
ことを特徴とする粘着テープ貼付け装置。
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