JP2010021245A - シート製造装置及び製造方法並びにシート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】剥離シートから切り込みの外側に位置する不要シートを安定して剥離することができるようにすること。
【解決手段】シート貼付装置１０は、帯状の第１の剥離シートＲＬ１の一方の面に接着シートＳが仮着された原反Ｒを支持する支持手段１１と、原反Ｒに繰出力を付与する駆動手段１２と、原反Ｒを繰り出す過程で接着シートＳに閉ループ状の切り込みＣを形成し、切り込みＣの内側に貼付用シートＳ１を形成する切込手段１４と、切り込みＣの外側に位置する不要シートＳ２を剥離シートから剥離するピールプレート１６と、貼付用シートＳ１をウエハＷに押圧して貼付する貼付手段１８とを備えて構成されている。ピールプレート１６で剥離される前の不要シートＳ２は、冷却手段１７により冷却される。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート製造装置及び製造方法並びにシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、原反の繰り出し過程で、剥離シートから不要シートを剥離するシート製造装置及び製造方法並びにシート貼付装置及び貼付方法に関する。

半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という）は、その表面側に保護シートや、裏面側にダイボンディングシート等の接着シートを貼付することが行われている。この接着シートを作製する場合、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を用い、ウエハ外形に対応する閉ループ状の切り込みにより接着シートに貼付用シートを形成した後、当該切り込みの外側の不要シートを剥離シートから剥離することが行われている（特許文献１参照）。

特開２００６−３５２０５４号公報

しかしながら、特許文献１にあっては、接着シートを感熱接着性とすると、常温熱でも接着シートが接着力を増してしまう場合がある。このような場合、図５の二点鎖線で示されるように、剥離シートＲＬからの剥離位置において、不要シートＳ２が軟化して延びてしまう状態となることがある。かかる状態が続くと、延びた不要シートＳ２が装置の意図しない部位に接着して当該不要シートＳ２が切れてしまい、当該不要シートＳ２を連続して剥離することができなくなる、という不都合を招来する。

［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、不要シートを安定的に連続して剥離することができるシート製造装置及び製造方法並びにシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反に繰出力を付与する駆動手段と、前記原反を繰り出す過程で接着シートに閉ループ状の切り込みを形成する切込手段と、前記切り込みの外側に位置する不要シートを剥離シートから剥離する剥離手段とを備えたシート製造装置において、
前記剥離手段で不要シートが剥離される前に前記接着シートを冷却する冷却手段を設ける、という構成を採っている。

また、本発明は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反に繰出力を付与する駆動手段と、前記原反を繰り出す過程で接着シートに閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に貼付用シートを形成する切込手段と、前記切り込みの外側に位置する不要シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記貼付用シートを所定の被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
前記剥離手段で不要シートが剥離される前に前記接着シートを冷却する冷却手段を設ける、という構成を採っている。

本発明において、前記冷却手段は、冷気を送風する送風手段を有する、という構成を採ってもよい。

また、前記冷却手段は、原反が掛け回される冷却ローラを含む、という構成も好ましくは採用される。

更に、前記剥離手段は、ピールプレートを含み、このピールプレートが前記接着シートを冷却可能に設けられることで前記冷却手段を構成することが好ましい。

また、本発明のシート製造方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す過程で、接着シートに閉ループ状の切り込みを形成する工程と、
前記接着シートを冷却する工程と、
前記原反から不要シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。

また、本発明のシート貼付方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す過程で、接着シートに閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に貼付用シートを形成する工程と、
前記接着シートを冷却する工程と、
前記原反から不要シートを剥離する工程と、
前記貼付用シートを所定の被着体に押圧して貼付する工程とを行う、という方法を採っている。

本発明によれば、剥離前の接着シートを冷却するので、感熱接着性の接着シートを用いても、剥離前の不要シートの接着力が増してしまうようなことを防止して、剥離シートから簡単に剥離することができるようになり、従来のように不要シートが延びたり切れてしまったりして剥離ができなくなるといった不都合を防止することができ、不要シートの剥離を安定して継続させることが可能となる。

また、冷気を送風して冷却を行う場合、原反を広範囲に簡単に冷却することができる。

更に、ローラやピールプレートで接着シートを冷却可能な構成とした場合、既存の装置の構成部品を交換するだけでよく、大掛かりな装置構成を採用することなく容易に冷却を行うことができる。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。

図１には、実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、前記シート貼付装置を下から見た要部斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、帯状の接着シートＳの両面に第１の剥離シートＲＬ１と第２の剥離シートＲＬ２が仮着された原反Ｒを支持する支持手段１１と、前記原反Ｒに繰出力を付与する駆動手段１２と、原反Ｒを繰り出す過程で、第２の剥離シートＲＬ２側から閉ループ状の切り込みＣを形成して当該切り込みＣで囲まれる接着シートＳ部分を貼付用シートＳ１として形成する切込手段１４と、前記切り込みＣの外側に位置する接着シートＳ部分を不要シートＳ２とし、当該不要シートＳ２を第２の剥離シートＲＬ２と共に第１の剥離シートＲＬ１から剥離する剥離手段としてのピールプレート１６と、このピールプレート１６周りに設けられた冷却手段１７と、前記貼付用シートＳ１を被着体としてのウエハＷに押圧して貼付する貼付手段１８とを備えて構成されている。ここで、本実施形態では、接着シートＳは、ウエハＷの裏面に接着されてダイシング後のチップをリードフレームにボンディングする際に利用される感熱接着性の接着シートにより構成されている。

前記支持手段１１は、図示しないフレームに対して回転可能に支持された支持軸１９により構成され、当該支持軸１９にロール状に巻回された原反Ｒが支持されている。

前記駆動手段１２は、支持手段１１及びピールプレート１６の繰り出し方向下流側にそれぞれ設けられている。各駆動手段１２は、それぞれモータＭ１を介して回転可能に設けられた駆動ローラ２１と、この駆動ローラ２１との間に、原反Ｒを挟み込むピンチローラ２２とをそれぞれ備えている。図１中下方の駆動手段１２には、モータＭ２によって所定のトルクで不要シートＳ２及び第２の剥離シートＲＬ２を巻き取る巻取軸２４が併設されている。

前記切込手段１４は、第２の剥離シートＲＬ２側に配置されたダイカットローラ２６と、第１の剥離シートＲＬ１側に配置され、図示しない機構によりダイカットローラ２６と同期回転するアンビルローラ２７と、ダイカットローラ２６を回転させるモータＭ３とからなる。ダイカットローラ２６は、ローラ本体２６Ａと、当該ローラ本体２６Ａの外周面に設けられた切断刃２６Ｂとからなる。この切断刃２６Ｂは、平面に展開したときに、ウエハＷ形状と略同形となるように形成されており、従って、切込手段１４を通過した後の原反Ｒには、略円形の切り込みＣ（図２参照）が形成されることとなる。なお、ローラ本体２６Ａには、図１に示されるように、切断刃不存在領域２６Ｃが形成されて原反Ｒの素通しが行えるようになっており、当該切断刃不存在領域２６Ｃがアンビルローラ２７側に位置したときに、原反Ｒの繰出速度を変化させて貼付用シートＳ１の形成間隔を任意に設定することができる。また、切断刃２６Ｂは、ウエハＷに形成されたＶノッチやオリエンテーションフラットに対応した形状とすることもできる。

前記冷却手段１７は、ピールプレート１６を囲う遮蔽体３０と、この遮蔽体３０の内部に冷気を送風する送風手段３１とを備えている。これにより、ピールプレート１６で剥離される前の接着シートＳを冷却し、その接着力を低下させて不要シートＳ２を第１の剥離シートＲＬ１から簡単に剥離できるようになっている。なお、遮蔽体３０は必ずしも必要ではない。また、冷却手段１７は、ピールプレート１６上で原反Ｒに掛け回される冷却ローラ３３も備えている。この冷却ローラ３３は、図３に示されるように、回転中心軸３３Ａ内部を冷媒が循環可能に構成され、原反Ｒが冷却ローラ３３を経由する際に冷却されるようになっている。なお、図２に示されるように、ピールプレート１６内に冷媒を循環させることのできる通路３５を形成してもよく、これによっても、ピールプレート１６を通過中の原反Ｒが冷却可能となる。ここで、前記冷媒は、特に限定されるものでなく、冷水や、フロン、液体窒素等が例示できる。

前記貼付手段１８は、ウエハＷを保持するテーブル３７と、このテーブル３７を上下動可能に支持する直動モータ３８と、フレームＦに支持されるとともに、モータＭ４によって回転し、テーブル３７上を転動可能なプレスローラ４０と、このプレスローラ４０との間に第１の剥離シートＲＬ１を挟み込むピンチローラ４１と、プレスローラ４０と同期回転可能に構成され第１の剥離シートＲＬ１を巻き取る巻取ローラ４２とを備えている。テーブル３７には、図示しないヒータが内蔵されている。フレームＦは、図示しないスライダを介して図１中左右方向に移動可能となっており、この移動により、プレスローラ４０が転動して接着シートＳをウエハＷに押圧するようになっている。

次に、本実施形態における貼付用シートの貼付方法について説明する。

先ず、原反Ｒを所定長さ引き出して、図１に示されるように通紙し、第２の剥離シートＲＬ２及び接着シートＳを巻取軸２４に固定し、第１の剥離シートＲＬ１は、巻取ローラ４２に固定する。また、送風手段３１から遮蔽体３０に冷気を導入して当該遮蔽体３０内を常気温より低く設定するとともに、回転中心軸３３Ａ及び通路３５に冷媒を循環させて冷却ローラ３３及びピールプレート１６を冷却し、これにより初期設定を完了する。

この状態で、テーブル３７上にウエハＷが載置されると、駆動ローラ２１の回転及びフレームＦの図１中右方向への移動を介して原反Ｒが引き出され、これと同時に、モータＭ３を介してダイカットローラ２６が回転し、切断刃２６Ｂによって第２の剥離シートＲＬ２側から第１の剥離シートＲＬ１に達する深さの切り込みＣが形成される。この切り込みＣにより接着シートＳは、切り込みＣの内側の貼付用シートＳ１と、切り込みＣの外側の不要シートＳ２とに区分される。

前記切り込みＣが形成された後、原反Ｒが遮蔽体３０内に案内され、ピールプレート１６で第２の剥離シートＲＬ２及び不要シートＳ２が折り返されて第１の剥離シートＲＬ１から剥離される。この剥離前において、送風手段３１から送風される冷気や、冷却ローラ３３及びピールプレート１６に原反Ｒが接触することで、接着シートＳが冷却されて不要シートＳ２は簡単に剥離シートＲＬ１から剥離される。その後、第２の剥離シートＲＬ２及びこれに貼付された状態の不要シートＳ２は、巻取軸２４に巻き取られて回収される。

第２の剥離シートＲＬ２及び不要シートＳ２が剥離された後、貼付用シートＳ１が残された第１の剥離シートＲＬ１は、ウエハＷ上に繰り出され、所定位置に達したことを図示しないセンサが検出したときに、繰り出しが停止される。そして、直動モータ３８を介してテーブル３７が上昇し、ウエハＷが貼付用シートＳ１に当接して過熱される。その後、フレームＦを図１に示される状態から左方向に移動させることで、プレスローラ４０が転動して貼付用シートＳ１をウエハＷに押圧しつつ、貼付用シートＳ１から第１の剥離シートＲＬ１を剥離して、接着シートＳ１とウエハＷとを接着される。また、プレスローラ１２の転動と共に、巻取ローラ４３が第１の剥離シートＲＬ１の巻き取りを行う。貼付用シートＳ１の貼付後、テーブル３７を下降し、駆動ローラ２１の回転及びフレームＦの図１中右方向への移動を介して切り込みＣが形成されながら原反Ｒが引き出され、新たな貼付用シートＳ１が繰り出される。
以後、同様の動作により、貼付用シートＳ１の貼付を行うことができる。

従って、このような実施形態によれば、不要シートＳ２がピールプレート１６で剥離される前に接着シートＳを冷却して接着力を低下させることができる。これにより、不要シートＳ２が第１の剥離シートＲＬ１から剥離され易くなり、ピールプレート１６先端側で不要シートＳ２が延びたり、切断したりすることを回避でき、当該不要シートＳ２の連続した剥離を安定して行うことができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、本発明は、図４に示されるようなシート製造装置５０に適用してもよい。同装置５０では、ピールプレート１６を経て貼付用シートＳ１が残された第１の剥離シートＲＬ１を、駆動ローラ５１及びピンチローラ５２を通過させた後、モータＭ５によって駆動する巻取ローラ５３で巻き取りを行っている。これにより、貼付用シートＳ１が仮着された第１の剥離シートＲＬ１がロール状に巻回された製品として作製することができる。

また、前記冷却手段１７は、不要シートＳ２を冷却可能な限りの構成において種々の設計変更が可能であり、例えば、送風手段３１、冷却ローラ３３、冷却可能なピールプレート１６のうち、少なくとも一つの構成があればよい。

更に、冷却ローラ３３やピールプレート１６の冷却方法は、冷媒の循環以外にペルチェ素子による冷却であってもよい。

また、貼付用シートＳ１の平面形状は円形に限定されるものではなく、被着体の平面形状に応じて種々の形状が採用可能であり、これに応じたダイカットローラ２６を用いればよい。更に、切込手段１４のダイカットローラ２６に替え、平面内に切断刃が形成されたプレス型を用いてもよい。

更に、前記実施形態では第２の剥離シートＲＬ２を用いた原反Ｒを例示したが、第２の剥離シートＲＬ２はなくてもよい。この場合、初期設定時に接着シートＳのみを巻取軸２４に固定すればよい。

実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。 図１を下から見た要部概略斜視図。 冷却ローラの断面図。 変形例に係るシート製造装置の概略正面図。 従来構造の不都合の説明図。

符号の説明

１０ シート貼付装置
１１ 支持手段
１２ 駆動手段
１４ 切込手段
１６ ピールプレート（剥離手段）
１７ 冷却手段
１８ 貼付手段
３１ 送風手段
３３ 冷却ローラ
５０ シート製造装置
Ｃ 切り込み
ＲＬ１ 第１の剥離シート
ＲＬ２ 第２の剥離シート
Ｓ 接着シート
Ｓ１ 貼付用シート
Ｓ２ 不要シート
Ｒ 原反
Ｗ 半導体ウエハ（被着体）

Claims (10)

1. 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反に繰出力を付与する駆動手段と、前記原反を繰り出す過程で接着シートに閉ループ状の切り込みを形成する切込手段と、前記切り込みの外側に位置する不要シートを剥離シートから剥離する剥離手段とを備えたシート製造装置において、
   前記剥離手段で不要シートが剥離される前に前記接着シートを冷却する冷却手段を設けたことを特徴とするシート製造装置。
2. 前記冷却手段は、冷気を送風する送風手段を有することを特徴とする請求項１記載のシート製造装置。
3. 前記冷却手段は、原反が掛け回される冷却ローラを含むことを特徴とする請求項１又は２記載のシート製造装置。
4. 前記剥離手段は、ピールプレートを含み、このピールプレートが前記接着シートを冷却可能に設けられることで前記冷却手段を構成することを特徴とする請求項１，２又は３記載のシート製造装置。
5. 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す過程で、接着シートに閉ループ状の切り込みを形成する工程と、
   前記接着シートを冷却する工程と、
   前記原反から不要シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート製造方法。
6. 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を支持する支持手段と、前記原反に繰出力を付与する駆動手段と、前記原反を繰り出す過程で接着シートに閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に貼付用シートを形成する切込手段と、前記切り込みの外側に位置する不要シートを剥離シートから剥離する剥離手段と、前記貼付用シートを所定の被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備えたシート貼付装置において、
   前記剥離手段で不要シートが剥離される前に前記接着シートを冷却する冷却手段を設けたことを特徴とするシート貼付装置。
7. 前記冷却手段は、冷気を送風する送風手段を有することを特徴とする請求項６記載のシート貼付装置。
8. 前記冷却手段は、原反が掛け回される冷却ローラを含むことを特徴とする請求項６又は７記載のシート貼付装置。
9. 前記剥離手段は、ピールプレートを含み、このピールプレートが前記接着シートを冷却可能に設けられることで前記冷却手段を構成することを特徴とする請求項６，７又は８記載のシート貼付装置。
10. 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す過程で、接着シートに閉ループ状の切り込みを形成し、当該切り込みの内側に貼付用シートを形成する工程と、
    前記接着シートを冷却する工程と、
    前記原反から不要シートを剥離する工程と、
    前記貼付用シートを所定の被着体に押圧して貼付する工程とを行うことを特徴とするシート貼付方法。

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