JP6251053B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents
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Description
特許文献1に記載のシート貼付装置は、一方の面にカバーシート(剥離シート)が仮着された両面接着テープ(両面接着シート)からカバーシートを剥離する剥離手段と、両面接着テープに接着シートを貼付する貼付手段とを備え、リングフレームに貼付された両面接着テープからカバーシートを剥離し、当該両面接着テープに接着シートを貼付するように構成されている。
なお、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、手前、奥方向が紙面に直交する方向とする。
先ず、第1原反RS1、剥離用テープPT、および第2原反RS2を図1に示すようにセットし、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して運転開始の信号を入力すると、両面接着シート貼付手段20および貼付手段50が回動モータ25A、55Aおよびそれぞれの図示しない駆動機器を駆動し、第1および第2原反RS1、RS2を繰り出す。そして、先頭の両面接着シートASおよび基材シートBSがそれぞれ剥離板23、53で所定長さ剥離されたことが光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段に検知されると、両面接着シート貼付手段20および貼付手段50が回動モータ25A、55Aおよびそれぞれの図示しない駆動機器の駆動を停止し、スタンバイ状態となる。
両面接着シート貼付手段20および貼付手段50は、押圧ローラ24、54にかえてブレード材、ゴム、樹脂、スポンジ等による押圧部材を採用することができ、エア噴き付けにより押圧する構成も採用することができる。
また、貼付手段50は、基材シートBSにかえて他のシートを両面接着シートASに貼付してもよく、例えば、接着剤が積層された接着シートであってもよい。
さらに、両面接着シート貼付手段20および貼付手段50は、第1剥離シートRL1が仮着された両面接着シートASおよび基材シートBSを適宜な保持手段で一旦保持してウエハWFおよび両面接着シートASに押圧して貼付する構成のものでもよい。
さらに、平滑化手段40は、加熱手段43に代えて、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線照射手段、赤外線照射装置、マイクロ波照射装置等を採用することができ、両面接着シートASの性質や構成等によって適宜変更することができる。
さらに、他のシートは、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の接着シートや、当該任意の接着シートにおいて接着剤層を省いた任意の基材シート、フィルム等であってもよいし、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等であってもよい。
また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 両面接着シート貼付手段
30 剥離手段
40 平滑化手段
50 貼付手段
AS 両面接着シート
AS1 第1被着面(一方の面)
AS2 第2被着面(他方の面)
BS 基材シート(他のシート)
RL1 第1剥離シート(剥離シート)
WF ウエハ(被着体)
Claims (3)
- 一方の面に剥離シートが仮着され、他方の面が被着体に貼付された両面接着シートから当該剥離シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離シートが剥離された両面接着シートの一方の面を平滑化する平滑化手段と、
平滑化された両面接着シートの一方の面に他のシートを貼付する貼付手段とを備え、
前記平滑化手段は、前記被着体または前記他のシートを介さずに前記両面接着シートの一方の面を直接加熱する加熱手段、前記両面接着シートの一方の面を研削する研削手段、前記両面接着シートの一方の面の凹凸を接着剤で埋めて平滑にする再積層手段、前記両面接着シートの一方の面を押圧する押圧手段、または、前記両面接着シートの一方の面に振動を印加する振動付与手段であることを特徴とするシート貼付装置。 - 一方の面に前記剥離シートが仮着された前記両面接着シートを他方の面側から前記被着体に貼付する両面接着シート貼付手段を備えていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 一方の面に剥離シートが仮着され、他方の面が被着体に貼付された両面接着シートから当該剥離シートを剥離する工程と、
前記剥離シートが剥離された両面接着シートの一方の面を平滑化する平滑化工程と、
平滑化された両面接着シートの一方の面に他のシートを貼付する工程とを備え、
前記平滑化工程は、前記被着体または前記他のシートを介さずに前記両面接着シートの一方の面を直接加熱する加熱工程、前記両面接着シートの一方の面を研削する研削工程、前記両面接着シートの一方の面の凹凸を接着剤で埋めて平滑にする再積層工程、前記両面接着シートの一方の面を押圧する押圧工程、または、前記両面接着シートの一方の面に振動を印加する振動付与工程を実施することを特徴とするシート貼付方法。
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