JP5421746B2 - シート剥離装置及び剥離方法 - Google Patents
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Description
本発明の目的は、接着シートの剥離不良が発生することを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に切り込みを形成するとともに、当該切り込みの両端を基材シートの外縁にそれぞれ達するように形成することで、前記接着シートを複数の分割シートとして形成可能な切断手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープとを相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、
前記切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する繋ぎテープ貼付手段を更に備え、
前記貼付手段は、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付可能に設けられる、という構成を採っている。
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成して接着シートを複数の分割シートとして形成する工程と、
前記切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する工程と、
繰り出された剥離用テープを、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで何れか1の分割シートに続いて繋ぎテープを介して他の分割シートを剥離する工程とを行う、という方法を採っている。
なお、本明細書において、特に明示しない限り、「上」、「下」、「左」、「右」は、
図1を基準として用いる。
図1〜図4において、シート剥離装置10は、被着体としてのウエハWを保持する保持手段11と、帯状の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段12と、ウエハWの回路面となる一方の面(上面)に貼付された接着シートSに剥離用テープPTを貼付する貼付手段14と、接着シートSに貼付された剥離用テープPTと保持手段11に保持されたウエハWとを相対移動させる移動手段15と、ウエハWに貼付された接着シートSに切り込みを形成可能な切断手段16と、接着シートSに繋ぎテープLTを貼付する繋ぎテープ貼付手段17と、浮上防止手段18とを備えて構成されている。なお、剥離用テープPTは、本実施形態では、感熱接着性の接着テープが採用している。また、接着シートSは、基材シートBと、この基材シートBの一方の面すなわち下面に設けられた接着剤層ADとを備え、この接着剤層ADを介してウエハW上面に貼付されている。
具体的には、接着シートSを切断している最中に、センサ53により距離D1を常時検出させ、この距離D1の検出結果と、距離D2及び距離D4とにより、図示しない制御手段で下記の式(1)から距離Dが求められる。
D=D1+D2−D4・・・(1)
また、制御手段では、多関節ロボット46によるカッター刃43の切断方向の移動速度と、距離D3とにより、センサ53が通過してからカッター刃43の刃先最下部が通過する時間を求める。そして、センサ53が通過してから、求めた時間が経過したタイミングで距離Dが所定距離となるように直動モータ54を作動制御してカッター刃43を変位させる。なお、所定距離は、予めオペレータによって図示しない制御手段に入力されている。これにより、切り込みCの全領域において、距離Dが所定距離に維持される。切り込みCは、カッター刃43の刃先がウエハW上面に接触しないように、基材シートBを分断しない深さであってもよいし、基材シートBを分断する深さであってもよいし、接着剤層ADに達する深さであってもよい。
図7において、第1実施形態では、参考実施形態と同様に切り込みCを形成した後、切り込みCの図7(A)中左端側が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させる。次いで、吸着ヘッド75を直動モータ76によって下方へ移動させると、繋ぎテープLTが切り込みCを跨いで各分割シートS1、S2に貼付される。次に、第1分割シートS1に貼付された剥離用テープPTとウエハWとを反対方向に相対移動させ、当該第1分割シートS1を繋ぎテープLTと切り込みCとの交差点Pまで剥離する(図7(B)参照)。その後、交差点Pを回転中心として、駆動手段40により保持手段11を回転移動させ、ウエハWを360°回転して繋ぎテープLT周りの各分割シートS1を剥離させる(図7(C)及び(D)参照)。次に、図7(E)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、繋ぎテープLTを介して各分割シートS1、S2が一連に連なって剥離されるので、各分割シートS1、S2の回収を1回だけとすることができる他、剥離用テープPTの貼付も1回にすることができ、工程の簡略化及び迅速化を図ることができる。
図8において、第2実施形態では、参考実施形態と同様に切り込みCを形成し、第1分割シートS1を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープPTとウエハWとの相対移動を停止させる。その後、切り込みCの図8(B)中左端側が吸着ヘッド75の直下で停止するように、駆動手段40により保持手段11を移動させ、直動モータ76の作動により、切り込みCを跨いで各分割シートS1、S2に繋ぎテープLTを貼付する。次に、図8(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。本実施形態においても、繋ぎテープLTを介して各分割シートS1、S2が一連に連なって剥離することができる他、保持手段11を回転移動させる工程を省略することができる。
図9において、第3実施形態では、切り込みCを形成させた後、同図中下方の切り込みCの左端側及び上方の切り込みCの右端側において、各繋ぎテープLTが切り込みCを跨ぐように貼付させ、繋ぎテープLTを介して3枚の分割シートS1が繋がった状態とさせる。次に、第1分割シートS1の右側領域に剥離用テープPTを貼付させる。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、3枚の分割シートS1〜S3が繋ぎテープLTで一連に連なった状態で剥離することができる。
図10において、第4実施形態では上記同様に切り込みCを形成し、第2分割シートS2を剥離し、当該剥離が完了する前に、剥離用テープPTとウエハWとの相対移動を停止させる。その後、2本の切り込みCを跨いで、すなわち、剥離中の第2分割シートS2と、それ以外の2枚の分割シートS1、S3に亘って繋ぎテープLTを貼付する(図10(B)参照)。次に、図10(C)に示されるように、剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させ、3枚全ての分割シートS1〜S3を剥離する。なお、図中二点鎖線で示されるように、第2分割シートS2を剥離するときに、第1、第3分割シートS1、S3両方を押え付けることが可能な押さえ部材68Aを採用するとよい。
図11において、第5実施形態では、切り込みCを形成させた後、同図中上下に延びる切り込みCの両端側と、同図中左右に延びる切り込みCの左側において、繋ぎテープLTを切り込みCを跨ぐように貼付し、各繋ぎテープLTを介して4枚の分割シートS1〜S4が繋がった状態とする。次に、第1分割シートS1の右側領域に剥離用テープPTを貼付する。次いで、同図中矢印方向に剥離用テープPTとウエハWとが反対方向に相対移動するように、駆動手段40等を介してチャック41及び保持手段11を移動させる。これにより、4枚の分割シートS1〜S4が繋ぎテープLTで一連に連なった状態で剥離することができる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
更に、剥離用テープPTは、感圧接着性の接着テープを採用してもよい。
また、剥離用テープPTを切断するテープ切断手段34は必須要件ではない。
更に、前記浮上防止手段18を噴出エアによって構成し、切り込みCを介して隣接する他の分割シートをウエハW側に押圧するようにしてもよい。
12 繰出手段
14 貼付手段
15 移動手段
16 切断手段
17 繋ぎテープ貼付手段
18 浮上防止手段
40 駆動手段(位置決め手段、回転手段)
AD 接着剤層
B 基材シート
C 切り込み
CN 角部
LT 繋ぎテープ
PT 剥離用テープ
S 接着シート
S1〜S4 第1〜第4分割シート(分割シート)
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (2)
- 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に切り込みを形成するとともに、当該切り込みの両端を基材シートの外縁にそれぞれ達するように形成することで、前記接着シートを複数の分割シートとして形成可能な切断手段と、前記剥離用テープを繰り出す繰出手段と、接着シートに剥離用テープを貼付する貼付手段と、被着体と剥離用テープとを相対移動させることで接着シートを剥離可能な移動手段とを備え、
前記切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する繋ぎテープ貼付手段を更に備え、
前記貼付手段は、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに剥離用テープを貼付可能に設けられていることを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体の一方の面に貼付された接着シートを剥離用テープを介して当該被着体から剥離するシート剥離方法において、
前記接着シートは、基材シートと、この基材シートの一方の面に設けられた接着剤層とを備え、
前記基材シート又は基材シート及び接着剤層に両端が基材シートの外縁にそれぞれ達する切り込みを形成して接着シートを複数の分割シートとして形成する工程と、
前記切り込みを跨いで各分割シートを繋ぐための繋ぎテープを貼付する工程と、
繰り出された剥離用テープを、複数の分割シートのうち、何れか1の分割シートに貼付する工程と、
被着体と剥離用テープと相対移動させることで何れか1の分割シートに続いて繋ぎテープを介して他の分割シートを剥離する工程とを行うことを特徴とするシート剥離方法。
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