JP6211393B2 - シート貼付装置 - Google Patents
シート貼付装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6211393B2 JP6211393B2 JP2013230653A JP2013230653A JP6211393B2 JP 6211393 B2 JP6211393 B2 JP 6211393B2 JP 2013230653 A JP2013230653 A JP 2013230653A JP 2013230653 A JP2013230653 A JP 2013230653A JP 6211393 B2 JP6211393 B2 JP 6211393B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- adhesive sheet
- sheet
- peeling
- adhesive
- pressing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Description
また、剥離手段で接着シートを押圧手段に押しつける構成とした場合、簡単な構成で接着シートの平滑性を向上させることができる。
更に、軟化手段を設けた場合、接着剤層及び/又は基材シートの流動性が増し、接着シートが平滑になりやすくなる。
接着シートAS全体が貼付されたウエハWFを支持したテーブル71が押圧ローラ40の左方所定位置に到達したことが光学センサやカメラ等の図示しない検知手段が検知すると、支持手段70がリニアモータ72の駆動を停止し、図示しない搬送手段がウエハWFを支持して他の装置や収納ケース等に当該ウエハWFを搬送する。その後、支持手段70がリニアモータ72を駆動し、テーブル71を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。
平滑手段は、図3中二点鎖線で示す平滑手段90としてもよい。平滑手段90は、平滑プレート91と、平滑プレート91を支持するとともに、剥離板32に対して平滑プレート91を離間接近可能に支持する位置制御及びトルク制御のうちの少なくとも一方が可能な駆動機器としての直動モータ92とを備え、オペレータが入力した値によって剥離板32と平滑プレート91との離間距離を一定に保ったり、接着シートASに対して剥離板32を繰り返しバウンドさせたりして接着シートASの平滑性を向上させることができる。なお、平滑プレート91は、接着シートASの平面形状よりも大きくてもよいし、接着シートASの平面形状よりも小さく構成し、接着シートASが剥離板32上を移動していく時に、平滑プレート91で接着シートAS上を返しバウンドさせて接着シートASの平滑性を向上させてもよい。なお、平滑手段90は、平滑プレート91に代えてローラを採用してもよい。
平滑手段50は、超音波振動装置、バイブレータ、偏心モータ等の振動手段によって接着シートASを平滑にするように構成してもよい。この場合、剥離ローラ33、平滑ローラ81及び平滑プレート91等が振動することで、基材シートBSや接着剤AD層の流動性を向上させて接着シートASを平滑にしやすくなる。
平滑手段50、80及び90の個数や大きさは限定されない。
平滑手段50は、オペレータが入力したトルク値で直動モータ53を駆動し、剥離ローラ33と押圧ローラ40とで接着シートASを押し付けるように構成してもよく、その他の平滑手段80及び90についても同様の構成とすることができる。
オペレータが入力する押圧ローラ40と剥離ローラ33との離間距離や、直動モータ53の出力トルクは、接着シートASの構成、種類、性質等に応じて経験値や理論値で適宜決定することができ、その他の平滑手段80及び90についても同様の構成とすることができる。
オペレータが入力する軟化手段60の設定温度(設定値)は、接着シートASの構成、種類、性質等に応じて経験値や理論値で適宜決定することができる。
ウエハWFを他の装置で搬送する場合、本発明において支持手段70は不要であり、その他軟化手段60等、本願発明の独立請求項に構成要件として記載されていない構成要素については、それぞれ必要に応じて採用すればよく、なくてもよい。
20:繰出手段
30:剥離手段
40:押圧ローラ(押圧手段)
50、80、90:平滑手段
60:軟化手段
AD:接着剤
AS:接着シート
BS:基材シート
RL:剥離シート
RS:原反
Claims (2)
- 帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを被着体に押圧する前段で、当該接着シートの平滑性を向上させる平滑手段とを備え、
前記平滑手段は、前記剥離手段と前記押圧手段とを相対接近させ、前記剥離手段で接着シートを前記押圧手段に押しつけることで当該接着シートの平滑性を向上させることを特徴とするシート貼付装置。 - 帯状の剥離シートの一方の面に少なくとも基材シートと接着剤層とからなる接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰出手段で繰り出される前記原反から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記剥離手段で剥離された前記接着シートを被着体に押圧して貼付する押圧手段と、
前記接着シートを被着体に押圧する前段で、当該接着シートの平滑性を向上させる平滑手段と、
前記平滑手段で接着シートの平滑性を向上させる際、または、平滑性を向上させる前段で、前記基材シートと接着剤層との少なくとも一方を軟化させる軟化手段とを有することを特徴とするシート貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013230653A JP6211393B2 (ja) | 2013-11-06 | 2013-11-06 | シート貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013230653A JP6211393B2 (ja) | 2013-11-06 | 2013-11-06 | シート貼付装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015090938A JP2015090938A (ja) | 2015-05-11 |
JP6211393B2 true JP6211393B2 (ja) | 2017-10-11 |
Family
ID=53194322
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013230653A Active JP6211393B2 (ja) | 2013-11-06 | 2013-11-06 | シート貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6211393B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6535550B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-06-26 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
JP6562778B2 (ja) * | 2015-08-31 | 2019-08-21 | リンテック株式会社 | シート剥離装置および剥離方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3174917B2 (ja) * | 1991-05-17 | 2001-06-11 | リンテック株式会社 | 粘着テープの貼着装置 |
JP2005159044A (ja) * | 2003-11-26 | 2005-06-16 | Takatori Corp | リングフレームへの粘着テープ貼り付け方法とその装置及びリングフレームへの基板マウント装置 |
JP2008166459A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Tateyama Machine Kk | 保護テープ貼付方法と装置 |
JP4963613B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2012-06-27 | リンテック株式会社 | シート貼付装置、シート貼付方法 |
JP4988453B2 (ja) * | 2007-06-28 | 2012-08-01 | リンテック株式会社 | シート貼付装置及び貼付方法 |
JP5216472B2 (ja) * | 2008-08-12 | 2013-06-19 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ貼付け方法およびその装置 |
-
2013
- 2013-11-06 JP JP2013230653A patent/JP6211393B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015090938A (ja) | 2015-05-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6219196B2 (ja) | シート貼付方法および貼付装置 | |
JP6096005B2 (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6336312B2 (ja) | 積層装置および積層方法 | |
JP6211393B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP2018129383A (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP2014165379A (ja) | シート剥離装置および剥離方法 | |
JP6216606B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6209070B2 (ja) | シート供給装置及び供給方法 | |
JP6312472B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6134625B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
TW202036775A (zh) | 片貼附方法 | |
JP6226660B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6483542B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6155180B2 (ja) | シート供給装置及び供給方法、並びに、シート貼付装置 | |
JP7213046B2 (ja) | 不要シート除去装置および不要シート除去方法 | |
JP5981230B2 (ja) | シート剥離装置及び剥離方法 | |
JP7009105B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6315751B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP6251053B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6535550B2 (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6297880B2 (ja) | シート貼付装置 | |
JP6420172B2 (ja) | シート供給装置および供給方法 | |
JP2024006765A (ja) | シート貼付装置およびシート貼付方法 | |
JP6236265B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 | |
JP6297869B2 (ja) | シート貼付装置および貼付方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160620 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170314 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170316 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170512 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170912 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170913 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6211393 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |