KR20190116073A - 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치 - Google Patents

점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치

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KR20190116073A
KR20190116073A KR1020190036819A KR20190036819A KR20190116073A KR 20190116073 A KR20190116073 A KR 20190116073A KR 1020190036819 A KR1020190036819 A KR 1020190036819A KR 20190036819 A KR20190036819 A KR 20190036819A KR 20190116073 A KR20190116073 A KR 20190116073A
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tape
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peeling
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KR1020190036819A
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아키히로 무라야마
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닛토덴코 가부시키가이샤
닛토 세이키 가부시키가이샤
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Abstract

긴 형상의 점착 테이프를 소정의 형상으로 프리컷하여 불필요한 부분의 점착 테이프를 박리하는 구성에 있어서, 불필요한 부분의 점착 테이프만을 확실하게 박리할 수 있는 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치를 제공한다.
점착 테이프(T)의 절단 궤적(K) 중, 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에서는 점착 테이프(T)를 비교적 깊이 절단한다. 제1 영역(K1)을 제외한 제2 영역(K2)에서는 비교적 얕게 절단한다. 제1 영역(K1)에 있어서 점착 테이프(T)의 층이 확실하고도 완전히 절단되므로, 불필요 테이프(Tn)만이 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다. 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)만이 박리됨으로써, 분리 개시 개소(P)를 개시점으로 하여 절단 궤적(K) 전체에 전단력이 연쇄적으로 작용한다. 그 결과, 절단 궤적(K) 전체에 있어서 절단 나머지 부분은 전단되므로, 점착 테이프편(Tw)이 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되는 사태를 피할 수 있다.

Description

점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치 {METHOD AND APPARATUS FOR SEPARATING ADHESIVE TAPE}
본 발명은, 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 캐리어 테이프 상에서 점착 테이프편으로 절단하고, 점착 테이프편 이외의 불필요해진 부분의 점착 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리시키는 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼(이하, 적절히 「웨이퍼」라고 한다)의 표면에 회로 패턴이 형성된 후, 백그라인드 공정에 의해 웨이퍼의 이면을 연삭하고, 또한 다이싱 공정에 의해 당해 웨이퍼를 다수의 칩 부품으로 분단한다. 이 경우, 다이싱 공정에서 웨이퍼로부터 분단된 칩 부품이 비산되는 것을 방지하기 위해서, 지지용 점착 테이프(다이싱 테이프)를, 링 프레임과 웨이퍼의 이면에 걸쳐서 밀착하도록 부착하여 일체화시키는 방법이 제안되고 있다.
다이싱 테이프를 워크(여기서는 링 프레임과 웨이퍼)에 부착하는 처리를 행하는 경우, 일례로서 이하와 같이 실시된다. 먼저, 도 16의 (a)에 나타내는 바와 같이, 캐리어 테이프(ct)가 첨설된 긴 점착 테이프(T)를 원단 롤로부터 풀어내어 공급한다. 이어서, 도 16의 (b)에 나타내는 바와 같이, 절단 궤적(K)을 따라, 당해 점착 테이프(T)를 캐리어 테이프(ct) 상에서 하프 컷한다. 당해 하프 컷에 의해 점착 테이프(T)의 층이 두께 방향으로 절단되고, 절단 궤적(K)에 따른 소정 형상의 점착 테이프편(Tw)이 형성된다.
하프 컷을 행한 후, 소정의 형상으로 하프 컷되어서 형성된 점착 테이프편(Tw)의 주위에 남겨지는, 불필요한 부분의 점착 테이프(Tn)를 캐리어 테이프로부터 감아올려서 박리한다. 또한, 긴 점착 테이프(T)에 있어서, 불필요한 점착 테이프(Tn)의 박리가 진행되는 방향(박리 방향)에 대해서는 부호 M으로 나타내고 있다.
당해 박리에 의해, 도 16의 (c)에 나타내는 바와 같이, 캐리어 테이프(ct) 상에 점착 테이프편(Tw)이 붙어서 남은, 프리컷 테이프(PT)가 제작된다. 마지막으로, 당해 프리컷 테이프(PT)의 점착 테이프편(Tw)을 캐리어 테이프(ct)로부터 박리 함과 함께, 링 프레임과 당해 링 프레임의 중앙에 배치된 웨이퍼에 걸쳐, 점착 테이프편을 부착한다(특허문헌 1, 2를 참조).
일본 특허 공개 제2012-084688호 공보 일본 특허 공개 제2014-017357호 공보
그러나, 상기 종래 장치에서는 다음과 같은 문제가 있다.
즉 종래의 구성에서는, 도 16의 (d)에 나타내는 바와 같이, 하프 컷 후에 불필요한 부분의 점착 테이프(Tn)를 감아올릴 때, 점착 테이프편(Tw)이 불필요한 부분의 점착 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다는 사태가 발생한다. 당해 사태가 발생하면, 프리컷 테이프(PT)의 제작에 에러가 발생하므로, 점착 테이프를 워크에 부착할 수 없어진다는 문제가 염려된다.
이러한 문제에 대해서, 발명자는 예의 검토를 거듭한 결과, 이하의 결론에 이르렀다. 종래의 구성에 있어서 프리컷 테이프(PT)를 제작하는 경우, 도 17의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)를 절단하는 환상의 절단날(R)을 하강시킨다. 그리고 절단날(R)의 하단의 높이가 캐리어 테이프(ct)의 층에 상당하는 소정의 높이 H에 도달할 때까지, 절단날(R)을 하강시킨다.
당해 높이 H까지 절단날(R)을 하강시킴으로써, 절단날(R)의 형상에 따른 소정의 형상(일례로서, 원형이나 직사각형)으로 점착 테이프(T)가 절단되고, 당해 소정 형상의 점착 테이프편(Tw)이 형성된다. 그 때문에, 하프 컷이 완료되면, 상정상은 도 17의 (b)에 나타내는 대로, 높이 H로 하강한 절단날(R)에 의해 점착 테이프(T)의 층이 완전히 절단된다. 즉, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 완전히 분리될 것이다.
그러나, 실제로는 도 17의 (c)에 나타내는 바와 같이, 절단날(R)이 점착 테이프(T)를 상방으로부터 압박함으로써, 점착 테이프(T)의 층과 캐리어 테이프(ct)의 층의 계면 N이 아래쪽으로 깊이 내려가게 변형된다. 그 때문에, 실제의 절단 과정에서는 도 17의 (d)에서 나타내는 바와 같이, 절단날(R)은 높이 H로 하강해도 점착 테이프(T)의 층을 완전히 절단할 수 없고, 결과적으로 도 17의 (e)에 있어서 점선으로 나타낸 바와 같은 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우가 있다. 특히 캐리어 테이프(ct)가 연질의 재료로 구성되는 경우, 계면 N이 변형되는 사태는 보다 현저하게 발생된다고 생각된다.
절단 나머지 부분(F)이 발생함으로써, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)가 완전히 분리되지 않고, 불필요 테이프(Tn)를 감아올릴 때 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 감아올려져서 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다고 생각된다. 이와 같이, 종래의 구성에서는, 프리컷 테이프(PT)를 적합하게 제작하여 점착 테이프편(Tw)을 워크에 고정밀도로 부착하는 것이 곤란하다.
이러한 절단 나머지 부분(F)의 발생을 피하기 위한 다른 방법으로서, 프리컷에 있어서 높이 H보다 하방의 높이에까지 절단날(R)을 하강시켜, 당해 높이에 걸쳐 점착 테이프(T)를 절단하는 방법을 생각할 수 있다. 그러나 당해 다른 방법에 이러한 구성을 사용하여 프리컷 테이프(PT)의 제작 공정을 행하면, 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐, 절단날(R)이 점착 테이프(T)의 층뿐만 아니라 캐리어 테이프(ct)의 층까지 완전히 절단한다는 새로운 문제가 염려된다.
캐리어 테이프(ct)의 층까지 완전히 절단되었을 경우, 프리컷 테이프(PT)의 점착 테이프편(Tw)을 캐리어 테이프(ct)로부터 박리하여 워크에 부착할 때, 캐리어 테이프(ct) 중 점착 테이프편(Tw)과 접하고 있는 부분이 점착 테이프편(Tw)과 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다. 그 결과, 점착 테이프편(Tw)과 워크의 사이에 당해 박리된 캐리어 테이프(ct)가 들어가므로, 점착 테이프편(Tw)의 부착 에러가 발생할 사태가 염려된다.
본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것이며, 캐리어 테이프가 첨설되어 있는 긴 형상의 점착 테이프를 소정의 형상으로 하프 컷하여 불필요한 부분의 점착 테이프를 박리하는 구성에 있어서, 불필요한 부분의 점착 테이프만을 확실하게 박리할 수 있는 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치를 제공하는 것을 주된 목적으로 한다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취한다.
즉, 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에서 절단하여 점착 테이프편을 형성시키고, 불필요해진 부분의 상기 점착 테이프인 불필요 테이프를 상기 캐리어 테이프로부터 박리시키는 점착 테이프 박리 방법이며,
상기 캐리어 테이프가 첨설된 긴 상기 점착 테이프를 풀어내어 공급하는 테이프 공급 과정과,
공급된 상기 점착 테이프를 절단 기구에 의해 소정 형상의 절단 궤적을 따라 환상으로 절단하고, 점착 테이프편을 형성시키는 절단 과정과,
상기 점착 테이프편의 주위에 남는 상기 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리하는 박리 과정
을 구비하고,
상기 절단 과정은,
상기 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 상기 절단 궤적 중 상기 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 하는
것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 절단 과정에 있어서, 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 절단 기구에 의해 소정 형상의 절단 궤적을 따라 환상으로 절단하고, 점착 테이프편을 형성시킨다. 그리고 박리 과정에 있어서, 점착 테이프편의 주위에 남는 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리한다.
이때 절단 과정에서는, 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 절단 궤적 중 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 한다. 그 때문에, 분리 개시 개소에 있어서의 점착 테이프의 층을, 보다 확실하게 두께 방향 전체에 걸쳐 절단할 수 있다.
분리 개시 개소는, 절단 궤적 중 점착 테이프편과 불필요 테이프의 분리가 개시되는 개소이다. 그 때문에, 먼저 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프는 점착 테이프편으로부터 분리되어서 캐리어 테이프로부터 박리되는 반면, 점착 테이프편은 캐리어 테이프 상에 남게 된다. 그리고 캐리어 테이프로부터 박리되는 불필요 테이프와, 캐리어 테이프 상에 남는 점착 테이프편 각각에 의해, 절단 궤적 중 분리 개시 개소에 인접하는 개소에 전단력이 발생한다.
그 결과, 분리 개시 개소에 인접하는 개소에 있어서도, 당해 전단력에 의해 불필요 테이프는 점착 테이프편으로부터 분리되어서 캐리어 테이프로부터 박리되고, 점착 테이프편은 캐리어 테이프 상에 남게 된다. 이러한 전단력은 분리 개시 개소로부터 발생하고, 인접하는 개소로 연쇄적으로 작용한다. 연쇄적으로 작용함으로써, 절단 궤적의 전체에 걸쳐 전단력이 작용하여 점착 테이프의 층은 완전히 끓어진다.
따라서, 절단 궤적의 전체에 있어서, 불필요 테이프는 점착 테이프편으로부터 분리되어서 캐리어 테이프로부터 박리되는 반면, 점착 테이프편은 캐리어 테이프 상에 남게 된다. 따라서, 점착 테이프편이 불필요 테이프와 함께 캐리어 테이프로부터 박리된다는 사태의 발생을 확실하게 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 절단 궤적은 직사각형이며, 상기 박리 과정은, 상기 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 상기 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 박리 과정에 있어서, 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 한다. 이 경우, 직사각형의 절단 궤적 중 분리 개시 개소는 변에 상당하는 비교적 긴 개소가 아니고, 정점 부분에 상당하는 비교적 짧은 개소가 된다. 그 때문에, 불필요 테이프를 박리할 때 분리 개시 개소로 작용하는 힘이 분산되어서 저하되는 것을 방지할 수 있다.
분리 개시 개소로 작용하는 힘의 저하를 피함으로써, 분리 개시 개소에 작용하는 전단력은 보다 커지므로, 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편을 확실하게 분리할 수 있다. 따라서, 분리 개시 개소에 있어서 확실하게 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리시키면서 점착 테이프편을 캐리어 테이프 상에 남길 수 있다. 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편을 분리시킴으로써, 분리 개시 개소를 시점으로 하여 절단 궤적 전체에 전단력을 발생시킬 수 있으므로, 점착 테이프편의 전체에 대하여 캐리어 테이프로부터 박리되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 절단 과정은, 상기 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 상기 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 제어하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 제1 영역에 있어서 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 제어한다. 이 경우, 점착 테이프의 층은 확실하게 절단 기구에 의해 두께 방향으로 완전히 절단되므로, 제1 영역에 포함되는 분리 개시 개소에 있어서, 불필요 테이프와 점착 테이프편을 확실하게 분리할 수 있다. 따라서, 점착 테이프의 전체에 대하여 캐리어 테이프로부터 박리되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 박리 과정은, 상기 점착 테이프편이 상기 캐리어 테이프로부터 들뜨는 것을 억제하는 억제 부재를, 상기 점착 테이프 중 적어도 상기 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 상기 불필요 테이프의 박리를 개시하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 점착 테이프 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 억제 부재를 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 불필요 테이프의 박리를 개시한다. 억제 부재는, 점착 테이프편이 캐리어 테이프로부터 들뜨는 것을 억제한다. 그 때문에, 불필요 테이프를 박리하려고 하는 힘과 점착 테이프편을 억제하는 힘에 의해, 분리 개시 개소에 보다 큰 전단력이 발생한다. 따라서, 분리 개시 개소에 있어서, 불필요 테이프와 점착 테이프편을 보다 확실하게 분리할 수 있다.
본 발명은, 이와 같은 목적을 달성하기 위해서, 다음과 같은 구성을 취해도 된다.
즉, 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에서 절단하여 점착 테이프편을 형성시키고, 불필요해진 부분의 상기 점착 테이프인 불필요 테이프를 상기 캐리어 테이프로부터 박리시키는 점착 테이프 박리 장치이며,
상기 캐리어 테이프가 첨설된 긴 상기 점착 테이프를 풀어내어 공급하는 테이프 공급부와,
공급된 상기 점착 테이프를 소정 형상의 절단 궤적을 따라 환상으로 절단하고, 점착 테이프편을 형성시키는 절단 기구와,
상기 점착 테이프편의 주위에 남는 상기 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리하는 박리 기구와,
박리된 상기 불필요 테이프를 회수하는 테이프 회수부를
구비하고,
상기 절단 기구는,
상기 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 상기 절단 궤적 중 상기 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 하도록 조정되는
것을 특징으로 하는 것이다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 절단 기구는, 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 절단 궤적 중 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 한다. 그 때문에, 분리 개시 개소에 있어서의 점착 테이프의 층을, 보다 확실하게 두께 방향 전체에 걸쳐 절단할 수 있다.
절단 궤적 중 점착 테이프편과 불필요 테이프의 분리가 개시되는 분리 개시 개소에 있어서, 불필요 테이프는 점착 테이프편으로부터 분리되어서 캐리어 테이프로부터 박리되는 반면, 점착 테이프편은 캐리어 테이프 상에 남게 된다. 그 결과, 분리 개시 개소를 시점으로 하여 인접하는 개소에 순차 전해지게 점착 테이프의 층을 전단하는 전단력이 발생한다.
당해 전단력은 연쇄적으로 전달되어, 절단 궤적의 전체에 작용하므로, 절단 궤적 전체에 있어서 불필요 테이프는 점착 테이프편으로부터 분리되어서 캐리어 테이프로부터 박리되고, 점착 테이프편은 캐리어 테이프 상에 남게 된다. 따라서, 점착 테이프편이 불필요 테이프와 함께 캐리어 테이프로부터 박리된다는 사태의 발생을 확실하게 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 절단 궤적은 직사각형이며, 상기 박리 기구는, 상기 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 상기 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 함으로써, 절단 궤적이 직사각형이어도 분리 개시 개소를 좁은 범위로 할 수 있다. 그 때문에, 분리 개시 개소에 작용하는 전단력의 분산을 방지할 수 있으므로, 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편이 연결된 채 박리되는 사태를 피할 수 있다. 따라서, 점착 테이프편의 전체에 있어서도 불필요 테이프와 점착 테이프편이 연결된 채 박리되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 절단 기구는, 상기 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 상기 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 조정되는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 절단 기구는, 제1 영역에 있어서 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 조정된다. 이 경우, 점착 테이프의 층은 확실하게 절단 기구에 의해 두께 방향으로 완전히 절단되므로, 제1 영역에 포함되는 분리 개시 개소에 있어서, 불필요 테이프와 점착 테이프편을 확실하게 분리할 수 있다. 따라서, 점착 테이프편의 전체에 대하여 캐리어 테이프로부터 박리되는 사태를 피할 수 있다.
또한, 상술한 발명에 있어서, 상기 박리 기구는, 상기 점착 테이프편이 상기 캐리어 테이프로부터 들뜨는 것을 억제하는 억제 부재를, 상기 점착 테이프 중 적어도 상기 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 상기 불필요 테이프의 박리를 개시하는 것이 바람직하다.
(작용·효과) 이 구성에 따르면, 점착 테이프 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 억제 부재를 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 불필요 테이프의 박리를 개시한다. 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프를 박리할 때, 분리 개시 개소에 있어서의 점착 테이프편이 들뜨는 사태는 억제 부재에 의해 억제된다. 따라서, 상기 방법을 적합하게 실시할 수 있다.
본 발명의 점착 테이프 박리 방법 및 점착 테이프 박리 장치에 따르면, 캐리어 테이프 상에서 점착 테이프를 소정의 절단 궤적을 따라 하프 컷하여 점착 테이프편을 형성할 때, 절단 궤적 중 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 보다 깊게 점착 테이프를 절단한다. 그 때문에, 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편을 보다 확실하게 분리할 수 있음과 함께, 점착 테이프의 층을 끓는 전단력이 분리된 분리 개시 개소를 시점으로 하여 절단 궤적 전체로 작용한다. 그 결과, 박리 과정에 있어서 점착 테이프편이 불필요 테이프와 달라 붙어서 캐리어 테이프로부터 박리된다는 사태를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
도 1은, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 기본 구성을 나타내는 정면도이다.
도 2는, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 요부를 나타내는 도면이다.
(a)는 테이프 프리컷 기구 및 점착 테이프 회수부의 구성을 설명하는 사시도이고, (b)는 절단 유닛의 종단면도이고, (c)는 절단 유닛의 구성을 나타내는 저면 사시도이다.
도 3은, 실시예 1에 관한 테이프 부착 유닛의 구성을 나타내는 도면이다.
(a)는 테이프 부착 유닛의 평면도이고, (b)는 테이프 부착 유닛의 정면도이다.
도 4는, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치의 동작을 나타내는 흐름도이다.
도 5는, 실시예 1에 관한 스텝 S3의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 계면이 변형되지 않는 이상 상태에 있어서, 절단 위치로 절단 유닛이 이동하여 점착 테이프를 절단하는 상태를 나타내는 종단면도이고, (b)는 이상 상태에 있어서, 점착 테이프가 절단된 상태를 나타내는 종단면도이고, (c)는 스텝 S3의 실행 전에 있어서의 점착 테이프의 평면도이고, (d)는 스텝 S3의 실행 후에 있어서의 점착 테이프의 평면도이다.
도 6은, 실시예 1에 관한 스텝 S3의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 계면이 변형된 상태에 있어서, 절단 위치로 절단 유닛이 이동하여 점착 테이프를 절단하는 상태를 나타내는 종단면도이고, (b)는 계면이 변형된 상태에 있어서, 점착 테이프가 절단된 상태를 나타내는 종단면도이다.
도 7은, 실시예 1에 관한 스텝 S4를 설명하는 개략도이다.
(a)는 경계선 V가 분리 개시 개소에 접하기 전의 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (b)는 분리 개시 개소에 있어서의 점착 테이프의 긴 방향의 종단면도이고, (c)는 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프가 분리 및 박리되는 상태를 나타내는, 점착 테이프의 긴 방향의 종단면도이고, (d)는 경계선 V가 제2 영역에 접하고 있는 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (e)는 제2 영역에 있어서의 점착 테이프의 폭 방향의 종단면도이고, (f)는 전단력에 의해 제2 영역의 절단 나머지 부분이 전단되는 상태를 나타내는, 점착 테이프의 폭 방향의 종단면도이고, (g)는 제2 영역에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편이 분리되는 상태를 나타내는, 점착 테이프의 폭 방향의 종단면도이다.
도 8은, 실시예 1에 관한 스텝 S5의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 점착 테이프편을 링 프레임 상에 공급하는 동작을 나타내는 사시도이고, (b)는 점착 테이프편을 링 프레임 상에 공급하는 동작을 나타내는 종단면도이다.
도 9는, 실시예 1에 관한 스텝 S5의 동작을 나타내는 도면이다.
(a)는 점착 테이프편을 링 프레임에 부착하는 동작을 나타내는 것이고, (b)는 제2 부착 유닛이 점착 테이프편을 웨이퍼에 부착하는 동작을 개시하기 전의 상태를 나타내는 우측면도이고, (c)는 제2 부착 유닛이 점착 테이프편을 웨이퍼에 부착하는 동작을 실행하고 있는 상태를 나타내는 우측면도이다.
도 10은, 실시예 2에 관한 점착 테이프 부착 장치의 요부를 나타내는 도면이다.
(a)는 테이프 프리컷 기구 및 점착 테이프 회수부의 구성을 설명하는 사시도이고, (b)는 억제 부재와 점착 테이프의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (c)는 변형예에 관한 억제 부재와 점착 테이프의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (d)는 절단 유닛의 종단면도이다.
도 11은, 실시예 2에 관한 스텝 S3을 설명하는 개략도이다.
(a)는 계면이 변형되지 않는 이상 상태에 있어서, 절단 위치로 절단 유닛이 이동하여 점착 테이프를 절단하는 상태를 나타내는 종단면도이고, (b)는 계면이 변형된 상태에 있어서, 절단 위치로 절단 유닛이 이동하여 점착 테이프를 절단하는 상태를 나타내는 종단면도이고, (c)는 계면이 변형된 상태에 있어서, 점착 테이프가 절단된 상태를 나타내는 종단면도이고, (d)는, 점착 테이프가 절단된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 12는, 실시예 2에 관한 스텝 S4를 설명하는 개략도이다.
(a)는 경계선 V가 분리 개시 개소에 접하고 있는 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (b)는 분리 개시 개소에 절단 나머지 부분이 발생된 상태를 나타내는 종단면도이고, (c)는 전단력에 의해 분리 개시 개소의 절단 나머지 부분을 전단하고 있는 상태를 나타내는 종단면도이고, (d)는 분리 개시 개소에 있어서 불필요 테이프와 점착 테이프편이 분리되는 상태를 나타내는 종단면도이고, (e)는 경계선 V가 제2 영역에 접하고 있는 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이다.
도 13은, 변형예에 관한 구성을 나타내는 도면이다.
(a)는 변형예에 관한 절단 궤적을 나타내는 평면도이고, (b)는 실시예 2를 베이스로 하는 변형예에 관한, 점착 테이프편과 억제 부재의 위치 관계를 나타내는 평면도이다.
도 14는, 변형예에 관한 점착 테이프 부착 장치의 요부를 나타내는 도면이다.
(a)는 테이프 프리컷 기구 및 점착 테이프 회수부의 구성을 설명하는 사시도이고, (b) 및 (c)는 경계선 V가 긴 방향과 같은 방향으로 진행되는 구성을 나타내는 평면도이고, (d) 및 (e)는 경계선 V가 긴 방향에 대하여 경사지는 방향으로 진행되는 구성을 나타내는 평면도이다.
도 15는, 실시예 2 및 그 변형예에 관한 억제 부재의 배치를 비교 설명하는 도면이다.
(a)는 실시예 2에 관한 스텝 S4의 당초에 있어서의, 억제 부재와 점착 테이프편의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (b)는 실시예 2에 관한 스텝 S4가 진행된 상태에 있어서의, 억제 부재와 점착 테이프편의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (c)는 변형예에 관한 스텝 S4의 당초에 있어서의, 억제 부재와 점착 테이프편의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (d)는 변형예에 관한 스텝 S4가 진행된 상태에 있어서의, 억제 부재와 점착 테이프편의 위치 관계를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고,
도 16은, 종래예의 구성을 설명하는 도면이다.
(a)는 점착 테이프가 절단되기 전의 상태를 나타내는 도면이고, (b)는 점착 테이프가 절단된 후의 상태를 나타내는 도면이고, (c)는 불필요 테이프만이 박리되는 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이고, (d)는 불필요 테이프와 함께 점착 테이프편이 박리되는 상태를 나타내는 평면도(위) 및 정면도(아래)이다.
도 17은, 종래예의 문제점을 설명하는 도면이다.
(a)는 계면이 변형되지 않는 상태에 있어서 점착 테이프를 절단하는 종단면도이고, (b)는 계면이 변형되지 않는 상태에 있어서 점착 테이프를 절단한 후의 상태를 나타내는 종단면도이고, (c)는 계면이 변형된 상태에 있어서 점착 테이프를 절단하는 종단면도이고, (d)는 계면이 변형된 상태에 있어서 점착 테이프의 절단 나머지 부분이 발생한 상태를 나타내는 종단면도이고, (e)는 점착 테이프의 절단 나머지 부분이 발생한 상태를 나타내는 평면도이다.
[실시예 1]
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다. 도 1은, 실시예 1에 관한 점착 테이프 박리 장치를 구비하는, 점착 테이프 부착 장치(1)의 기본 구성을 나타내는 정면도이다. 또한 점착 테이프 부착 장치(1)를 나타내는 도면에 있어서, 각종 구성을 지지하는 지지 수단 및 각종 구성을 구동시키는 구동 수단 등에 대해서서는 도시를 생략하고 있다.
실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치(1)는, 반도체 웨이퍼(W)(이하, 간단히 「웨이퍼(W)」라고 약칭한다)의 한쪽 면과 링 프레임(f)에 걸쳐 지지용 점착 테이프(T)를 부착하고, 마운트 프레임(MF)을 제작하는 것을 목적으로 한다. 또한 본 실시예에 있어서, 웨이퍼(W)의 회로 형성면에는 미리 보호용 점착 테이프(Tp)가 부착되어 있어, 백그라인드 처리가 행해지고 있는 것으로 하자.
또한, 본 실시예에 있어서 「상류」 및 「하류」는 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)에 따르는 것으로서 정의된다. 즉 「상류」란 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)에 있어서, 후술하는 테이프 공급부(2)에 가까운 측을 의미하는 것으로 하자.
<전체 구성의 설명>
본 실시예에 관한 점착 테이프 부착 장치(1)는 도 1에 나타내는 바와 같이, 테이프 공급부(2), 테이프 프리컷 기구(3), 점착 테이프 회수부(4), 테이프 부착 유닛(5) 및 캐리어 테이프 회수부(6)를 구비하고 있다.
테이프 공급부(2)는, 원단 롤(TR)을 장착하는 보빈을 구비하고 있다. 원단 롤(TR)은, 캐리어 테이프(ct)가 첨설된 긴 점착 테이프(T)를 롤 감기한 구성으로 되어 있다. 점착 테이프(T)는 캐리어 테이프(ct)가 첨설된 상태에서 테이프 공급부(2)로부터 풀어내어 공급되고, 테이프 프리컷 기구(3)를 경유하여 테이프 부착 유닛(5)으로 안내된다.
테이프 프리컷 기구(3)는, 도 1에 나타내는 바와 같이 지지 테이블(7)과, 절단 유닛(9)을 구비하고 있다. 지지 테이블(7)은, 테이프 공급부(2)로부터 풀어내어 공급된 점착 테이프(T)를 수평하게 받아들이도록 배치되어 있다. 절단 유닛(9)은 지지 테이블(7)의 상방에 배치되어 있고, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이 가동대(11)와 절단날(13)을 구비하고 있다. 절단 유닛(9)은 본 발명에 있어서의 절단 기구에 상당한다.
가동대(11)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 승강 이동이 가능하도록 구성되어 있다. 절단날(13)은 가동대(11)의 하면에 배치되어 있고, 가동대(11)와 함께 승강 이동한다. 가동대(11)의 승강 이동에 의해, 절단 유닛(9)은 지지 테이블(7)의 상방인 초기 위치와, 점착 테이프(T)를 절단하는 절단 위치의 사이를 왕복 이동한다(도 5의 (a)).
본 실시예에 있어서, 절단날(13)은 환상의 톰슨날로 구성되어 있다. 절단날(13)의 형상은 워크의 형상에 따라 적절히 변경 가능하지만, 본 실시예에서는 링 프레임(f)의 형상에 대응하기 위해 원환상으로 되어 있다. 절단날(13)은 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 환상의 절단 궤적(K)을 따라 점착 테이프(T)를 절단하고, 원 형상의 점착 테이프편(Tw)을 형성시킨다.
또한, 본 발명에 있어서 「환상」이란, 일단부와 타단부가 연결되어 있어, 전체로서 폐쇄되어 있는 선의 형상을 모두 포함하는 것으로서 정의할 수 있다. 일례로서, 원 형상(원환상), 직사각 형상, 다각 형상의 외에, 대략 원 형상 등도 포함된다. 대략 원 형상의 일례로서, 노치나 오리엔테이션 플랫이 마련되어 있는 웨이퍼의 외형을 따른 형상, 즉 원의 일부에 오목부나 직선을 포함하는 형상을 들 수 있다.
환상의 절단날(13)은, 도 2의 (b) 및 도 2의 (c)에 나타내는 바와 같이, 돌출 날부(13a)와 통상 날부(13b)를 구비하고 있다. 또한, 도 2의 (a)에 있어서는 설명의 편의상, 가동대(11)를 생략하고 있다. 돌출 날부(13a)는 환상의 절단날(13)의 일부를 구성하고 있고, 통상 날부(13b)는 절단날(13) 중 돌출 날부(13a) 이외의 부분에 상당한다.
도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)의 두께 방향에 있어서, 통상 날부(13b)의 길이 Q와 비교하여, 돌출 날부(13a)의 길이 Qt쪽이 길어지도록 구성된다. 즉, 절단날(13)이 점착 테이프(T)를 절단하는 경우, 돌출 날부(13a)는 통상 날부(13b)와 비교하여 점착 테이프(T)를 보다 깊게 절단한다.
도 2의 (a)에 있어서 나타내는 바와 같이, 절단날(13)이 점착 테이프(T)를 절단하는 환상의 절단 궤적(K) 중, 돌출 날부(13a)가 절단하는 부분을 제1 영역(K1)이라 한다. 또한, 절단 궤적(K) 중 제2 영역(K1) 이외의 부분, 즉 통상 날부(13b)가 절단하는 부분을 제2 영역(K2)이라 한다. 제1 영역(K1)은, 분리 개시 개소(P)를 포함하는 영역이 되도록, 절단날(13)에 있어서의 돌출 날부(13a)의 배치 위치는 조정되어 있다.
본 발명에 있어서, 분리 개시 개소(P)란 절단 궤적(K) 중, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)의 분리가 개시되는 개소를 의미한다. 본 실시예에서는, 분리 개시 개소(P)는 점착 테이프편(Tw)에 있어서 가장 하류에 위치하는 부위에 상당한다.
절단 유닛(9)의 절단 위치, 돌출 날부(13a)의 길이 Qt 및 통상 날부(13b)의 길이 Q는, 점착 테이프(T) 및 캐리어 테이프(ct)의 두께 및 점착 테이프(T)의 층과 캐리어 테이프(ct)의 층의 계면 N의 변형되기 용이함 등의 파라미터에 의해 정해진다.
구체적으로는, 절단 위치로 절단 유닛(9)이 이동한 경우, 통상 날부(13b)가 캐리어 테이프(ct)의 층을 완전히 절단하지 않고, 또한, 돌출 날부(13a)가 확실하게 점착 테이프(T)의 층을 완전히 절단하도록, 절단 위치와 길이 Qt와 길이 Q가 미리 조정된다. 본 실시예에서는 바람직한 일례로서, 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 돌출 날부(13a)의 선단이 캐리어 테이프(ct)의 하면에 접하게 조정되어 있는 것으로 하자. 이렇게 돌출 날부(13a)의 날의 길이 Qt를 조정함으로써, 점착 테이프(T)의 층과 캐리어 테이프(ct)의 층의 계면 N이 변형되는 경우여도 돌출 날부(13a)는 확실하게 점착 테이프(T)의 층을 완전히 절단할 수 있다.
점착 테이프 회수부(4)는, 절단 궤적(K)의 형상으로 절단된 점착 테이프편(Tw)의 주위에 남겨지는 불필요한 점착 테이프(T), 즉 불필요 테이프(Tn)를 회수한다. 불필요 테이프(Tn)는, 이송 롤러(15)의 직후에 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다. 박리된 불필요 테이프(Tn)는 안내 롤러(17)에 의해 회수 보빈(19)으로 안내된다. 회수 보빈(19)은, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된 불필요 테이프(Tn)를 권취 회수한다. 따라서, 캐리어 테이프(ct)에 점착 테이프편(Tw)이 남겨진 상태의 점착 테이프(T)가, 테이프 부착 유닛(5)으로 안내된다. 점착 테이프 회수부(4)는, 본 발명에 있어서의 박리 기구 및 테이프 회수부에 상당한다.
본 실시예에 있어서, 안내 롤러(17) 및 회수 보빈(19)은, 각각의 축방향이 점착 테이프(T)의 긴 방향과 교차하는 방향(점착 테이프(T)의 폭 방향)이 되게 배치되어 있다. 그 때문에, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리 완료된 불필요 테이프(Tn)와 미박리된 불필요 테이프(Tn)의 경계선 V는, 점착 테이프(T)의 폭 방향으로 연장되어 있다. 그리고, 점착 테이프(T)에 대하여 경계선 V가 상대적으로 이동하는 방향(박리 방향 M)은, 점착 테이프(T)의 긴 방향과 동일한 방향이 된다(도 7의 (a)를 참조).
테이프 부착 유닛(5)은, 도 1 및 도 3의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 부착 유닛(21), 제2 부착 유닛(23) 및 부착 테이블(25)를 구비하고 있다. 제1 부착 유닛(21)은, 에지 부재(26) 및 부착 롤러(27)를 구비하고 있고, 링 프레임(f)에 점착 테이프편(Tw)을 부착한다. 제1 부착 유닛(21)은, 부착 테이블(25)의 상방을 왕복 이동하도록 구성되어 있다.
에지 부재(26)는, 테이프 프리컷 기구(3)로부터 안내되어 온 점착 테이프(T)에 첨설되어 있는 캐리어 테이프(ct)를 접어서 점착 테이프편(Tw)을 박리한다. 또한 에지 부재(26)는, 점착 테이프편(Tw)이 박리된 캐리어 테이프(ct)를 캐리어 테이프 회수부(6)로 안내한다.
부착 롤러(27)는, 에지 부재(26)의 선단부의 전방(도면에서는 좌측 방향)에 배치되어 있다. 또한 부착 롤러(27)는, 구동 실린더(28)에 의해 승강 가능하게 구성되어 있다. 즉, 테이프 프리컷 기구(3)로부터 안내되어 온 점착 테이프편(Tw)은, 에지 부재(26)의 선단에 있어서 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되어서 전방에 압출하여 이동된다. 그리고 압출하여 이동된 점착 테이프편(Tw)은, 부착 롤러(27)에 의해 상방으로부터 압박되고, 부착 테이블(25)에 보유 지지되어 있는 링 프레임(f)의 상면에 부착된다.
제2 부착 유닛(23)은, 도시하지 않은 구동 실린더에 의해 승강 가능한 부착 롤러(29)를 구비하고 있고, 웨이퍼(W)에 점착 테이프편(Tw)을 부착한다. 제2 부착 유닛(23)은, 제1 부착 유닛(21)의 진로를 방해하지 않도록, 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)과 교차하는 방향으로 왕복 이동하도록 구성되어 있다. 또한, 부착 롤러(29)는 탄성체로 피복되어 있다.
부착 테이블(25)은, 도 3의 (b)에 나타내는 바와 같이, 가동대(31)와 프레임 보유 지지부(33)와 웨이퍼 보유 지지부(35)를 구비하고 있다. 가동대(31)는, 좌우 양단의 가이드 레일을 따라 전후 방향(도면에서는 x 방향)으로 수평 이동하도록 구성된다. 프레임 보유 지지부(33)는, 환상의 보유 지지면에 적재된 링 프레임(f)을 보유 지지한다. 웨이퍼 보유 지지부(35)는, 웨이퍼(W)를 보유 지지함과 함께, 승강 가능하게 구성되어 있다. 웨이퍼 보유 지지부(35)는 내부에 마련된 도시하지 않은 흡인 기구 등에 의해, 웨이퍼(W)를 흡착 보유 지지하는 것이 바람직하다.
캐리어 테이프 회수부(6)는, 에지 부재(26)에 있어서 접어진 캐리어 테이프(ct)를, 이송 롤러(36)를 경유하여 회수 보빈(37)에 권취 회수하도록 구성되어 있다.
<테이프 부착 동작의 개요>
여기서, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치(1)를 사용하여 마운트 프레임을 제작하기 위한 일련의 기본 동작을 설명한다. 도 4는, 워크인 웨이퍼(W) 및 링 프레임(f)에 대하여, 점착 테이프편(Tw)을 부착하는 공정을 설명하는 흐름도이다.
스텝 S1(워크의 적재)
부착 지령이 내려지면, 먼저 가동대(31)가 이동함으로써 부착 테이블(25)이 장치 본체로부터 인출된다(도 3의 (a), 점선). 부착 테이블(25)이 인출되면, 링 프레임(f)이 프레임 보유 지지부(33)에 적재됨과 함께, 웨이퍼(W)가 웨이퍼 보유 지지부(35)에 적재된다. 웨이퍼 보유 지지부(35)에 적재된 웨이퍼(W)는 선회되고, 웨이퍼(W)의 중심이 웨이퍼 보유 지지부(35)의 중심 상에 있도록 위치 정렬된 상태에서 흡착 보유 지지된다.
스텝 S2(점착 테이프의 공급)
워크를 부착 테이블(25)에 적재시킨 후, 테이프 공급부(2)의 원단 롤(TR)로부터 일정량의 점착 테이프(T)를 풀어내어 공급시킨다. 공급된 점착 테이프(T)는 안내 롤러에 권회되고, 테이프 프리컷 기구(3)로 안내된다.
스텝 S3(점착 테이프의 절단)
테이프 프리컷 기구(3)로 안내된 점착 테이프(T)는, 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이 지지 테이블(7)에 의해 지지되어서 수평 상태가 된다. 이어서, 가동대(11)를 하강 구동시킴으로써, 절단 유닛(9)을 지지 테이블(7)의 상방인 초기 위치로부터 하강시킨다.
절단 유닛(9)은 도 5의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점선으로 나타나는 초기 위치로부터 실선으로 나타나는 절단 위치로 하강한다. 당해 하강에 의해, 지지 테이블(7) 상에서 주행 정지하고 있는 점착 테이프(T)에 비하여, 절단날(13)이 상방으로부터 압박된다. 절단 위치에 이동한 절단날(13)은, 캐리어 테이프(ct)가 첨설된 점착 테이프(T)를 하프 컷한다.
즉 돌출 날부(13a) 및 통상 날부(13b) 각각은, 도 5의 (b)에 나타내는 바와 같이, 캐리어 테이프(ct)의 상에 있어서 점착 테이프(T)의 층을 두께 방향으로 절단한다. 그 결과, 도 5의 (c) 및 도 5의 (d)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)는 환상의 절단 궤적(K)을 따라 절단되고, 절단 궤적(K)에 따른 형상의 점착 테이프편(Tw)이 제작된다.
여기서, 도 5의 (a) 및 도 5의 (b)는, 캐리어 테이프(ct)와 점착 테이프(T)의 계면 N이 변형되지 않는 이상 상태에 있어서, 절단날(13)이 점착 테이프(T)를 절단하는 상태를 나타내고 있다. 당해 이상 상태에서는, 돌출 날부(13a) 및 통상 날부(13b) 각각은 점착 테이프(T)의 층을 관통하여, 캐리어 테이프(ct)의 층에 도달할 수 있다. 그러나 실제로 점착 테이프(T)를 절단하는 공정에서는 당해 이상 상태로는 되지 않고, 도 6의 (a)에 나타내는 바와 같이, 절단날(13)이 점착 테이프(T)를 압박하는 힘 등에 기인하여 계면 N이 아래쪽으로 깊이 내려가도록 변형되는 경우가 있다.
통상 날부(13b)는 확실하게 캐리어 테이프(ct)를 완전히는 절단하지 않는 것을 목적으로 하여, 통상 날부(13b)의 날의 길이 Q는 돌출 날부(13a)보다 짧아지도록 조정되어 있다. 그 때문에, 통상 날부(13b)의 날끝이 캐리어 테이프(ct)의 층까지 도달하지 않으므로, 절단 궤적(K) 중 통상 날부(13b)가 절단하는 제2 영역(K2)에 있어서, 점착 테이프(T)의 층을 완전히는 절단할 수 없는 경우가 있다(도 6의 (b)).
한편, 절단날(13)은, 통상 날부(13b)보다도 날이 긴 돌출 날부(13a)를 구비하고 있다. 그리고 돌출 날부(13a)는, 계면 N이 변형된 경우여도 확실하게 점착 테이프(T)의 층을 완전히 절단하도록, 날의 길이 Qt와 절단 위치가 미리 조정되어 있다. 그 때문에, 돌출 날부(13a)의 날끝은 캐리어 테이프(ct)의 층까지 확실하게 도달하므로, 절단 궤적(K) 중 적어도 돌출 날부(13a)가 절단하는 제1 영역(K1)에 있어서, 점착 테이프(T)의 층은 완전히 절단된다(도 6의 (b)).
제1 영역(K1)은, 분리 개시 개소(P)를 확실하게 포함하도록 설정된다. 그 때문에, 분리 개시 개소(P)에 있어서, 점착 테이프(T)의 층은 확실하고도 완전히 절단되어 있다. 절단 유닛(9)에 의한 점착 테이프(T)의 절단이 완료되고, 절단 유닛이 절단 위치로부터 초기 위치로 복귀함으로써 스텝 S3의 공정은 완료된다.
스텝 S4(불필요 테이프의 박리)
지지 테이블(7) 상에서 점착 테이프(T)가 절단되어서 점착 테이프편(Tw)이 제작되면, 점착 테이프(T)는 더욱 하류로 보내진다. 그리고 점착 테이프 회수부(4)에 있어서, 불필요 테이프(Tn)를 박리하는 공정이 실행된다. 점착 테이프 회수부(4)는 도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프편(Tw)의 주위에 남는 불필요 테이프(Tn)를 감아올림으로써, 당해 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리한다. 박리된 불필요 테이프(Tn)는, 안내 롤러(17)를 경유하여 회수 보빈(19)에 권취 회수된다.
안내 롤러(17) 및 회수 보빈(19)의 축방향은, 점착 테이프(T)의 긴 방향과 교차하고 있고, 불필요 테이프(Tn)는 점착 테이프(T)의 폭 방향에 걸쳐 동일한 타이밍에 박리되어 간다. 즉 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된 불필요 테이프(Tn)와, 캐리어 테이프(ct) 상에 남아있는 불필요 테이프(Tn)의 경계선 V는, 도 7의 (a)의 상기 도면에서 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)의 폭 방향으로 연장되어 있다. 당해 경계선 V는, 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리하는 동작이 실행되는 영역에 상당한다.
점착 테이프(T)가 하류로 흘러서 불필요 테이프(Tn)의 박리 공정이 진행됨에 따라, 경계선 V는, 점착 테이프(T)의 긴 방향과 평행한 박리 방향 M으로 점착 테이프(T)에 대하여 상대적으로 이동해 간다. 즉 박리 방향 M은 불필요 테이프(Tn)를 박리하는 영역이 진행되는 방향이기도 하다. 경계선 V가 박리 방향 M으로 상대 이동함으로써, 경계선 V는 분리 개시 개소(P)에 있어서 처음으로 절단 궤적(K)과 접한다. 그리고 분리 개시 개소(P)에 있어서, 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)을 분리하는 동작이 개시된다.
도 7의 (b) 및 도 7의 (c)는, 도 7의 (a)의 상기 도면에 있어서 부호 D1에 상당하는 부분에 대해서, 점착 테이프(T)의 긴 방향에 있어서의 종단면도를 나타낸다. 본 실시예에 있어서, 분리 개시 개소(P)는 제1 영역(K1)에 확실하게 포함되도록, 절단날(13)에 있어서의 돌출 날부(13a)의 배치 위치가 미리 조정되어 있다. 그 때문에, 도 7의 (b)에서 나타내는 바와 같이, 분리 개시 개소(P)에 있어서 점착 테이프(T)의 층은 확실하고도 완전히 절단되어 있다.
즉, 분리 개시 개소(P)에 있어서, 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)이 일부 연결되어 있다는 사태는 확실하게 방지되어 있다. 즉 도 7의 (c)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프 회수부(4)가 불필요 테이프(Tn)를 감아올리는 힘 J1이 불필요 테이프(Tn)에 작용함으로써, 분리 개시 개소(P)에 있어서의 불필요 테이프(Tn)는 용이하게 점착 테이프편(Tw)과 분리되어 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다.
한편, 분리 개시 개소(P)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)은 불필요 테이프(Tn)와 분리되어 있으므로, 분리 개시 개소(P)의 불필요 테이프(Tn)가 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되어도, 분리 개시 개소(P)의 점착 테이프편(Tw)은 당해 불필요 테이프(Tn)와 함께 말아서 빼지는 것을 방지할 수 있다. 그 때문에, 불필요 테이프(Tn)로부터 분리된 점착 테이프편(Tw)이 캐리어 테이프(ct) 상에 남게 된다. 그 결과, 분리 개시 개소(P)에 있어서 점착 테이프편(Tw)이 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다는 사태를 피할 수 있다.
이 후, 점착 테이프(T)를 더욱 하류로 보내면서 점착 테이프 회수부(4)는 불필요 테이프(Tn)를 권취해 간다. 경계선 V는 박리 방향 M으로 더욱 상대 이동하여 제1 영역(K1)과 접하고, 제1 영역(K1)에 있어서 불필요 테이프(Tn)가 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다. 상술한 바와 같이, 제1 영역(K1)은 확실하게 점착 테이프(T)의 층이 완전히 절단되어 있으므로, 제1 영역(K1)에 있어서도 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 박리되는 사태를 확실하게 피할 수 있다.
또한, 점착 테이프편(Tw)이 하류로 보내지고, 점착 테이프 회수부(4)가 불필요 테이프(Tn)를 권취해 간다. 그리고 도 7의 (d)의 상기 도면에 나타내는 바와 같이, 경계선 V는 박리 방향 M으로 진행되어 제2 영역(K2)과 접한다. 그리고, 제2 영역(K2)에 있어서의 불필요 테이프(Tn)(불필요 테이프(Tn2))의 박리가 행해진다. 도 7의 (e) 내지 도 7의 (g)는, 도 7의 (d)의 상기 도면에 있어서 부호 D2에 상당하는 부분에 대해서, 점착 테이프(T)의 폭 방향에 있어서의 종단면도를 나타내고 있다.
제2 영역(K2)은 통상 날부(13b)에 의해 절단되어 있으므로, 제1 영역(K1)과 비교하여 비교적 얕게 절단되어 있다. 그 때문에, 계면 N의 변형 등에 기인하여 통상 날부(13b)의 적어도 일부가 점착 테이프(T)의 층을 관통하고 있지 않는 경우가 있다. 이 경우, 절단 유닛(9)이 점착 테이프(T)를 절단 궤적(K)을 따라 절단해도, 제2 영역(K2)에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생한다(도 6의 (b)).
그러나, 도 7의 (e)와 같이, 제2 영역(K2)에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우여도, 제1 영역(K1)에 있어서의 불필요 테이프(Tn1)는, 이미 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되어 있다. 그리고 당해 불필요 테이프(Tn1)는, 확실하게 제1 영역(K1)의 점착 테이프편(Tw)과 분리된 상태로 되어 있다.
그리고, 점착 테이프 회수부(4)가 불필요 테이프(Tn1)를 감아올리는 힘 J1은, 불필요 테이프(Tn1)와 연결되어 있는 불필요 테이프(Tn2)에도 작용한다. 즉 불필요 테이프(Tn2)에 대하여 상측 방향의 힘 J1이 작용한다. 한편, 제1 영역(K1)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)은 캐리어 테이프(ct) 상에 확실하게 남아있으므로, 제1 영역(K1)의 점착 테이프편(Tw)의 점착력에 기인하여 하향의 힘 J2가 작용한다. 당해 하향의 힘 J2는, 제1 영역(K1)의 점착 테이프편(Tw)과 연결되어 있는 제2 영역(K2)의 점착 테이프편(Tw)에도 작용한다.
이렇게 서로 역방향의 힘인 힘 J1 및 힘 J2가 작용함으로써, 불필요 테이프(Tn2)와 제2 영역(K2)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)의 사이에, 보다 강한 전단력이 발생한다. 그 결과, 제2 영역(K2)에 있어서 점착 테이프(T)에 절단 나머지 부분(F)이 발생한 경우라도, 도 7의 (f)에 나타내는 바와 같이, 제2 영역(K2)에 있어서의 점착 테이프(T)의 층은 당해 전단력에 의해 완전히 절단된다.
절단 나머지 부분(F)이 전단됨으로써, 도 7의 (g)에 나타내는 바와 같이, 제2 영역(K2)에 있어서도 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn2)는 확실하게 분리되고, 불필요 테이프(Tn2)는 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되어서 권취되어 간다. 한편, 제2 영역(K2)의 점착 테이프편(Tw)은 권취되지 않고 캐리어 테이프(ct) 상에 남게 된다.
이와 같이, 절단 궤적(K) 중 소정의 부분에 있어서 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)가 분리되어 있음에 기인하여 당해 소정의 부분에 인접하는 부분에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 확실하게 전단된다는 현상이, 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐 연쇄적으로 발생한다. 즉, 적어도 분리 개시 개소(P)에 있어서 확실하게 점착 테이프(T)의 층을 절단하여 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)를 분리시킴으로써, 당해 현상을 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐 연쇄적으로 발생시켜, 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)를 확실하게 분리시킬 수 있다.
이와 같이, 스텝 S3의 완료 시에 있어서 제2 영역(K2)에 절단 나머지 부분(F)이 발생한 경우라도, 스텝 S4에 있어서 당해 절단 나머지 부분(F)은 확실하게 전단된다. 따라서, 스텝 S4에 있어서 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되는 사태를 피할 수 있다.
점착 테이프 회수부(4)는 더욱 불필요 테이프(Tn)를 박리 회수해 감으로써, 점착 테이프편(Tw)의 주위에 있어서의 불필요 테이프(Tn)는 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다. 그리고 캐리어 테이프(ct) 상에 점착 테이프편(Tw)이 붙어서 남겨져 있는, 프리컷 테이프(PT)가 제작된다(도 2의 (a)를 참조). 제작된 프리컷 테이프(PT)는 풀어냄 방향 L을 따라 더욱 하류로 보내지고, 테이프 부착 유닛(5)으로 안내된다. 불필요 테이프(Tn)가 박리되어서 프리컷 테이프(PT)가 제작됨으로써, 스텝 S4의 공정은 완료된다.
스텝 S5(점착 테이프의 부착)
테이프 부착 유닛(5)은, 프리컷 테이프(PT)를 사용하여, 점착 테이프편(T)을 웨이퍼(W) 및 링 프레임(f)에 부착하는 공정을 행한다. 당해 공정이 개시되면, 먼저 제1 부착 유닛(21)은 도 3의 (a)에 있어서 실선으로 나타나는 초기 위치로부터, 점선으로 나타나는 테이프 부착 위치로 전방으로 이동한다.
제1 부착 유닛(21)이 테이프 부착 위치로 이동하면, 에지 부재(26)에 의해 접히는 캐리어 테이프(ct)가 캐리어 테이프 회수부(6)의 회수 보빈(37)으로 권취 회수된다. 캐리어 테이프(ct)가 권취되어 감으로써, 도 8의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프편(Tw)은 접어져서 주행하는 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되고, 에지 부재(26) 상면을 따라 전방으로 돌출되어 간다.
점착 테이프편(Tw)의 전단부가 에지(26)의 선단을 넘어서 부착 롤러(27)의 바로 아래에 도달하면, 도 8의 (b)에 나타내는 바와 같이, 부착 롤러(27)가 하강되고, 에지 부재(26)로부터 전방으로 돌출되어 있는 점착 테이프편(Tw)의 전단 부분을, 부착 테이블(25)에 보유 지지되어 있는 링 프레임(f)의 전단부 표면으로 압박한다.
그 후, 도 9의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 부착 유닛(21)은 테이프 부착 위치로부터 후방의 초기 위치로 이동해 간다. 이때의 제1 부착 유닛(21)의 이동 속도는, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되면서 전방으로 이동해 가는 점착 테이프편(Tw)의 전방 이동 속도 및 캐리어 테이프(ct)의 권취 속도에 동조시킨다. 즉, 후방으로 수평 이동하는 제1 부착 유닛(21)의 부착 롤러(27)에 의해, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된 점착 테이프편(Tw)이 링 프레임(f)의 표면에 부착되어 간다.
링 프레임(f)의 표면에 걸쳐 점착 테이프편(Tw)이 부착되면, 제2 부착 유닛(23)은 부착 위치로 이동한다. 부착 위치는 일례로서, 도 1에 있어서의 전방측의 위치이다. 제2 부착 유닛(23)의 당해 이동과 동조시켜, 웨이퍼 보유 지지부(35)를 적절히 승강시켜서 웨이퍼(W)를 점착 테이프편(Tw)에 접근시킨다.
제2 부착 유닛(23)이 소정의 부착 위치에 도달하면, 도 9의 (b)에 나타내는 바와 같이, 부착 롤러(29)를 하강시켜서 링 프레임(f)의 일단부로부터 타단부를 향해서, 도 1에 있어서의 앞쪽으로부터 안쪽으로 이동시킨다. 이때, 도 9의 (c)에 나타내는 바와 같이, 부착 롤러(29)가 탄성 변형하면서 점착 테이프편(Tw)에 근접 대향하고 있는 웨이퍼(W)의 이면에 당해 점착 테이프편(Tw)을 부착해 간다.
부착 롤러(29)가 종단부 위치에 도달하면, 제2 부착 유닛(23)은 부착 롤러(29)를 상승시키고, 초기 위치로 복귀한다. 제1 부착 유닛(21) 및 제2 부착 유닛(23)에 의해, 점착 테이프편(Tw)이 웨이퍼(W)와 링 프레임(f)에 걸쳐 밀착하도록 부착되고, 마운트 프레임이 제작된다.
스텝 S6(마운트 프레임의 회수)
마운트 프레임이 제작된 후, 가동대(31)를 장치 본체로부터 인출하고, 부착 테이블(25)에 적재되어 있는 마운트 프레임을 회수한다. 이상으로 워크에 점착 테이프(T)를 부착하는 일순의 동작이 종료되고, 이후, 규정수의 마운트 프레임이 제작될 때까지, 스텝 S1 내지 스텝 S6까지의 공정이 반복된다.
<실시예 1의 구성에 따른 효과>
실시예 1에 관한 점착 테이프 박리 장치에 따르면, 점착 테이프(T)를 환상의 절단 궤적(K)을 따라 절단하여 점착 테이프편(Tw)을 제작할 때, 절단 궤적(K) 중 적어도 제1 영역(K1)에 있어서, 제2 영역(K2)보다도 점착 테이프(T)를 깊게 절단하도록 구성된다.
제1 영역(K1)은 분리 개시 개소(P)를 포함하는 영역이며, 분리 개시 개소(P)란 절단 궤적(K) 중, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)의 분리가 개시되는 개소이다. 그 때문에, 적어도 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 있어서, 보다 확실하게 점착 테이프(T)의 층은 완전히 절단된다. 그 때문에, 불필요 테이프(Tn)를 박리할 때, 분리 개시 개소(P) 및 제1 영역(K1)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)은 확실하게 불필요 테이프(Tn)로부터 분리되어서 캐리어 테이프(ct) 상에 남게 된다.
또한, 제2 영역(K2)에 접하는 불필요 테이프(Tn)를 감아올릴 때, 캐리어 테이프(ct) 상에 남는 제1 영역(K1)의 점착 테이프편(Tw)과, 이미 박리되어서 더욱 감아올려지는 불필요 테이프(Tn)에 의해, 제2 영역(K2)에 대하여 보다 강한 전단력이 발생한다. 그 때문에, 제2 영역(K2)에 있어서 절단 나머지가 발생한 경우라도, 당해 전단력이 작용함으로써, 제2 영역(K2)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)도 확실하게 불필요 테이프(Tn)로부터 분리되어서 캐리어 테이프(ct) 상에 남게 된다. 따라서, 절단 궤적(K)에 있어서의 절단 나머지의 발생에 기인하여 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다는 사태를 보다 확실하게 피할 수 있다.
또한, 제2 영역(K2)에 있어서는, 제1 영역(K1)보다도 점착 테이프(T)의 층을 얕게 절단한다. 즉, 통상 날부(13b)는 캐리어 테이프(ct)의 층을 완전히는 절단하지 않게 구성되어 있다. 그 때문에, 절단 궤적(K) 중 적어도 제2 영역(K2)에 있어서는 캐리어 테이프(ct)가 하면까지 절단되는 것을 확실하게 피할 수 있다.
따라서, 제1 영역(K1)에 있어서 점착 테이프(T)를 깊게 절단하도록 돌출 날부(13a)를 구성시켰다고 해도, 점착 테이프편(Tw)을 제작할 때 캐리어 테이프(ct)가 절단 궤적(K)을 따라 오려 내지는 사태를 확실하게 피할 수 있다. 그 결과, 프리컷 테이프(PT)를 에지 부재(26)에 안내시켜서 캐리어 테이프(ct)를 접어 주행시킬 때, 점착 테이프편(Tw)과 함께 캐리어 테이프(ct)의 일부가 프리컷 테이프(PT)로부터 박리되는 것을 방지할 수 있다.
[실시예 2]
이어서, 본 발명의 실시예 2를 설명한다. 또한, 실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치와 동일한 구성에 대해서는 동일 번호를 붙임에 그치고, 상이한 구성 부분에 대하여 상세하게 설명한다.
실시예 1에 관한 점착 테이프 부착 장치(1)는, 절단 궤적(K) 중 적어도 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 있어서 점착 테이프(T)를 절단하는 깊이가, 당해 제1 영역(K1) 이외의 제2 영역(K2)에 있어서 점착 테이프(T)를 절단하는 깊이보다도 깊어지도록 구성된다.
한편, 실시예 2에 관한 점착 테이프 부착 장치(1A)는, 도 10의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프 회수부(4A)가 억제 부재(41)를 구비한다는 점에서 실시예 1과 상이하다. 억제 부재(41)는, 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리할 때, 점착 테이프편(Tw)의 적어도 일부에 맞닿고, 점착 테이프편(Tw)이 캐리어 테이프(ct)로부터 들뜨는 것을 억제한다. 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제할 수 있는 구성이라면, 억제 부재(41)는 점착 테이프편(Tw)에 대하여, 미소 거리를 두고 접근하는 구성(근접하는 구성)이어도 된다.
억제 부재(41)는, 점착 테이프(T)의 상방에 배치되어 있고, 도시하지 않은 구동 기구에 의해 승강 이동 및 수평 이동을 가능하게 한다. 억제 부재(41)가 하강함으로써, 점착 테이프편(Tw)의 적어도 일부에 대하여 억제 부재(41)가 맞닿는다. 당해 맞닿음에 의해, 캐리어 테이프(ct)로부터 점착 테이프편(Tw)이 들뜨는 것을 억제할 수 있다.
실시예 2에서는, 억제 부재(41)의 형상은 도 10의 (b)의 평면도에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프편(Tw)의 표면 전체 중 분리 개시 개소(P)를 포함하는 일부에 맞닿는 형상으로 되어 있다. 바꿔 말하면, 억제 부재(41)는 절단 궤적(K) 중 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 맞닿아 있다. 단, 점착 테이프편(Tw)에 접하는 불필요 테이프(Tn)의 박리를 개시할 때 있어서, 점착 테이프(T) 중 적어도 점착 테이프편(Tw)의 분리 개시 개소(P)를 포함하는 영역에 맞닿는 형상이라면, 억제 부재(41)의 형상을 적절히 변경할 수 있다. 일례로서 도 10의 (c)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프편(Tw)의 표면 전체에 맞닿는 형상이어도 된다.
또한, 실시예 2에서는 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 있어서, 제2 영역(K2)보다도 점착 테이프(T)를 깊게 절단하는 구성에 한정되지 않는다. 즉, 실시예 2에 관한 절단 유닛(9A)은, 돌출 날부(13a)를 구비하는 구성에 한정하지는 않는다. 실시예 2에 있어서, 절단 유닛(9A)은 도 10의 (d)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)의 두께 방향에 있어서의 날의 길이 Q가 균일해지는 환상의 절단날(43)을 구비하고 있다. 즉 실시예 2에서는, 날의 길이가 균일해지는 일반적인 톰슨날을 절단날로서 이용하면서, 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 박리된다는 사태를 확실하게 피하는 구성을 실현할 수 있다.
절단날(43)의 구성은, 실시예 1에 관한 통상 날부(13b)의 구성에 상당한다. 즉, 절단날(43)의 날의 길이 Q 및 절단날(43)의 절단 위치는, 절단 위치에 이동한 절단날(43)은 확실하게 캐리어 테이프(ct)의 층을 관통하지 않도록 조정된다. 또한, 적어도 계면 N이 변형되지 않는 이상 상태에 있어서, 절단 위치에 이동한 절단날(43)은 점착 테이프(T)의 층을 관통하게 조정되는 것이 바람직하다.
또한, 실시예 2의 구성과 실시예 1의 구성을 조합하여, 실시예 1에 관한 절단날(13)을 실시예 2에 관한 절단 유닛(9A)에 적용해도 된다. 이 경우, 돌출 날부(13a)에 의한 효과와 억제 부재(41)에 의한 효과의 상승 효과에 의해, 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 박리된다는 사태를 보다 확실하게 피할 수 있다.
여기서, 실시예 2에 관한 점착 테이프 부착 장치(1A)를 사용하여 마운트 프레임을 제작하기 위한 테이프 부착 공정에 대해서, 일련의 동작을 설명한다. 실시예 2에 관한 테이프 부착 공정의 흐름도는, 스텝 S3 및 S4를 제외하고 실시예 1의 흐름도와 공통된다(도 4). 그 때문에, 실시예 2에 관한 테이프 부착 공정의 설명에 대해서는, 스텝 S3 및 스텝 S4에 그치는 것으로 한다.
스텝 S3(점착 테이프의 절단)
스텝 S2에 있어서 점착 테이프(T)를 테이프 프리컷 기구(3)로 안내시킨 후, 지지 테이블(7)에 의해 수평 지지되어 있는 점착 테이프(T)에 대하여, 절단 유닛(9A)을 초기 위치로부터 하강시킨다.
절단 유닛(9A)은 도 11의 (a)에 나타내는 바와 같이, 점선으로 나타나는 초기 위치로부터 실선으로 나타나는 절단 위치로 하강한다. 당해 하강에 의해, 지지 테이블(7) 상에서 주행 정지하고 있는 점착 테이프(T)에 대하여, 절단날(43)이 상방으로부터 압박된다. 절단 위치에 이동한 절단날(43)은, 캐리어 테이프(ct)가 첨설된 점착 테이프(T)를 하프 컷한다. 그 결과, 실시예 1과 마찬가지로 점착 테이프(T)는 환상의 절단 궤적(K)을 따라 절단되고, 절단 궤적(K)에 따른 형상의 점착 테이프편(Tw)이 형성된다(도 5의 (d)를 참조).
여기서, 도 11의 (a)는 캐리어 테이프(ct)와 점착 테이프(T)의 계면 N이 변형되지 않는 이상 상태에 있어서 절단날(43)이 점착 테이프(T)를 절단하는 상태를 나타내고 있다. 이 경우, 절단 위치에 이동한 절단날(43)의 선단은 점착 테이프(T)의 층을 관통하고, 점착 테이프(T)의 층은 절단 궤적(K)을 따라 완전히 절단된다.
한편, 실제로는 도 11의 (b)에 나타내는 바와 같이, 절단날(13)이 점착 테이프(T)를 압박하는 힘 등에 기인하여 계면 N이 아래쪽으로 깊이 내려가도록 변형되는 경우가 있다. 계면 N의 변형에 기인하여 절단날(43)의 선단이 캐리어 테이프(ct)의 층에 도달하지 않을 경우, 절단 궤적(K)의 적어도 일부에 있어서, 점착 테이프(T)의 층을 완전히 절단할 수 없는 사태가 발생한다. 그 결과, 도 11의 (c) 및 도 11의 (d)에 나타내는 바와 같이, 절단 궤적(K) 중 점착 테이프(T)의 층이 완전히 절단되어 있지 않은 개소에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생한다.
실시예 1에서는 절단 궤적(K) 중, 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)은 돌출 날부(13a)를 사용하여 절단하므로, 제1 영역(K1)에 있어서는 확실하게 절단 나머지 부분(F)이 발생하지 않는다. 한편, 실시예 2에서는 돌출 날부(13a)를 갖지 않는 절단날(43)을 사용하여 점착 테이프(T)를 절단하기 때문에, 분리 개시 개소(P)에 있어서도 절단 나머지(F)가 발생하는 경우가 있다. 절단 나머지 부분(F)의 유무에 관계없이, 절단날(43)에 의한 점착 테이프(T)의 절단이 완료되어 절단 유닛(9A)이 절단 위치로부터 초기 위치로 복귀함으로써, 스텝 S3의 공정은 완료된다.
스텝 S4(불필요 테이프의 박리)
점착 테이프편(Tw)이 제작되면 점착 테이프(T)는 더욱 하류로 보내지고, 점착 테이프 회수부(4)에 있어서 불필요 테이프(Tn)를 박리하는 공정이 실행된다. 실시예 2에 관한 안내 롤러(17) 및 회수 보빈(19)의 축방향은, 실시예 1과 마찬가지로 점착 테이프(T)의 긴 방향과 교차한다. 그 때문에, 점착 테이프(T)가 풀어냄 방향 L로 이동함에 따라, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된 불필요 테이프(Tn)와, 캐리어 테이프(ct) 상에 남아있는 불필요 테이프(Tn)의 경계선 V는, 박리 방향 M으로 상대적으로 이동한다. 박리 방향 M은 실시예 1과 마찬가지로, 점착 테이프(T)의 긴 방향에 평행한 방향이며, 점착 테이프(T)의 하류로부터 상류를 향하는 방향이다.
실시예 2에 관한 스텝 S4에서는, 억제 부재(41)를 초기 위치로부터 하강시켜, 점착 테이프편(Tw)에 맞닿게 한다(도 12의 (a), 아래 도면). 이때, 억제 부재(41)는 절단 궤적(K) 중 적어도 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 맞닿게, 억제 부재(41)의 위치가 조정된다(도 12의 (a), 위 도면).
그리고 억제 부재(41)가 적어도 분리 개시 개소(P)에 맞닿아 있는 상태에서, 점착 테이프(T)를 하류로 조출시킨다. 당해 조출에 의해, 점착 테이프편(Tw)에 대한 경계선 V의 상대적인 위치는 박리 방향 M으로 이동하고, 경계선 V는 분리 개시 개소(P)에 접한다. 그리고 분리 개시 개소(P)에 있어서, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)를 분리하여 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리하는 동작이 개시된다.
분리 개시 개소(P)에 있어서 점착 테이프(T)의 층이 이미 잘려진 경우, 보빈(19)의 권취에 의해 불필요 테이프(Tn)가 끌어올려짐으로써, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 용이하게 분리된다(도 7의 (c)를 참조). 그 때문에, 점착 테이프편(Tw)을 캐리어 테이프(ct) 상에 남긴 상태에서, 불필요 테이프(Tn)만을 캐리어 테이프(ct)로부터 박리할 수 있다.
한편, 계면 N의 변형 등에 의해 분리 개시 개소(P)에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우, 당해 개소에 있어서 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 일부 연결되어 있다(도 12의 (b)). 그러나, 회수 보빈(19)이 분리 개시 개소(P)의 불필요 테이프(Tn)를 권취하여 상향으로 끌어올리는 반면, 분리 개시 개소(P)의 점착 테이프편(Tw)은 캐리어 테이프(ct)로부터 부상하지 않도록, 억제 부재(41)에 의해 억제된다.
즉, 회수 보빈(19)이 불필요 테이프(Tn)를 권취함에 기인하는 상향의 힘 J1과, 억제 부재(41)가 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제함에 기인하는 하향의 힘 J3 각각이 분리 개시 개소(P)에 작용한다. 이들 서로에 역방향의 힘이 작용함으로써, 분리 개시 개소(P)에 있어서 강한 전단력이 발생한다.
당해 전단력이 분리 개시 개소(P)의 절단 나머지 부분(F)에 작용함으로써, 절단 나머지 부분(F)은 전단되어서 점착 테이프(T)의 층은 완전히 절단된다(도 12의 (c)). 점착 테이프(T)의 층이 완전히 절단됨으로써, 분리 개시 개소(P)에 있어서 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 분리되고, 불필요 테이프(Tn)만이 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다(도 12의 (d)).
분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리함으로써, 점착 테이프(T)를 하류로 이동시킨다. 점착 테이프(T)의 이동에 의해, 경계선 V의 상대적 위치는 박리 방향 M으로 진행되고 제1 영역(K1) 및 제2 영역(K2)과 순차 접한다(도 12의 (e)).
제1 영역 또는 제2 영역(K2)에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우라도, 억제 부재(41)가 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하고 있으므로, 불필요 테이프(Tn)를 끌어올리는 힘의 영향도 추가되어, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)의 사이에 강한 전단력이 작용한다.
또한, 분리 개시 개소(P)에 있어서 이미 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)은 분리되어 있으므로, 점착 테이프편(Tw)으로부터 분리된 불필요 테이프(Tn)가 감아올려지는 상향의 힘 J1과 캐리어 테이프(ct) 상에 남아있는 점착 테이프편(Tw)에 기인하는 하향의 힘 J2가 분리 개시 개소(P)에 인접하는 절단 영역(K)으로 순차 작용한다. 그 때문에, 분리 개시 개소(P)에 인접하는 절단 영역(K)에 있어서, 실시예 1과 마찬가지로, 힘 J1과 힘 J2에 기인하는 전단력이 절단 영역(K) 전체에 걸쳐 연쇄적으로 작용해 간다.
따라서, 실시예 2에서는 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐 절단 나머지 부분(F)은 보다 확실하게 전단되어, 점착 테이프(T)의 층이 완전히 절단된다. 그 결과, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 확실하게 분리되고, 점착 테이프편(Tw)을 캐리어 테이프(ct) 상에 남기면서, 불필요 테이프(Tn)만을 확실하게 캐리어 테이프(ct)로부터 박리할 수 있다.
점착 테이프 회수부(4)는 또한 불필요 테이프(Tn)를 박리 회수해 감으로써, 점착 테이프편(Tw)의 주위에 남은 불필요 테이프(Tn)가 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되어서 프리컷 테이프(PT)가 제작된다. 제작된 프리컷 테이프(PT)는, 테이프 부착 유닛(5)으로 안내되고, 스텝 S4의 공정은 완료된다. 그리고 실시예 1과 마찬가지로 스텝 S5 및 스텝 S6의 공정을 행함으로써, 워크에 점착 테이프(T)를 부착하여 마운트 프레임을 제작하는 공정에 대해서, 일련의 동작이 완료된다.
실시예 2에서는, 절단 궤적(K) 중 적어도 분리 개시 개소(P)를 포함하는 제1 영역(K1)에 맞닿아, 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하는 억제 부재(41)를 구비하고 있다. 그리고 억제 부재(41)가 분리 개시 개소(P)에 맞닿아 있는 상태에서 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)의 분리를 개시한다. 억제 부재(41)가 분리 개시 개소(P)에 맞닿아, 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하고 있는 상태에서 불필요 테이프(Tn)를 박리함으로써, 분리 개시 개소(P)에 강한 전단력이 작용한다.
그 때문에, 분리 개시 개소(P)에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우라도, 강한 전단력에 의해 절단 나머지 부분(F)은 완전히 절단된다. 따라서, 분리 개시 개소(P)에 있어서 확실하게 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)를 분리할 수 있다. 당해 전단력은 절단 궤적(K)을 따라 분리 개시 개소(P)에 인접하는 개소에 순차 작용하므로, 절단 궤적(K) 전체에 걸쳐 절단 나머지 부분(F)은 확실하게 해소되고, 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)는 분리된다. 그 결과, 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 연결된 채 불필요 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다는 사태를 확실하게 방지할 수 있다.
본 발명은, 상기 실시 형태에 한정되지는 않고, 하기와 같이 변형 실시할 수 있다.
(1) 각 실시예에 있어서, 점착 테이프편(Tw)이 원형인 경우를 예로 들어서 설명했지만, 본 발명의 구성은 점착 테이프편(Tw)이 직사각형이나 정사각형을 예로 하는 직사각형인 경우에도 적용할 수 있다. 이 경우, 도 13의 (a)에서 나타내는 바와 같이 절단 궤적(K)은 직사각형으로 되어 있고, 굵은 선으로 나타나 있는 절단 궤적(K)의 변의 부분이 분리 개시 개소(P)에 상당한다. 또한, 본 발명에 있어서 직사각형이란, 도 13의 (a)에 나타나는 절단 궤적(K)과 같이, 4개의 정점 부분이 둥그스름한 형상도 포함하는 것으로 하자.
실시예 1에 있어서 절단 궤적(K)을 직사각형으로 하는 경우, 절단 궤적(K) 중 직선상의 분리 개시 개소(P)를 적어도 포함하는 제1 영역(K1)에 있어서 점착 테이프(T)를 절단하는 깊이를, 절단 궤적(K) 중 제1 영역(K1)을 제외한 제2 영역(K2)에 있어서 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 한다.
실시예 2에 있어서 절단 궤적(K)을 직사각형으로 하는 경우, 도 13의 (b)에서 나타내는 바와 같이 억제 부재(41)의 형상은, 점착 테이프(T)에 있어서 적어도 직선상의 분리 개시 개소(P)를 포함하는 영역을 억제할 수 있는 형상이라면 된다. 그리고 억제 부재(41)가 적어도 분리 개시 개소(P)에 맞닿아 있는 상태에서 분리 개시 개소(P)에 있어서의 불필요 테이프(Tn)의 박리를 행함으로써, 분리 개시 개소(P)에 있어서 확실하게 점착 테이프편(Tw)과 불필요 테이프(Tn)를 분리시킬 수 있다.
(2) 각 실시예에서는 경계선 V가 연장되는 방향은 점착 테이프(T)의 긴 방향과 교차하는 구성을 예시했지만, 특히 절단 궤적(K)이 직사각형인 변형예에 있어서는, 경계선 V가 연장되는 방향을 점착 테이프(T)의 긴 방향으로부터 경사지게 조정하는 것이 바람직하다. 이러한 변형예에 관한 점착 테이프 부착 장치(1B)를 도 14의 (a)에 나타낸다. 또한, 점착 테이프 부착 장치(1B)는 실시예 1의 구성을 베이스로 하고 있고, 절단 유닛(9)은 돌출 날부(13a)를 갖는 절단날(13)을 구비하고 있다. 절단날(13)은 절단 궤적(K)의 형상에 따라, 직사각형의 환상으로 되어 있는 톰슨날에 의해 구성되어 있다.
점착 테이프 부착 장치(1B)에 있어서, 점착 테이프 회수부(4B)가 구비하고 있는 안내 롤러(17B) 및 회수 보빈(19B)은, 각각의 축방향이 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)에 대하여 경사지게 조정되어 있다. 그 때문에, 경계선 V가 연장되는 방향은 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)에 대하여 경사진다.
따라서, 점착 테이프(T)에 대하여 경계선 V가 상대적으로 이동하는 방향인 박리 방향 M은, 도 14의 (b) 및 도 14의 (c)에 나타내는 바와 같이, 점착 테이프(T)의 조출 방향(L)에 대하여 경사진다. 일반적으로 직사각형의 점착 테이프편(Tw)을 제작하는 경우, 점착 테이프(T)의 폐기량을 저감하기 위해 점착 테이프편(Tw)의 긴 변과 점착 테이프(T)의 긴 방향을 평행하게 한다. 그 때문에, 박리 방향 M을 점착 테이프(T)의 긴 방향으로부터 경사지게 함으로써, 경계선 V가 최초에 점착 테이프편(Tw)과 접하는 개소는 도 14의 (b) 등에 나타내는 바와 같이, 절단 궤적(K)에 있어서의 정점 부분이 된다. 즉, 경계선 V를 점착 테이프 분리 개시 개소(P)는, 절단 궤적(K)에 있어서의 정점 부분에 상당한다.
절단 궤적(K)을 직사각형으로 하는 변형예에 있어서 경계선 V를 점착 테이프(T)의 긴 방향과 평행하게 상대 이동시키는 경우, 도 13의 (b)에 나타내는 바와 같이 분리 개시 개소(P)가 비교적 긴 선상이 된다. 이 경우, 스텝 S4에 있어서 분리 개시 개소(P)에서 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)을 분리시킬 때, 적어도 불필요 테이프(Tn)를 권취시킴으로써 발생하는 상측 방향의 힘 J1은, 비교적 긴 분리 개시 개소(P) 전체로 분산된다.
즉, 단위 길이의 분리 개시 개소(P)에 대하여 작용하는 힘 J1의 크기가 저하되므로, 단위 길이의 분리 개시 개소(P)에 대하여 작용하는 전단력이 저하된다. 그 결과, 불필요 테이프(Tn)의 점착층과 점착 테이프편(Tw)의 점착층끼리의 점착력보다 당해 전단력이 낮아지는 사태나, 분리 개시 개소(P)에 있어서 발생한 절단 나머지 부분(F)을 당해 전단력에 의해 전단할 수 없는 사태가 발생한다. 이들 사태가 발생했을 경우, 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)을 분리할 수 없어, 결과적으로 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다.
한편, 분리 개시 개소(P)가 절단 궤적(K)에 있어서의 정점 부분이 되게 경계선 V의 방향을 조정한 경우, 분리 개시 개소(P)의 길이는 짧아진다. 이 경우, 분리 개시 개소(P)에서 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)을 분리시킬 때, 짧게 되어 있는 분리 개시 개소(P)에 대하여, 권취되는 불필요 테이프(Tn)에 기인하는 상측 방향의 힘 J1이 집중된다.
힘 J1을 집중시킴으로써, 분리 개시 개소(P)에 작용하는 전단력의 크기를 향상시킬 수 있으므로, 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)을 확실하게 분리할 수 있다. 따라서, 경계선 V의 방향을 점착 테이프(T)의 긴 방향으로부터 경사지게 함으로써, 점착 테이프편(Tw)이 불필요 테이프(Tn)와 함께 캐리어 테이프(ct)로부터 박리되는 사태를 보다 확실하게 방지할 수 있다.
이러한 (2)에 관한 변형예, 즉 절단 궤적(K)을 직사각형으로 하고, 또한 경계선 V를 점착 테이프(T)의 긴 방향으로부터 경사지게 하여 분리 개시 개소(P)를 짧게 조정하는 변형예는, 실시예 1뿐만 아니라 실시예 2에도 적용할 수 있다. 당해 변형예를 실시예 2에 적용한 경우, 분리 개시 개소(P)가 짧아지므로, 억제 부재(41)를 소형화해도 당해 억제 부재(41)는 확실하게 분리 개시 개소(P)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제할 수 있다.
(3) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 점착 테이프(T)의 예로서, 웨이퍼(W)를 링 프레임(f)에 걸쳐 지지하는 지지용 점착 테이프(다이싱 테이프)를 예로 들어 설명했지만 이것에 한정되지 않는다. 즉 다이싱 테이프 외에, 반도체 웨이퍼의 회로면을 보호하는 보호용 점착 테이프(보호 테이프) 등, 긴 형상의 점착 테이프를 절단하여 점착 테이프편을 제작하는 구성이라면, 본 발명에 관한 점착 테이프 부착 장치의 구성을 적용할 수 있다.
(4) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 링 프레임(f) 및 웨이퍼(W)를 워크로 하여, 당해 워크에 지지용 점착 테이프편(Tw)을 부착하는 점착 테이프 부착 장치를 예시했지만, 점착 테이프를 부착하는 대상이 되는 워크는, 링 프레임(f) 및 웨이퍼(W)에 한정되지 않는다. 다른 예로서, 링 프레임(f)을 사용하지 않고, 웨이퍼(W) 또는 직사각형의 기판에 회로 보호용 점착 테이프편을 부착하는 구성 등을 들 수 있다.
(5) 각 실시예 및 각 변형예에 있어서, 스텝 S4는 점착 테이프(T)를 풀어냄 방향 L로 이동시킴으로써, 박리 완료된 불필요 테이프(Tn)와 미박리된 불필요 테이프(Tn)의 경계선 V를, 점착 테이프(T)에 대하여 박리 방향 M으로 상대적으로 이동시키지만 이것에 한정되지 않는다. 즉, 점착 테이프 회수부(4)를 이동시킴으로써 경계선 V를 점착 테이프(T)에 대하여 상대적으로 이동시켜도 되고, 점착 테이프 회수부(4)와 점착 테이프(T) 각각을 이동시킴으로써 경계선 V를 박리 방향 M으로 이동시켜도 된다.
(6) 실시예 1 및 실시예 1을 베이스로 하는 각 변형예에 있어서, 점착 테이프(T)의 절단 영역(K) 중, 제1 영역(K1)을 제2 영역(K2)보다 깊게 절단하는 구성이라면 절단 유닛(9)의 구성을 적절히 변경할 수 있다. 일례로서, 돌출 날부(13a)를 갖춘 절단날(13) 대신에 커터날과 당해 커터날의 높이를 제어하는 제어부를 구비하는 구성이어도 된다. 즉, 커터날이 제2 영역(K2)을 절단하는 경우에 비하여, 커터날이 제1 영역(K1)을 절단하는 경우에 있어서, 커터날을 보다 깊게 하강시켜서 점착 테이프(T)를 절단시킴으로써도 본 발명의 효과를 실현할 수 있다.
(7) 실시예 2 및 실시예 2를 베이스로 하는 각 변형예에 있어서, 캐리어 테이프(ct)로부터 박리 완료된 불필요 테이프(Tn)와 미박리된 불필요 테이프(Tn)의 경계선 V가 박리 방향 M으로 상대 이동함에 동기하여, 점착 테이프(T)에 대한 억제 부재(41)의 상대적인 위치를 변위시키는 것이 바람직하다.
실시예 2에서는 스텝 S4에 있어서, 점착 테이프(T)와 억제 부재(41)의 상대적인 위치를 바꾸지 않고 불필요 테이프(Tn)를 점착 테이프편(Tw)의 주위로부터 박리하고 있다. 즉, 억제 부재(41)는 분리 개시 개소(P)에 계속해서 맞닿고 있다. 그 때문에 실시예 2에서는 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리하는 경우, 도 15의 (a)에 나타내는 바와 같이 억제 부재(41)는 경계선 V와 근접하고 있다. 한편, 스텝 S4의 공정이 진행되고, 경계선 V가 분리 개시 개소(P)로부터 이격되면, 억제 부재(41)도 분리 개시 개소(P)와 함께 경계선 V로부터 이격되어 간다(도 15의 (b)).
한편, 억제 부재(41)를 경계선 V와 동기적으로 상대 이동시키는 변형예에서는, 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리하는 경우, 도 15의 (c)에 나타내는 바와 같이 억제 부재(41)는 분리 개시 개소(P)에 맞닿아 있다. 이때, 억제 부재(41)는 분리 개시 개소(P)에 있어서의 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하고 있으므로, 분리 개시 개소(P)에 있어서 불필요 테이프(Tn)는 점착 테이프편(Tw)으로부터 확실하게 분리되고, 불필요 테이프(Tn)만이 캐리어 테이프(ct)로부터 박리된다.
그리고, 스텝 S4의 공정을 진행시켜서 경계선 V를 박리 방향 M으로 상대 이동시키면, 점착 테이프(T)에 대한 억제 부재(41)의 상대적 위치도 동기적으로 변위한다. 그 때문에 도 15의 (d)에 나타내는 바와 같이, 억제 부재(41)와 경계선 V의 거리가 변하지 않고, 억제 부재(41)는 분리 개시 개소(P)로부터 이격된다. 이때, 억제 부재(41)는, 절단 궤적(M) 중 불필요 테이프(Tn)를 점착 테이프편(Tw)으로부터 분리시켜서 캐리어 테이프(ct)로부터 박리시키는 개소(도면에서는 제2 영역(K2))에 맞닿아 있다.
억제 부재(41)는 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)의 분리를 행하는 개소에 있어서 점착 테이프편(Tw)에 맞닿아, 당해 개소에 있어서의 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 적합하게 억제한다. 그 때문에, 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)의 분리를 행하는 개소에 있어서 절단 나머지 부분(F)이 발생하는 경우라도, 당해 개소에 있어서의 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제함으로써 절단 나머지 부분(F)을 확실하게 전단할 수 있다.
이와 같이, (7)에 관한 변형예에서는, 경계선 V의 상대적 이동에 의해 불필요 테이프(Tn)와 점착 테이프편(Tw)의 분리를 행하는 개소가 변위하는 것에 동기하여, 점착 테이프(T)에 있어서 억제 부재(41)가 맞닿음 또는 근접하는 영역도 변위시킨다. 이와 같은 구성을 구비함으로써, 불필요 테이프(Tn)를 캐리어 테이프(ct)로부터 박리시키는 개소가 박리 방향 M으로 이동해도, 이동 후의 당해 개소에 있어서의 점착 테이프편(Tw)은, 동기적으로 변위한 억제 부재(41)에 의해 맞닿아져 있다.
바꿔 말하면, 억제 부재(41)를 경계선 V와 동기적으로 이동시킴으로써, 억제 부재(41)와 경계선 V의 거리가 가까운 상태를 유지하면서, 불필요 테이프(Tn)를 박리하는 스텝 S4의 공정을 실행할 수 있다. 그 때문에, 경계선 V와 억제 부재(41)의 거리가 이격됨에 기인하여 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하는 효과가 저하된다는 사태를 피할 수 있다.
또한 (7)에 관한 변형예의 구성, 즉 억제 부재(41)를 경계선 V와 동기적으로 상대 이동시키는 구성에서는, 점착 테이프(T)의 평면으로 보면 억제 부재(41)의 형상을, 점착 테이프편(Tw)보다도 넓게 해도, 박리 완료된 불필요 테이프(Tn)와 억제 부재(41)의 간섭을 피할 수 있다.
억제 부재(41)의 형상을, 점착 테이프편(Tw)보다도 넓게 하는 구성의 일례를 도 15의 (c)에 나타낸다. 즉, 점착 테이프편(Tw)의 분리 개시 개소(P)를 포함하고, 또한 경계선 V와 같은 방향으로 연장되는 폭이 넓은 판상으로 되도록 억제 부재(41)의 형상이 구성되어 있다. 억제 부재(41)를 보다 광폭으로 하는 경우, 점착 테이프(T)의 들뜸을 억제할 수 있는 범위를 보다 넓게 할 수 있으므로, 점착 테이프편(Tw)이 캐리어 테이프(ct)로부터 들뜨는 사태를 확실하게 방지할 수 있다. 또한, 억제 부재(41)는 점착 테이프(T)의 폭 방향에 걸쳐서 맞닿으므로, 억제 부재(41)가 점착 테이프편(Tw)의 들뜸을 억제하는 힘 J2를, 점착 테이프(T)의 폭 방향에 걸쳐 균일하게 작용시킬 수 있다.
1: 점착 테이프 부착 장치
2: 테이프 공급부
3: 테이프 프리컷 기구
4: 점착 테이프 회수부
5: 테이프 부착 유닛
6: 캐리어 테이프 회수부
9: 절단 유닛
13: 절단날
13a: 돌출 날부
13b: 통상 날부
17: 안내 롤러
19: 보빈
21: 제1 부착 유닛
23: 제2 부착 유닛
25: 부착 테이블
26: 에지 부재
27: 부착 롤러
41: 억제 부재
43: 절단날
f: 링 프레임
T: 점착 테이프
Tw: 점착 테이프편
Tn: 불필요 테이프
ct: 캐리어 테이프
W: 반도체 웨이퍼
V: 경계선
K: 절단 궤적
K1: 제1 영역
K2: 제2 영역

Claims (8)

  1. 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에서 절단하여 점착 테이프편을 형성시키고, 불필요해진 부분의 상기 점착 테이프인 불필요 테이프를 상기 캐리어 테이프로부터 박리시키는 점착 테이프 박리 방법이며,
    상기 캐리어 테이프가 첨설된 긴 상기 점착 테이프를 풀어내어 공급하는 테이프 공급 과정과,
    공급된 상기 점착 테이프를 절단 기구에 의해 소정 형상의 절단 궤적을 따라 환상으로 절단하고, 점착 테이프편을 형성시키는 절단 과정과,
    상기 점착 테이프편의 주위에 남는 상기 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리하는 박리 과정을
    구비하고,
    상기 절단 과정은,
    상기 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 상기 절단 궤적 중 상기 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 절단 궤적은 직사각형이며,
    상기 박리 과정은,
    상기 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 상기 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 절단 과정은,
    상기 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 상기 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 제어하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 방법.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 박리 과정은,
    상기 점착 테이프편이 상기 캐리어 테이프로부터 들뜨는 것을 억제하는 억제 부재를, 상기 점착 테이프 중 적어도 상기 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 상기 불필요 테이프의 박리를 개시하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 방법.
  5. 캐리어 테이프가 첨설된 긴 점착 테이프를 상기 캐리어 테이프 상에서 절단하여 점착 테이프편을 형성시키고, 불필요해진 부분의 상기 점착 테이프인 불필요 테이프를 상기 캐리어 테이프로부터 박리시키는 점착 테이프 박리 장치이며,
    상기 캐리어 테이프가 첨설된 긴 상기 점착 테이프를 풀어내어 공급하는 테이프 공급부와,
    공급된 상기 점착 테이프를 소정 형상의 절단 궤적을 따라 환상으로 절단하고, 점착 테이프편을 형성시키는 절단 기구와,
    상기 점착 테이프편의 주위에 남는 상기 불필요 테이프를 캐리어 테이프로부터 박리하는 박리 기구와,
    박리된 상기 불필요 테이프를 회수하는 테이프 회수부를
    구비하고,
    상기 절단 기구는,
    상기 절단 궤적 중 적어도 분리 개시 개소를 포함하는 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를, 상기 절단 궤적 중 상기 제1 영역 이외의 제2 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이보다도 깊게 하도록 조정되는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 절단 궤적은 직사각형이며,
    상기 박리 기구는,
    상기 불필요 테이프를 박리하는 박리 방향을 상기 점착 테이프의 긴 방향으로부터 경사지게 하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 장치.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 절단 기구는,
    상기 제1 영역에 있어서 상기 점착 테이프를 절단하는 깊이를 적어도 상기 캐리어 테이프의 하면까지 절단하는 깊이가 되도록 조정되는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 장치.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서,
    상기 박리 기구는,
    상기 점착 테이프편이 상기 캐리어 테이프로부터 들뜨는 것을 억제하는 억제 부재를, 상기 점착 테이프 중 적어도 상기 분리 개시 개소를 포함하는 영역에 맞닿음 또는 근접시킨 상태에서 상기 불필요 테이프의 박리를 개시하는
    것을 특징으로 하는 점착 테이프 박리 장치.
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JP2012084688A (ja) 2010-10-12 2012-04-26 Nitto Denko Corp 両面粘着テープ貼付け方法および両面粘着テープ貼付け装置
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