JP7392964B2 - 基板の接着テープ貼り替え装置及び貼り替え方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエハ等の基板に貼り付けられた各種の接着テープを別の接着テープに貼り替える基板の接着テープ貼り替え装置及び貼り替え方法に関する。

従来から、一般的な半導体の製造工程においては、まず、半導体ウエハ（以下、ウエハという。）の回路形成面に保護テープが貼り付けられた後、前記ウエハの裏面が研削されて薄厚化される。その後、保護テープに貼り付けられた状態のウエハが、ダイシングテープを介してダイシングフレーム（以下、単にフレームという。）にマウントされ、前記保護テープが剥離テープ等で剥離される。続いて、前記ウエハが、ダイシングにより、チップ化される。

上記ダイシング後のチップ化されたウエハにおいては、その前工程でのパターン形成の関係上、その後のダイボンド時にチップの表裏を反転させる必要がある。また、ダイシング時にパターンを汚染しないためにパターン形成面をダイシングテープに貼り付けてマウントすることがあり、この場合も、ダイボンド時にチップの表裏を反転させる必要が生じる。

さらに、ダイボンド時にダイシングされたチップ同士が干渉することを防止するためにチップ間を拡張させるエキスパンドを行なう場合があり、一度拡張したチップ間を維持した状態で次の工程に搬送する必要がある。このチップ間を維持させるためにダイシングテープを貼り替える必要が生じる。

上記のようなダイシングテープを貼り替える方法として、第１の支持体（フレームに相当）に支持されたウエハを、引き伸ばしリングを用いて第１の支持体の第１ＵＶテープを引き伸ばしてエキスパンド状態とし、チップ間隔を所定量広げた状態で、第２の支持体である第２ＵＶテープをウエハに貼り付けている（例えば特許文献１）。その後、第１の支持体のエキスパンド状態を解放してから、第１の支持体の第１ＵＶテープを剥離して貼り替えが完了する。

しかしながら、特許文献１の方法は、第１の支持体のエキスパンド状態を解放する際に第１の支持体の第１ＵＶテープが収縮し、チップが倒れ込む問題があった。このような状態で貼り替えを行うと、貼り替え不良となる問題があった。

そこで、上記問題を解決すべく、第１の支持体をエキスパンド状態とした後、チップの外周部分の第１の支持体と第２の支持体とを貼り合わせて、チップの外周部分を封止した後、エキスパンドを解放することで、チップの倒れ込みを防止する貼り替え装置が開示されている（例えば、特許文献２）。

特許第３０６４９７９号公報 特許第４６４３５１４号公報

前記特許文献２の貼り替え装置においては、第１の支持体と第２の支持体をチップの外周部分で貼り合わせており、第２の支持体にチップを貼り替えた後、第１の支持体の接着シートをチップから剥離させている。

しかしながら、第１の支持体と第２の支持体の貼り合わせ部分を剥離することが困難であり、必要な第２支持体の接着シートを破損する問題があった。また、貼り合わせ部分近傍のチップが剥離の際の衝撃で、ずれたりする問題もあった。

特にエキスパンド量が少ない場合は、特許文献１及び特許文献２の方法では、第１の支持体と第２の支持体の間隔が少なくなり、第１の支持体と第２の支持体との接着面積が大きくなって第１の支持体から第２の支持体を剥離させることが、より困難になる問題があった。そのため、エキスパンド量を少なくし、チップ間の拡張率を下げることができない問題があった。また、各種のチップ間隔に対応することが困難であり、汎用性に欠ける問題があった。

また、特許文献１において、エキスパンドでチップ間の拡張率を変更するためには、引き伸ばしリングの形状を変更する必要があり、汎用性に欠ける問題があった。

また、特許文献２においては、エキスパンドでチップ間の拡張率を下げた場合、第１の支持体と第２の支持体の間隔が狭くなるため、その後の第１の支持体の剥離の際に、へらを第１の支持体と第２の支持体の間に挿入することが困難になる問題があり、第１の支持体の剥離を的確に行うことができない問題があった。

そこで、本発明は、第１の支持体の接着テープに貼り付けられたチップを第２の支持体の接着テープに貼り替える際にチップの倒れ込みがなく、さらに、チップ間隔を自由に設定できる基板の接着テープ貼り替え装置及び貼り替え方法を提供することにある。

そこで、請求項1の発明は、第１接着テープに第１支持フレームを介して貼り付けられた基板を第２接着テープに貼り替える基板の接着テープ貼り替え装置において、
第１接着テープを介して前記基板を吸着保持する吸着テーブルと、
前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、前記第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、エキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを前記切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置。

また、請求項２の発明は、第１接着テープを介して基板を吸着保持する吸着テーブルと、
前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
前記第１接着テープをエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記基板の表面高さと前記第２フレームの表面高さとが一致した状態で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置である。

また、請求項３の発明は、第１接着テープを介して基板を吸着保持する吸着テーブルと、
前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープが非エキスパンド状態、またはエキスパンド状態の拡張比率５％未満であって挟持手段の下降距離が短く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する、もしくは、接する恐れがあるときは、
前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを前記切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、
前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープのエキスパンド状態の拡張比率５％以上であって挟持手段の下降距離が長く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する恐れがないときは、
前記第１接着テープを前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置である。

また、請求項４の発明は、非エキスパンド状態とした後、第１接着テープに剥離テープを貼り付けて前記第１接着テープを剥離テープと一体に剥離させる剥離手段をさらに設けた構成を採用する請求項１乃至３のいずれか１項に記載の接着テープ貼り替え装置である。

また、請求項５の発明は、前記第１接着テープを前記切断手段で前記基板の外側で切断する前に、第１接着テープの剥離始端側にＶ字形状の剥離きっかけを形成するよう剥離きっかけ形成手段を設けたことを特徴とする請求項４記載の接着テープ貼り替え装置。

また、請求項６の発明は、前記第１接着テープに剥離テープを貼り付け、前記第１接着テープを前記剥離テープと一体に剥離する際に、前記剥離きっかけ上に前記剥離テープを押圧する剥離きっかけ押圧手段をさらに設けたことを特徴とする請求項５記載の接着テープ貼り替え装置。

また、請求項７の発明は、第１接着テープに第１支持フレームを介して貼り付けられた基板を第２接着テープに貼り替える基板の接着テープ貼り替え方法において、
吸着テーブルに前記第１接着テープを介して前記基板を吸着保持し、
前記吸着テーブルの外周に設けたフレーム台に前記第１支持フレームを載置し、
前記フレーム台の上方に位置する支持テーブル上に第２支持フレームを載置し、
予め設定された拡張比率に応じて前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持手段で挟持して、非エキスパンド状態、または、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させて、第１接着テープをエキスパンド状態とし、
第１接着テープが非エキスパンド状態、またはエキスパンド状態の拡張比率５％未満であって挟持手段の下降距離が短く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する、もしくは、接する恐れがあるときは、
前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、前記拡張比率に応じたエキスパンド状態で、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２支持フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、
前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープのエキスパンド状態の拡張比率が高く５％以上であって挟持手段の下降距離が長く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する恐れがないときは、
第１接着テープを前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記第２支持フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え方法である。

請求項１、３及び７の発明によれば、拡張比率が低く第２接着テープの貼り付けの際に前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する、または、接する恐れがあるときは、吸着テーブルで第１接着テープを介して基板を保持し、その状態で第１接着テープを基板の外周で切断した後、第２接着テープに基板を貼り替えるので、エキスパンドによる第１接着テープの収縮による影響を受けず、貼り替え後のチップが倒れこんだり、基板が反ったりしない。

また、請求項２及び７の発明によれば、拡張比率が高く第２接着テープの貼り付けの際に前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する恐れがないときは、第１接着テープが傾斜して第２接着テープと間隔を保った状態で、前記第１接着テープの傾斜部分で前記基板の外周部分を切断するので、第１接着テープと第２接着テープの接着を回避でき、貼り替え後に第１接着テープを容易に剥離できる。また、チップ間隔を維持した状態で第２接着テープに基板を貼り替え、エキスパンドの解放前にエキスパンドされた第１接着テープを切断して、第１接着テープのエキスパンドを解放するので、第１接着テープの収縮による影響を受けず、貼り替え後のチップの倒れ込みが発生しない。

また、請求項７の発明によれば、エキスパンドの拡張比率に関わらず各種の拡張比率に対応できる汎用性の高い接着テープの貼り替えに対応が可能となる。

また、請求項４の発明によれば、非エキスパンド状態とした後、第１接着テープに剥離テープを貼り付けて前記第１接着テープを剥離テープと一体に剥離させる剥離手段をさらに設けたので、不要となった第１接着テープを別途の剥離装置を用いずに剥離することができる。また、エキスパンド状態解放後に剥離するので第２接着テープに応力が残らず、チップの破損や倒れ込みが発生しない。

また、請求項５の発明によれば、第１接着テープに剥離きっかけを形成するので、第２接着テープと第１接着テープが接着しても、接着面積が狭い部分から第１接着テープを剥離でき、基板を破損することがない。

また、請求項６の発明によれば、さらに剥離きっかけ形成部分において第１接着テープと剥離テープを密着させることができ、剥離ミスを減らすことができる。

は、本発明の接着テープ貼り替え装置の概略全体平面図である。 は、図１のＡ－Ａ方向矢視図である。 は、本発明の接着テープ貼り替え装置に係る貼り替え部の平面図である。 は、本発明の接着テープ貼り替え装置に係る貼り替え部の正面図である。 は、図３のＢ－Ｂ方向矢視断面図である。 は、図４の一部を切欠いたＣ－Ｃ方向矢視図である。 は、本発明の接着テープ貼り替え装置に係る貼り替え部の右側面図である。 は、本発明の接着テープ貼り替え装置に係る位置決め・ノッチ形成部の平面図である。 は、図８のＤ－Ｄ方向矢視断面図である。 （ａ）及び（ｂ）は、第１の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ｃ）及び（ｄ）は、第１の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ｅ）及び（ｆ）は、第１の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、第２の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ｃ）及び（ｄ）は、第２の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ｅ）及び（ｆ）は、第２の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、第３の実施形態に係る接着テープ貼り替え動作の説明図である。 は、位置決め・ノッチ形成部におけるノッチ形成の説明図である。 は、ノッチ形成後の接着テープ貼り替え部における第１接着テープ切断動作の説明図である。 は、第１接着テープの剥離動作の説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、第１接着テープの剥離動作の要部拡大説明図である。 は、剥離きっかけ形成部の一部省略平面図である。 は、剥離きっかけ形成部の概略動作説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、フレームにマウント済みの拡張比率が０％の基板の説明図である。 （ａ）及び（ｂ）は、フレームにマウント済みのチップ間が拡張された基板の説明図である。

以下、本発明の実施の形態を図１から図９に基づいて説明する。

図１は、本発明の接着テープ貼り替え装置１の概略全体平面図である。前記接着テープ貼り替え装置１は、ほぼ矩形状の機台２上に形成されている。また前記接着テープ貼り替え装置１は、接着テープの貼り替え前の第１支持体Ｓ１が多段収納された第１支持体供給部ａと、第１支持体Ｓ１を位置決めすると共に第１接着テープＴ１に鋭角状の切込み（以下、ノッチＮという。）を形成する位置決め・ノッチ形成部ｂと、第１支持体Ｓ１に支持された基板Ｗを第２接着テープＴ２に貼り替える貼り替え部ｃと、貼り替え後の第２支持体Ｓ２を形成する第２フレームＦ２が多段収納されるフレーム供給部ｄと、前記貼り替え部ｄに第２フレームを搬送するフレーム搬送部ｅと、貼り替えが完了し、不要となった第１フレームＦ１を回収するフレーム回収部ｆと、貼り替え後の第２支持体Ｓ２から不要となった第１接着テープＴ１を剥離する接着テープ剥離部ｇと、前記接着テープ剥離部ｇで第１接着テープＴ１が剥離された貼り替え済みの第２支持体Ｓ２を多段収納する第２支持体収納部ｈ等を備えて構成されている。

前記第１支持体Ｓ１は、ダイシングによりチップ化された基板Ｗが第１フレームＦ１に第１接着テープＴ１を介して貼り付けられることにより形成されている。また、第１フレームＦ１は、位置決めの基準となる切欠き部３が設けられている。前記第１支持体供給部ａは、第１支持体Ｓ１が多段収納される供給カセット４９が設けられ、該供給カセット４９は、適宜の昇降手段（図示しない）により昇降して、収納された前記第１支持体Ｓ１を１枚ずつ順次供給するようになっている。

前記第１支持体供給部ａから供給された第１支持体Ｓ１は、図示しない適宜の搬送機構で前記位置決め・ノッチ形成部ｂへと搬送されるようになっている。前記位置決め・ノッチ形成部ｂは、図８及び図９のように供給された第１支持体Ｓ１の基板Ｗを上面として載置固定する保持テーブル４７と、前記第１支持体Ｓ１の位置決めを行うセンサ４８と、前記第１支持体Ｓ１の第１接着テープＴ１に剥離きっかけとなるノッチＮ（図１７参照。）を形成するノッチ形成ユニット８０等を備えて構成されている。前記ノッチ形成ユニット８０については、第２の実施形態として後述する。

図８及び図９のように前記保持テーブル４７は、ほぼ円形状に形成され、機台２上に立設されたモーター１２と接続されて回転自在となっている。また、前記保持テーブル４７は、その上面にフレームＦを挟持等によって固定する固定手段４７ａが設けられている。また、前記保持テーブル４７は、開口４７ｂが設けられ、前記開口４７ｂの下方には、ノッチＮを形成する際に第１接着テープＴ１を裏面から支持するバックアップ８１が設けられている。

また、前記保持テーブル４７の近傍にはセンサ４８が設けられている。前記センサ４８は、例えば光センサであり、前記保持テーブル４７上に載置された第１支持体Ｓ１の切欠き部３を検出するようになっている。なお、第１支持体Ｓ１を所定位置で位置決めできるものであれば、各種のセンサや物理的なピン等の手段を用いることができる。前記保持テーブル４７上に第１支持体Ｓ１が載置されると、前記固定手段４７ａで第１支持体Ｓ１が固定された後、前記保持テーブル４７が第１支持体Ｓ１と一体に回転する。そして、前記センサ４８で前記フレームＦ１の切欠き部３が検出されると、所定位置で前記保持テーブル４７が停止して、前記第１支持体Ｓ１が位置決めされるようになっている。

また、機台２上には、後述する貼り替え部ｃに貼り代え用となる第２フレームＦ２を供給するフレーム供給部ｄが設けられている。前記フレーム供給部ｄは、多段状にフレームＦを収納可能な供給カセット４９を有し、該供給カセット４９が適宜な昇降手段（図示しない）によって昇降しながら、１枚ずつフレームＦを供給するようになっている。また、前記供給カセット４９には、本実施形態において、第２フレームＦ２が多段収納される。

前記フレーム供給部ｄの近傍には第２フレームＦ２を吸着保持して、前記フレーム搬送部ｅへと搬送する適宜の搬送ハンド（図示しない）が設けられている。前記フレーム搬送部ｅは、前記貼り替え部ｃに沿って間隔を空けて立設された機枠５、５の間に設けられた搬送テーブル４０を備える。両機枠５、５の内側上方には、フレーム供給部ｄから貼り替え部ｃまで、それぞれレール５ａ、５ａが敷設されている。

前記搬送テーブル４０は、載置されるフレームＦを吸着等の固定手段（図示しない）で固定するようになっており、本発明の支持テーブルに相当する。また、前記搬送テーブル４０は、フレームＦの内径とほぼ同径の開口４０ａ（図３参照）が形成され、フレームＦは、前記開口４０ａを取り囲むように載置されるようになっている。

また、前記搬送テーブル４０は、両側にスライダ４１、４１が設けられ、前記レール５ａ、５ａに移動可能に嵌合している。前記搬送テーブル４０は、適宜の駆動源（図示しない）によって、レール５ａ、５ａに沿ってフレーム供給部ｄ側から貼り替え部ｃ上まで水平動自在になっている。従って、フレーム供給部ｄから取り出された第２フレームＦ２は、搬送テーブル４０上に載置され、貼り替え部ｃ上へと搬送されるようになっている。

次に位置決めされた第１支持体Ｓ１から基板Ｗを第２支持体Ｓ２に貼り替える貼り替え部ｃについて、図２から図７に基づいて以下に説明する。なお、基板Ｗ、フレームＦ、第１接着テープＴ１及び第２接着テープＴ２は、理解が容易なように全図の厚みにおいて誇張して描いてある。

図２は図１のＡ－Ａ方向矢視図であり、図３は貼り替え部ｃの平面図、図４は貼り替え部ｃの正面図、図５は図３のＢ－Ｂ方向矢視断面図、図６は図４の一部を切り欠いたＣ－Ｃ方向矢視図、図７は貼り替え部の右側面図である。

前記貼り替え部ｃには、貼り替えユニット４が昇降自在に立設されている。前記貼り替えユニット４は、第１支持体Ｓ１の基板Ｗを、第１接着テープＴ１を介して吸着保持する吸着テーブル１２と、前記吸着テーブル１２の外周で第１フレームＦ１を支持するフレーム台１３と、前記吸着テーブル１２の下方に設けられ、昇降及び回転自在のカッターユニット１４と、前記フレーム台１３上に載置された第１支持体Ｓ１の第１フレームＦ１を挟持するフレーム押さえ１５と、貼り替え用の第２接着テープＴ２を供給する接着テープ貼り付けユニット５０等を備えて構成されている。

前記貼り替え部ｃの機台２上には、支持板６が立設され、前記支持板６にレール６ａが敷設されている。前記貼り替えユニット４は、底部の支持枠７に全体が支持されている。前記支持枠７は、前記支持板６に沿って鉛直方向に設けられた支持台８が固定されている。また、支持枠７上に支持板１６が立設され、前記支持板１６上端に下板１０が水平に設けられている。そして、前記支持台８の裏面にはスライダ８ａが設けられ、前記スライダ８ａは、前記レール６ａと移動可能に嵌合している。従って、前記支持台８は、適宜の駆動源（図示しない）により昇降することで、前記貼り替えユニット４が一体に昇降自在になっている。また、前記貼り替えユニット４の中央付近には、前記下板１０と間隔を空けて上板９が水平に設けられ、前記上板９と下板１０は、複数の支柱１１（図４、図７参照）で支持されている。

前記吸着テーブル１２は、前記下板１０の中心に立設された支柱１７の上端に固定されている。前記吸着テーブル１２は、吸着部となる多孔質体１２ａと該多孔質体１２ａを保持する外枠１２ｂ等から形成される。前記多孔質体１２ａは、後述するエキスパンドの際に第１接着テープＴ１を介してチップ化された基板Ｗを保持し、チップがずれないようにする。なお、前記吸着テーブル１２は、チップ化された基板Ｗのチップずれが発生しないものであれば、多孔質体以外の例えば吸着穴方式のテーブルを用いることも可能であるが、確実にチップを保持する上で、多孔質体が好ましく使用できる。気孔径、気孔率についてもチップの大きさや形状に合わせて適宜のものが使用できる。また、前記吸着テーブル１２は、図示しない適宜のヒーターが内蔵され、エキスパンドの際に第１接着テープＴ１を加熱して、軟化させることも可能である。

前記フレーム台１３は、矩形状に形成され中央にフレームＦの内径とほぼ同径の円形の開口１３ａが形成されている。また、前記フレーム台１３は、前記吸着テーブル１２を取り囲むように設けられている。前記フレーム台１３は、前記下板１０に立設されたバネ等の弾性体１８の上端に固定され、前記弾性体１８は、前記フレーム台１３を上方に付勢するようになっている。従って、前記フレーム台１３を上方から押圧することで前記フレーム台１３が弾性体１８に抗して下降するようになっている。前記フレーム台１３の下降量は、予め設定されたチップＷａ間の拡張比率に応じて、決定されるようになっている。

前記カッターユニット１４は、第１接着テープＴ１を切断するカッター刃１９と、前記カッター刃１９を旋回させるモーター２１と、前記カッター刃１９を昇降させる昇降手段２５等を備える。

前記カッター刃１９はカッターホルダー２０に交換可能に保持されている。前記カッターホルダー２０は、スライダ２０ａとレール２０ｂによって、回転半径を変更し、適宜の位置で固定できるようになっている。また、前記カッターホルダー２０は、ドーナッツ形状の回転盤２２上に立設されている。また、前記回転盤２２の外周にはギア２２ａが設けられている。詳細は後述するが、前記カッター刃１９によって、第１接着テープＴ１が基板Ｗの外周で切断されるようになっている。

前記昇降手段２５は、昇降盤２６と、前記昇降盤２６を前記下板１０に対して昇降自在に支持するガイド２７と、前記昇降盤２６を昇降駆動するモーター２８と、前記モーター２８の駆動力を伝達するボールネジ２９等を備える。

前記昇降盤２６は、前記吸着テーブル１２の下方に設けられ、その中心に貫通穴が設けられている。また、前記昇降盤２６は、前記貫通穴に前記吸着テーブル１２の支柱１７が挿通され、該支柱１７に対して昇降自在になっている。また、前記昇降盤２６は、前記下板１０に貫通して設けられたガイド２７のガイド軸上端に接続され、前記ガイド軸の下端は、支持板３０に接続されている。

前記ボールネジ２９は、上端が下板１０に軸支され下端は、前記支持枠７に軸支されている。また、前記ボールネジ２９の下端は、前記支持枠７の下方で従動プーリ３１が設けられている。また、前記モーター２８は、前記支持枠７を介して駆動プーリ３２が設けられ、該駆動プーリ３２と従動プーリ３１との間に無端ベルト３３が張設されている。従って、前記モーター２８を駆動することで、前記ボールネジ２９が回転駆動されるようになっている。

前記支持板３０は、ナット部材３４が設けられ、該ナット部材３４は、前記ボールネジ２９に螺合している。従って、前記モーター２８が回転駆動されると、前記昇降盤２６が昇降動するようになっている。

前記昇降盤２６には、前記回転盤２２が軸受２６ａを介して軸支されている。前記回転盤２２は、その外周にギア２２ａが形成されている。また、前記昇降盤２６の下方には、モーター枠２６ｂが固定され、該モーター枠２６ｂを介して前記モーター２１が設けられている。前記モーター２１は、上方に向けてギア３５が接続され、該ギア３５は、前記回転盤２２の外周に設けられたギア２２ａと係合している。従って、前記カッターユニット１４は、前記モーター２１の回転駆動による旋回と、前記モーター２８の回転駆動による昇降動とが自在になっている。

前記フレーム押さえ１５は、前記フレーム台１３と前記搬送テーブル４０の間に水平に設けられている。前記フレーム押さえ１５は、矩形状に形成され、フレームＦの内径とほぼ同等の開口１５ａが形成されている。前記フレーム押さえ１５の四隅は、それぞれガイド軸３６ａの上端に支持されている。前記ガイド軸３６ａは、前記上板９に設けられたガイド３６を介して昇降自在に支持されており、前記ガイド軸３６ａの下端は、昇降板３７に接続されている。前記昇降板３７は、左右対称に２連設けられ、それぞれの下面にナット部材３７ａが固定されている。また、前記下板１０と前記上板９との間には、２本のボールネジ３８、３８が吸着テーブル１２を中心に左右対称に立設され、前記下板１０と前記上板９にそれぞれ軸支されている。そして、両ナット部材３７ａ、３７ａがそれぞれボールネジ３８、３８に螺合している。

前記ボールネジ３８の一方は、その下端に前記下板１０を介してモーター３９が接続されることにより、回転自在になっている。また、前記モーター３９には、駆動プーリ４２が設けられ、無端ベルト４３を介してその回転を従動プーリ４４に伝達するようになっている。また、前記従動プーリ４４には、もう一方の前記ボールネジ３８の下端が接続されており、前記両ボールネジ３８が同期して回転するようになっている。従って、前記モーター３９を回転駆動することで、前記昇降板３７が昇降し、ガイド軸３６ａを介して前記フレーム押さえ１５が水平状態で昇降動するようになっている。

前記フレーム押さえ１５は、下降の際、前記フレーム台１３上に載置された第１支持体Ｓ１の第１フレームＦ１を前記フレーム台１３との間で挟持しながら下降させるようになっている。前記フレーム台１３の下降の際、第１支持体Ｓ１の基板Ｗ部分は固定された吸着テーブル１２に第１接着テープＴ１を介して吸着保持されているので、前記第１フレームＦ１の押下げにより、前記第１接着テープＴ１が引っ張られてエキスパンドされる。

前記フレーム押さえ１５の下降量は制御可能になっており、前記第１支持体Ｓ１の第１接着テープＴ１の引き伸ばし量を制御することで、第１支持体Ｓ１上の基板Ｗのチップの拡張比率を任意に設定することができる。この拡張比率は、特に制限はないが、例えば０～３０％の範囲で好ましく設定できる。

次に、貼り替える第２接着テープＴ２を供給し、基板Ｗ及び第２フレームＦ２に貼り付ける接着テープ貼り付けユニット５０について以下に説明する。

前記接着テープ貼り付けユニット５０は、貼り替え部ｃ上に位置し、第２接着テープＴ２を供給する供給ロール５１と、前記第２接着テープＴ２に仮着されたセパレータ５２を分離して巻き取る回収ロール５３と、前記第２接着テープＴ２の不要部分を巻取る巻取りロール５４と、前記第２接着テープＴ２を第２フレームＦ２と基板Ｗに押圧して貼り付ける貼り付けローラ５５と、前記第２接着テープＴ２に所定の張力を付す張力ユニット５６と、前記第２接着テープＴ２を第２フレームＦ２形状に切断するカッターユニット５７等を備えて構成される。

前記供給ロール５１は、前記第２フレームＦ２を介して前記基板Ｗを保持する第２接着テープＴ２が巻き回されている。なお、第２接着テープＴ２は、前述の第１接着テープＴ１と同じものであっても構わない。前記第２接着テープＴ２は、一方面に粘着層が形成され、該粘着層の表面にセパレータ５２が仮着された構成となっている。前記セパレータ５２が形成されていないタイプの接着テープを用いることも可能である。

前記供給ロール５１から供給された第２接着テープＴ２は、複数のガイドローラ５８を経由し、ピンチローラ５９で前記セパレータ５２が剥離されて、粘着層を下面としながら供給される。前記第２接着テープＴ２は、その後、張力ユニット５６を経由し、ガイドローラ６０とピンチローラ６１を経由して巻取りロール５４に巻き取られるようになっている。前記セパレータ５２は、ピンチローラ５９で前記第２接着テープＴ２から分離された後、回収ロール５３に巻き取られるようになっている。

前記貼り付けローラ５５は、前記第２接着テープＴ２上に設けられ、前記機枠５に支持された支持枠４６に軸支されている。また、前記支持枠４６には、シリンダ６３が設けられ前記貼り付けローラ５５を上下動させるようになっている。前記貼り付けローラ５５は、図示しない駆動源により、前記第２接着テープＴ２上を水平動し、第２接着テープＴ２上を押圧転動して第２フレームＦ２と基板Ｗに前記第２接着テープＴ２を貼り付けるようになっている。また、前記接着テープ貼り付けユニット５０の上方には、前記第２接着テープＴ２が貼り付けられた第２フレームＦ２に沿って、該第２接着テープＴ２を円形にくり抜くカッターユニット５７が設けられている。

前記カッターユニット５７は、その全体を昇降させる昇降シリンダ６５と、貼り付けられた第２接着テープＴ２を切断するカッター刃６８と、該カッター刃６８で切断された第２接着テープＴ２を第２フレームＦ２に押し付ける押さえローラ６９等を備えて構成されている。

前記昇降シリンダ６５は、機枠５に立設固定されており、前記昇降シリンダ６５のシリンダ軸には、前記カッターユニット５７の全体を支持する支持枠６４が接続されている。前記支持枠６４は、その上面にモーター６６が設けられ、該モーター６６の軸にカッターホルダー６７が旋回可能に設けられている。前記カッターホルダー６７の一端は、円形のカッター刃６８が設けられ、他端に押さえローラ６９が軸支されている。

前記昇降シリンダ６５を作動させることで、前記カッターユニット５７は昇降し、前記カッター刃６８及び押さえローラ６９が、第２フレームＦ２に接着された第２接着テープＴ２に接するようになっている。この状態で、モーター６６を回転駆動することで、第２接着テープＴ２が円形に切断されると共にその切断縁の内側が押さえローラ６９によって第２フレームＦ２に押圧貼り付けされるようになっている。

前記張力ユニット５６は、複数のガイドローラ６２で構成され、第２接着テープＴ２を傾斜保持しながら、貼り付けローラ５６の前方を水平移動して貼り付け時に第２接着テープＴ２に適宜の張力を付与するようになっている。また、前記張力ユニット５６は、第２接着テープＴ２を貼り付けた後、後退する際にカッターユニット５７で切り抜かれた不要の第２接着テープＴ２を搬送テーブル４０から引き剥がすようになっている。

前記貼り替え部ｃは、以上のような構成になっている。次にフレーム回収部ｆ、接着テープ剥離部ｇ及び第２支持体収納部ｈについて、以下に説明する。

前記フレーム回収部ｆは、貼り替え部ｃで第１支持体Ｓ１の第１接着テープＴ１が切断されて不要となった第１フレームＦ１を回収し、収納カセット４５に収納するようになっている。前記収納カセット４５は、適宜の昇降機構（図示しない）で昇降し、第１フレームＦ１を多段収納するようになっている。また、前記第１フレームＦ１は、適宜の搬送機構（図示しない）でフレーム台１３上から取り出されて、前記収納カセット４５に収納されるようになっている。

図１及び図１９のように、前記接着テープ剥離部ｇは、前記機枠５、５を介して、前記フレーム供給部ｄの反対側に位置し、前記貼り替え部ｃで貼り替えが完了した第２支持体Ｓ２を受け取るようになっている。そして、前記接着テープ剥離部ｇは、前記第２支持体Ｓ２から、不要となった貼り替え前の第１接着テープＴ１を剥離するようになっている。

前記接着テープ剥離部ｇは、水平動自在の剥離テーブル７１と、該剥離テーブル７１上に設けられた剥離ユニット７２等を備えて構成されている。

前記剥離テーブル７１は、その上面で前記第２支持体Ｓ２を適宜の固定機構（図示しない）で保持するようになっている。また、前記剥離テーブル７１の剥離テープＲＴに沿った前後にマスクＭ、Ｍが設けられ、両マスクＭ、Ｍは、それぞれ剥離テーブル７１に立設された支持枠７１ａに軸支されている。また、前記マスクＭは、表面がフッ素加工等で被粘着処理されており、前記マスクＭの先端部は、基板Ｗの外周に沿う円弧状に形成されてその先端が基板Ｗに向けて傾斜している。

前記マスクＭは、前記第２支持体Ｓ２が載置固定されると、退避位置から回動して前記第２支持体Ｓ２の第２フレームＦ２を挟持すると共に先端で第２接着テープＴ２を押さえて覆うようになっている。従って、剥離テープＲＴを第１接着テープＴ１上に貼り付ける際に、前記剥離テープＲＴが第２接着テープＴ２と貼り付かないようになっている。

前記貼り替え部ｃで貼り替えが完了した前記第２支持体Ｓ２は、前記搬送テーブル４０上に保持されながら、前記接着テープ剥離部ｇの側近まで搬送される。搬送された前記第２支持体Ｓ２は、機枠５の開口部から適宜の吸着ハンド（図示しない）で取り出され、表裏反転して前記剥離テーブル７１上に載置固定されるようになっている。前記反転により、前記第１接着テープＴ１が貼り付いた基板Ｗが上面となる。

前記機台２上の機枠５と第２支持体Ｓ２収納部ｈの間には、レール７０が敷設されている。前記レール７０上に、前記剥離テーブル７１が設けられ、該剥離テーブル７１は、その下面に設けられたスライダ７３が、前記レール７０に移動自在に嵌合している。そして、前記剥離テーブル７１は、適宜の駆動源（図示しない）により、前記レール７０に沿って、水平動自在になっている。

また、前記レール７０の中央付近側方には、前記剥離ユニット７２が機台２上に適宜の駆動機構により、昇降自在に立設されている。前記剥離ユニット７２は、機台２上に立設された機枠７４と、該機枠７４に軸支された剥離テープＲＴの供給ロール７５と、前記剥離テープＲＴを第１接着テープＴ１に貼り付ける貼り付けローラ７７等を備えて構成されている。

前記剥離テープＲＴは、供給ロール７５から繰り出され、ガイドローラ７６で案内された後、貼り付けローラ７７を経由して回収ロール７８に巻き取られるようになっている。前記剥離ユニット７２の下方に、前記第２支持体Ｓ２が剥離テーブル７１で搬送されて来ると、前記剥離ユニット７２が下降する。そして、前記剥離テープＲＴが、前記貼り付けローラ７７で、前記第１接着テープＴ１の剥離始端部に押圧される。続いて、前記剥離テーブル７１が前進（図示左方向）することで、前記剥離テープＲＴが、前記第１接着テープＴ１に貼り付けされるようになっている。

前記第１接着テープＴ１に前記剥離テープＲＴが接着されると、図２０（ｂ）のように、剥離テープＲＴが供給されながら、前記剥離テーブル７１が後退（図示右方向）に移動することで、前記第１接着テープＴ１が前記剥離テープＲＴと一体となって剥離され、回収ロール７８に巻き取られるようになっている。なお、前記貼り付けローラ７７の前方には折り返しローラ８２が設けられており、前記剥離テープＲＴと一体となった第１接着テープＴ１を鋭角に折り返すようになっている。従って、基板Ｗに持ち上がりの力が働かないので、基板Ｗに負荷を掛けることなく第１接着テープＴ１を剥離できる。

前記不要な第１接着テープＴ１が剥離された貼り替え済みの第２支持体Ｓ２は、適宜の搬送機構（図示しない）によって、第２支持体収納部ｈに搬送される。前記第２支持体収納部ｈは、複数の第２支持体Ｓ２を多段収納する収納カセット７９が設けられ、該収納カセット７９は、適宜の昇降手段（図示しない）で昇降しながら、１枚ずつ前記第２支持体Ｓ２が収納されるようになっている。

以上が、本発明の第１の実施形態に係る接着テープ貼り替え装置１の構成であり、次に図１０から図１７に基づいて、前記接着テープ貼り替え装置１の動作について説明する。図１０から図１３は、チップＷａ同士の間隔が比較的大きい拡張比率（例えば５％以上）のときの貼り替え動作を表したものである。

図１０（ａ）のように、初期状態では、図示二点鎖線のように吸着テーブル１２とフレーム台１３が水平状態となるように位置している。この状態で、フレーム台１３上に位置決めされた第１支持体Ｓ１が載置固定されると共に基板Ｗを、第１接着テープＴ１を介して吸着保持する。このとき、必要に応じて吸着テーブル１２を加熱し、第１接着テープＴ１を軟化させるようにしても良い。続いて、図示実線のようにフレーム押さえ１５が下降して、第１フレームＦ１を前記フレーム台１３との間で挟持する。さらに、フレーム押さえ１５が所定量下降することで、所定の拡張比率で第１接着テープＴ１が引っ張られて、所定のチップ間隔となるようにエキスパンドされる。なお、吸着テーブル１２の上面外周部分は、エキスパンド時に第１接着テープＴ１を傷付けないように面取りしておくことが好ましい。

図１０（ｂ）のように、前記第１支持体Ｓ１がエキスパンドされた状態で、貼り替えユニット４全体が前記モーター２８（図７参照）の駆動により上昇する。そして、前記第１支持体Ｓ１のチップＷａの表面が、前記搬送テーブル４０上の第２フレームＦ２の第２接着テープＴ２の貼り付け面と一致する。また、接着テープ貼り付けユニット５０の貼り付けローラ５５及び張力ユニット５６が第２フレームＦ２の貼り付け始端側に臨む。

次に図１１（ｃ）のように、前記張力ユニット５６が複数のガイドローラ６２によって前記第２接着テープＴ２に所定の張力を付与しながら前進（図示右方向）しながら、貼り付けローラ５５が前記第２接着テープＴ２を押圧転動することで、該第２接着テープＴ２が第２フレームＦ２とチップＷａ上に貼り付けられる。

次に図１１（ｄ）のように、モーター２８を駆動することで、カッターユニット１４が上昇し、エキスパンドされた第１接着テープＴ１の傾斜部分にカッター刃１９が突き刺さる。その後、モーター２１を駆動することで、カッターユニット１４を旋回させ、第１接着テープＴ１を円形に切断する。続いて、カッターユニット１４が、下降して退避するようになっている。上記のように、エキスパンド時に第１接着テープＴ１の傾斜部分を切断するので、第１接着テープＴ１の外周は下方に垂れ下がり、貼り替え後の第２接着テープＴ２へ貼り付かない。

また、チップＷａを、第１接着テープＴ１を介して吸着テーブル１２の吸着することにより、エキスパンド状態を維持しながら、第１接着テープＴ１を切断する。これにより、第１接着テープＴ１に残存する応力が解放された状態で貼り替えが完了する。従って、第１接着テープＴ１の収縮による貼り替え後のチップＷａの倒れ込みが発生しない。

次に図１２（ｅ）のように、第２接着テープＴ２を切断するカッターユニット５７が昇降シリンダ６５の作用で下降する。続いて、モーター６６の駆動によりカッター刃６８が旋回して、第２接着テープＴ２が第２フレームＦ２の形状に沿って円形に切断されると共に押さえローラ６９が切断縁を押圧することで、第２接着テープＴ２が第２フレームＦ２及びチップＷａに貼り付けられる。次にカッターユニット５７が上昇して、上方に退避することで、チップＷａが第２接着テープＴ２に貼り替えられる。

次に図１２（ｆ）のように、貼り付けローラ５５及び張力ユニット５６が初期位置に退避する。このとき張力ユニット５６のガイドローラ６２が第２接着テープＴ２の下面を通過することで、不要となった第２接着テープＴ２を吸着テーブル１２や搬送テーブル４０から引き剥がすようになっている。その後、前記貼り替えユニット４全体が下降し、第１接着テープＴ１から第２接着テープＴ２への基板Ｗの貼り替えが完了する。次に、貼り替えが完了した前記第２支持体Ｓ２は、搬送テーブル４０に保持された状態で、前記接着テープ剥離部ｇの側方まで搬送される。

前記接着テープ剥離部ｇの側方まで搬送された第２支持体Ｓ２は、前記チップＷａの貼り付け面が下側の状態となっており、このチップＷａの下面には不要となった第１接着テープＴ１が残存している。従って、この後、前記搬送テーブル４０上の第２支持体Ｓ２は、機枠５の開口部から適宜の搬送機構（図示しない）によって取り出され、該搬送機構の回転によって、第１接着テープＴ１側が上面となるように反転された後、剥離テーブル７１上に載置される。

図１９のように、図示二点鎖線位置で、剥離テーブル７１上に第１接着テープＴ１が貼り付いた第２支持体Ｓ２が載置され、固定される。続いて、図示実線位置まで前記剥離テーブル７１が前進（図示左方向）することにより、剥離テープＲＴが第２支持体Ｓ２表面の第１接着テープＴ１上に貼り付けられる。

前記剥離テープＲＴが貼り付けられた第２支持体Ｓ２は、剥離テーブル７１が後退（図示右方向）しながら、剥離テープＲＴを巻き取ることで、該剥離テープＲＴと一体に第１接着テープＴ１が剥離される。なお、剥離の際、図２０（ｂ）のように剥離始端側の剥離テープＲＴ及び第１接着テープＴ１が、折り返しローラ８２の下側で鋭角方向（図示左方向）に折り返されることにより、第２支持体Ｓ２に上方向の力が作用しないので、該第２支持体Ｓ２が持ち上がることがない。また、チップＷａにも負荷がかからないので、チップＷａの脱落や、チッピング等のチップＷａの破損が起こらない。

不要な第１接着テープＴ１が剥離された貼り替え完了済みの第２支持体Ｓ２は、前記剥離テーブル７１が前進することで、前記第２支持体収納部ｈの手前まで搬送され、その後、図示しない適宜の搬送機構で前記第２支持体収納部ｈの収納カセット７９に収納される。

以上が、拡張比率が５％以上あるときに好ましく使用できる実施形態である。次に拡張比率が０～５％未満のときに好ましく使用できる実施形態について、まず、図１並びに図８及び図９に基づいて説明する。なお、拡張比率が０％のことを非エキスパンド状態とする。

本実施形態において、先の第１実施形態と同様の部分は説明を一部省略する。図１において、第１支持体供給部ａから取り出された第１支持体Ｓ１が、位置決め・ノッチ形成部ｂの保持テーブル４７に載置固定されるところまでは、第１の実施形態と同様である。

図８は、前記位置決め・ノッチ形成部ｂの平面図であり、図９は、図８のＤ－Ｄ方向矢視断面図である。前記位置決め・ノッチ形成部ｂは、前述の保持テーブル４７と、該保持テーブル４７に形成された開口４７ｂと対向する下方に設けられたバックアップ８１と、前記保持テーブル４７の上方に設けられたノッチ形成ユニット８０等（位置決め機構については前述のとおりであり、説明を省略する。）から構成されている。

前記バックアップ８１は、第１支持体Ｓ１の基板Ｗの外周部分に位置する第１接着テープＴ１の下方に位置している。また、前記バックアップ８１は、機台２上に立設されたシリンダ８３のシリンダ軸に接続されており、該シリンダ軸の伸長により、前記バックアップ８１が上昇して、前記開口４７ｂを介して第１接着テープＴ１の裏面と接するようになっている。前記バックアップ８１は、後述するノッチカッター８４で第１接着テープＴ１にノッチＮを形成する際に、第１接着テープＴ１を裏面から支持するようになっている。なお、バックアップ８１は、基板Ｗの外径に合わせて、位置変更可能としたり、複数設けて選択的に使用したりするようにしても良い。

前記ノッチ形成ユニット８０は、前記ノッチカッター８４と、該ノッチカッター８４を昇降させる昇降シリンダ８５と、前記ノッチカッター８４を水平動させるモーター８６等を備えて構成されている。

前記ノッチ形成ユニット８０は、前記保持テーブル４７の側方で機台２上に立設された支柱８７ａと、前記保持テーブル４７の上方に向けて前記支柱８７ａ上に懸架された支持板８７ｂと、前記第１支持体Ｓ１中心から外周方向に沿って前記支持板８７ｂ上に懸架された支持枠８７ｃとで支持されている。

前記支持枠８７ｃに沿ってボールネジ８８が軸支され、該ボールネジ８８の一端にはモーター８６が前記支持枠８７ｃを介して接続されている。また、前記ボールネジ８８には、ナット部材８９が螺合し、該ナット部材８９にノッチカッター８４を支持する支持枠９０が固定されている。また、前記支持枠９０に前記昇降シリンダ８５が立設されている。従って、前記モーター８６を駆動することで、前記ノッチカッター８４が、基板ＷとフレームＦ２との間の第１接着テープＴ１上を移動するようになっている。また、前記昇降シリンダ８５を作動させることで、前記バックアップ８１と対向する位置で前記ノッチカッター８４が昇降するようになっている。

前記ノッチカッター８４は刃先がＶ字状に形成されており、前記昇降動作で、第１接着テープＴ１の剥離始端部にＶ字状のノッチＮを形成するようになっている。前記ノッチＮは、本実施形態ではＶ字状の切込みであるが、先端が鋭角状であれば、形状は限定されない。図１７のように前記ノッチＮの形成は、ノッチＮを形成するごとに、前記保持テーブル４７を所定量回転させて、剥離始端部に円周方向に沿って複数の連続したノッチＮを形成するようになっている。このノッチＮの形成数やノッチＮの大きさは、剥離する第１接着テープＴ１の粘着力や、テープの剛性によって適宜選択できる。

前記ノッチＮが形成された第１支持体Ｓ１は、貼り替え部ｃの吸着テーブル１２及びフレーム台１３に載置固定される。次に貼り替え部ｃに搬送された第１支持体Ｓ１の第２接着テープＴ２への貼り替え動作について図１３から図１５に基づいて説明する。

図１３（ａ）のように、前記フレーム台１３に第１支持体Ｓ１の第１フレームＦ１が固定されると共に前記吸着テーブル１２によって基板Ｗ（チップＷａ）が吸着保持される。そして、カッター刃１９が上昇して第１支持体Ｓ１の第１接着テープＴ１が、図１８のように基板Ｗの外周部分で円形に切断される。このとき、前記ノッチＮ形成部の切断始端部と切断終端部とが接続されるように切断する。

次に図１３（ｂ）のように、フレーム押さえ１５がモーター３９の駆動により下降し、第１フレームＦ１を挟持すると共にフレーム台１３を吸着テーブル１２の吸着面より押下げて第１接着テープＴ１の切断縁を分離する。

次に図１４（ｃ）のように、貼り替えユニット４を全体で上昇させて、前記基板Ｗの表面を第２接着テープＴ２の貼り付け面と一致させるようにする。

次に図１４（ｄ）のように、貼り付けローラ５５で第２接着テープＴ２が押圧されて、第２フレームＦ２及び基板Ｗに第２接着テープＴ２が一体に貼り付けられる。なお、貼り付け方法は、第１の実施形態と同様である。

次に図１５（ｅ）のように、カッターユニット５７が下降して、旋回することで第２接着テープＴ２が第２フレームＦ２に沿って円形に切断されると共に押さえローラ６９で第２接着テープＴ２の切断縁が第２フレームＦ２に押圧貼り付けされる。その後、カッターユニット５７が上昇して退去する。続いて、第１の実施形態のときと同様に前記第２支持体Ｓ２が搬送テーブル４０によって搬送され、前記接着テープ剥離部ｇの剥離テーブル７１上に載置固定される。

前記剥離テーブル７１上に第２支持体Ｓ２が載置固定されると、前述の第１の実施形態と同様に剥離ユニット７２が作用して、第２支持体Ｓ２上の不要となった第１接着テープＴ１に剥離テープＲＴが貼り付けられる。なお、前記第１接着テープＴ１の剥離始端部は、基板Ｗより少しはみ出した状態であるので、そのはみ出し部分が、第２接着テープＴ２と接して貼り付く場合がある。そこで、前記接着テープ剥離部ｇには、第１の実施形態に加えて、剥離きっかけ押圧部９１が設けられている。該剥離きっかけ押圧部９１について、図１９から図２２に基づいて以下に説明する。

前記剥離きっかけ押圧部９１は、前記ノッチ形成ユニット８０で形成されたＶ字形状のノッチＮの部分に剥離テープＲＴを押圧して接着するようになっている。前記剥離きっかけ押圧部９１は、前記機枠７４に支持された支持枠９５に形成され、前記剥離テープＲＴを押圧する押圧ローラ９２と、前記押圧ローラ９２を昇降させる昇降シリンダ９３と、基板Ｗの剥離始端側の円弧に沿って設けられた円弧状レール９４と、前記円弧状レール９４に沿って前記押圧ローラ９２を走行させる駆動させるシリンダ９６等を備えて構成される。

前記昇降シリンダ９３は、前記支持枠９５上に立設され、前記昇降シリンダ９３のシリンダ軸下端に昇降枠９７が昇降自在に設けられている。前記昇降枠９７には、基板Ｗの剥離始端の円弧に沿うように円弧状レール９４が懸架されている。

前記押圧ローラ９２は、その上部に設けられた揺動枠９８に軸支されている。該揺動枠９８は、その上部に複数のガイドローラ９９が設けられ、前記ガイドローラ９９が、前記円弧状レール９４を挟持することで該円弧状レール９４に沿って前記揺動枠９８が前記押圧ローラ９２と一体に円弧状に移動するようになっている。

図２１のように前記円弧状レール９４の奥側にシリンダ９６が設けられ、該シリンダ９６の上端が前記昇降枠９７に固定された支持板９７ａに揺動可能に軸支されている。前記シリンダ９６のシリンダ軸の先端は、前記揺動枠９８の一端に軸支されており、前記シリンダ軸の伸縮により、前記揺動枠９８は、前記円弧状レール９４に沿って、円弧運動するようになっている。前記揺動枠９８の円弧運動に伴って、図２２のように前記押圧ローラ９２が、第２支持体Ｓ２の第１接着テープＴ１におけるノッチＮ上に剥離テープＲＴを押圧して、貼り付けするようになっている。これにより、第１接着テープＴ１の剥離始端となるノッチＮの部分に剥離テープＲＴを密着させることができ、前記第１接着テープＴ１の剥離きっかけが形成される。

次に、第２の実施形態における第１接着テープＴ１の剥離動作について以下に説明する。なお、剥離テープＲＴを第２支持体Ｓ２上の第１接着テープＴ１に貼り付ける動作までは、第１の実施形態と同様であるので説明を省略する。

図２０（ａ）のように、前記第１接着テープＴ１に剥離テープＲＴが貼り付けられると、剥離テーブル７１が停止し、前記昇降枠９７が下降する。そして、図２１及び図２２のように押圧ローラ９２が円弧状に移動することで前記第１接着テープＴ１のノッチＮ部分に剥離テープＲＴを円弧状に押圧し、前記ノッチＮ部分全体に剥離テープＲＴが密着される。このノッチＮ部分への剥離テープＲＴの密着動作は、前記押圧ローラ９２を円弧状に往復駆動するか一方向駆動することで行なうことができる。

上記のようにノッチＮ部分に剥離テープＲＴが密着されると、第１の実施形態と同様、図２０（ｂ）のように剥離テーブル７１が後退しながら、剥離テープＲＴが巻き取られ、折り返しローラ８２で剥離テープＲＴと第１接着テープＴ１が鋭角に折り返されながら、前記第１接着テープＴ１が剥離される。このとき、前記ノッチＮ部分と剥離テープＲＴが密着しているので、ノッチＮ部分のＶ字状の切込みの鋭角部分をきっかけとして第１接着テープＴ１が剥離されることになる。従って、第１接着テープＴ１が基板Ｗの外周にはみ出して、第２接着テープＴ２と貼り付いていても、両者の貼り付き面積が少ない部分を剥離きっかけとして剥離するので、第１接着テープＴ１が円滑に剥離され、基板Ｗが持ち上がってチッピングしたり、破損したりすることがない。

以降は、第１の実施形態と同様に、貼り替え後の第２支持体Ｓ２が第２支持体収納部ｈに収納される。以上が、第２の実施形態における貼り替え動作であるが、第１の実施形態及び第２の実施形態は、上記拡張比率に限定されず、適宜その実施形態に合わせて、使い分けすることができる。また、動作機構は、本実施形態に限定されず、発明の範囲内で公知な手段を採用できる。

Ｎ ノッチ
ＲＴ 剥離テープ
Ｔ１ 第１接着テープ
Ｔ２ 第２接着テープ
Ｆ フレーム
Ｆ１ 第１フレーム
Ｆ２ 第２フレーム
Ｍ マスク
Ｗ 基板（ウエハ）
Ｗａ チップ
Ｓ１ 第１支持体
Ｓ２ 第２支持体
ａ 第１支持体供給部
ｂ 位置決め・ノッチ形成部
ｃ 貼り替え部
ｄ フレーム供給部
ｅ フレーム搬送部
ｆ フレーム回収部
ｇ 接着テープ剥離部
ｈ 第２支持体収納部
１ 接着テープ貼り替え装置
２ 機台
３ 切欠き部
４ 貼り替えユニット
５ 機枠
５ａ レール
６ 支持板
７ 支持枠
８ 支持台
９ 上板
１０ 下板
１１ 支柱
１２ 吸着テーブル
１３ フレーム台
１３ａ 開口
１４ カッターユニット
１５ フレーム押さえ
１５ａ 開口
１６ 支持板
１７ 支柱
１８ 弾性体
１９ カッター刃
２０ カッターホルダー
２０ａ スライダ
２０ｂ レール
２１ モーター
２２ 回転盤
２２ａ ギア
２５ 昇降手段
２６ 昇降盤
２６ａ 軸受
２６ｂ モーター枠
２７ ガイド
２８ モーター
２９ ボールネジ
３０ 支持板
３１ 従動プーリ
３２ 駆動プーリ
３３ 無端ベルト
３４ ナット部材
３５ ギア
３６ ガイド
３６ａ ガイド軸
３７ 昇降板
３７ａ ナット部材
３８ ボールネジ
３９ モーター
４０ 搬送テーブル（支持テーブル）
４０ａ 開口
４１ スライダ
４２ 駆動プーリ
４３ 無端ベルト
４４ 従動プーリ
４５ 収納カセット
４６ 支持枠
４７ 保持テーブル
４７ａ 固定手段
４７ｂ 開口
４８ センサ
４９ 供給カセット
５０ 接着テープ貼り付けユニット
５１ 供給ロール
５２ セパレータ
５３ 回収ロール
５４ 巻取りロール
５５ 貼り付けローラ
５６ 張力ユニット
５６ａ ガイドローラ
５７ カッターユニット
５８ ガイドローラ
５９ ピンチローラ
６０ ガイドローラ
６１ ピンチローラ
６２ ガイドローラ
６３ シリンダ
６４ 支持枠
６５ 昇降シリンダ
６６ モーター
６７ カッターホルダー
６８ カッター刃
６９ 押さえローラ
７０ レール
７１ 剥離テーブル
７１ａ 支持枠
７２ 剥離ユニット
７３ スライダ
７４ 機枠
７５ 供給ロール
７６ 回収ロール
７７ 貼り付けローラ
７８ 回収ロール
７９ 収納カセット
８０ ノッチ形成ユニット
８１ バックアップ
８２ 折り返しローラ
８３ シリンダ
８４ ノッチカッター
８５ 昇降シリンダ
８６ モーター
８７ａ 支柱
８７ｂ 支持板
８７ｃ 支持枠
８８ ボールネジ
８９ ナット部材
９０ 支持枠
９１ 剥離きっかけ押圧部
９２ 押圧ローラ
９３ 昇降シリンダ
９４ 円弧状レール
９５ 支持枠
９６ シリンダ
９７ 昇降枠
９８ 揺動枠
９９ ガイドローラ

Claims (7)

1. 第１接着テープに第１支持フレームを介して貼り付けられた基板を第２接着テープに貼り替える基板の接着テープ貼り替え装置において、
   第１接着テープを介して前記基板を吸着保持する吸着テーブルと、
   前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、前記第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
   前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
   前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
   前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
   前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
   前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、エキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを前記切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置。
2. 第１接着テープを介して基板を吸着保持する吸着テーブルと、
   前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
   前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
   前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
   前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
   前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
   前記第１接着テープをエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記基板の表面高さと前記第２フレームの表面高さとが一致した状態で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置。
3. 第１接着テープを介して基板を吸着保持する吸着テーブルと、
   前記吸着テーブルの外周を取り囲むように開口が形成され、第１支持フレームを載置すると共に前記吸着テーブルに対して相対的に昇降動するフレーム台と、
   前記基板の外周で前記第１接着テープを切断する切断手段と、
   前記フレーム台の上方に設けられ、前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持して、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させることで第１接着テープを引き伸ばして拡張比率０％ないし３０％のエキスパンド状態とする挟持手段と、
   前記挟持手段の上方に設けられ、第２フレームが載置されると共に該第２フレームの内側に開口が形成された支持テーブルと、
   前記第２フレーム及び前記基板に第２接着テープを貼り付ける接着テープ貼り付け手段と、を備え、
   前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープが非エキスパンド状態、またはエキスパンド状態の拡張比率５％未満であって挟持手段の下降距離が短く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する、もしくは、接する恐れがあるときは、
   前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを前記切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、
   前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープのエキスパンド状態の拡張比率５％以上であって挟持手段の下降距離が長く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する恐れがないときは、
   前記第１接着テープを前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記第２フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え装置。
4. 非エキスパンド状態とした後、第１接着テープに剥離テープを貼り付けて前記第１接着テープを剥離テープと一体に剥離させる剥離手段をさらに設けたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の接着テープ貼り替え装置。
5. 前記第１接着テープを前記切断手段で前記基板の外側で切断する前に、第１接着テープの剥離始端側にＶ字形状の剥離きっかけを形成するよう剥離きっかけ形成手段を設けたことを特徴とする請求項４記載の接着テープ貼り替え装置。
6. 前記第１接着テープに剥離テープを貼り付け、前記第１接着テープを前記剥離テープと一体に剥離する際に、前記剥離きっかけ上に前記剥離テープを押圧する剥離きっかけ押圧手段をさらに設けたことを特徴とする請求項５記載の接着テープ貼り替え装置。
7. 第１接着テープに第１支持フレームを介して貼り付けられた基板を第２接着テープに貼り替える基板の接着テープ貼り替え方法において、
   吸着テーブルに前記第１接着テープを介して前記基板を吸着保持し、
   前記吸着テーブルの外周に設けたフレーム台に前記第１支持フレームを載置し、
   前記フレーム台の上方に位置する支持テーブル上に第２支持フレームを載置し、
   予め設定された拡張比率に応じて前記フレーム台に載置された第１フレームを挟持手段で挟持して、非エキスパンド状態、または、前記フレーム台を前記吸着テーブルに対して相対的に下降させて、第１接着テープをエキスパンド状態とし、
   第１接着テープが非エキスパンド状態、またはエキスパンド状態の拡張比率５％未満であって挟持手段の下降距離が短く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する、もしくは、接する恐れがあるときは、
   前記第１接着テープを非エキスパンド状態、または、前記拡張比率に応じたエキスパンド状態で、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、第１接着テープを切断手段により、前記基板の外側で切断して、フレーム台を下降させて第１接着テープの切断縁を分離した後、前記貼り付け手段で前記第２支持フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けし、
   前記第２接着テープの貼り付けの際の前記第１接着テープのエキスパンド状態の拡張比率が高く５％以上であって挟持手段の下降距離が長く前記第１接着テープと前記第２接着テープとが接する恐れがないときは、
   第１接着テープを前記拡張比率に応じたエキスパンド状態にし、前記吸着テーブルに第１接着テープを介して基板を吸着保持した状態で、前記貼り付け手段により、前記第２支持フレーム及び基板上に第２接着テープを貼り付けした後、第１接着テープのエキスパンドによって吸着テーブルから挟持手段に向かって下方に傾斜した傾斜部を前記切断手段で前記基板の外側を切断し、第１接着テープでの拡張比率を維持したまま前記基板を第２接着テープに貼り替えるようにしたことを特徴とする接着テープ貼り替え方法。
   

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