JP2014165379A

JP2014165379A - シート剥離装置および剥離方法

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Publication number: JP2014165379A
Application number: JP2013036026A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Sugishita; 芳昭杉下
Original assignee: Lintec Corp
Current assignee: Lintec Corp
Priority date: 2013-02-26
Filing date: 2013-02-26
Publication date: 2014-09-08
Anticipated expiration: 2033-02-26
Also published as: JP6236206B2

Abstract

【課題】装置の大型化を抑制し、剥離シートの折り曲げ角度を変更できるシート剥離装置を提供する。
【解決手段】シート剥離装置１０は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、前記繰り出しによって所定の剥離方向ＤＡに搬送される接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段４とを備え、剥離手段４は、剥離シートＲＬを折り曲げる複数の剥離媒体４１Ａ、４１Ｂと、当該複数の剥離媒体４１Ａ、４１Ｂのうちの少なくとも１を剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段４８Ａ、４８Ｂとを有する。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート剥離装置および剥離方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウェハ（以下、単に「ウェハ」という場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、厚みの異なる鋭利領域および非鋭利領域を先端に有する剥離板（剥離媒体）を備えている。

特開２０１１−２０６９０号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来のシート貼付装置では、剥離板が原反の繰出方向を横切る方向に移動するため、剥離板が原反の側端縁から大きくはみ出すことを許容するスペースを確保する必要があり、装置が大型化してしまうという不都合がある。

本発明の目的は、装置の大型化を抑制し、剥離シートの折り曲げ角度を変更できるシート剥離装置および剥離方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート剥離装置は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段とを備え、前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる複数の剥離媒体と、当該複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記剥離方向に沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段とを有する、という構成を採用している。

この際、本発明のシート剥離装置では、前記複数の剥離媒体は、前記剥離シートを折り曲げる折り曲げ角度がそれぞれ異なる角度に設定されている、ことが好ましい。
また、本発明のシート剥離装置では、前記複数の剥離媒体は、相互に接触しあうことで補強材として機能する、ことが好ましい。

一方、本発明のシート剥離方法は、帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートを前記剥離シートから剥離する工程と、前記剥離シートを折り曲げる複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記接着シートの剥離方向に沿う方向に移動させる工程とを備える、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、複数の剥離媒体を接着シートの剥離方向に沿う方向に移動させることで、剥離シートの折り曲げ角度を変更することができるので、剥離媒体が原反の側端縁からはみ出すことを許容するスペースを確保する必要がなく、装置の大型化を抑制し、剥離シートの折り曲げ角度を変更できるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することができる。

この際、複数の剥離媒体における剥離シートの折り曲げ角度をそれぞれ異なる角度に設定すれば、原反に応じた適切な折り曲げ角度を選択することができる。
さらに、複数の剥離媒体が相互に接触しあうことで補強材として機能すれば、それぞれの剥離媒体の厚みを薄くした場合でも、それらが剥離シートの張力で撓むことを防止でき、接着シートの剥離不良を防止できる。

本発明の一実施形態に係るシート貼付装置の側面図。（Ａ）、（Ｂ）は、折り曲げ角度を変更するときの動作説明図。（Ａ）〜（Ｃ）は、接着シートが剥離されなかったときの動作説明図。（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の変形例に係るシート貼付装置の動作説明図。

以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート貼付装置１は、帯状の剥離シートＲＬの一方の面に接着面ＡＤを備えた接着シートＡＳが仮着された原反ＲＳから接着シートＡＳを剥離するシート剥離装置１０と、接着シートＡＳを被着体としてのウェハＷＦに押圧して貼付する押圧手段としての押圧ローラ６と、ウェハＷＦを支持して当該ウェハＷＦと押圧ローラ６とを相対移動させる支持手段７とを備えている。

シート剥離装置１０は、原反ＲＳを繰り出す繰出手段２と、原反ＲＳの剥離角度を調整する剥離角度調整手段３と、繰り出しによって所定の剥離方向ＤＡに搬送される接着シートＡＳを剥離シートＲＬから剥離する剥離手段４と、剥離シートＲＬから接着シートＡＳが剥離されたことを検知可能な光学センサや撮像装置等で構成された検知手段５とを備えている。
繰出手段２は、原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内するガイドローラ２２と、駆動機器としての回動モータ２３によって駆動する駆動ローラ２４との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２５と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する回収ローラ２６とを備え、その全体がフレーム２７に支持されている。

剥離角度調整手段３は、駆動機器としての直動モータ３１と、直動モータ３１の出力軸３１Ａに支持されたブラケット３２に回転可能に支持された剥離角度調整ローラ３３とを備えている。

剥離手段４は、剥離シートＲＬを折り曲げる複数の剥離媒体としての第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂと、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂのうちの少なくとも１を接着シートの剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段である駆動機器としての直動モータ４８Ａ、４８Ｂとを備え、直動モータ４８Ａ、４８Ｂの出力軸４９Ａ、４９Ｂにそれぞれ第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂが支持されている。
第１剥離板４１Ａは、第１剥離縁４２Ａで交差する第１面４３Ａと第２面４４Ａとを備え、第２剥離板４１Ｂは、第２剥離縁４２Ｂで交差する第３面４３Ｂと第４面４４Ｂとを備え、第２面４４Ａと第４面４４Ｂとが接触しあうことで相互に補強し合う補強材として機能する。

支持手段７は、図示しない減圧ポンプや真空エジェクタ等の吸引手段によってウェハＷＦを吸着保持可能な支持面７１を有するテーブル７２と、テーブル７２をスライダ７３で支持する駆動機器としてのリニアモータ７４とを備えている。

以上のシート貼付装置１において、ウェハＷＦに接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、オペレータが図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第１剥離板４１Ａを選択すると、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図１に示すように、第１剥離縁４２Ａが剥離位置ＰＰに位置するように第１剥離板４１Ａを移動するとともに、図１中実線で示す退避位置に第２剥離板４１Ｂを移動する。その後、オペレータが原反ＲＳを図１に示すようにセットし、図示しない操作パネル等を介して運転開始信号が入力されると、剥離角度調整手段３が直動モータ３１を駆動し、第１面４３Ａに剥離シートＲＬが接触するように、剥離角度調整ローラ３３を下降させる。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎとなる。次いで、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して原反ＲＳを繰り出し、接着シートＡＳの剥離先端部が第１剥離縁４２Ａによって所定長さ剥離され、当該剥離先端部が検知手段５に検知されると、回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止してスタンバイ状態となる。

ここで、例えば、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離しにくいものの場合、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度がなるべく小さくなるように、上述のようにして第１剥離板４１Ａを選択することができる。
また、例えば、剥離シートＲＬが切断されやすい材質のものであったり、脆い材質のものであったりした場合には、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度がなるべく大きくなるように、図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとの両方を選択することができる。この場合、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図２（Ａ）に示すように、第１、第２剥離縁４２Ａ、４２Ｂが剥離位置ＰＰに位置するように第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂを移動する。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎよりも大きな角度θｍａｘとなる。
さらに、例えば、上述の中間的なもの、つまり、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離しにくい傾向があり、剥離シートＲＬが切断されやすい傾向があるような場合には、オペレータは、剥離シートＲＬの折り曲げ角度が上述の中間となるように、図示しない操作パネル等を介して使用する剥離媒体として第２剥離板４１Ｂを選択することができる。この場合、剥離手段４が直動モータ４８Ａ、４８Ｂを駆動し、図２（Ｂ）に示すように、第２剥離縁４２Ｂが剥離位置ＰＰに位置するように第２剥離板４１Ｂを移動するとともに、同図中実線で示す退避位置に第１剥離板４１Ａを移動する。次いで、剥離角度調整手段３が直動モータ３１を駆動し、第４面４４Ｂに剥離シートＲＬが接触するように、剥離角度調整ローラ３３を下降させる。これにより、剥離シートＲＬの折り曲げ角度は、角度θｍｉｎよりも大きく、かつ、角度θｍａｘよりも小さい角度θｍｉｄとなる。

なお、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して原反ＲＳを所定長さ（接着シートＡＳの１ピッチ分）または、所定時間（接着シートＡＳを１枚繰り出すのに要する時間）繰り出したにも関わらず、検知手段５が接着シートＡＳを検知しなかった場合、当該接着シートＡＳは、図３（Ａ）に示すように、剥離シートＲＬとともに折り曲げられ、第１剥離板４１Ａによって接着シートＡＳが剥離されなかったと判断できるので、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器の駆動を停止した後、剥離手段４が先端部剥離動作を行う。すなわち、図３（Ａ）の状態から剥離手段４が直動モータ４８Ｂを駆動し、第２剥離板４１Ｂを剥離方向ＤＡに沿って移動させ、図３（Ｂ）に示すように、剥離位置ＰＰ（第１剥離縁４２Ａ）よりも先方の前方位置ＰＱに第２剥離縁４２Ｂを位置させ、接着シートＡＳおよび剥離シートＲＬの折り曲げられた部分を一旦伸ばす（接着シートＡＳを一旦まっすぐにする）。このとき、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動し、剥離シートＲＬを回収する方向の反対方向に搬送してもよいし、回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動することなく剥離シートＲＬを引き伸ばしてもよい。次いで、剥離手段４が直動モータ４８Ｂを駆動し、図３（Ｃ）に示すように、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻すことで、剥離シートＲＬが再度第１剥離縁４２Ａで折り曲げられ、当該折り曲げの機会が増えることで、接着シートＡＳの剥離先端部が剥離シートＲＬから剥離されやすくなり、接着シートＡＳの剥離先端部が検知手段５に検知されると、スタンバイ状態となる。

そして、図示しない搬送手段がテーブル７２の支持面７１上にウェハＷＦを載置すると、支持手段７が図示しない吸引手段を駆動し、ウェハＷＦを吸着保持して、リニアモータ７４を駆動してテーブル７２を左方向に搬送する。そして、このテーブル７２の搬送に合わせ、繰出手段２が回動モータ２３および図示しない駆動機器を駆動して、テーブル７２の搬送に同期させて原反ＲＳを繰り出し、第１剥離板４１Ａで剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離し、押圧ローラ６が接着シートＡＳをウェハＷＦに押圧して貼付する。その後、接着シートＡＳが貼付されたウェハＷＦは、図示しない搬送手段等によって次工程へ搬送され、テーブル７２が図１に示す位置に復帰し、以降上述と同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂを接着シートＡＳの剥離方向ＤＡに沿う方向に移動させることで、剥離シートＲＬの折り曲げ角度を変更することができるので、第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂが原反ＲＳの側端縁からはみ出すことを許容するスペースを確保する必要がなく、装置の大型化を抑制し、剥離シートＲＬの折り曲げ角度を変更できるシート剥離装置１０を提供することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、図４（Ａ）に示すように、複数の剥離媒体として第１、第２線状部材４１Ｃ、４１Ｄを採用してもよいし、同図（Ｂ）に示すように、複数の剥離媒体として第１、第２ブロック状部材４１Ｅ、４１Ｆを採用してもよい。なお、第１、第２線状部材４１Ｃ、４１Ｄは、ローラでもよい。

また、第１剥離縁４２Ａの角度と第２剥離縁４２Ｂの角度は、同じ角度でもよいし異なる角度でもよい。
さらに、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとは、第２面４４Ａと第４面４４Ｂとが接触していてもよいし、接触していなくてもよい。第２面４４Ａと第４面４４Ｂとが相互に補強し合う補強材として機能する場合、第１剥離板４１Ａや第２剥離板４１Ｂの厚みを薄くしても、それらが剥離シートＲＬの張力で撓むことを防止でき、接着シートＡＳの剥離不良や剥離媒体が被着体に接触してしまうという不具合を防止できる。
また、剥離媒体である剥離板、線状部材、ブロック状部材、ローラをそれぞれ３個以上設け、剥離シートＲＬの折り曲げ角度を角度θｍｉｎよりも小さい角度としたり、角度θｍａｘよりも大きい角度としたり、角度θｍｉｎと角度θｍｉｄとの中間角度としたり、角度θｍｉｄと角度θｍａｘとの中間角度としたりしてもよい。なお、３個以上の剥離媒体を設けた場合、少なくとも２個の剥離媒体によって先端部剥離動作を行うことができる。
さらに、剥離板、線状部材、ブロック状部材、ローラを任意に組み合わせて、本発明の複数の剥離媒体を構成してもよい。
また、１つの接着シートＡＳに対し、剥離先端部を剥離する場合と、剥離先端部以外の部分を剥離する場合とで剥離シートＲＬの折り曲げ角度を変更してもよい。この場合、例えば、第１剥離板４１Ａで剥離先端部を剥離し、第１剥離板４１Ａおよび第２剥離板４１Ｂで剥離先端部以外の部分を剥離したり、第２剥離板４１Ｂで剥離先端部を剥離し、第１剥離板４１Ａで剥離先端部以外の部分を剥離したり等、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとで適宜な組み合わせを採用できる。
さらに、折り曲げ角度を図２（Ｂ）に示す角度θｍｉｄに設定しない場合には、剥離角度調整手段３の代わりにガイドローラ２２と同等のものを採用することができる。
また、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとのうち１つをフレーム２７に固定し、移動しないようにしてもよい。
さらに、剥離角度調整手段は、剥離角度調整ローラ３３の代わりに、シャフト材やブレード材等を採用してもよい。

また、先端部剥離動作は、接着シートＡＳが検知手段５で検知されるまで複数回繰り返して行ってもよい。
さらに、先端部剥離動作は、図３（Ｂ）に示す状態から、所定のストローク、例えば、剥離位置ＰＰから前方位置ＰＱまでの距離（以下「位相距離」という）の２倍に相当するストロークで第２剥離板４１Ｂを１往復以上進退させてから、当該第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
また、先端部剥離動作は、図３（Ｂ）に示す状態から、第２剥離縁４２Ｂを剥離位置ＰＰに移動させた後、例えば、位相距離に相当するストロークで第１剥離板４１Ａを１往復以上進退させてから、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
さらに、先端部剥離動作は、図３（Ａ）に示す状態から、第２剥離縁４２Ｂを剥離位置ＰＰ位置させた後、例えば、位相距離に相当するストロークで第１剥離板４１Ａを１往復進退させ、さらに、例えば、位相距離に相当するストロークで第２剥離板４１Ｂを１往復進退させる相互往復動作を１回以上行ってから、第２剥離板４１Ｂを退避位置に戻してもよい。
また、先端部剥離動作は、第１剥離板４１Ａで接着シートＡＳを剥離するときのみならず、第２剥離板４１Ｂで剥離するときや、第１剥離板４１Ａと第２剥離板４１Ｂとで剥離するときにも、上述と同様にして行うことができる。
さらに、先端部剥離動作における第１、第２剥離板４１Ａ、４１Ｂそれぞれのストローク距離は、位相距離に関係なく任意の距離に設定できる。

また、本発明における接着シートＡＳおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、感熱接着性のものが採用された場合は、当該接着シートＡＳを加熱する適宜な加熱手段を設ければよい。また、このような接着シートＡＳは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウェハや化合物半導体ウェハ等の半導体ウェハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
また、シート剥離装置１０は、シート貼付装置１以外に接着シートとしてのラベルを剥離シートから剥離して発行するラベル発行装置等の他の装置に採用してもよい。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

２…繰出手段
４…剥離手段
１０…シート剥離装置
４１Ａ、４１Ｂ…第１、第２剥離板（剥離媒体）
４１Ｃ、４１Ｄ…第１、第２線状部材（剥離媒体）
４１Ｅ、４１Ｆ…第１、第２ブロック状部材（剥離媒体）
４８Ａ、４８Ｂ…直動モータ（剥離媒体移動手段）
ＡＳ…接着シート
ＤＡ…剥離方向
ＲＬ…剥離シート
ＲＳ…原反

Claims

帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す繰出手段と、
前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートを前記剥離シートから剥離する剥離手段とを備え、
前記剥離手段は、前記剥離シートを折り曲げる複数の剥離媒体と、当該複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記剥離方向に沿う方向に移動させる剥離媒体移動手段とを有することを特徴とするシート剥離装置。
前記複数の剥離媒体は、前記剥離シートを折り曲げる折り曲げ角度がそれぞれ異なる角度に設定されていることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
前記複数の剥離媒体は、相互に接触しあうことで補強材として機能することを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート剥離装置。
帯状の剥離シートの一方の面に接着シートが仮着された原反を繰り出す工程と、
前記繰り出しによって所定の剥離方向に搬送される前記接着シートを前記剥離シートから剥離する工程と、
前記剥離シートを折り曲げる複数の剥離媒体のうちの少なくとも１を前記接着シートの剥離方向に沿う方向に移動させる工程とを備えることを特徴とするシート剥離方法。